对硅片卷边或刀口形貌的快检挑拣流水线及方法

技术领域

本发明涉及硅片加工技术领域，具体为对硅片卷边或刀口形貌的快检挑拣流水线及方法。

背景技术

硅片在加工过程中，受切片和研削工序的影响，shape形貌会出现不同的形貌(刀口形貌，卷边形貌等)，对于边缘刀口和卷边形貌，因局部有凹坑，在客户芯片制造企业，这个凹坑处在前制程中生成的一些金属Cu膜，在后续的CMP工序并不能完全去除，出现了CuResidue,导致芯片制造中出现良率异常。

现有的切片加工时硅片加工必不可少的一步，且线切加工过程中，因入刀和出刀位置的硅片面积及膨胀量的差异，刀口形貌很难完全杜绝，且目前的管控是靠两驱形貌后目前检查确认卷边和刀口形貌的严重程度，对产品进行判定出货，没有全部检查和定量管理，有异常形貌流动到客户端的风险，为此，本发明提供了对硅片卷边或刀口形貌的快检挑拣流水线及方法。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供了对硅片卷边或刀口形貌的快检挑拣流水线及方法，解决了目前的管控是靠两驱形貌后目前检查确认卷边和刀口形貌的严重程度，对产品进行判定出货，没有全部检查和定量管理，有异常形貌流动到客户端的风险的问题。

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：对硅片卷边或刀口形貌的快检挑拣流水线及，包括分拣台，所述分拣台的内部通过转向机构使得分拣板进行转动操作，且分拣台的前后侧均安装有装料箱，所述分拣台的顶部设置有检测机构，所述转向机构中包括驱动板，所述驱动板底部的中心处通过驱动组件驱使转动，且驱动板的表面通过旋转组件使得连接板进行移动，所述连接板的一侧固定安装有齿条，所述分拣板的底部固定安装有支撑杆，所述支撑杆的底端贯穿延伸至分拣台的内部并转动安装在分拣台的内壁，所述支撑杆的表面固定安装有齿轮，且齿轮与齿条的表面啮合，且驱动板顶部开始有进料槽，且进料槽的内部设置有推料组件。

优选的，所述驱动组件中包括固定安装在分拣台内腔底部的驱动电机，且驱动电机输出轴的一端通过联轴器与驱动板底部的中心处固定。

优选的，所述旋转组件中包括空心环，所述空心环的右侧安装有延伸杆，且延伸杆的一端与连接板的一侧固定，所述空心环的左侧安装有滑动杆，所述延伸杆和滑动杆的表面均通过限位组件实现左右侧水平的滑动操作，所述驱动板的顶部固定安装有凸台，且凸台在空心环的内侧滑动。

优选的，所述限位组件包括固定安装在分拣台内腔底部的限位杆，所述限位杆的顶部固定安装有限位框，所述延伸杆和滑动杆均贯穿限位框并可相对限位框滑动。

优选的，所述推料组件中包括安装在进料槽内部的包裹板，所述包裹板的内部通过气动组件使得弧形板进行移动，并且位于驱动板左侧安装有斜块。

优选的，所述气动组件包括固定安装在包裹板内部的气缸，所述气缸的内部滑动连接有活塞杆，所述活塞杆的一端贯穿延伸至包裹板的外部并与弧形板的外侧固定。

优选的，所述检测机构中包括安装在分拣台顶部的L型板，所述L型板的内侧安装有与分拣板中心处对齐的检测仪。

本发明还公开了对硅片卷边或刀口形貌的快检挑拣流水线的快检挑拣方法，具体包括以下步骤：

S1、产品传输至分拣台沿着分拣板上的进料槽落在分拣板的中心处，然后通过检测仪进行图像的采集和分析，判断为卷边形貌NG或刀口形貌NG；

S2、然后通过启动驱动电机，并带动驱动板转动，驱动板通过凸台带动空心环转动，而空心环通过延伸杆和滑动杆在限位杆和限位框的限位下进行水平的移动操作，使得延伸杆带动连接板和齿条的移动，并使得支撑杆带动驱动板进行顺时针转动90°或逆时针转动90°；

S3、在转动到位置后，通过启动气缸，利用气缸带动活塞杆和弧形板的移动，使得产品落入至装料箱中。

有益效果

本发明提供了对硅片卷边或刀口形貌的快检挑拣流水线及方法。与现有技术相比具备以下有益效果：

(1)、该对硅片卷边或刀口形貌的快检挑拣流水线及方法，通过设置有转向机构，利用驱动组件的驱动使得驱动板转动，并配合旋转组件的驱使带动齿条的移动，以此实现了支撑杆带动驱动板进行顺时针转动90°或逆时针转动90°的操作，完成下料口的转换，以此在识别完成后同步实现卷边形貌NG或刀口形貌NG产品的区分，提高准确性和操作的效率，防止过程中抽检和非定量目视检查的不足，提升防流出方案管控的有效性。

(2)、该对硅片卷边或刀口形貌的快检挑拣流水线及方法，通过设置有推料组件，启动气缸，利用气缸带动活塞杆和弧形板的移动，使得产品落入至装料箱中，实现了自动化的分拣操作，避免了人员检测后分拣存在失误的问题，同时也提高了分拣操作的效率。

(3)、该对硅片卷边或刀口形貌的快检挑拣流水线及方法，通过设置有检测机构，利用检测仪对产品表面的平坦度参数进行监测，管控半径方向上120-150mm,90-120mm这两个区域的warp变化的斜率值，根据斜率值来判定产品为卷边形貌NG或刀口形貌NG，定量全检管控卷边和刀口形貌，可以防止过程中抽检和非定量目视检查不完全存在遗漏的问题。

附图说明

图1为本发明的外部立体结构图；

图2为本发明的外部立体剖视结构图；

图3为本发明的内部立体结构图；

图4为本发明转向机构的立体结构图；

图5为本发明限位组件的立体结构拆分图。

图中：1-分拣台、2-转向机构、21-驱动板、22-驱动组件、22-1-驱动电机、23-连接板、24-齿条、25-支撑杆、26-齿轮、27-进料槽、3-分拣板、4-装料箱、5-检测机构、51-L型板、52-检测仪、6-旋转组件、61-空心环、62-延伸杆、63-滑动杆、64-限位组件、64-1-限位杆、64-2-限位框、65-凸台、7-推料组件、71-包裹板、72-气动组件、72-1-气缸、72-2-活塞杆、73-弧形板、74-斜块。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-5，本发明提供两种技术方案：

实施例一、对硅片卷边或刀口形貌的快检挑拣流水线，包括分拣台1，分拣台1的内部通过转向机构2使得分拣板3进行转动操作，且分拣台1的前后侧均安装有装料箱4，分拣台1的顶部设置有检测机构5；

转向机构2中包括驱动板21，驱动板21底部的中心处通过驱动组件22驱使转动，且驱动板21的表面通过旋转组件6使得连接板23进行移动，连接板23的一侧固定安装有齿条24，分拣板3的底部固定安装有支撑杆25，支撑杆25的底端贯穿延伸至分拣台1的内部并转动安装在分拣台1的内壁，支撑杆25的表面固定安装有齿轮26，且齿轮26与齿条24的表面啮合，且驱动板21顶部开始有进料槽27，且进料槽27的内部设置有推料组件7。

通过设置有转向机构2，利用驱动组件22的驱动使得驱动板21转动，并配合旋转组件6的驱使带动齿条24的移动，以此实现了支撑杆25带动驱动板21进行顺时针转动90°或逆时针转动90°的操作，完成下料口的转换，以此在识别完成后同步实现卷边形貌NG或刀口形貌NG产品的区分，提高准确性和操作的效率，防止过程中抽检和非定量目视检查的不足，提升防流出方案管控的有效性。

本发明实施例中，驱动组件22中包括固定安装在分拣台1内腔底部的驱动电机22-1，驱动电机22-1与外部电源电性连接，驱动电机22-1为三相异步电机，驱动电机22-1通过人员操控控制面板实现启闭操作，且驱动电机22-1输出轴的一端通过联轴器与驱动板21底部的中心处固定。

本发明实施例中，旋转组件6中包括空心环61，空心环61的右侧安装有延伸杆62，且延伸杆62的一端与连接板23的一侧固定，空心环61的左侧安装有滑动杆63，延伸杆62和滑动杆63的表面均通过限位组件64实现左右侧水平的滑动操作，驱动板21的顶部固定安装有凸台65，且凸台65在空心环61的内侧滑动。

本发明实施例中，限位组件64包括固定安装在分拣台1内腔底部的限位杆64-1，限位杆64-1的顶部固定安装有限位框64-2，延伸杆62和滑动杆63均贯穿限位框64-2并可相对限位框64-2滑动。

本发明实施例中，推料组件7中包括安装在进料槽27内部的包裹板71，包裹板71的内部通过气动组件72使得弧形板73进行移动，并且位于驱动板21左侧安装有斜块74。

本发明实施例中，气动组件72包括固定安装在包裹板71内部的气缸72-1，气缸72-1与外部气路连通，且通过人员操控控制面板实现启闭操作，气缸72-1的内部滑动连接有活塞杆72-2，活塞杆72-2的一端贯穿延伸至包裹板71的外部并与弧形板73的外侧固定。

通过设置有推料组件7，启动气缸72-1，利用气缸72-1带动活塞杆72-2和弧形板73的移动，使得产品落入至装料箱4中，实现了自动化的分拣操作，避免了人员检测后分拣存在失误的问题，同时也提高了分拣操作的效率。

本发明实施例中，检测机构5中包括安装在分拣台1顶部的L型板51，L型板51的内侧安装有与分拣板3中心处对齐的检测仪52，检测仪52与控制终端电性连接用于数据的传输，且检测仪52用于检测产品平坦度参数。

通过设置有检测机构5，利用检测仪52对产品表面的平坦度参数进行监测，管控半径方向上120-150mm,90-120mm这两个区域的warp变化的斜率值，根据斜率值来判定产品为卷边形貌NG或刀口形貌NG，定量全检管控卷边和刀口形貌，可以防止过程中抽检和非定量目视检查不完全存在遗漏的问题。

其中检测仪52通过对图像采集后，图像传输至控制终端进行计算，并且收集半径方向上150-90mm处这个区域各角度的warp值数据，并管控半径方向上120-150mm,90-120mm这两个区域的warp变化的斜率值，斜率1的值为正或负值，斜率2的值为负值或正值，且斜率1和2其中有一个值在70nm/mm以上，判为卷边形貌NG，管控半径方向上100～150mm这个区域各角度的warp变化斜率最大值，斜率最大值的绝对值在115nm/mm以上判为刀口形貌NG，而卷边形貌NG产品向后侧推去，刀口形貌NG的产品向前侧推去。

实施例二、相较于实施例一的区别在于：本发明还公开了对硅片卷边或刀口形貌快检挑拣流水线的快检挑拣方法，具体包括以下步骤：

S1、产品传输至分拣台1沿着分拣板3上的进料槽27落在分拣板3的中心处，然后通过检测仪52进行图像的采集和分析，判断为卷边形貌NG或刀口形貌NG；

S2、然后通过启动驱动电机22-1，并带动驱动板21转动，驱动板21通过凸台65带动空心环61转动，而空心环61通过延伸杆62和滑动杆63在限位杆64-1和限位框64-2的限位下进行水平的移动操作，使得延伸杆62带动连接板23和齿条24的移动，并使得支撑杆25带动驱动板21进行顺时针转动90°或逆时针转动90°；

S3、在转动到位置后，通过启动气缸72-1，利用气缸72-1带动活塞杆72-2和弧形板73的移动，使得产品落入至装料箱4中。

同时本说明书中未作详细描述的内容均属于本领域技术人员公知的现有技术。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。