一种晶圆片擦粉机及其擦粉机构

技术领域

本申请涉及半导体元件制造设备技术领域，具体而言，涉及一种晶圆片擦粉机及其擦粉机构。

背景技术

GPP(Glassivation Passivation Parts)二极管芯片，即玻璃钝化类二极管芯片，其是在现有普通硅整流扩散片的基础上对拟分割的管芯P/N结面四周烧结一层玻璃，使P/N结获得最佳的保护，免受外界环境的侵扰，提高二极管芯片的稳定性，该GPP二极管芯片在其P/N结面烧结一层玻璃后，还需要对该玻璃进行钝化处理，在进行钝化处理前还需要擦除该玻璃表面上的玻璃粉，否则会严重影响玻璃的钝化效果，以致二极管芯片的性能劣化。

目前，GPP二极管芯片玻璃钝化前的擦粉操作都是人工擦粉，如中国专利申请CN201611183968.8所描述的使用橡皮擦通过人手轻而平地擦除玻璃粉，但是人工擦粉毕竟是通过人手来实现的，其擦粉对象为玻璃这类易碎品，每个工人在操作过程中的擦粉力度都不同，相应地，玻璃的擦粉洁净度也存在差异，这使得产品的良品率无法得到很好的控制，人工擦粉操作也很容易导致二极管芯片生产报废率的上升。此外，人工擦粉操作的效率低下，其并不能满足GPP二极管芯片日益增大的需求量，并且通过人手操作完成擦粉程序也会导致GPP二极管芯片生产成本的上升，这最终会降低GPP二极管芯片在价格上的优势。另外，人工擦粉操作所需物料繁多，处理步骤复杂，其保护措施简陋，且操作空间无法实现百分之百的封闭性，玻璃粉尘极容易向外漂浮扩散，对周围环境造成粉尘污染，该粉尘污染会对操作人员造成健康隐患，并且还会进入到二极管芯片生产设备中影响设备的正常工作；粉尘漂浮还会给操作车间带来爆炸和火灾的安全隐患。

也有少量采用机械装置对GPP二极管芯片进行擦粉，例如中国发明专利申请CN201821527443.6——一种GPP晶圆片擦粉机，其避免了人工擦粉，降低了芯片的报废率。

发明内容

本申请的第一个目的在于提供一种晶圆片擦粉机及其擦粉机构，其采用行星齿轮组作为传动机构，并在行星齿轮组下端面设置用以连接擦粉专用滤纸的强磁体，使得擦粉专有滤纸既有部分能实现绕中心公转，同时也有部分能实现绕自身的中心自转，使得擦粉效果更好。

本发明的实施例通过以下技术方案实现：

一种晶圆片擦粉机的擦粉机构，包括行星齿轮组和用以连接擦粉专用滤纸的强磁体，所述强磁体设于所述行星齿轮组下端面。

进一步的，所述行星齿轮组包括顶板、底板、主动齿轮和若干依次套设的行星组所述主动齿轮可绕自身中心轴转动的安装于顶板和底板之间，所述行星组包括若干行星齿轮和齿圈，所述若干行星齿轮和主动齿轮或齿圈啮合且均匀分布，行星齿轮可绕自身中心轴转动的安装于顶板和底板之间，齿圈可绕自身中心轴转动的安装于顶板，所述底板包括若干底板本体所述底板本体设于齿圈之间且活动连接于齿圈。

进一步的，所述强磁体设于所述主动齿轮转轴、行星齿轮转轴和齿圈下端。

进一步的，所述主动齿轮和行星齿轮的转轴开设有吹风通孔，所述吹风通孔连通吹风机构用以吹动粉尘。

进一步的，还包括旋转机构，所述旋转机构包括旋转转轴和连接架，所述连接架规定与所述顶板上端，所述旋转转轴下端连接连接架，旋转转轴上端可转动的安装于工作平台用以驱动行星齿轮组旋转。

进一步的，还包括用以移动行星齿轮组的移动机构，所述移动机构包括相互啮合的齿轮和齿条，所述齿轮套设于所述旋转转轴，所述齿条安装于工作平台。

进一步的，所述齿条可远离或靠近所述齿轮的滑动安装于工作平台用以实现间歇式移动行星齿轮组。

进一步的，所述旋转转轴为分段式设计，且相邻两段间设有弹性机构。

一种晶圆片擦粉机，包括擦粉仓和如上所述的晶圆片擦粉机的擦粉机构，所述擦粉机构安装于所述擦粉仓内。

进一步的，所述擦粉仓一侧设有观察门，所述观察门的下方位置设有粉尘收集槽，观察门通过门扣与擦粉仓实现开关扣合。

本发明实施例的技术方案至少具有如下优点和有益效果：

本发明设计合理、结构简单，采用行星齿轮组作为传动机构，并在行星齿轮组下端面设置用以连接擦粉专用滤纸的强磁体，使得擦粉专有滤纸既有部分能实现绕中心公转，同时也有部分能实现绕自身的中心自转，使得擦粉效果更好。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本发明实施例1提供的行星齿轮组的结构示意图；

图2为本发明实施例1提供的擦粉机构的结构示意图；

图3为本发明实施例1提供的擦粉仓的结构示意图；

图标：1-擦粉机构，11-行星齿轮组，111-顶板，112-底板，113-主动齿轮，114-行星组，114a-行星齿轮，114b-齿圈，12-吹风通孔，13-旋转机构，131-旋转转轴，132-连接架，14-移动机构，141-齿轮，142-齿条，2-擦粉仓。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本发明的描述中，需要说明的是，若出现术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，若出现术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

实施例1

本实施例提供了一种晶圆片擦粉机的擦粉机构1，包括行星齿轮组11和用以连接擦粉专用滤纸的强磁体，强磁体设于行星齿轮组11下端面；采用行星齿轮组11作为传动机构，并在行星齿轮组11下端面设置用以连接擦粉专用滤纸的强磁体，使得擦粉专有滤纸既有部分能实现绕中心公转，同时也有部分能实现绕自身的中心自转，使得擦粉效果更好。

本实施例中，行星齿轮组11包括顶板111、底板112、主动齿轮113和若干依次套设的行星组114，主动齿轮113可绕自身中心轴转动的安装于顶板111和底板112之间，行星组114包括若干行星齿轮114a和齿圈114b，若干行星齿轮114a和主动齿轮113或齿圈114b啮合且均匀分布，行星齿轮114a可绕自身中心轴转动的安装于顶板111和底板112之间，齿圈114b可绕自身中心轴转动的安装于顶板111，底板112包括若干底板112本体底板112本体设于齿圈114b之间且活动连接于齿圈114b，具体而言，齿圈114b和顶板111的连接可以为滑槽连接，例如T型滑槽，采用以上方式，不仅实现了齿圈114b和顶板111的滑动连接，同时起到了限制齿圈114b上下移动的作用，并且通过将底板112分隔为若干底板112本体，且使底板112本体设于齿圈114b之间且活动连接于齿圈114b，使得齿圈114b下端能够延伸出来，能够连接强磁体，进而连接擦粉专用滤纸，使得齿圈114b产生的公转也能起到擦粉作用，有效的增大了擦粉面积，提高了擦粉效果。

关于强磁体设置的具体位置，本实施例中，强磁体设于主动齿轮113转轴、行星齿轮114a转轴和齿圈114b下端，由于主动齿轮113转轴、行星齿轮114a转轴和齿圈114b均为能够发生转动的零件，将强磁体安装于其下，可是擦粉专用滤纸起到良好的擦粉效果，当然在其他的实施例，可以将强磁体遍布整个行星齿轮组11的下端面，包括主动齿轮113转轴、行星齿轮114a转轴、齿圈114b及底板112，当然这种情况较适用于整个行星齿轮组11能够发生转动的情况，在底板112上的擦粉专用滤纸才能起到一定打擦粉效果。

更优化的，主动齿轮113和行星齿轮114a的转轴开设有吹风通孔12，吹风通孔12连通吹风机构用以吹动粉尘。采用以上设计，在擦粉专有滤纸的基础上配合采用冲锋通孔，能够更大程度上的清楚芯片上的粉尘，当然在其他实施例中，依然可以采用本装置的结构，但是将吹风机构替换成负压机构，对芯片表面产生一定的吸力，使得擦粉专用滤纸擦下的粉尘能够被吸走，进而达到清楚粉尘的效果。

在一些实施例中，为了进一步的增加擦粉效果，使得整个行星齿轮组11都能发生转动，本装置还包括旋转机构13，旋转机构13包括旋转转轴131和连接架132，连接架132规定与顶板111上端，旋转转轴131下端连接连接架132，旋转转轴131上端可转动的安装于工作平台用以驱动行星齿轮组11旋转。

往往不同规格的芯片的间距不同，要有良好的擦粉效果，就必须使得行星齿轮组11和芯片对应，为此，本装置还包括用以移动行星齿轮组11的移动机构14，移动机构14包括相互啮合的齿轮141和齿条142，齿轮141套设于旋转转轴131，齿条142安装于工作平台，更优化的，齿条142可远离或靠近齿轮141的滑动安装于工作平台用以实现间歇式移动行星齿轮组11。采用以上设计，充分利用转轴的转动来实现行星齿轮组11移动，有效的减小了额外动力机构的加入，使得装置的成本大大的降低，同时也使得整个装置的故障率降低，有效的降低了运行成本。

为了避免擦粉过程造成芯片的损坏，本实施例中，旋转转轴131为分段式设计，且相邻两段间设有弹性机构，采用以上设计，可以设置弹性机构的弹力大小的极大值小于芯片的损坏值。

实施例2

本实施例提供了一种晶圆片擦粉机，包括擦粉仓2和实施例1提供的晶圆片擦粉机的擦粉机构1，擦粉机构1安装于擦粉仓2内。具体而言，擦粉仓2一侧设有观察门，观察门的下方位置设有粉尘收集槽，观察门通过门扣与擦粉仓2实现开关扣合。

以上仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。