掌桥专利:专业的专利平台
掌桥专利
首页

一种GaN器件及其生成方法、SiC衬底的剥离方法及其剥离装置

文献发布时间:2023-06-19 11:11:32


一种GaN器件及其生成方法、SiC衬底的剥离方法及其剥离装置
相关技术
  • 一种GaN器件及其生成方法、SiC衬底的剥离方法及其剥离装置
  • 一种退火剥离倒装SiC衬底GaN基LED的制作方法
技术分类

06120112834520