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一种通过磁场控制α-Ga2O3掺杂浓度的薄膜沉积系统及方法

文献发布时间:2023-06-19 11:47:31


一种通过磁场控制α-Ga2O3掺杂浓度的薄膜沉积系统及方法
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06120113053097