真空扩散焊接的真空自动控制系统及方法

技术领域

本申请涉及真空扩散焊接领域，具体而言，涉及一种真空扩散焊接的真空自动控制系统及方法。

背景技术

为满足焊接市场的需求，焊接工艺不断完善，出现了真空扩散焊接的特种焊接工艺。真空扩散焊接是一种焊后不需要加工的精密工艺，扩散焊接时借助低于母材熔点的温度、压力、时间及真空的条件，促使两个零件的固态接合面接合而达到原子间距离，进行原子互相扩散，实现原子间嵌入扩散结合，适用于异种及同种材料之间的焊接。

真空扩散焊接设备在应用过程中，焊接产品对于设备成型腔内的真空度要求较高，真空度或高或底都会影响到后续产品的焊接质量，导致真空系统会长时间运行，影响其使用寿命。目前，真空扩散焊接设备在长时间的加热焊接过程中，腔内无法达到合理的真空度设置值，且腔内真空度不够稳定。

因此，在真空扩散焊接过程中，如何自动化控制真空扩散焊接设备成型腔内的真空度稳定保持在真空度设定值是亟需解决的问题。

发明内容

本申请的目的在于，针对上述现有技术中的不足，提供一种真空扩散焊接的真空自动控制系统及方法，以解决现有技术中真空扩散焊接设备在长时间的加热焊接过程中，腔内无法达到合理的真空度设置值，且腔内真空度不稳定的实际需要的问题。

为实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案如下：

第一方面，本申请实施例提供一种真空扩散焊接的真空自动控制系统，所述系统至少包括：真空扩散焊接设备、真空调整设备、真空测量设备、温度测量设备、机械泵、扩散泵、罗茨泵、维持泵、高真空阀、粗抽阀、前级阀、维持阀以及大气回填阀；其中，所述真空扩散焊接设备包括设备成型腔；

所述机械泵、扩散泵、罗茨泵、维持泵、高真空阀、粗抽阀、前级阀、维持阀以及大气回填阀分别与所述真空调整设备通信连接；

所述真空测量设备位于所述设备成型腔内，且所述真空测量设备与所述真空调整设备通信连接；

所述温度测量设备位于所述设备成型腔内，且所述温度测量设备与所述真空调整设备通信连接；

所述真空测量设备用于测量所述设备成型腔内的实际真空度，并将所述实际真空度发送给所述真空调整设备，所述温度测量设备用于测量所述设备成型腔内的实际温度以及扩散泵的油温，并将所述实际温度和油温发送给所述真空调整设备；

所述真空调整设备用于根据所述实际真空度、实际温度以及油温控制所述机械泵、扩散泵、罗茨泵、维持泵、高真空阀、粗抽阀、前级阀、维持阀以及大气回填阀的通断。

作为一种可选的实现方式，所述真空扩散焊接的真空自动控制系统还包括：上位工控设备以及可编辑逻辑控制器；

所述上位工控设备与所述可编辑逻辑控制器通信连接；

所述可编辑逻辑控制器与所述真空扩散焊接设备通信连接；

所述真空调整设备与所述真空扩散焊接设备通信连接；

所述真空扩散焊接设备用于经由所述可编辑逻辑控制器接收来自所述上位工控设备的真空控制参数，并将所述真空控制参数发送给所述真空调整设备；

所述真空调整设备具体用于根据所述真空控制参数、所述实际真空度、所述实际温度以及油温，控制所述机械泵、扩散泵、罗茨泵、维持泵、高真空阀、粗抽阀、前级阀、维持阀以及大气回填阀的通断。

作为一种可选的实现方式，所述真空调整设备具体用于根据所述实际真空度确定所述设备成型腔的真空度是否大于或等于所述真空控制参数中的第一预设阈值且小于或等于所述真空控制参数中的第二预设阈值，若是，则控制所述粗抽阀、所述罗茨泵、所述机械泵、所述维持阀以及所述维持泵开启，并在所述扩散泵的前级真空度小于所述真空控制参数中的第三预设阈值时控制所述扩散泵开启。

作为一种可选的实现方式，所述真空调整设备具体还用于根据所述实际真空度确定所述设备成型腔的真空度是否小于所述第一预设阈值且所述油温大于或等于所述真空控制参数中的第四预设阈值，若是，则控制所述机械泵、所述粗抽阀以及所述罗茨泵依次断开，并控制所述前级阀以及所述高真空阀开启。

作为一种可选的实现方式，所述真空调整设备具体还用于根据所述实际温度确定所述设备成型腔的实际温度是否小于或等于所述真空控制参数中的第五预设阈值，若是，则控制所述高真空阀以及所述扩散泵断开。

作为一种可选的实现方式，所述真空调整设备具体还用于根据所述油温确定所述扩散泵的油温是否小于或等于所述真空控制参数中的第六预设阈值，若是，则控制所述维持阀和所述维持泵断开。

作为一种可选的实现方式，所述真空调整设备具体还用于在所述真空扩散焊接设备结束焊接后，控制所述机械泵、扩散泵、罗茨泵、维持泵、高真空阀、粗抽阀、前级阀以及维持阀断开，并且，控制所述大气回填阀开启。

第二方面，本申请实施例提供一种真空扩散焊接的真空自动控制方法，所述方法应用于上述第一方面任一所述的真空扩散焊接的真空自动控制系统中的真空调整设备；所述方法包括：

获取真空测量设备发送的设备成型腔内的实际真空度以及温度测量设备发送的设备成型腔内的实际温度以及扩散泵的油温；

根据所述实际真空度、实际温度以及油温控制机械泵、扩散泵、罗茨泵、维持泵、高真空阀、粗抽阀、前级阀、维持阀以及大气回填阀的通断。

作为一种可选的实现方式，所述方法还包括：

获取真空扩散焊接设备发送的真空控制参数；

根据所述真空控制参数、所述实际真空度、所述实际温度以及油温，控制所述机械泵、扩散泵、罗茨泵、维持泵、高真空阀、粗抽阀、前级阀、维持阀以及大气回填阀的通断。

作为一种可选的实现方式，所述根据所述真空控制参数、所述实际真空度、所述实际温度以及油温，控制所述机械泵、扩散泵、罗茨泵、维持泵、高真空阀、粗抽阀、前级阀、维持阀以及大气回填阀的通断，包括：

根据所述实际真空度确定所述设备成型腔的真空度是否大于或等于所述真空控制参数中的第一预设阈值且小于或等于所述真空控制参数中的第二预设阈值；

若是，则控制所述粗抽阀、所述罗茨泵、所述机械泵、所述维持阀以及所述维持泵开启，并在所述扩散泵的前级真空度小于所述真空控制参数中的第三预设阈值时控制所述扩散泵开启。

本申请的有益效果是：

本申请提供了一种真空扩散焊接的真空自动控制系统及方法，通过在真空扩散焊接的真空自动控制系统中设置真空调整设备、真空测量设备以及温度测量设备，真空调整设备根据真空测量设备发送的真空扩散焊接设备中设备成型腔内的实际真空度、温度测量设备发送的设备成型腔内的实际温度以及扩散泵的油温，自动化控制机械泵、扩散泵、罗茨泵、维持泵、高真空阀、粗抽阀、前级阀、维持阀以及大气回填阀的通断。真空调整设备通过自动切换各个泵和阀的开启和断开状态，对真空扩散焊接设备中设备成型腔内的抽取真空过程以及真空度保持过程进行自动化控制，使得设备成型腔内真空度稳定在预设的真空度合理范围内，提高设备成型腔内真空度的稳定性，且高效提升各个泵的使用效率，降低生产成本。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本申请实施例提供的真空扩散焊接的真空自动控制系统的结构示意图；

图2为本申请实施例提供的另一种真空扩散焊接的真空自动控制系统的结构示意图；

图3为本申请实施例提供的真空扩散焊接的真空自动控制方法的流程示意图；

图4为本申请实施例提供的另一种真空扩散焊接的真空自动控制方法的流程示意图；

图5为本申请实施例提供的真空扩散焊接的真空自动控制方法的控制阀和泵通断的流程示意图；

图6为本申请实施例提供的真空扩散焊接的真空自动控制方法的另一种控制阀和泵通断的流程示意图；

图7为本申请实施例提供的真空扩散焊接的真空自动控制方法的又一种控制阀和泵通断的流程示意图；

图8为本申请实施例提供的真空扩散焊接的真空自动控制方法的再一种控制阀和泵通断的流程示意图；

图9为本申请实施例提供的又一种真空扩散焊接的真空自动控制方法的流程示意图。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，应当理解，本申请中附图仅起到说明和描述的目的，并不用于限定本申请的保护范围。另外，应当理解，示意性的附图并未按实物比例绘制。本申请中使用的流程图示出了根据本申请的一些实施例实现的操作。应该理解，流程图的操作可以不按顺序实现，没有逻辑的上下文关系的步骤可以反转顺序或者同时实施。此外，本领域技术人员在本申请内容的指引下，可以向流程图添加一个或多个其他操作，也可以从流程图中移除一个或多个操作。

另外，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

需要说明的是，本申请实施例中将会用到术语“包括”，用于指出其后所声明的特征的存在，但并不排除增加其它的特征。

目前，真空扩散焊接设备在长时间的加热焊接过程中，存在腔内无法达到合理的真空度设置值，且腔内真空度不稳定的弊端。

本申请实施例基于上述问题，提出一种真空扩散焊接的真空自动控制系统，真空扩散焊接的真空自动控制系统至少包括：真空扩散焊接设备、真空调整设备、真空测量设备、温度测量设备、机械泵、扩散泵、罗茨泵、维持泵、高真空阀、粗抽阀、前级阀、维持阀以及大气回填阀；其中，真空扩散焊接设备包括设备成型腔，真空调整设备根据设备成型腔内的实际真空度、设备成型腔内的实际温度以及扩散泵的油温，控制机械泵、扩散泵、罗茨泵、维持泵、高真空阀、粗抽阀、前级阀、维持阀以及大气回填阀的通断。实现自动化控制真空扩散焊接设备成型腔内的真空度，提高腔内真空度的稳定性。

图1为本申请实施例提供的真空扩散焊接的真空自动控制系统的结构示意图，如图1所示，真空扩散焊接的真空自动控制系统100至少包括：真空扩散焊接设备101、真空调整设备102、真空测量设备103、温度测量设备104、机械泵105、扩散泵106、罗茨泵107、维持泵108、高真空阀109、粗抽阀110、前级阀111、维持阀112以及大气回填阀113；其中，真空扩散焊接设备101包括设备成型腔1011。

机械泵105、扩散泵106、罗茨泵107、维持泵108、高真空阀109、粗抽阀110、前级阀111、维持阀112以及大气回填阀113分别与真空调整设备102通信连接。

可选的，参照图1，真空调整设备102分别与机械泵105、扩散泵106、罗茨泵107、维持泵108、高真空阀109、粗抽阀110、前级阀111、维持阀112以及大气回填阀113通信连接。其中，机械泵105和罗茨泵107用于为扩散泵106提供必要的前级真空，扩散泵采用油扩散原理，用于抽取高真空，维持泵108用于辅助机械泵105和罗茨泵107来维持扩散泵106的正常工作；高真空阀、粗抽阀、前级阀、维持阀用于将不同的泵投切到真空扩散焊接的真空自动控制系统中；大气回填阀用于回填大气，以使得设备成型腔1011内外气压平衡。

真空测量设备103位于设备成型腔1011内，且真空测量设备103与真空调整设备102通信连接；温度测量设备104位于设备成型腔1011内，且温度测量设备104与真空调整设备102通信连接。

可选的，继续参照图1，真空测量设备103位于设备成型腔1011内，与真空调整设备102通信连接；温度测量设备104位于设备成型腔1011内，与真空调整设备102通信连接。其中，真空测量设备103可以包括真空计、全量程真空规管以及皮拉尼规管；温度测量设备104可以包括多个热电偶。

真空测量设备103用于测量设备成型腔1011内的实际真空度，并将实际真空度发送给真空调整设备102，温度测量设备104用于测量设备成型腔1011内的实际温度以及扩散泵106的油温，并将实际温度和油温发送给真空调整设备102。

可选的，真空测量设备103测量设备成型腔1011内的实际真空度，并将设备成型腔1011内的实际真空度发送给真空调整设备102；温度测量设备104测量设备成型腔1011内的实际温度以及扩散泵106的油温，并将设备成型腔1011内的实际温度以及扩散泵106的油温发送给真空调整设备102。

真空调整设备102用于根据实际真空度、实际温度以及油温控制机械泵105、扩散泵106、罗茨泵107、维持泵108、高真空阀109、粗抽阀110、前级阀111、维持阀112以及大气回填阀113的通断。

可选的，真空调整设备102根据接收到的设备成型腔1011内的实际真空度、设备成型腔1011内的实际温度以及扩散泵106的油温，控制机械泵105、扩散泵106、罗茨泵107、维持泵108、高真空阀109、粗抽阀110、前级阀111、维持阀112以及大气回填阀113的通断状态。在真空扩散焊接过程中，真空调整设备102通过自动切换各个泵和阀的开启和断开状态，对真空扩散焊接设备101中设备成型腔1011内的抽取真空过程以及设备成型腔1011内的真空度保持过程进行自动化控制。

本实施例中，在真空扩散焊接的真空自动控制系统中设置真空调整设备、真空测量设备以及温度测量设备，真空调整设备根据真空测量设备发送的真空扩散焊接设备中设备成型腔内的实际真空度、温度测量设备发送的设备成型腔内的实际温度以及扩散泵的油温，自动化控制机械泵、扩散泵、罗茨泵、维持泵、高真空阀、粗抽阀、前级阀、维持阀以及大气回填阀的通断。真空调整设备通过自动切换各个泵和阀的开启和断开状态，对真空扩散焊接设备中设备成型腔内的抽取真空过程以及真空度保持过程进行自动化控制，使得设备成型腔内真空度稳定在预设的真空度合理范围内，提高设备成型腔内真空度的稳定性，且高效提升各个泵的使用效率，降低生产成本。

作为一种可选的实施方式，真空扩散焊接的真空自动控制系统100还包括：上位工控设备116以及可编辑逻辑(Programmable Logic Controller，简称PLC)控制器115。

上位工控设备116与可编辑逻辑控制器115通信连接；可编辑逻辑控制器115与真空扩散焊接设备101通信连接；真空调整设备102与真空扩散焊接设备101通信连接。

可选的，图2为本申请实施例提供的另一种真空扩散焊接的真空自动控制系统的结构示意图，如图2所示，真空扩散焊接的真空自动控制系统100还包括：上位工控设备116以及PLC控制器115。

参照图2，上位工控设备116与PLC控制器115通信连接；PLC控制器115与真空扩散焊接设备101通信连接；真空扩散焊接设备101与真空调整设备102通信连接。通过上位工控设备116、PLC控制器115、真空扩散焊接设备101以及真空调整设备102之间的通信连接关系，实现上位工控设备116与真空调整设备102之间的数据传输通信。

真空扩散焊接设备101用于经由可编辑逻辑控制器115接收来自上位工控设备116的真空控制参数，并将真空控制参数发送给真空调整设备102。

可选的，参照图2，在真空扩散焊接的真空自动控制系统100运行之前，在上位工控设备116中预先设置一个真空控制参数，该真空控制参数用于指示在特定阈值条件下各泵和阀的开启和断开状态。上位工控设备116将预设的真空控制参数发送至PLC控制器115，PLC控制器115将预设的真空控制参数发送至真空扩散焊接设备101，真空扩散焊接设备101再将预设的真空控制参数发送至真空调整设备102。通过PLC控制器115以及真空扩散焊接设备101，将预设的真空控制参数从上位工控设备116传输至真空调整设备102。

真空调整设备102具体用于根据真空控制参数、实际真空度、实际温度以及油温，控制机械泵105、扩散泵106、罗茨泵107、维持泵108、高真空阀109、粗抽阀110、前级阀111、维持阀112以及大气回填阀113的通断。

可选的，真空调整设备102根据预设的真空控制参数、设备成型腔1011内的实际真空度、设备成型腔1011内的实际温度以及扩散泵106的油温，控制机械泵105、扩散泵106、罗茨泵107、维持泵108、高真空阀109、粗抽阀110、前级阀111、维持阀112以及大气回填阀113的通断，自动化控制真空扩散焊接设备101中设备成型腔1011内的抽取真空过程以及设备成型腔1011内的真空度保持过程。

本实施例中，通过在真空扩散焊接的真空自动控制系统中设置上位工控设备以及PLC控制器，将在上位工控设备上预设的真空控制参数通过PLC控制器以及真空扩散焊接设备传输至真空调整设备；真空控制参数作为真空调整设备调整各泵和阀通断状态的参考，真空调整设备根据设备成型腔内的实际真空度、实际温度、扩散泵的油温以及真空控制参数中的特定阈值条件，调整各泵和阀的通断状态。通过将预设的真空控制参数通过上位工控设备、PLC控制器以及真空扩散焊接设备传输至真空调整设备，提高了真空调整设备调整各泵和阀通断状态的准确性和设备成型腔内真空度的稳定性。

作为一种可选的实施方式，真空调整设备102具体用于根据实际真空度确定设备成型腔1011的真空度是否大于或等于真空控制参数中的第一预设阈值且小于或等于真空控制参数中的第二预设阈值，若是，则控制粗抽阀110、罗茨泵107、机械泵105、维持阀112以及维持泵108开启，并在扩散泵106的前级真空度小于真空控制参数中的第三预设阈值时控制扩散泵106开启。

可选的，继续参照图1，真空调整设备102根据真空测量设备103发送的设备成型腔1011内的实际真空度与真空控制参数中第一预设阈值和第二预设阈值的大小关系，确定粗抽阀110、罗茨泵107、机械泵105、维持阀112以及维持泵108的通断状态。具体的，若设备成型腔1011的实际真空度大于或等于真空控制参数中的第一预设阈值且小于或等于真空控制参数中的第二预设阈值，则真空调整设备102控制粗抽阀110、罗茨泵107、机械泵105、维持阀112以及维持泵108开启，为扩散泵106提供前级真空度。且真空调整装备102根据扩散泵106的前级真空度与真空控制参数中第三预设阈值的大小关系，确定扩散泵106的通断状态。具体的，若扩散泵106的前级真空度小于真空控制参数中的第三预设阈值，则真空调整设备102控制扩散泵106开启。

示例性的，第一预设阈值可以是5帕，第二预设阈值可以是800帕，第三预设阈值可以是30帕，即当设备成型腔1011的实际真空度大于或等于5帕且小于或等于800帕时，真空调整设备102控制粗抽阀110、罗茨泵107、机械泵105、维持阀112以及维持泵108开启，为扩散泵106提供前级真空度；当扩散泵106的前级真空度小于30帕时，真空调整设备102控制扩散泵106开启。

本实施例中，真空调整设备根据设备成型腔内的实际真空度与真空控制参数中第一预设阈值和第二预设阈值的大小关系，确定粗抽阀、罗茨泵、机械泵、维持阀以及维持泵的通断状态。真空调整设备还根据扩散泵的前级真空度与真空控制参数中第三预设阈值的大小关系，确定扩散泵的通断状态。通过真空调整设备控制粗抽阀、罗茨泵、机械泵、维持阀、维持泵以及扩散泵的通断状态，实现设备成型腔内抽取前级真空过程的精准控制，提高前级真空抽取的效率。

作为一种可选的实施方式，真空调整设备102具体还用于根据实际真空度确定设备成型腔1011的真空度是否小于第一预设阈值且油温大于或等于真空控制参数中的第四预设阈值，若是，则控制机械泵105、粗抽阀110以及罗茨泵107依次断开，并控制前级阀111以及高真空阀109开启。

可选的，继续参照图1，真空调整设备102还根据真空测量设备103发送的设备成型腔1011内的实际真空度与真空控制参数中第一预设阈值的大小关系以及温度测量设备104发送的扩散泵106的油温与真空控制参数中第四预设阈值的大小关系，确定机械泵105、粗抽阀110以及罗茨泵107的通断状态。具体的，若设备成型腔1011内的实际真空度小于真空控制参数中的第一预设阈值，且扩散泵106的油温大于或等于真空控制参数中的第四预设阈值，则真空调整设备102控制机械泵105、粗抽阀110以及罗茨泵107依次断开；真空调整设备102根据机械泵105、粗抽阀110以及罗茨泵107的通断状态控制前级阀111以及高真空阀109的通断状态，待机械泵105、粗抽阀110以及罗茨泵107全部断开后，真空调整设备102控制前级阀111以及高真空阀109开启，为设备成型腔1011抽取高真空。

示例性的，第一预设阈值可以是5帕，第四预设阈值可以是260℃，即当设备成型腔1011的实际真空度小于5帕，且扩散泵106的油温大于或等于260℃时，真空调整设备102控制机械泵105、粗抽阀110以及罗茨泵107依次断开。

本实施例中，真空调整设备根据设备成型腔内的实际真空度与真空控制参数中第一预设阈值的大小关系以及扩散泵的油温与真空控制参数中第四预设阈值的大小关系，确定机械泵、粗抽阀以及罗茨泵的通断状态。真空调整设备根据机械泵、粗抽阀以及罗茨泵的通断状态控制前级阀以及高真空阀的通断状态。通过真空调整设备控制机械泵、粗抽阀以及罗茨泵断开，前级阀以及高真空阀开启，为设备成型腔抽取高真空。

作为一种可选的实施方式，真空调整设备102具体还用于根据实际温度确定设备成型腔1011的实际温度是否小于或等于真空控制参数中的第五预设阈值，若是，则控制高真空阀109以及扩散泵106断开。

可选的，继续参照图1，真空调整设备102还根据温度测量设备104发送的设备成型腔1011的实际温度与真空控制参数中第五预设阈值的大小关系，确定高真空阀109以及扩散泵106的通断状态。具体的，待设备成型腔1011加热完毕后，降温过程中，若设备成型腔1011的实际温度小于或等于真空控制参数中的第五预设阈值，则真空调整设备102控制高真空阀109以及扩散泵106依次断开。其中，真空控制参数中的第五预设阈值可以是上位工控设备116上预设的高真空阀109的断开温度。

本实施例中，真空调整设备根据设备成型腔的实际温度与真空控制参数中第五预设阈值的大小关系，确定高真空阀以及扩散泵的通断状态。当设备成型腔的实际温度小于或等于真空控制参数中的第五预设阈值时，真空调整设备控制高真空阀以及扩散泵依次断开。真空调整设备通过第五预设阈值与设备成型腔内的实际温度，控制高真空阀以及扩散泵的通断。

作为一种可选的实施方式，真空调整设备102具体还用于根据油温确定扩散泵106的油温是否小于或等于真空控制参数中的第六预设阈值，若是，则控制维持阀112和维持泵108断开。

可选的，继续参照图1，真空调整设备102还根据扩散泵106的油温与真空控制参数中第六预设阈值的大小关系，确定维持阀112和维持泵108的通断状态。具体的，若扩散泵106的油温小于或等于真空控制参数中的第六预设阈值，则真空调整设备102控制维持阀112和维持泵108依次断开。

示例性的，第六预设阈值可以是100℃，即当扩散泵106的油温小于或等于100℃时，真空调整设备102控制维持阀112和维持泵108依次断开。

本实施例中，真空调整设备根据扩散泵的油温与真空控制参数中第六预设阈值的大小关系，确定维持阀和维持泵的通断状态。当扩散泵的油温小于或等于真空控制参数中的第六预设阈值时，真空调整设备控制维持阀和维持泵依次断开。真空调整设备通过第六预设阈值与扩散泵的油温，控制维持阀和维持泵的通断。

作为一种可选的实施方式，真空调整设备102具体还用于在真空扩散焊接设备101结束焊接后，控制机械泵105、扩散泵106、罗茨泵107、维持泵108、高真空阀109、粗抽阀110、前级阀111以及维持阀112断开，并且，控制大气回填阀113开启。

可选的，在真空扩散焊接设备101结束焊接后，真空调整设备102控制机械泵105、扩散泵106、罗茨泵107、维持泵108、高真空阀109、粗抽阀110、前级阀111以及维持阀112全部断开，且真空调整设备102控制大气回填阀113开启。其中，真空扩散焊接的真空自动控制系统100中还包括多个限位开关，真空调整设备102控制所有阀和泵断开后，限位开关将反馈信号发送至PLC控制器115，PLC控制器115将反馈信号通过真空扩散焊接设备101传输至真空调整设备102，真空调整设备102根据反馈信号控制大气回填阀113开启，使得设备成型腔1011内外气压平衡。

本实施例中，在真空扩散焊接设备结束焊接后，真空调整设备根据反馈信号控制大气回填阀开启。通过开启大气回填阀，平衡设备成型腔内外气压。

本申请实施例还提供了一种真空扩散焊接的真空自动控制方法，图3为本申请实施例提供的真空扩散焊接的真空自动控制方法的流程示意图，应用于上述实施例所述的真空扩散焊接的真空自动控制系统100中的真空调整设备102；如图3所示，该方法包括：

S301、获取真空测量设备发送的设备成型腔内的实际真空度以及温度测量设备发送的设备成型腔内的实际温度以及扩散泵的油温。

可选的，参照图1，真空调整设备102分别与真空测量设备103以及温度测量设备104通信连接，真空调整设备102接收真空测量设备103发送的设备成型腔1011内的实际真空度以及温度测量设备104发送的设备成型腔1011内的实际温度以及扩散泵106的油温。

S302、根据实际真空度、实际温度以及油温控制机械泵、扩散泵、罗茨泵、维持泵、高真空阀、粗抽阀、前级阀、维持阀以及大气回填阀的通断。

可选的，在真空扩散焊接过程中，真空调整设备102根据设备成型腔1011内的实际真空度、设备成型腔1011内的实际温度以及扩散泵106的油温，控制机械泵105、扩散泵106、罗茨泵107、维持泵108、高真空阀109、粗抽阀110、前级阀111、维持阀112以及大气回填阀113的通断。通过自动切换各个泵和阀的开启和断开状态，对设备成型腔1011内的抽真空过程以及真空度保持过程进行自动化控制。

本实施例中，真空调整设备根据接收的设备成型腔内的实际真空度、设备成型腔内的实际温度以及扩散泵的油温，控制切换机械泵、扩散泵、罗茨泵、维持泵、高真空阀、粗抽阀、前级阀、维持阀以及大气回填阀的通断状态。实现设备成型腔内的抽取真空过程以及真空度保持过程的自动化控制，提高设备成型腔内真空度的稳定性。

图4为本申请实施例提供的另一种真空扩散焊接的真空自动控制方法的流程示意图，如图4所示，该方案还包括：

S401、获取真空扩散焊接设备发送的真空控制参数。

可选的，参照图2，真空调整设备102与真空扩散焊接设备101通信连接，真空扩散焊接设备101与PLC控制器115通信连接，PLC控制器115与上位工控设备116通信连接。上位工控设备116上存在预先设置的真空控制参数，上位工控设备116将预设的真空控制参数经由PLC控制器115，发送至真空扩散焊接设备101，真空调整设备102接收真空扩散焊接设备101发送的真空控制参数。其中，预设的真空控制参数可以指示特定阈值条件下各泵和阀的开启和断开状态。

S402、根据真空控制参数、实际真空度、实际温度以及油温，控制机械泵、扩散泵、罗茨泵、维持泵、高真空阀、粗抽阀、前级阀、维持阀、以及大气回填阀的通断。

可选的，真空调整设备102根据接收的真空控制参数、设备成型腔1011内的实际真空度、设备成型腔1011内的实际温度以及扩散泵106的油温，控制机械泵105、扩散泵106、罗茨泵107、维持泵108、高真空阀109、粗抽阀110、前级阀111、维持阀112以及大气回填阀113的通断，对设备成型腔1011内的抽真空过程以及设备成型腔1011内的真空度保持过程进行自动化控制。

本实施例中，真空调整设备通过接收真空扩散焊接设备发送的预设的真空控制参数，基于接收的设备成型腔内的实际真空度、设备成型腔内的实际温度以及扩散泵的油温，控制切换机械泵、扩散泵、罗茨泵、维持泵、高真空阀、粗抽阀、前级阀、维持阀以及大气回填阀的通断状态。实现真空调整设备对各泵和阀的通断状态的精准控制。

以下，对根据真空控制参数、实际真空度、实际温度以及油温，控制机械泵、扩散泵、罗茨泵、维持泵、高真空阀、粗抽阀、前级阀、维持阀以及大气回填阀的通断的过程进行详细说明。

图5为本申请实施例提供的真空扩散焊接的真空自动控制方法的控制阀和泵通断的流程示意图，如图5所示，上述步骤S402中根据真空控制参数、实际真空度、实际温度以及油温，控制机械泵、扩散泵、罗茨泵、维持泵、高真空阀、粗抽阀、前级阀、维持阀以及大气回填阀的通断的步骤，包括：

S501、根据实际真空度确定设备成型腔的真空度是否大于或等于真空控制参数中的第一预设阈值且小于或等于真空控制参数中的第二预设阈值。

可选的，真空调整设备102确定真空测量设备103发送的设备成型腔1011内的实际真空度与真空控制参数中第一预设阈值和第二预设阈值的大小关系。真空调整设备102判断设备成型腔1011内的实际真空度是否大于或等于真空控制参数中的第一预设阈值且小于或等于真空控制参数中的第二预设阈值。其中，第一预设阈值可以是5帕，第二预设阈值可以是800帕，本申请对此不作限定。

S502、若是，则控制粗抽阀、罗茨泵、机械泵、维持阀以及维持泵开启，并在扩散泵的前级真空度小于真空控制参数中的第三预设阈值时控制扩散泵开启。

可选的，若设备成型腔1011的实际真空度大于或等于第一预设阈值且小于或等于第二预设阈值，则真空调整设备102控制粗抽阀110、罗茨泵107、机械泵105、维持阀112以及维持泵108开启，向扩散泵106的开启提供前级真空度；扩散泵106的前级真空度随着罗茨泵107、机械泵105以及维持泵108抽取真空而变化，真空调整装备102根据扩散泵106的前级真空度与第三预设阈值的大小关系，确定扩散泵106的通断状态。当扩散泵106的前级真空度小于第三预设阈值时，真空调整设备102控制扩散泵106开启。其中，第三预设阈值可以是30帕，本申请对此不作限定。

本实施例中，真空调整设备根据设备成型腔内的实际真空度与第一预设阈值和第二预设阈值的大小关系，确定粗抽阀、罗茨泵、机械泵、维持阀以及维持泵的通断状态。真空调整设备还根据扩散泵的前级真空度与第三预设阈值的大小关系，确定扩散泵的通断状态。真空调整设备通过控制粗抽阀、罗茨泵、机械泵、维持阀、维持泵开启，为扩散泵的开启提供前级真空条件，对设备成型腔内抽取前级真空的过程进行精准控制，提高抽取前级真空的效率。

图6为本申请实施例提供的真空扩散焊接的真空自动控制方法的另一种控制阀和泵通断的流程示意图，如图6所示，上述步骤S402中根据真空控制参数、实际真空度、实际温度以及油温，控制机械泵、扩散泵、罗茨泵、维持泵、高真空阀、粗抽阀、前级阀、维持阀以及大气回填阀的通断的步骤，还包括：

S601、根据实际真空度确定设备成型腔的真空度是否小于第一预设阈值且油温大于或等于真空控制参数中的第四预设阈值。

可选的，真空调整设备102确定设备成型腔1011内的实际真空度与中第一预设阈值的大小关系，真空调整设备102判断设备成型腔1011内的实际真空度是否小于真空控制参数中第一预设阈值；真空调整设备102还确定扩散泵106的油温与第四预设阈值的大小关系，真空调整设备102判断扩散泵106的油温是否大于或等于真空控制参数中的第四预设阈值。

其中，第一预设阈值可以是5帕，第四预设阈值可以是260℃，本申请对此不作限定。

S602、若是，则控制机械泵、粗抽阀以及罗茨泵依次断开，并控制前级阀以及高真空阀开启。

可选的，若设备成型腔1011的实际真空度小于第一预设阈值，且扩散泵106的油温大于或等于第四预设阈值，则真空调整设备102控制机械泵105、粗抽阀110以及罗茨泵107依次断开；机械泵105、粗抽阀110以及罗茨泵107全部为断开状态时，真空调整设备102控制前级阀111以及高真空阀109开启，为设备成型腔1011抽取高真空。其中，前级阀111和高真空阀109为联锁关系，在前级阀111开启的情况下，才能开启高真空阀109。

本实施例中，真空调整设备根据设备成型腔内的实际真空度与第一预设阈值的大小关系以及扩散泵的油温与第四预设阈值的大小关系，确定机械泵、粗抽阀以及罗茨泵的通断状态；进而根据机械泵、粗抽阀以及罗茨泵的通断状态确定前级阀以及高真空阀的通断状态。真空调整设备通过依次断开机械泵、粗抽阀以及罗茨泵，依次开启前级阀以及高真空阀，实现设备成型腔抽取高真空过程。

图7为本申请实施例提供的真空扩散焊接的真空自动控制方法的又一种控制阀和泵通断的流程示意图，如图7所示，上述步骤S402中根据真空控制参数、实际真空度、实际温度以及油温，控制机械泵、扩散泵、罗茨泵、维持泵、高真空阀、粗抽阀、前级阀、维持阀以及大气回填阀的通断的步骤，还包括：

S701、根据实际温度确定设备成型腔的实际温度是否小于或等于真空控制参数中的第五预设阈值。

可选的，真空调整设备102确定设备成型腔1011的实际温度与第五预设阈值的大小关系；真空调整设备102判断设备成型腔1011的实际温度是否小于或等于第五预设阈值。其中，第五预设阈值可以是预设的高真空阀109的断开温度。

S702、若是，则控制高真空阀以及扩散泵断开。

可选的，若设备成型腔1011的实际温度小于或等于第五预设阈值即预设的高真空阀109的断开温度，真空调整设备102控制高真空阀109以及扩散泵106依次断开。

本实施例中，真空调整设备根据设备成型腔的实际温度与第五预设阈值即预设的高真空阀断开温度的大小关系，确定高真空阀以及扩散泵的通断状态。真空调整设备在设备成型腔的实际温度小于或等于预设的高真空阀断开温度时，控制高真空阀以及扩散泵依次断开。实现设备成型腔的高真空抽取流程的自动关闭。

图8为本申请实施例提供的真空扩散焊接的真空自动控制方法的再一种控制阀和泵通断的流程示意图，如图8所示，上述步骤S402中根据真空控制参数、实际真空度、实际温度以及油温，控制机械泵、扩散泵、罗茨泵、维持泵、高真空阀、粗抽阀、前级阀、维持阀以及大气回填阀的通断的步骤，还包括：

S801、根据油温确定扩散泵的油温是否小于或等于真空控制参数中的第六预设阈值。

可选的，真空调整设备102确定扩散泵106的油温与第六预设阈值的大小关系；真空调整设备102判断扩散泵106的油温是否小于或等于第六预设阈值。其中，第六预设阈值可以是100℃，本申请对此不作限定。

S802、若是，则控制维持阀和维持泵断开。

可选的，若扩散泵106的油温小于或等于第六预设阈值，真空调整设备102控制维持阀112和维持泵108依次断开。

本实施例中，真空调整设备根据扩散泵的油温与第六预设阈值的大小关系，确定维持阀和维持泵的通断状态。真空调整设备在扩散泵的油温小于或等于第六预设阈值时，控制维持阀和维持泵依次断开。

图9为本申请实施例提供的又一种真空扩散焊接的真空自动控制方法的流程示意图，如图9所示，该方法还包括：

S901、在真空扩散焊接设备结束焊接后，控制机械泵、扩散泵、罗茨泵、维持泵、高真空阀、粗抽阀、前级阀以及维持阀断开。

可选的，在真空扩散焊接设备结束加热焊接后，真空调整设备102控制机械泵105、扩散泵106、罗茨泵107、维持泵108、高真空阀109、粗抽阀110、前级阀111以及维持阀112全部断开。

S902、控制大气回填阀开启。

可选的，真空调整设备102控制大气回填阀113开启，以使得设备成型腔1011内外气压平衡。

本实施例中，真空调整设备在真空扩散焊接设备结束焊接后，控制大气回填阀开启。通过开启大气回填阀，平衡设备成型腔内外气压。

以上仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。