一种气态有机镀膜材料的涂覆载体组件

【技术领域】

本发明涉及真空镀膜领域，尤其是一种气态有机镀膜材料的涂覆载体组件。

【背景技术】

目前在真空状态下常用的薄膜制备方法有磁控溅射、蒸发、等离子体辅助化学气相沉积(PECVD)等，根据所用原材料的特性选取不同的镀膜方式。针对一些镀膜原材料为有机液态物的情况，在真空状态的镀膜方式一般采用PECVD的方式，也有一些采用在大气环境下在基材表面直接涂布的方式来制备薄膜。

在真空状态下采用PECVD的方式来制备薄膜，尤其是在柔性基材上进行镀膜时，此种薄膜的制备方式，对箱体(真空室)内部及传动系统都有一定的污染，从而导致基材在卷绕行走的过程造成损坏，另外其相对效率会也会降低。为了提高效率，增加一次成膜的厚度，就需要增加PECVD源，PECVD源数量的增加则会导致设备的卷绕系统变得复杂，使得薄膜在卷绕过程中容易出现褶皱，对于需要完成不同材料组成的叠加膜层，各源之间就会出现不同程度的相互干扰，而解决干扰问题带来的困扰同样也会使得设备变大，卷绕系统变得复杂，设备加工难度陡增。

如果在大气下通过涂布方式完成膜层的制备，膜层的整体性能达不到真空状态制备的膜层性能，如果采用在真空下涂布的方式，同样无法获得良好的膜层性能，且对腔体造成严重污染，效率低下，无法获得均匀且较薄的膜层。

为解决上述技术问题，申请人特研发适用范围广且效率高的一种用于真空镀膜的雾化加热装置，本发明正是就如何解决其涂覆均匀性不足而提出的。

【发明内容】

本发明要解决的技术问题是提供涂覆均匀的一种气态有机镀膜材料的涂覆载体组件。

本发明的目的是这样实现的：

一种气态有机镀膜材料的涂覆载体组件，包括设于加热装置内且用于带动气态有机镀膜材料附着于基材表面上进气管和布气管，所述进气管与高压气体相连通，布气管与所述进气管相连通，所述布气管上设有二进制均气结构。

本发明采用上述结构，涂覆载体组件为加热装置内的气态有机镀膜材料提供额外的动力，使得汽化后的有机镀膜材料可均匀且高速地通过其喷口而附着于基材上，从而有效提高涂覆的均匀性。

如上所述的一种气态有机镀膜材料的涂覆载体组件，所述布气管包括由后往前依次贴合设置的第一布气管、第二布气管和第三布气管，所述第一布气管、第二布气管和第三布气管的端部设有封堵头，所述二进制均气结构包括设于所述第一布气管后侧的第一布气进口、设于所述第一布气管前侧的第一布气出口、设于所述第二布气管的后侧且位置与所述第一布气出口相对应的第二布气进口、设于所述第二布气管前侧的第二布气出口、设于所述第三布气管的后侧且位置与所述第二布气出口相对应的第三布气进口以及设于所述第三布气管前侧的布气总出口。二进制均气结构可使得汽化后的有机镀膜材料更加均匀地附着于基材上。

如上所述的一种气态有机镀膜材料的涂覆载体组件，第一布气进口的数量为2个，所述第一布气出口和所述第二布气进口的数量为4个，所述第二布气出口和所述第三布气进口的数量为8个，所述布气总出口的数量为16个，从而使气态有机镀膜材料可以形成足够大且均匀的喷射流，以确保气态有机镀膜材料具有足够的压力且均匀地喷涂在基材的表面上。

如上所述的一种气态有机镀膜材料的涂覆载体组件，所述进气管的输出端上设有三通，所述三通的两输出端上设有与所述第一布气进口相连通的进气分管，从而使得高压气体分两路进入布气管以均匀分散进气压力。

如上所述的一种气态有机镀膜材料的涂覆载体组件，还包括罩设于加热装置外侧的隔离罩，所述隔离罩与加热装置之间设有隔热板，从而防止加热装置的热量向外扩散，进而提高加热装置的热效率。

如上所述的一种气态有机镀膜材料的涂覆载体组件，所述隔离罩的顶部边缘设有与外部高压气源相连通的气帘通气孔，高压气通过气帘通气孔往基材的方向喷射，从而在隔离罩的顶部边缘形成环形封闭的气帘，防止气态有机镀膜材料向外飘散，从而减少其对真空室的污染，清洁环保。

如上所述的一种气态有机镀膜材料的涂覆载体组件，加热装置包括与雾化装置相连通的加热箱体和设于加热箱体上且用于对加热箱体进行加热的加热组件，加热箱体朝向基材传送装置的一侧设有喷口。加热组件可快速对加热箱体进行加热，从而使雾化后的液态有机镀膜材料在加热箱体内的迅速汽化，汽化后的有机镀膜材料在本发明的驱动下从喷口喷出至基材传送装置上的基材。

【附图说明】

下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步详细说明，其中：

图1为本发明的分解结构示意图；

图2为本发明所述二进制均气结构的分解结构示意图之一；

图3为本发明所述二进制均气结构的分解结构示意图之二；

图4为本发明所述气帘通气孔的结构示意图；

图5为本发明的使用状态参考图。

【具体实施方式】

一种气态有机镀膜材料的涂覆载体组件，包括设于加热装置22内且用于带动气态有机镀膜材料附着于基材10表面上进气管231和布气管232，进气管231与高压气体相连通，布气管232与进气管231相连通，布气管232上设有二进制均气结构。

为使得汽化后的有机镀膜材料更加均匀地通过喷口2211并附着于基材10上，布气管232包括由后往前依次贴合设置的第一布气管2321、第二布气管2322和第三布气管2323，第一布气管2321、第二布气管2322和第三布气管2323的端部设有封堵头2324，二进制均气结构包括设于第一布气管2321后侧的第一布气进口2325、设于第一布气管2321前侧的第一布气出口2326、设于第二布气管2322的后侧且位置与第一布气出口2326相对应的第二布气进口2327、设于第二布气管2322前侧的第二布气出口2328、设于第三布气管2323的后侧且位置与第二布气出口2328相对应的第三布气进口2329以及设于第三布气管2323前侧的布气总出口2320。

为使气态有机镀膜材料可以在喷口2211的狭缝处形成足够大且均匀的喷射流，第一布气进口2325的数量为2个，第一布气出口2326和第二布气进口2327的数量为4个，第二布气出口2328和第三布气进口2329的数量为8个，布气总出口2320的数量为16个。

为均匀分散进气压力，进气管231的输出端上设有三通233，三通233的两输出端上设有与第一布气进口2325相连通的进气分管234。加热箱体221的外侧上设有可供进气管231的输入端相连接的高压接头2310，外部高压气源直接与高压接头2310相连接。外部高压气源通过进气管231进入布气管232，并通过布气总出口2320喷出至加热箱体221内，从而驱动汽化后的有机镀膜材料从喷口2211均匀喷出至基材传送装置1上的基材10的表面上。

为防止加热装置22的热量向外扩散，上述的一种气态有机镀膜材料的涂覆载体组件，还包括罩设于加热装置22外侧的隔离罩230，隔离罩230与加热装置22之间设有隔热板2301。

为防止气态有机镀膜材料向外飘散以减少其对真空室100的污染，隔离罩230的顶部边缘设有与外部高压气源相连通的气帘通气孔2302。外部高压气通过气帘通气孔往基材10的方向喷射，从而在隔离罩230的顶部边缘形成环形封闭的气帘。

加热装置22包括与雾化装置21相连通的加热箱体221和设于加热箱体221上且用于对加热箱体221进行加热的加热组件222，加热箱体221朝向基材传送装置1的一侧设有喷口2211。加热组件222可快速对加热箱体221进行加热，从而使微小颗粒状液态有机镀膜材料在加热箱体221内迅速汽化。

本发明使用时，抽真空装置101首先对真空室100进行抽真空，使得镀膜工艺处于真空的状态下进行。随后雾化装置21和加热装置22启动工作，雾化装置21工作对液态有机镀膜材料雾化为<20μm的微小颗粒并喷入加热箱体221内，此时加热组件222对加热箱体221进行加热，使其内部温度能够达到400℃的高温，从而使微小颗粒状液态有机镀膜材料在加热箱体221内迅速汽化并将其快速蒸发为具有压力的气体分子，此时外部高压气源通过进气管231进入布气管232，并通过布气总出口2320喷出至加热箱体221内，从而驱动汽化后的有机镀膜材料通过喷口2211均匀喷出至卷绕在基材传送装置1上的基材10的表面上，此时气态有机镀膜材料均匀地附着于基材10的表面上，基材传送装置1对基材10进行冷却，使得附着于基材10表面上的气态有机镀膜材料发生液化后固化或直接发生凝华，从而成型于基材10上。