显示面板制造系统

相关申请的交叉引用

本申请要求于2017年9月29日提交的第10-2017-0128084号韩国专利申请的优先权和权益，该韩国专利申请如在本文中完全阐述的那样出于所有目的通过引用并入本文。

技术领域

本发明的示例性实施方式/实现方式大体涉及显示面板制造系统和使用所述显示面板制造系统制造显示面板的方法，并且更具体地，涉及包括喷墨设备的显示面板制造系统和使用所述显示面板制造系统制造显示面板的方法。

背景技术

显示面板用于向用户提供图像信息。显示面板包括配置成显示图像的多个像素。对于有机发光显示面板，多个像素中的每一个均包括包含发光材料的有机薄膜图案。

有机薄膜图案通过多种方法(诸如，光刻方法和喷墨方法)形成。对于喷墨方法，将有机油墨滴落在开口中以形成构成有机薄膜图案的油墨图案。

在油墨滴落于非期望的位置处或形成为不完全地或过度地填充开口的情况中，有机薄膜图案可能形成为具有缺陷。换言之，有机薄膜图案的质量高度地取决于油墨是否滴落在期望的位置处。

在本背景部分中公开的以上信息仅用于对本发明构思的背景的理解，并且因此，其可能包含不构成现有技术的信息。

发明内容

本发明构思的一些示例性实施方式提供了显示面板制造系统，所述显示面板制造系统配置成在喷墨过程期间执行检查过程。

一些示例性实施方式提供了显示面板制造方法，在所述显示面板制造方法中喷墨过程和检查过程同时执行。

根据一些示例性实施方式，显示面板制造系统可包括衬底供应模块、测试衬底供应模块、有机膜形成模块、偏移检查模块、图案检查模块和液滴检查模块，其中，衬底供应模块配置成提供包括其上设置有薄膜晶体管的有源区域和与有源区域相邻的周边区域；测试衬底供应模块配置成提供测试衬底；有机膜形成模块配置成在所述衬底和所述测试衬底中的每一个上形成油墨图案，有机膜形成模块包括多个头部，所述多个头部中的每一个配置成滴落油墨；偏移检查模块配置成检查位于所述衬底上的油墨图案；图案检查模块配置成检查位于所述测试衬底上的油墨图案；液滴检查模块配置成检查从自所述多个头部选择的头部滴落的油墨。

在一些示例性实施方式中，有机膜形成模块、偏移检查模块和液滴检查模块可配置成一起移动。

在一些示例性实施方式中，有机膜形成模块可配置成在测试衬底上形成第一油墨图案，以及图案检查模块可配置成检查第一油墨图案并且调节头部的位置。

在一些示例性实施方式中，有机膜形成模块可配置成在衬底上形成第二油墨图案，以及偏移检查模块可配置成检查形成在周边区域上并且是自第二油墨图案选择的图案与衬底之间的对齐精度并且调节头部的位置。

在一些示例性实施方式中，头部可配置成根据由偏移检查模块输出的偏移检查结果数据在与衬底的运动方向垂直的方向上移动，以及根据由图案检查模块输出的图案检查结果数据在与测试衬底的运动方向垂直的方向上移动和旋转。

在一些示例性实施方式中，所选择的头部可以是在第一油墨图案或第二油墨图案被检查时自所述头部选择的。

在一些示例性实施方式中，多个头部中的每一个可包括多个喷嘴，并且所选择的头部的多个喷嘴中的至少一个不喷射油墨或形成尺寸可与参考油墨图案的尺寸不同的油墨图案。

在一些示例性实施方式中，液滴检查模块可包括激光照射设备和电子平衡设备，以及激光照射设备可设置在电子平衡设备与所选择的头部之间并且可配置成检查从所选择的头部向电子平衡设备提供的油墨。

在一些示例性实施方式中，液滴检查模块还可包括过滤器，激光照射设备包括配置成用激光束照射油墨的激光照射部分和配置成接收由油墨散射或透射穿过油墨的激光束的激光接收部分，以及过滤器可配置成控制从激光照射部分入射的激光束的强度以及控制由油墨散射或透射穿过油墨的激光束的方向性。

在一些示例性实施方式中，过滤器可包括衍射缝。

在一些示例性实施方式中，液滴检查模块还包括油墨抽吸设备，以及油墨抽吸设备可放置在电子平衡设备与所选择的头部之间，并且可用于抽吸要泄漏至电子平衡设备的外部的油墨。

根据本发明构思的一些示例性实施方式，制造显示面板的方法包括：提供衬底；在衬底上形成至少一个油墨图案以形成有机图案；以及检查油墨图案之间的对齐精度的图案检查步骤、检查油墨图案与衬底之间的对齐精度的偏移检查步骤以及检查滴落在衬底上以形成油墨图案的液滴检查步骤，其中，检查油墨图案的步骤可在形成有机图案的步骤期间执行。

在一些示例性实施方式中，可通过从头部滴落至衬底的油墨形成油墨图案，以及可执行油墨图案检查步骤以调节头部的位置。

在一些示例性实施方式中，可执行图案检查步骤以通过平面图上的平移运动和旋转运动改变头部的位置，以及可执行偏移检查步骤以通过平面图上的平移运动改变头部的位置。

在一些示例性实施方式中，头部包括多个头部，多个头部中的每一个可被独立地控制。

在一些示例性实施方式中，头部包括多个头部，以及可执行液滴检查步骤以检查从单个头部滴落的油墨，所述单个头部可以是自所述多个头部选择的。

在一些示例性实施方式中，可执行液滴检查步骤以调节从所选择的单个头部滴落的油墨的量，以及所选择的头部可以在图案检查步骤和偏移检查步骤中的至少一者中选择。

在一些示例性实施方式中，可执行液滴检查步骤以用新的头部替代所选择的单个头部。

在一些示例性实施方式中，可使用激光束执行液滴检查步骤。

在一些示例性实施方式中，可使用电子平衡设备执行液滴检查步骤。

本发明构思的另外的特征将在以下描述中进行阐述，并且将根据所述描述部分地显而易见，或者可通过对本发明构思的实践而被习得。

将理解的是，前述一般描述和以下详细描述二者均是示例性和说明性的，并且旨在提供对所要求保护的发明的进一步说明。

附图说明

附图(其被包括以提供对本发明的进一步理解并且并入本说明书中且构成本说明书的一部分的)示出了本发明的示例性实施方式，并且与描述一起用于解释本发明构思。

图1是示出根据一些示例性实施方式的制造显示面板的方法的流程图。

图2是示出根据一些示例性实施方式的显示面板制造系统的平面图。

图3A、图3B、图3C、图3D和图3E是示出根据一些示例性实施方式的显示面板制造系统的平面图。

图4是示出根据一些示例性实施方式的显示面板制造系统的一部分的立体图。

图5是示出图4中所示的衬底的一部分的剖视图。

图6A、图6B、图6C和图6D是各自示出根据一些示例性实施方式的显示面板制造系统的一部分的平面图。

图7A和图7B是各自示出根据一些示例性实施方式的显示面板制造系统的一部分的平面图。

图8是示意性示出根据一些示例性实施方式的显示面板制造系统的一部分的剖视图。

图9是示出测试衬底的一部分的平面图。

图10A和图10B是示意性示出根据一些示例性实施方式的显示面板制造系统的一部分的平面图。

图11A和图11B是示出根据一些示例性实施方式的制造显示面板的方法的一些步骤的示图。

图12是示出根据一些示例性实施方式的制造显示面板的一些步骤的示图。

图13是示出图12中所示的结构的一部分的示图。

图14A和图14B是各自示出根据一些示例性实施方式的显示面板制造系统的一部分的剖视图。

图15是示出根据一些示例性实施方式的制造显示面板的方法的流程图。

应注意的是，这些附图旨在示出某些作为示例的示例性实施方式中所使用的方法、结构和/或材料的一般特性，并且旨在对以下提供的书面描述进行补充。然而，这些附图不是按比例的，并且可能不精确地反映任何给定示例性实施方式的精确的结构或性能特征，并且不应被解释为限定或限制由作为示例的示例性实施方式涵盖的值或性质的范围。例如，为了清楚，可能减小或夸大分子、层、区域和/或结构元件的相对厚度和定位。各附图中相似或相同的附图标记的使用旨在表示存在相似的或相同的元件或特征。

具体实施方式

在以下描述中，出于说明的目的，阐述了诸多具体细节以便提供对本发明的各种示例性实施方式或实现方式的透彻理解。如本文中所使用的，“实施方式”和“实现方式”是可互换的词，“实施方式”和“实现方式”是采用本文中公开的发明构思中的一个或多个的设备或方法的非限制性示例。然而，显而易见的是，可以在没有这些具体细节的情况下或者通过一个或多个等同布置来实践各种示例性实施方式。在其他实例中，以框图的形式示出了公知的结构和设备，以避免不必要地使各种示例性实施方式不清楚。此外，各种示例性实施方式可以是不同的，但不必是排它的。例如，在没有背离本发明构思的情况下，示例性实施方式的特定形状、配置和特性可以在另一示例性实施方式中使用或实施。

除非另有说明，否则所示出的示例性实施方式应被理解为提供可在实践上实施本发明构思的一些方式的不同细节的示例性特征。因此，除非另有说明，否则在没有背离本发明构思的情况下，多种示例性实施方式的特征、部件、模块、层、膜、面板、区域和/或方面等(在下文中，各自或共同称为“元件”)可以以其他方式组合、分离、互换和/或重新布置。

通常提供附图中使用的交叉影线和/或阴影来使相邻元件之间的边界清晰。因此，除非另有规定，否则交叉影线或阴影的存在或不存在都不表示或指示对特定材料、材料性质、尺度、比例、所示元件之间的共性和/或元件的任何其他特性、属性、性质等的任何偏好或需求。此外，在附图中，出于清晰和/或描述的目的，可能夸大元件的尺寸和相对尺寸。当示例性实施方式可以不同地实施时，可以以不同于所描述的顺序来执行特定的过程顺序。例如，两个连续描述的过程可以基本同时执行，或者以与所描述的顺序相反的顺序执行。此外，相同的附图标记表示相同的元件。

当诸如层的元件被称为在另一元件或层“上”、“连接至”或“联接至”另一元件或层时，其可直接在其他元件或层上、连接至或联接至其他元件或层，或者可存在中间的元件或层。然而，当元件或层被称为“直接在”另一元件或层上、“直接连接至”或“直接联接至”另一元件或层时，不存在中间的元件或层。为此，术语“连接”可指具有或没有中间的元件的情况下的物理连接、电连接和/或流体连接。此外，D1-轴、D2-轴和D3-轴不限于直角坐标系的三个轴(诸如，x-轴、y-轴和z-轴)，并且可以以更广泛的含义解释。例如，D1-轴、D2-轴和D3-轴可相互垂直，或者可表示不相互垂直的不同方向。出于本公开的目的，“X、Y和Z中的至少一个”以及“从由X、Y和Z组成的组选择的至少一个”可解释为仅X、仅Y、仅Z，或者诸如X、Y和Z中的两个或更多的任何组合，例如XYZ、XYY、YZ和ZZ。如本文中所使用的，术语“和/或”包括一个或多个相关所列项的任何和全部组合。

虽然本文中可使用术语“第一”、“第二”等来描述各种类型的元件，但这些元件不应受这些术语的限制。这些术语用于将一个元件与另一元件区分开。因此，在没有背离本公开的教导的情况下，以下讨论的第一元件可称为第二元件。

出于描述的目的，本文中可使用诸如“在……下方”、“下部”、“在……之上”、“侧”(例如，如在“侧壁”中)等空间相对术语，并且由此来描述如附图中所示出的一个元件与另一元件(多个元件)的关系。除附图中所描绘的定向之外，空间相对术语旨在涵盖装置在使用、操作和/或制造中的不同定向。例如，如果附图中的装置被翻转，则描述为在其他元件或特征“下方”的元件将随后被定向为在其他元件或特征“上方”。因此，示例性术语“在……下方”可包括在……上方和在……下方两种定向。此外，装置可被另外地定向(例如，旋转90度或处于其他定向)，并且因此，应相应地解释本文中使用的空间相对描述语。

本文中使用的术语出于描述特定示例性实施方式的目的，而非旨在进行限制。如本文中所使用的，除非上下文另有明确指示，否则单数形式“一”、“一个”和“所述”旨在也包括复数形式。此外，术语“包括(comprise)”、“包括(comprising)”、“包括(include)”和/或“包括(including)”在本说明书中使用时，指示所陈述的特征、整体、步骤、操作、元件、部件和/或它们的组的存在，但不排除一个或多个其他特征、整体、步骤、操作、元件、部件和/或它们的组的存在或添加。应注意的是，如本文中所使用的，术语“基本”、“约”和其他类似术语被用作近似的术语，而不用作程度的术语，并且因此，被用于说明将由本领域普通技术人员认识到的测量值、计算值和/或所提供的值的固有偏差。

除非另有限定，否则本文中所使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与由本发明所属领域的普通技术人员所通常理解的含义相同的含义。诸如常用词典中所定义的那些术语应解释为具有与其在相关技术的上下文中的含义一致的含义，并且除非本文中明确如此限定，否则不应以理想化或过于正式的含义进行解释。

现在将参考附图更全面地描述本发明构思的示例性实施方式，附图中示出了示例性实施方式。

图1是示出根据一些示例性实施方式的制造显示面板的方法的流程图。图2是示出根据一些示例性实施方式的显示面板制造系统的平面图。在下文中，将参考图1和图2描述一些示例性实施方式。

如图1中所示，用于制造显示面板的方法可包括衬底提供步骤S100、有机图案形成步骤S200、检查步骤S300、沉积层形成步骤S400和显示面板形成步骤S500。可使用显示面板制造系统1000执行制造显示面板的方法。

衬底提供步骤S100可包括向显示面板制造系统1000输入衬底BP。在显示面板制造系统1000中，可执行有机图案形成步骤S200和检查步骤S300。因此，可以在衬底提供步骤S100中提供其上已经执行了除形成有机图案的过程之外的所有先前过程的衬底BP。例如，可在衬底提供步骤S100中提供其上已经执行了形成薄膜晶体管的过程的衬底BP。这将在以下进行更详细地描述。

有机图案形成步骤S200可包括将由有机材料形成的或包括有机材料的油墨滴落在衬底BP上，以在衬底BP上形成有机薄膜图案。在一些示例性实施方式中，多个有机图案可形成为与多个像素对应，并且它们中的每一个均可包括以下将描述的发光图案。这将在以下进行更详细地描述。

检查步骤S300可包括检查有机图案和滴落的油墨。在本示例性实施方式中，检查步骤S300可以与有机图案形成步骤S200同时执行。在检查步骤S300中生成的数据可以用于有机图案形成步骤S200，并且反之，在有机图案形成步骤S200中生成的数据可以用于检查步骤S300。可以通过检查步骤S300实时监控有机图案形成步骤S200，并且这可以改善有机图案的质量。

沉积层形成步骤S400可包括使用沉积过程形成至少一个层。沉积层形成步骤S400可以在其上形成有有机图案的衬底BP上执行。沉积层可形成为包封和保护有机图案。

显示面板形成步骤S500可包括在沉积层形成步骤S400与封装步骤之间执行的所有步骤。显示面板形成步骤S500还可包括在沉积层上形成颜色过滤器或触摸单元。此外，显示面板形成步骤S500还可包括最终检查步骤，诸如电测试步骤或外观检查步骤。通过显示面板形成步骤S500形成的显示面板可传送至其他系统，并且然后可联接至电路板等。

参考图2，显示面板制造系统1000可包括有机膜形成模块100、偏移检查模块200、图案检查模块300和液滴检查模块400。如上所述，图1的有机图案形成步骤S200和检查步骤S300可通过显示面板制造系统1000执行。

有机膜形成模块100、偏移检查模块200、图案检查模块300和液滴检查模块400可由单个控制单元(未示出)控制。在一些示例性实施方式中，显示面板制造系统1000还可包括轨道10、衬底供应器20、测试衬底供应器30和机架部件40。此处，轨道10可用作为有机膜形成模块100、偏移检查模块200、图案检查模块300和液滴检查模块400的路径，以及衬底供应器20可配置成沿着轨道10提供衬底BP。测试衬底供应器30可配置成沿着轨道10提供测试衬底TF，以及机架部件40可配置成连接有机膜形成模块100、偏移检查模块200和液滴检查模块400。

轨道10可包括在第一方向D1上延伸并且布置成在与第一方向D1交叉的第二方向D2上彼此间隔开的第一轨道11、第二轨道12和第三轨道13。衬底供应器20和测试衬底供应器30可设置成能够在轨道10的延伸方向上移动。在根据一些示例性实施方式的显示面板制造系统1000中，衬底BP的移动方向R1和测试衬底TF的移动方向R3均可限定为第一方向D1。在本说明书中，一个方向将用于表示在同一直线上的两个相反的方向。

衬底供应器20可联接至第一轨道11和第二轨道12，并且可配置成在第一方向D1上移动。衬底供应器20可用于向有机膜形成模块100和偏移检查模块200提供衬底BP。为了便于描述，待在衬底供应器20上提供的衬底BP以虚线示出。

测试衬底供应器30可联接至第一轨道11和第二轨道12，并且可配置成在第一方向D1上移动。测试衬底供应器30可用于向图案检查模块300和液滴检查模块400提供测试衬底TF。为了便于描述，待在测试衬底供应器30上提供的测试衬底TF以虚线示出。

机架部件40可在第二方向D2上延伸，并且可用于连接有机膜形成模块100、偏移检查模块200和液滴检查模块400。因此，有机膜形成模块100、偏移检查模块200和液滴检查模块400的运动R2可同时在第一方向D1上执行。

有机膜形成模块100可配置成将由有机材料形成的或包括有机材料的油墨滴落在衬底BP或测试衬底TF上以形成有机图案。多个有机图案可彼此重叠以形成有机膜。有机膜形成模块100可包括喷墨设备。例如，虽然未示出，但是有机膜形成模块100可包括多个头部。多个头部中的每一个均可包括多个喷嘴，油墨通过所述喷嘴喷射。可在有机膜形成模块100内独立地控制头部的位置。这将在以下进行更详细地描述。

偏移检查模块200可用于检查形成在衬底BP上的有机图案。例如，偏移检查模块200可检查有机图案在衬底BP上的位置，以生成偏移检查结果数据。偏移检查结果数据可以被有机膜形成模块100和衬底供应器20共享，并且可影响有机膜形成模块100的头部与衬底BP之间的对齐。有机膜形成模块100的头部可以基于偏移检查结果数据在第二方向D2上移动和对齐，且衬底BP可以在第一方向D1上移动和对齐。因此，可使用有机膜形成模块100将有机图案稳定地形成在衬底BP的期望的位置处。

图案检查模块300可用于检查形成在测试衬底TF上的有机图案。图案检查模块300可检查形成在测试衬底TF上的有机图案的对齐精度、尺寸和存在/不存在，以生成图案检查结果数据。图案检查结果数据可以被有机膜形成模块100共享，并且可影响有机膜形成模块100的多个头部之间的位置对齐。此外，图案检查结果数据可以被液滴检查模块400共享，并且可用于控制待通过有机膜形成模块100的头部滴落的油墨的量。

图案检查模块300可联接至第一轨道11和第二轨道12，并且可在第一方向D1上移动或固定。测试衬底供应器30可配置成在有机膜形成模块100与图案检查模块300之间往复移动，并且配置成向有机膜形成模块100或图案检查模块300提供测试衬底TF。

液滴检查模块400可联接至第三轨道13，并且可配置成能够沿着第三轨道13且在第一方向D1上移动。液滴检查模块400可通过机架部件40机械地联接至有机膜形成模块100和偏移检查模块200。因此，即使当液滴检查模块400和有机膜形成模块100沿着不同的轨道移动时，也可以将液滴检查模块400的运动R2控制为平行于有机膜形成模块100的运动R2。

液滴检查模块400可配置成检查通过自有机膜形成模块100的多个头部中选择出的头部滴落的油墨。有机膜形成模块100的所选择的头部可通过机架部件40移动至或提供至液滴检查模块400。

液滴检查模块400可配置成检查有机膜形成模块100的所选择的头部，以生成液滴检查结果数据。如果使用液滴检查模块400对头部的检查完成，则可执行基于液滴检查结果数据来调节待通过所选择的头部滴落的油墨的量的步骤，并且然后，所选择的头部可移动至有机膜形成模块100或者可用其他头部替换。这将在以下进行更详细地描述。

在根据一些示例性实施方式的显示面板制造系统1000中，偏移检查模块200、图案检查模块300和液滴检查模块400可系统地连接至有机膜形成模块100。例如，偏移检查结果数据、图案检查结果数据和液滴检查结果数据可被有机膜形成模块100实时地共享，并且可用于对齐和调节。

根据一些示例性实施方式，显示面板制造系统1000可配置成同时执行有机图案形成步骤S200和检查步骤S300。基于从检查步骤S300实时传输的检查结果数据，可执行有机图案形成步骤S200以调节有机图案的形成。因此，可实现对有机图案形成步骤S200的实时监控，并且这可连续地维持工艺流程并提高制造过程中的工艺效率(例如，减少处理时间和成本)。

图3A、图3B、图3C、图3D和图3E是示出根据一些示例性实施方式的显示面板制造系统的平面图。详细地，图3A、图3B、图3C、图3D和图3E中的每一个示意性示出图案检查步骤S310或偏移检查步骤S320中显示面板制造系统1000的配置。

如图3A、图3B、图3C、图3D和图3E中所示，有机膜形成模块100可设置在机架部件40的侧部处。有机膜形成模块100可包括多个头部110。为了便于说明，头部110用黑色涂绘。头部110可布置在第二方向D2上，但可以不同地改变所述布置。在本示例性实施方式中，头部110示出为在第一方向D1上交替地排列成两列。

偏移检查模块200可设置在机架部件40的相对侧部处。偏移检查模块200可包括至少一个相机模块CM。在一些示例性实施方式中，多个相机模块CM可设置成在第二方向D2上彼此间隔开。

相机模块CM的数量可以是一个或多个，并且在某些示例性实施方式中，相机模块CM中的至少一个可配置成能够在第二方向D2上线性地移动。因此，偏移检查模块200可用于容易地检查衬底BP在第二方向D2上的所有区域。

图案检查模块300可包括成像模块310和支承模块320。成像模块310可由支承模块320固定，以及支承模块320可联接至轨道10并且可用于在第一方向D1上移动成像模块310或固定成像模块310。

成像模块310可包括相机模块CM。相机模块CM的数量可以是一个或多个，并且在某些示例性实施方式中，相机模块CM中的至少一个可配置成能够在第二方向D2上线性地移动。因此，图案检查模块300可用于容易地检查测试衬底TF在第二方向D2上的所有区域。

在下文中，将参考图3A、图3B、图3C、图3D和图3E描述一些示例性实施方式。

图3A和图3B可以与图案检查步骤S310(例如，参见图1)对应。详细地，参考图3A，当测试衬底供应器30朝有机膜形成模块100移动时，可开始执行图案检查步骤S310。测试衬底供应器30可向有机膜形成模块100提供测试衬底TF。有机膜形成模块100可用于在测试衬底TF上形成油墨图案(未示出)。

接下来，如图3B中所示，测试衬底供应器30可在第一方向D1上移动以向图案检查模块300提供测试衬底TF。图案检查模块300可使用成像模块310检查形成在测试衬底TF上的油墨图案，以生成图案检查结果数据。可以将图案检查结果数据准备成包含关于油墨图案的对齐精度、尺寸和存在/不存在的信息。

图案检查结果数据可被有机膜形成模块100共享，并且可用于调节头部110的位置。使用图案检查结果数据调节头部110的位置可通过多个头部110中的每一个在第二方向D2上的平移运动和通过多个头部110中的每一个的旋转运动来执行。

图3C、图3D和图3E可与偏移检查步骤S320(例如，参见图1)和有机图案形成步骤S200对应。详细地，参考图3C，可执行偏移检查步骤S320以使衬底供应器20朝有机膜形成模块100移动。衬底供应器20可向有机膜形成模块100提供衬底BP。有机膜形成模块100可用于在衬底BP上形成油墨图案(未示出)。

此后，如图3C中所示，衬底供应器20可以在第一方向D1上或在以箭头描述的方向上移动，以向偏移检查模块200提供衬底BP。偏移检查模块200可使用相机模块CM检查形成在衬底BP上的油墨图案，以生成偏移检查结果数据。可以将偏移检查结果数据准备成包含关于油墨图案与衬底BP之间的对齐精度的信息。此外，可将偏移检查结果数据准备成还包含关于油墨图案的尺寸和存在/不存在的信息。

偏移检查结果数据可被有机膜形成模块100共享，并且可用于调节头部110的位置。使用偏移检查结果数据调节头部110的位置可通过头部110在第二方向D2上的平移运动来执行。

在一些示例性实施方式中，偏移检查结果数据也可被衬底供应器20共享，并且可用于调节衬底BP的位置。使用偏移检查结果数据调节衬底BP的位置可通过衬底供应器20在第二方向D2上的平移运动而执行。

如图3D和图3E中所示，衬底供应器20可以在第一方向D1上或在以箭头描绘的方向上往复地移动。可以以实时的方式来执行使用图案检查结果数据和偏移检查结果数据调节头部110的位置。由于衬底供应器20的往复运动，衬底BP可以重复地提供至有机膜形成模块100。通过有机膜形成模块100形成在衬底BP上的油墨图案可堆叠成具有多层结构，或者可形成为覆盖衬底BP的整个表面，从而形成有机图案OP。有机图案OP可与以下将描述的发光图案对应。

如图3E中所示，当完成了有机图案OP的形成时，显示面板DP可从显示面板制造系统1000转移到其他系统。在这样的其他系统中，可以在显示面板DP上执行沉积层形成步骤S400(例如，参见图1)。

如图3E中所示，当显示面板DP移动到外部时，测试衬底供应器30可以在箭头方向上移动，以向有机膜形成模块100提供测试衬底TF。换言之，可再次执行参考图3A描述的图案检查步骤S310。在根据一些示例性实施方式的显示面板制造系统1000中，可通过上述工艺流程基本同时执行有机图案形成步骤S200和检查步骤S300。因此，可减少制造显示面板DP的过程中的处理时间和成本。此外，由于形成有机图案OP的过程是实施监控的，因此可以改善显示面板DP的可靠性。

图4是示出根据一些示例的显示面板制造系统的一部分的立体图。图5是示出图4中所示的衬底的一部分的剖视图。在下文中，将参考图4和图5描述一些示例性实施方式。为了使描述简洁，先前参考图1、图2、图3A、图3B、图3C、图3D和图3E描述的元件可通过相似或相同的附图标记表示，而不重复其重叠的描述。

图4示出系统的连接至有机膜形成模块100的部分。如图4中所示，机架部件40可机械地或物理地连接至设置在衬底供应器20上方的有机膜形成模块100。机架部件40可包括联接单元41和移动单元42。

联接单元41可以是在第二方向D2上延伸的线形结构。联接单元41可设置成与图2中示出的第一轨道11、第二轨道12和第三轨道13交叉。联接单元41可配置成机械地或物理地将有机膜形成模块100、偏移检查模块200(例如，参见图2)和液滴检查模块400(例如，参见图2)彼此联接。此外，联接单元41可配置成通过信号线(未示出)将有机膜形成模块100、偏移检查模块200、图案检查模块300和液滴检查模块400彼此电连接。

移动单元42可设置成将联接单元41连接至有机膜形成模块100。移动单元42可包括第一部分C1和第二部分C2，其中第一部分C1设置成围绕联接单元41，第二部分C2连接至第一部分C1和有机膜形成模块100。第一部分C1可联接至联接单元41，以能够沿着联接单元41移动。移动单元42可配置成允许有机膜形成模块100容易地沿着联接单元41且在第二方向D2上移动。

为了便于说明，有机膜形成模块100被示出为联接至机架部件40的下部，但本发明构思不限于此。例如，有机膜形成模块100可设置在偏移检查模块200的侧部和联接单元41的侧部处，且联接单元41插置在有机膜形成模块100与偏移检查模块200之间。

图4中示意性示出设置在衬底供应器20上并且与有机膜形成模块100相邻的衬底BP。衬底BP可具有包括有源区域AA和周边区域NAA的前表面FS。前表面FS可以是其上设置有通过有机膜形成模块100形成的油墨图案(未示出)的表面。

在一些示例性实施方式中，可设置多个有源区域AA。因此，衬底BP可与母板对应。有源区域AA中的每一个可与显示面板DP的显示区域对应。然而，本发明构思不限于此，并且例如，衬底BP可配置成具有一个有源区域AA。

图5示出显示面板DP的剖视图。显示面板DP可包括图4中示出的衬底BP。显示面板DP可与图3E中示出的显示面板DP对应。

如图5中所示，显示面板DP可包括基衬底SB、像素PX、多个绝缘层IL1、IL2、IL3、IL4和IL5以及检查图案ISP。如图5中示例性地示出，绝缘层IL1、IL2、IL3、IL4和IL5顺序地堆叠在基衬底SB上，但本发明构思不限于此。

基衬底SB可具有绝缘性质。例如，基衬底SB可以是或包括玻璃衬底、塑料衬底、硅衬底、绝缘膜或其任何组合。

像素PX可设置在基衬底SB上。像素PX可设置在有源区域AA中。像素PX可包括薄膜晶体管TR和显示元件DE。薄膜晶体管TR可包括半导体图案AL、控制电极CE、输入电极IE和输出电极OE。

控制电极CE可设置在第一绝缘层IL1上，并且可通过插置在控制电极CE与半导体图案AL之间的第一绝缘层IL1与半导体图案AL间隔开。当在平面图中观察时，控制电极CE可设置成与半导体图案AL重叠。输入电极IE和输出电极OE可设置在第三绝缘层IL3上，并且它们中的每一个可穿透第一绝缘层IL1、第二绝缘层IL2和第三绝缘层IL3，从而联接至半导体图案AL。

显示元件DE可以是有机发光设备。例如，显示元件DE可包括第一电极E1、有机图案EP和第二电极E2。在显示元件DE中，根据第一电极E1与第二电极E2之间的电位差，有机图案EP可以被激活而发光。

第一电极E1可设置在第四绝缘层IL4上并且可穿透第四绝缘层IL4，从而联接至薄膜晶体管TR。第二电极E2可设置在第五绝缘层IL5上。第二电极E2可设置在开口OPP中，并且可通过插置在第二电极E2与第一电极E1之间的有机图案EP与第一电极E1间隔开，其中开口OPP形成为穿透第五绝缘层IL5。

有机图案EP可设置在第一电极E1与第二电极E2之间。有机图案EP可设置在开口OPP中。有机图案EP可由发光材料形成或者包括发光材料。根据第一电极E1与第二电极E2之间的电位差，可在有机图案EP中产生生成光的激子。有机图案EP可包括发光图案或光发射图案。

虽然未示出，但是显示元件DE还可包括设置在有机图案EP与第一电极E1之间的和/或设置在有机图案EP与第二电极E2之间的有机层。有机层可包括空穴控制层和/或电子控制层。有机层可配置成提高显示元件DE的发光效率以及增加显示元件DE的寿命。

在一些示例性实施方式中，检查图案ISP可设置在周边区域NAA上。检查图案ISP可设置在第五绝缘层IL5与第二电极E2之间。检查图案ISP可由与有机图案EP相同的材料形成，或者包括与有机图案EP相同的材料。例如，在如图5中所示的设置有多个检查图案ISP的情况中，它们中的一个可由跟与其相邻的有机图案EP相同的材料形成，或者包括跟与其相邻的有机图案EP相同的材料，以及它们中的另一个可以由与有源区域AA中的其他有机图案EP相同的材料形成，或者包括与有源区域AA中的其他有机图案EP相同的材料。

通过有机膜形成模块100形成的油墨图案可包括有机图案EP和检查图案ISP。有机图案EP可形成在有源区域AA上，以及检查图案ISP可形成在周边区域NAA上。

有机图案EP可通过堆叠多个油墨图案而形成。换言之，衬底BP可具有其中尚未形成显示面板DP的有机图案EP(即，具有其中形成有开口OPP的第五绝缘层IL5)的结构。因此，图4中示出的衬底BP可配置成包括基衬底SB、薄膜晶体管TR、第一电极E1以及第一绝缘层IL1至第五绝缘层IL5。

为了形成有机图案EP，必须将油墨稳定地滴落在开口OPP中。在偏移检查步骤S320中，检查图案ISP与开口OPP之间的对齐精度可用作为油墨图案与衬底BP之间的对齐精度。

待通过有机膜形成模块100滴落的油墨的量可能影响有机图案EP的厚度。如果待通过有机膜形成模块100滴落的油墨的量减少，则开口OPP可能不完全地填充有有机图案EP，以及如果待通过有机膜形成模块100滴落的油墨的量增加，则有机图案EP可能形成在超过开口OPP的邻近区域上；换言之，可能存在过度填充问题。

在一些示例性实施方式中，图案检查步骤S310、偏移检查步骤S320和液滴检查步骤S330可以与有机图案形成步骤S200同时执行，并且在这种情况中，有机图案EP可稳定地形成在预定位置处并形成为期望的厚度。因此，可改善显示面板DP的可靠性并降低制造显示面板DP的过程中的工艺成本。

图6A、图6B、图6C和图6D是各自示出根据一些示例性实施方式的显示面板制造系统的一部分的平面图。图7A和图7B是各自示出根据一些示例性实施方式的显示面板制造系统的一部分的平面图。图6A示出有机膜形成模块100的平面图，以及图6B和图6C示出有机膜形成模块100_C1和100_C2，其中有机膜形成模块100_C1和100_C2的结构是从图6A的结构修改所得。图6D示出图6C中所示的有机膜形成模块100_C2的头部110的示例。在下文中，将参考图6A、图6B、图6C、图6D、图7A和图7B描述一些示例性实施方式。为了使描述简洁，先前参考图1、图2、图3、图4和图5描述的元件可用相似或相同的附图标记表示，而不重复其相似或相同的描述。

如图6A中所示，有机膜形成模块100可包括周围部分120和多个头部110。周围部分120可配置成允许头部110彼此联接，从而形成单个主体。控制单元(未示出)可设置在周围部分120中。控制单元可配置成控制头部110的运动。周围部分120可物理连接至和电连接至头部110。

如图6A中所示，有机膜形成模块100可包括布置在第二方向D2上且彼此平行的头部110。为了便于描述，在图6A和图6B中示出在第二方向D2上排列的第一圆柱头部110a和在第二方向D2排列的第二圆柱头部110b。第一圆柱头部110a和第二圆柱头部110b在第一方向D1上不彼此重叠。在图6A中，第二圆柱头部110b在第二方向D2上分别通过第一间隙AP与相应的第一圆柱头部110a隔开。并且，在图6B中，第二圆柱头部110b在第二方向D2上分别通过比第一间隙AP大的第二间隙AP1与相应的第一圆柱头部110a隔开。

对于头部110中的每一个，头部110的运动可被独立地控制。有机膜形成模块100可配置成控制头部110的运动，并且这可调节油墨图案的对齐精度。

如图6B中所示，可通过平移运动R4实现对头部110的位置的调节。有机膜形成模块100_C1可包括在第二方向D2上通过第二间隙AP1彼此间隔开的头部110。

在某些示例性实施方式中，如图6C中所示，可通过旋转运动实现对头部110的位置的调节。有机膜形成模块100_C2可包括布置成在相对于第一方向D1和第二方向D2倾斜的方向上延伸的头部110。

参考图6D，头部110可包括周围部分112和多个喷嘴111。喷嘴111可形成为插入周围部分112中。周围部分112可设置成将彼此间隔开的喷嘴111组合至头部110。因此，可通过控制头部110的运动同时控制喷嘴111的运动。

头部110可相对于第一虚轴VX1和第二虚轴VX2倾斜，其中第一虚轴VX1平行于第一方向D1延伸，第二虚轴VX2平行于第二方向D2延伸；例如，头部110可相对于第二虚轴VX2倾斜角度θ。头部110可绕第一虚轴VX1和第二虚轴VX2相交的点旋转。因此，喷嘴111可配置成能够在第一方向D1和第二方向D2两种方向上移动。

由于根据一些示例性实施方式的有机膜形成模块100配置成控制多个头部110中的每一个的运动，因此，构成头部110的喷嘴111可设计成布置在多种位置处。因此，有机膜形成模块100可用于通过头部110的平移和旋转运动实现多种油墨图案布置。

为了便于描述，图7A和图7B示出头部110_S1和110_S2，头部110_S1和110_S2中的每一个包括布置在特定方向上的喷嘴111。参考图7A，头部110_S1可对齐成在第二方向D2上延伸。换言之，喷嘴111可布置成在第二方向D2上彼此间隔开。头部110_S1可与图6A和图6B中示出的头部110对应。此处，当在第二方向D2上测量时，两个喷嘴111可设置成以预定间距SP1彼此间隔开。

参考图7B，头部110_S2可对齐成在对于第一方向D1和第二方向D2以某一角度倾斜的方向上延伸。换言之，喷嘴111可布置成在相对于第一方向D1和第二方向D2倾斜的方向上彼此间隔开。此处，两个喷嘴111之间在第二方向D2上测量的间距SP2可小于图7A的间距SP1。根据一些示例性实施方式，多个喷嘴111之间在第二方向D2上的间距SP2可通过头部110_S2的旋转运动调节，并且因此，可容易地控制油墨图案之间的间距。

图8是示意性示出根据一些示例性实施方式的显示面板制造系统的一部分的剖视图。图9是示出测试衬底的一部分的平面图。为便于说明，在图8中未示出一些元件。图8中示出图案检查步骤S310(例如，参见图1)，以及图9中示出在图案检查步骤S310中提供的测试衬底TF的一部分。在下文中，将参考图8和图9描述一些示例性实施方式。为了使描述简洁，先前参考图1至图7B描述的元件可通过相似或相同的附图标记表示，而不重复其相似的描述。

如上所述，在图案检查步骤S310中，测试衬底供应器30(例如，参见图2)可配置成向图案检查模块300(例如，参见图2)提供包括油墨图案的测试衬底TF，所述油墨图案使用有机膜形成模块100(例如，参见图2)形成。图8示出使用图案检查模块300检查形成在测试衬底TF上的油墨图案的过程。

如图8中所示，测试衬底供应器30可包括多个组件。例如，测试衬底供应器30可包括台阶31、光源32和辊33。台阶31可配置成允许测试衬底TF放置在其上。放置在台阶31上的部分可提供至多种模块。

虽然未示出，但是台阶31还可包括配置成保持测试衬底TF的真空设备。此处，测试衬底TF可以与台阶31的表面紧密接触且它们之间没有任何间隙，从而提供平坦的顶表面，并且可防止可能由测试衬底供应器30的运动引起的测试衬底TF相对于台阶31的位置改变。

光源32可设置在测试衬底TF下方，并且可用于向测试衬底TF提供光LL。光LL可照射测试衬底TF的后表面，从而提高形成在测试衬底TF上的油墨图案的可视性。

辊33可配置成使测试衬底TF卷绕或退卷绕。在测试衬底TF以柔性膜的形式提供的情况中，测试衬底TF可从辊33退卷绕并且可被提供至台阶31，或者可在图案检查步骤S310之后缠绕到辊33周围。因此，可在显示面板制造系统1000中连续地提供测试衬底TF。

图案检查模块300可配置成检查形成在测试衬底TF上的多个油墨图案(在下文中，称为第一油墨图案DRP)。例如，图案检查模块300可包括成像模块310，其用于监控第一油墨图案DRP的对齐精度和形状。

参考图9，第一油墨图案DRP可布置成形成多个列，所述多个列在第一方向D1上延伸且在第二方向D2上彼此间隔开。第一方向D1可平行于衬底BP的运动方向(例如，参见图2)，并且可对应于测试衬底供应器30的移动路径。

此处，测试衬底TF可包括其中第一油墨图案DRP在第一方向D1上没有彼此对齐的第一区域AR1。例如，第一区域AR1中的第一油墨图案DRP可在第一方向D1上没有彼此对齐。

在某些示例性实施方式中，测试衬底TF可包括其中未形成有油墨图案的第二区域AR2。例如，第二区域AR2可以是没有任何油墨图案的区域。因此，测试衬底TF可包括诸如第二区域AR2的空白空间。

在某些示例性实施方式中，测试衬底TF可包括其中形成有相对大的第一油墨图案DRP的第三区域AR3。例如，第三区域AR3中的第一油墨图案DRP可形成为相比于与之相邻的其他第一油墨图案DRP具有相对大的面积。

根据一些示例性实施方式的成像模块310可通过对第一油墨图案DRP的检查来检测可形成在第一区域AR1、第二区域AR2或第三区域AR3中的第一油墨图案DRP。第一区域AR1、第二区域AR2和第三区域AR3的存在/不存在和位置可作为图案检查结果数据被输出，并且可用于调节有机膜形成模块100的头部110的位置。根据一些示例性实施方式，显示面板制造系统1000可配置成在有机图案形成步骤S200期间实时利用测试衬底TF执行图案检查。此外，通过检查形成在测试衬底TF上的第一油墨图案DRP，可确定头部110是否存在故障并实时纠正这种故障。因此，可减少制造显示面板DP的过程中的处理时间和成本。

图10A和图10B是示意性示出根据一些示例性实施方式的显示面板制造系统的一部分的平面图。图10A和图10B示出多个头部中的三个和测试衬底TF。在下文中，将参考图10A和图10B描述根据一些示例性实施方式的显示面板制造系统1000。

图10A示例性地示出通过三个头部110A、110B和110C形成在测试衬底TF上的第一油墨图案DRP中的一些。例如，第一图案PL1可通过包括在第一头部110A中且定位成与第二头部110B最相邻的喷嘴形成，第二图案PL2可通过包括在第二头部110B中且定位成与第一头部110A最相邻的喷嘴形成，第三图案PL3可通过包括在第二头部110B中且定位成与第三头部110C最相邻的喷嘴形成，以及第四图案PL4可通过包括在第三头部110C中且定位成与第二头部110B最相邻的喷嘴形成。

第一图案PL1和第二图案PL2可形成为以第一间隙DS_1彼此间隔开。第三图案PL3和第四图案PL4可形成为以第二间隙DS_2彼此间隔开。换言之，在其中第一头部110A和第二头部110B定位成彼此相邻的区域处，通过第一头部110A形成的第一油墨图案DRP与通过第二头部110B形成的第一油墨图案DRP相比可能是不对齐的。类似地，在其中第二头部110B和第三头部110C定位成彼此相邻的区域处，通过第二头部110B形成的第一油墨图案DRP与通过第三头部110C形成的第一油墨图案DRP相比可能是不对齐的。

在头部彼此对齐的情况中，通过两个相邻的喷嘴形成的图案将沿着相同的线或单个线形成。头部110A、110B和110C中的每一个中的喷嘴可以以相同的间距彼此间隔开，并且因此，如果喷嘴沿着相同的线或单个线布置，则通过头部110A、110B和110C形成的全部第一油墨图案DRP可顺序地对齐。

在三个头部110A、110B和110C在箭头方向上移动以调节三个头部110A、110B和110C的位置的情况中，如图10B中所示，两个调节图案(例如，第一调节图案PL-R1和第二调节图案PL-R2)可形成在测试衬底TF上。

当基于第一图案PL1和第二图案PL2考虑第一头部110A与第二头部110B之间的对齐精度时，第一头部110A与第二头部110B之间的间距可能由因第一图案PL1与第二图案PL2相比朝第二头部110B偏移而形成的小的未对齐引起。基于结果数据，第一头部110A可在箭头方向上旋转，从而形成经调节的第一头部110A_R。因此，可减小第一图案PL1与第二图案PL2之间的第一间隙DS_1，以及第一图案PL1和第二图案PL2二者可以与第一调节图案PL-R1一致。

当基于第三图案PL3和第四图案PL4考虑第二头部110B与第三头部110C之间的对齐精度时，第二头部110B与第三头部110C之间的间距可能由于大的不对齐引起。基于结果数据，第三头部110C可在箭头方向上线性地移动，从而形成经调节的第三头部110C_R。因此，可减小第三图案PL3与第四图案PL4之间的第二间隙DS_2，并且第三图案PL3和第四图案PL4二者可以与第二调节图案PL-R2一致。

根据一些示例性实施方式，可基于从测试衬底TF上的第一油墨图案DRP获取的图案检查结果数据调节头部110A、110B和110C以形成对齐的头部110A_R、110B_R和110C_R。对头部的位置的调节可通过旋转运动和平移运动实现，并且可针对多个头部中的每一个独立地进行控制。在本示例性实施方式中，为了便于说明，第二头部110B的位置被示出为固定的，但本发明构思不限于此。例如，可调节三个头部的位置中的全部。

图11A和图11B是示出根据一些示例性实施方式的制造显示面板的方法中的一些步骤的示图。图11A和图11B示出偏移检查步骤S320(例如，参见图1)中的衬底BP和偏移检查模块200。在下文中，将参考图11A和图11B描述一些示例性实施方式。为了使描述简洁，先前参考图1至图10B描述的元件可以用相似或相同的附图标记表示，而不重复其相似的描述。

衬底BP的有源区域AA可包括多个像素区域PX1、PX2和PX3。像素区域PX1、PX2和PX3中的每一个均可与图5的开口OPP对应。如所示，多个油墨图案(在下文中，称为第二油墨图案DP_P)可形成在衬底BP的周边区域NAA上。多个第二油墨图案DP_P中的每一个可对应于图5的检查图案ISP。

在本示例性实施方式，第二油墨图案DP_P可对应于用于填充第一像素区域PX1的油墨图案。因此，在像素区域PX1、PX2和PX3当中，用阴影图案示出第一像素区域PX1。

如图11A中所示，第二油墨图案DP_P可布置成在第二方向D2上以预定间距DS_P彼此间隔开。在图11A中，示出了第二油墨图案DP_P，第二油墨图案DP_P可形成为以预定间隙DS_A与穿过第一像素区域PX1的参考线RX间隔开。

此外，可存在其中未设置有第二油墨图案DP_P的区域。在这种情况中，多个第二油墨图案DP_P之间的间距DS_P可大于多个第一像素区域PX1之间的间距。换言之，如图11A中所示，第二油墨图案DP_P与衬底BP之间可能出现未对齐。

偏移检查模块200可于在第二方向D2上移动多个相机模块CM时检查第二油墨图案DP_P。此处，可检测第二油墨图案DP_P与衬底BP之间的未对齐，以及可生成包含关于未对齐的信息的偏移检查结果数据。

图11B示出使用有机膜形成模块100(例如，参见图2)形成的考虑到偏移检查结果数据而对齐的第二油墨图案DP_P。如图11B中所示，第二油墨图案DP_P可沿参考线RX对齐和布置。此外，第二油墨图案DP_P可形成为使得它们之间的间距DS基本等于第一像素区域PX1之间的间距。

偏移检查模块200可配置成检查第二油墨图案DP_P以及生成偏移检查结果数据，偏移检查结果数据中包含关于第二油墨图案DP_P与衬底BP之间的对齐的信息。如果反映了偏移检查结果数据，则有机膜形成模块100可基于偏移检查结果数据停止对齐调节，并且可在有源区域AA上形成第二油墨图案DP_P以完成在像素区域PX1、PX2和PX3上形成有机图案的步骤。

虽然未示出，但是偏移检查模块200可配置成检查第二油墨图案DP_P的形状或尺寸以及生成偏移检查结果数据，偏移检查结果数据中包含关于此的信息。这样的偏移检查结果数据可以被反映至有机膜形成模块100，并且可用于选择性地寻找故障的头部并将其传输至液滴检查模块400(例如，参见图2)。换言之，可在偏移检查步骤S320期间执行液滴检查步骤S330(例如，参见图1)。

在根据一些示例性实施方式的显示面板制造系统中，有机图案形成步骤和检查步骤可彼此联合地执行，并且这可实时反映油墨图案的检查结果以及形成具有改善质量的有机图案。此外，由于有机图案形成步骤和检查步骤同时执行，因此可减少制造显示面板的过程中的处理时间和成本。

图12是示出根据一些示例性实施方式的制造显示面板的一些步骤的示图。图13是示出图12中所示的结构的一部分的示图。图12示意性地示出液滴检查步骤S330(例如，参见图1)，以及图13示意性地示出图12中所示的液滴检查模块400的截面。在下文中，将参考图12和图13描述一些示例性实施方式。

如图12中所示，有机膜形成模块100中的头部110中的一个(例如，头部110_S)可以被选择并且可以移动至液滴检查模块400。此处，所选择的头部110_S可经由机架部件40移动至液滴检查模块400，但本发明构思不限于所述示例。例如，所选择的头部110_S可经由其他路径移动至液滴检查模块400。

如上所述，所选择的头部110_S可基于在图案检查步骤S310和偏移检查步骤S320中的至少一个中生成的数据来选择。液滴检查模块400可配置成检查将从所选择的头部110_S滴落的油墨。此处，液滴检查模块400可配置成检查将从所选择的头部110_S的多个喷嘴中的每一个滴落的油墨。为了便于说明，在图13中示例性地示出所选择的头部110_S的多个喷嘴中的一个(例如，喷嘴111_S)。

如图13中所示，液滴检查模块400可配置成使用从喷嘴111_S滴落的油墨DR检查喷嘴111_S的状况。液滴检查模块400可包括光发射单元410、光接收单元420和油墨收集单元430。

光发射单元410可配置成朝油墨DR发射光L1。入射至油墨DR中的光L1可以被散射或透射以形成朝光接收单元420传播的光L2。光L2可包含关于油墨DR的分布的信息。

在本示例性实施方式中，光发射单元410可包括激光发射设备。光接收单元420可包括光电探测器。在本示例性实施方式中，由于使用高方向性的激光束测量油墨DR的分布，因此，使用液滴检查模块400可生成高精度的液滴分布数据。

油墨收集单元430可配置成容纳从喷嘴111_S滴落的油墨DR。油墨DR无论是否被光L1照射均可容纳在油墨收集单元430中。

返回参考图13，液滴检查模块400可配置成检查所选择的头部110_S的喷嘴111_S中的全部，并由此生成液滴检查结果数据。液滴检查结果数据可以被生成为包含关于所选择的头部110_S的喷嘴111_S的油墨分布和油墨是否从喷嘴111_S喷射的信息。

液滴检查模块400可配置成基于液滴检查结果数据对所选择的头部110_S执行调节步骤S10或替换步骤S20。在对所选择的头部110_S执行调节步骤S10的情况中，可控制将从喷嘴111_S滴落的油墨的量，以实现期望的油墨分布，并且然后，经调节的头部可返回至有机膜形成模块100。在对所选择的头部110_S执行替换步骤S20的情况中，可将新的头部从头部存储器移动至有机膜形成模块100，并且然后，可用新的头部替换所选择的头部110_S。

根据一些示例性实施方式，液滴检查模块400可配置成选择性地对所选择的头部110_S执行液滴检查过程，并且因此，可选择性地对故障的头部执行液滴检查过程。由于在图案检查步骤S310或偏移检查步骤S320期间对所选择的头部110_S实时执行液滴检查过程，因此不必为选择头部执行另外的扫描过程。此外，通过基于由液滴检查模块400生成的液滴检查结果数据执行调节步骤S10或替换步骤S20，可将故障的头部修正为正常的头部并且即使当有机膜形成模块100正在操作时也可容易地执行液滴检查过程。因此，可减少执行液滴检查过程所花费的处理时间，并且因此减少总处理时间。

图14A和图14B是各自示出根据一些示例性实施方式的显示面板制造系统的一部分的剖视图。图14A中示意性示出油墨收集单元430和喷嘴111_S，以及图14B中示意性示出液滴检查模块400和喷嘴111_S。在下文中，将参考图14A和图14B描述一些示例性实施方式。

如图14A中所示，油墨收集单元430可包括油墨容器431、电子平衡设备432和抽吸设备433。

油墨容器431可提供用于容纳将从喷嘴111_S滴落的油墨DR的空间。油墨容器431中的空间可用油墨DR填充。如果需要，填充油墨容器431的油墨DR可通过连接至油墨容器431的软管HS向外部排空。在某些示例性实施方式中，阀VV可设置在软管HS上以控制油墨DR流过软管HS的流速。

电子平衡设备432可设置在油墨容器431下方。电子平衡设备432可配置成测量填充油墨容器431的油墨DR的重量。电子平衡设备432可用于连续地监控将滴落在油墨容器431中的油墨DR的重量。由电子平衡设备432测量的油墨DR的重量，随着通过光接收单元420接收的关于油墨DR的分布的信息一起，可影响生成液滴检查结果数据的过程。

抽吸设备433可设置在喷嘴111_S与油墨容器431之间。抽吸设备433可设置在从喷嘴111_S滴落的油墨DR的滴落路径附近，并且可用于收集滴落的油墨DR的一部分DR_S。因此，其可稳定地收集滴落的油墨DR的脱离预定路径的部分，并且因此防止油墨DR泄漏至油墨容器431的外部。

参考图14B，液滴检查模块400还可包括多个光学过滤器FT_I和FT_O。光学过滤器FT_I和FT_O设置成彼此面对，且喷嘴111_S插置在它们之间。

第一过滤器FT_I可设置在光发射单元410与滴落的油墨DR之间。第一过滤器FT_I可用于对从光发射单元410发射的光L1执行过滤过程。例如，第一过滤器FT_I可配置成向油墨DR提供被控制成具有改善的方向性和均匀的波长的光L1_F。

第二过滤器FT_O可设置在滴落的油墨DR与光接收单元420之间。第二过滤器FT_O可配置成对由油墨DR散射或透射穿过油墨DR的光L1_S执行过滤过程，并且由此生成在朝光接收单元420的方向上传播的光L2_F。

因此，可稳定地维持用于测量油墨DR的分布的光的质量，并且稳定地维持待入射至光接收单元420中的光的量。这可改善液滴检查过程的可靠性。

根据一些示例性实施方式，包括多种部件的液滴检查模块400可用于稳定地测量油墨DR的分布和用于获取高精度的液滴检查结果数据。此外，液滴检查过程可仅对所选择的头部110_S选择性地执行，并且可与有机图案形成步骤S200同时执行。因此，可减少制造显示面板DP的过程中的处理时间和成本。

图15是示出根据一些示例性实施方式的制造显示面板的方法的流程图。在图15的制造方法中，可另外执行初始检查步骤S600，并且除初始检查步骤S600之外，图15的方法可以以与图1的方法相同的方式执行。因此，为了简洁起见，将不再非常详细地描述此示例的与先前示出和描述的那些相似的元件和特征。

如图15中所示，制造显示面板的方法还可包括初始检查步骤S600。初始检查步骤S600可在衬底提供步骤S100之前执行。

初始检查步骤S600可包括图案检查步骤S610和液滴检查步骤S620。图案检查步骤S610可以以与检查步骤S300的图案检查步骤S310(例如，参见图1)相同的方式执行。类似地，液滴检查步骤S620可以以与检查步骤S300的液滴检查步骤S330(例如，参见图1)相同的方式执行。

在一些示例性实施方式中，由于在衬底提供步骤S100之前另外执行初始检查步骤S600，因此，可更均匀地控制衬底SB的初始对齐精度和有机膜形成模块100(例如，参见图2)的头部的初始值。依靠初始检查步骤S600，可减少执行检查步骤S300所花费的时间。

根据一些示例性实施方式的显示面板制造系统1000(例如，参见图2)可用于初始检查步骤S600。根据一些示例性实施方式，单个显示面板制造系统1000可不仅用于执行有机图案形成步骤S200，而且还用于在有机图案形成步骤S200之前执行检查油墨图案的步骤，并且因此，可简化制造过程并且可减少用于制造过程的成本。

根据一些示例性实施方式，用于检查是否存在油墨未对齐的检查步骤在用于形成有机图案的喷墨过程期间执行。因此，可减少制造显示面板的过程中的处理时间和成本。

根据一些示例性实施方式，在有机图案形成步骤期间，可容易地实时执行油墨滴落调节，并且可对故障的头部选择性地执行液滴检查。因此，可简化制造过程并改善显示面板的可靠性。

虽然已具体示出和描述了示例性实施方式，但是本领域普通技术人员应理解，在没有背离所附权利要求的精神和范围的情况下，可在形式和细节上对示例性实施方式做出改变。