一种半导体用超纯电子级化学试剂纯化装置

技术领域

本发明涉及化学试剂纯化技术领域，更具体地说，涉及一种半导体用超纯电子级化学试剂纯化装置。

背景技术

半导体是指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，今日大部分的电子产品，在半导体加工时需要对半导体所用的化学材料进行提纯，因此，需要用到电子级化学试剂纯化装置。

化学试剂纯化装置一般通过人工倒入化学试剂，特别是人工在倒入化学试剂时，需要先打开纯化罐，再倒入化学试剂，倒入化学试剂后再关闭纯化罐，造成人工操作劳动力较大，且影响化学试剂的纯化效率，实用性较弱；

由于化学试剂在倒入后需要人工关闭门板，人工关闭门板时，纯化罐内的化学试剂可能会发生化学反应，此时再进行人工关闭门板，容易发生意外伤害；

电子级化学试剂纯化装置在对化学试剂进行纯化操作时，需要通过蒸馏设备对化学试剂进行蒸馏，蒸馏后分离再进行提纯操作，在进行蒸馏时，由于蒸馏需要对化学试剂进行加热处理，在倒入化学试剂时蒸馏设备无法自动断电，造成蒸馏过程中继续倒入化学试剂会出现试剂沸腾后迸溅的情况，影响纯化装置的安全性和可靠性较弱；

故此，我们提出一种新型的半导体用超纯电子级化学试剂纯化装置。

发明内容

本发明的目的在于提供一种半导体用超纯电子级化学试剂纯化装置，以解决上述背景技术中提出的问题：

现有的纯化装置在倒入化学试剂时，便捷性和稳定性较弱，造成人工操作劳动力较大，且影响化学试剂的纯化效率，实用性较弱，由于化学试剂在倒入后需要人工关闭门板，人工关闭门板时，纯化罐内的化学试剂可能会发生化学反应，此时再进行人工关闭门板，容易发生意外伤害，由于蒸馏需要对化学试剂进行加热处理，在倒入化学试剂时蒸馏设备无法自动断电，造成蒸馏过程中继续倒入化学试剂会出现试剂沸腾后迸溅的情况，影响纯化装置的安全性和可靠性较弱。

为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种半导体用超纯电子级化学试剂纯化装置，包括装置主体，其特征在于：所述装置主体的上端左部固定连接有纯化罐，所述装置主体的上端中部开有装置槽，所述装置槽的内槽壁左部设置有加热结构，所述装置主体的上端右部固定连接有凹型架，所述凹型架的上端中部贯穿并固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的输出端固定连接有启闭结构，所述启闭结构的左端固定连接有防护结构，所述防护结构的位置与纯化罐的位置相对应，所述凹型架的左端上部固定连接有两个装置架，两个所述装置架互为反方向安装，且两个装置架的上端均固定连接有固定架。

优选的，所述纯化罐的内表面设置有防粘防腐涂层，所述防粘防腐涂层设置为聚四氟乙烯材料，所述装置主体的上端左部开有圆形槽，所述圆形槽与装置槽相连通，所述装置主体的内部开有两个L型槽，两个所述L型槽分别与装置槽的前槽壁和后槽壁相连通；

通过采用上述技术方案，防粘防腐涂层采用聚四氟乙烯材料，使得纯化后的化学试剂不会粘附在纯化罐内壁，便于纯化装置的清理。

优选的，所述凹型架的内表面开有两个T型槽，两个所述T型槽互为反方向安装，两个所述装置架的相对面均开有滑槽，两个所述固定架的相对面共同固定连接有固定杆，且两个固定架的相对面均转动连接有固定管，两个所述固定管的相对面共同固定连接有料斗；

通过采用上述技术方案，通过开设的T型槽使得装置在实现自动启闭的稳定性增加，在纯化装置使用时，料斗需要与化学试剂的出口处连接，且料斗与化学试剂储存罐出口的连接处可以设置为硅胶材质，以便料斗在倾斜时可折弯。

优选的，所述加热结构包括电磁加热设备，所述电磁加热设备的外表面右部开有卡槽，所述电磁加热设备的外表面右部开有两个导电孔，两个所述导电孔均与卡槽相连通，所述电磁加热设备的上端中部开有连接槽，所述连接槽的下槽壁固定连接有弹簧，所述弹簧的上端固定连接有电磁板，所述电磁板的下端固定连接有四个限位管；

通过采用上述技术方案，在倒入化学试剂时，装置板通过电动伸缩杆控制后上移，使得一号推杆拉动移动板位于装置槽内滑动，带动导电头脱离导电孔，实现电磁加热设备的自动断电，使得在倒入化学试剂时防止纯化罐内的溶剂继续加热蒸馏出现化学试剂迸溅现象，提高电子级化学试剂纯化装置使用的安全性和可靠性。

优选的，所述电磁加热设备通过圆形槽与装置主体固定连接，四个所述限位管均与电磁加热设备之间滑动连接，所述电磁板的上端固定连接有加热板和若干个加热管，所述加热板位于若干个加热管之间，所述加热板和若干个加热管均与纯化罐接触；

通过采用上述技术方案，在化学试剂倒入后门板自动关闭，导电头插入导电孔电磁加热设备自动加热，在移动板移动时，带动L型板位于L型槽内移动，二号滑轮与装置主体滑动连接，使得纯化装置自动加热启闭的稳定性和防偏性增强，电磁板通过弹簧紧贴纯化罐，提高纯化装置蒸馏加热的稳定性。

优选的，所述启闭结构包括装置板，所述装置板的前端和后端均固定连接有T型板，两个所述T型板远离装置板的一端均转动连接有一号滑轮，所述装置板的下端中部通过连接件固定连接有一号推杆，所述一号推杆远离装置板的一端通过连接件固定连接有移动板，所述移动板的前端和后端均固定连接有L型板，两个所述L型板远离移动板的一端均转动连接有一组二号滑轮；

通过采用上述技术方案，在倒入化学试剂时，通过电动伸缩杆控制装置板下移时，带动二号推杆倾斜，使得支撑板下移二号推杆远离装置板的一端上移推动料斗倾斜上抬关闭试剂继续倒入，实现化学试剂的自动加入和自动关闭。

优选的，所述装置板的上端中部与电动伸缩杆的输出端固定连接，两个所述T型板分别位于两个T型槽内，两个所述一号滑轮分别通过两个T型槽与凹型架转动连接，所述装置板的左端中部通过连接件固定连接有L型推板，所述L型推板的上端左部固定连接有支撑板，所述L型推板的前端左部开有前后穿通的连接孔，所述L型推板通过连接孔与固定杆套接并转动连接，所述支撑板位于料斗的下方右侧；

通过采用上述技术方案，当装置板下移到最大值时，启闭门板与纯化罐闭合，实现化学试剂倒入后自动关闭门板，一物多效。

优选的，所述移动板通过装置槽与装置主体滑动连接，两个所述L型板分别位于两个L型槽内，两组所述二号滑轮分别通过两个L型槽与装置主体转动连接，所述移动板的左端中部固定连接有卡板，所述卡板远离移动板的一端固定连接有两个导电头，所述卡板的位置与卡槽的位置相对应，两个所述导电头的位置分别与两个导电孔的位置相对应；

通过采用上述技术方案，在装置板上下移动时，通过T型板能够增加纯化装置运行的稳定性和防偏性，一号滑轮增加纯化装置运行的灵活性，实用性强。

优选的，所述防护结构包括连接板，所述连接板设置有两个，两个所述连接板的左端上部均通过连接件固定连接有二号推杆，两个所述二号推杆远离两个连接板的一端通过连接件共同固定连接有启闭门板，所述启闭门板的外表面前部和外表面后部均固定连接有固定板，两个所述固定板远离启闭门板的一端均转动连接有滚珠；

通过采用上述技术方案，当化学试剂倒入后，装置板带动连接板下移，连接板带动二号推杆倾斜推动启闭门板顺着滑槽向纯化罐移动实现纯化装置的自动闭合，避免人工启闭操作，防止化学试剂纯化时产生的蒸馏反应发生意外伤害，增加纯化装置的安全防护性。

优选的，两个所述连接板的右端均与装置板固定连接，所述启闭门板的位置与纯化罐的位置相对应，两个所述滚珠分别通过两个滑槽与两个装置架滑动连接，两个所述固定板分别与两个装置架滑动连接；

通过采用上述技术方案，在启闭门板上通过固定板连接滚珠，在二号推杆推动启闭门板移动时，滚珠位于滑槽内，固定板与装置架滑动连接，保证纯化装置门板启闭的稳定性和灵活性。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1、在本发明中，通过设置启闭结构，在倒入化学试剂时，通过电动伸缩杆控制装置板下移时，带动二号推杆倾斜，使得支撑板下移二号推杆远离装置板的一端上移推动料斗倾斜上抬关闭试剂继续倒入，实现化学试剂的自动加入和自动关闭，当装置板下移到最大值时，启闭门板与纯化罐闭合，实现化学试剂倒入后自动关闭门板，一物多效，且在装置板上下移动时，通过T型板能够增加纯化装置运行的稳定性和防偏性，一号滑轮增加纯化装置运行的灵活性，实用性强；

2、在本发明中，通过设置防护结构，在倒入化学试剂时，启闭门板脱离纯化罐便于倒入化学试剂，当化学试剂倒入后，装置板带动连接板下移，连接板带动二号推杆倾斜推动启闭门板顺着滑槽向纯化罐移动实现纯化装置的自动闭合，避免人工启闭操作，防止化学试剂纯化时产生的蒸馏反应发生意外伤害，增加纯化装置的安全防护性，且在启闭门板上通过固定板连接滚珠，在二号推杆推动启闭门板移动时，滚珠位于滑槽内，固定板与装置架滑动连接，保证纯化装置门板启闭的稳定性和灵活性；

3、在本发明中，通过设置加热结构，在倒入化学试剂时，装置板通过电动伸缩杆控制后上移，使得一号推杆拉动移动板位于装置槽内滑动，带动导电头脱离导电孔，实现电磁加热设备的自动断电，使得在倒入化学试剂时防止纯化罐内的溶剂继续加热蒸馏出现化学试剂迸溅现象，提高电子级化学试剂纯化装置使用的安全性和可靠性，在化学试剂倒入后门板自动关闭，导电头插入导电孔电磁加热设备自动加热，在移动板移动时，带动L型板位于L型槽内移动，二号滑轮与装置主体滑动连接，使得纯化装置自动加热启闭的稳定性和防偏性增强，电磁板通过弹簧紧贴纯化罐，提高纯化装置蒸馏加热的稳定性。

附图说明

图1为本发明一种半导体用超纯电子级化学试剂纯化装置的整体结构示意图；

图2为本发明一种半导体用超纯电子级化学试剂纯化装置的加热结构和启闭结构的连接结构示意图；

图3为本发明一种半导体用超纯电子级化学试剂纯化装置的纯化罐的示意图；

图4为本发明一种半导体用超纯电子级化学试剂纯化装置的装置主体的截面结构示意图；

图5为本发明一种半导体用超纯电子级化学试剂纯化装置的加热结构的结构示意图；

图6为本发明一种半导体用超纯电子级化学试剂纯化装置的启闭结构的结构示意图；

图7为本发明一种半导体用超纯电子级化学试剂纯化装置的防护结构的结构示意图；

图8为本发明一种半导体用超纯电子级化学试剂纯化装置的电动伸缩杆、启闭结构和防护结构的连接结构示意图。

图中：1、装置主体；2、纯化罐；3、装置槽；4、加热结构；5、凹型架；6、电动伸缩杆；7、启闭结构；8、防护结构；9、装置架；10、固定架；21、防粘防腐涂层；31、圆形槽；32、L型槽；33、T型槽；34、滑槽；35、固定杆；36、固定管；37、料斗；41、电磁加热设备；42、卡槽；43、导电孔；44、连接槽；45、弹簧；46、电磁板；47、限位管；48、加热板；49、加热管；71、装置板；72、T型板；73、一号滑轮；74、一号推杆；75、移动板；76、L型板；77、二号滑轮；78、卡板；79、导电头；711、L型推板；712、支撑板；713、连接孔；81、连接板；82、二号推杆；83、启闭门板；84、固定板；85、滚珠。

具体实施方式

实施例1

现有的纯化装置在倒入化学试剂时，便捷性和稳定性较弱，造成人工操作劳动力较大，且影响化学试剂的纯化效率，实用性较弱，通过以下方案解决该问题。

请参阅图1至图8，一种半导体用超纯电子级化学试剂纯化装置，包括装置主体1，装置主体1的上端左部固定连接有纯化罐2，纯化罐2用于对化学试剂进行蒸馏后分离提纯操作，纯化罐2与分离器适配，能够实现化学试剂分离后的提纯功能，装置主体1的上端中部开有装置槽3，装置槽3的内槽壁左部设置有加热结构4，加热结构4用于对纯化罐2进行加热实现蒸馏，装置主体1的上端右部固定连接有凹型架5，凹型架5用于支撑纯化装置的使用，凹型架5的上端中部贯穿并固定连接有电动伸缩杆6，电动伸缩杆6用于通过控制开关启动后控制启闭结构7进行上下移动操作，电动伸缩杆6的输出端固定连接有启闭结构7，启动结构7用于拉动防护结构8和加热结构4实现启闭操作，启闭结构7的左端固定连接有防护结构8，防护结构8用于通过启闭结构7的带动下对纯化罐2实现启闭功能，防护结构8的位置与纯化罐2的位置相对应，凹型架5的左端上部固定连接有两个装置架9，两个装置架9互为反方向安装，且两个装置架9的上端均固定连接有固定架10。

纯化罐2的内表面设置有防粘防腐涂层21，防粘防腐涂层21设置为聚四氟乙烯材料，避免蒸馏后的化学试剂粘附在纯化装置内壁，便于纯化装置清理，装置主体1的上端左部开有圆形槽31，圆形槽31用于放置加热设备，圆形槽31与装置槽3相连通，装置主体1的内部开有两个L型槽32，两个L型槽32分别与装置槽3的前槽壁和后槽壁相连通，占用空间小。

凹型架5的内表面开有两个T型槽33，两个T型槽33互为反方向安装，两个装置架9的相对面均开有滑槽34，两个固定架10的相对面共同固定连接有固定杆35，且两个固定架10的相对面均转动连接有固定管36，两个固定管36的相对面共同固定连接有料斗37，料斗37需要与半导体所用化学试剂的出口处连接，且料斗37与化学试剂储存罐出口的连接处可以设置为硅胶材质，以便料斗37在倾斜时可折弯。

启闭结构7包括装置板71，装置板71的前端和后端均固定连接有T型板72，T型板72用于增加纯化装置的稳定性，两个T型板72远离装置板71的一端均转动连接有一号滑轮73，一号滑轮73用于增加纯化装置的灵活性，装置板71的下端中部通过连接件固定连接有一号推杆74，一号推杆74用于拉动移动板75位于装置槽3内滑动，带动导电头79脱离导电孔43，实现电磁加热设备41的自动断电，一号推杆74远离装置板71的一端通过连接件固定连接有移动板75，移动板75用于对加热设备的导电口进行限位，移动板75的前端和后端均固定连接有L型板76，两个L型板76远离移动板75的一端均转动连接有一组二号滑轮77，在移动板75移动时，带动L型板76位于L型槽32内移动，二号滑轮77与装置主体1滑动连接，使得纯化装置自动加热启闭的稳定性和防偏性增强；

装置板71的上端中部与电动伸缩杆6的输出端固定连接，两个T型板72分别位于两个T型槽33内，两个一号滑轮73分别通过两个T型槽33与凹型架5转动连接，T型板72能够增加纯化装置运行的稳定性和防偏性，装置板71的左端中部通过连接件固定连接有L型推板711，L型推板711在装置板71下移时，远离装置板71的一端向上抬起，推动料斗37上抬阻止化学试剂继续倒入，L型推板711的上端左部固定连接有支撑板712，支撑板712用于支撑料斗37，L型推板711的前端左部开有前后穿通的连接孔713，连接孔713对L型推板711进行限位，L型推板711通过连接孔713与固定杆35套接并转动连接，支撑板712位于料斗37的下方右侧，使得料斗37的下料口脱离纯化罐2；

移动板75通过装置槽3与装置主体1滑动连接，两个L型板76分别位于两个L型槽32内，两组二号滑轮77分别通过两个L型槽32与装置主体1转动连接，移动板75的左端中部固定连接有卡板78，卡板78保证加热设备导电的稳定性，卡板78远离移动板75的一端固定连接有两个导电头79，导电头79通过导电孔43与电磁加热设备41连接后通电，电磁加热设备41自动开启，卡板78的位置与卡槽42的位置相对应，两个导电头79的位置分别与两个导电孔43的位置相对应。

本发明使用步骤：本半导体用超纯电子级化学试剂纯化装置，在倒入化学试剂时，通过电动伸缩杆6控制装置板71下移时，带动二号推杆82倾斜，使得支撑板712下移二号推杆82远离装置板71的一端上移推动料斗37倾斜上抬关闭试剂继续倒入，实现化学试剂的自动加入和自动关闭，当装置板71下移到最大值时，启闭门板83与纯化罐2闭合，实现化学试剂倒入后自动关闭门板，一物多效，且在装置板71上下移动时，通过T型板72能够增加纯化装置运行的稳定性和防偏性，一号滑轮73增加纯化装置运行的灵活性，实用性强。

实施例2

由于化学试剂在倒入后需要人工关闭门板，人工关闭门板时，纯化罐内的化学试剂可能会发生化学反应，此时再进行人工关闭门板，容易发生意外伤害，通过以下方案解决该问题。

请参阅图1、图6-图8，结合实施例的基础有所不同之处在于，防护结构8包括连接板81，连接板81设置有两个，两个连接板81的左端上部均通过连接件固定连接有二号推杆82，当化学试剂倒入后，装置板71带动连接板81下移，连接板81带动二号推杆82倾斜推动启闭门板83顺着滑槽34向纯化罐2移动实现纯化装置的自动闭合，两个二号推杆82远离两个连接板81的一端通过连接件共同固定连接有启闭门板83，启闭门板83用于对纯化罐2实现闭合，启闭门板83的外表面前部和外表面后部均固定连接有固定板84，两个固定板84远离启闭门板83的一端均转动连接有滚珠85，滚珠85位于滑槽34内，固定板84与装置架9滑动连接，保证纯化装置门板启闭的稳定性和灵活性。

两个连接板81的右端均与装置板71固定连接，启闭门板83的位置与纯化罐2的位置相对应，两个滚珠85分别通过两个滑槽34与两个装置架9滑动连接，两个固定板84分别与两个装置架9滑动连接，滚珠85位于滑槽34内，固定板84与装置架9滑动连接，保证纯化装置门板启闭的稳定性和灵活性。

本发明使用步骤：本半导体用超纯电子级化学试剂纯化装置，在倒入化学试剂时，启闭门板83脱离纯化罐2便于倒入化学试剂，当化学试剂倒入后，装置板71带动连接板81下移，连接板81带动二号推杆82倾斜推动启闭门板83顺着滑槽34向纯化罐2移动实现纯化装置的自动闭合，避免人工启闭操作，防止化学试剂纯化时产生的蒸馏反应发生意外伤害，增加纯化装置的安全防护性，且在启闭门板83上通过固定板84连接滚珠85，在二号推杆82推动启闭门板83移动时，滚珠85位于滑槽34内，固定板84与装置架9滑动连接，保证纯化装置门板启闭的稳定性和灵活性。

实施例3

由于蒸馏需要对化学试剂进行加热处理，在倒入化学试剂时蒸馏设备无法自动断电，造成蒸馏过程中继续倒入化学试剂会出现试剂沸腾后迸溅的情况，影响纯化装置的安全性和可靠性较弱，通过以下方案解决该问题。

请参阅图1至图6，结合实施例的基础有所不同之处在于，加热结构4包括电磁加热设备41，电磁加热设备41用于对纯化罐2进行加热实现蒸馏，电磁加热设备41的外表面右部开有卡槽42，卡槽42用于对加热设备通电的移动轨迹进行限位，电磁加热设备41的外表面右部开有两个导电孔43，导电孔43用于连接导电头79实现通电，两个导电孔43均与卡槽42相连通，电磁加热设备41的上端中部开有连接槽44，连接槽44的下槽壁固定连接有弹簧45，弹簧45用于推动电磁板46紧贴纯化罐2，弹簧45的上端固定连接有电磁板46，电磁板46的下端固定连接有四个限位管47，限位管47用于防止电磁板46贴合纯化罐2时出现倾斜，稳定性增强；

电磁加热设备41通过圆形槽31与装置主体1固定连接，四个限位管47均与电磁加热设备41之间滑动连接，电磁板46的上端固定连接有加热板48和若干个加热管49，加热板48位于若干个加热管49之间，加热板48和加热管49用于同时对纯化罐2进行加热操作，加热速度快，加热板48和若干个加热管49均与纯化罐2接触。

本发明使用步骤：本半导体用超纯电子级化学试剂纯化装置，在倒入化学试剂时，装置板71通过电动伸缩杆6控制后上移，使得一号推杆74拉动移动板75位于装置槽3内滑动，带动导电头79脱离导电孔43，实现电磁加热设备41的自动断电，使得在倒入化学试剂时防止纯化罐2内的溶剂继续加热蒸馏出现化学试剂迸溅现象，提高电子级化学试剂纯化装置使用的安全性和可靠性，在化学试剂倒入后门板自动关闭，导电头79插入导电孔43电磁加热设备41自动加热，在移动板75移动时，带动L型板76位于L型槽32内移动，二号滑轮77与装置主体1滑动连接，使得纯化装置自动加热启闭的稳定性和防偏性增强，电磁板46通过弹簧45紧贴纯化罐2，提高纯化装置蒸馏加热的稳定性，本发明中通过连接件固定连接的结构均设置为连接件与本结构之间为固定连接，本结构通过连接件连接的次结构之间为转动连接。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本发明的优选例，并不用来限制本发明，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。