金刚石砂轮制备方法

技术领域

本发明涉及精密加工技术领域，尤其涉及一种金刚石砂轮制备方法。

背景技术

随着5G、人工智能、新能源汽车等技术的迅速发展，市场对高性能半导体元器件需求越来越大，产业关注度日益提高。碳化硅晶圆是第三代高性能半导体晶圆的重要代表，相比于传统的第一代半导体材料(Si、Ge)、第二代半导体材料(GaAs、InSb)，其具有禁带宽度大、击穿电场高、热导率大、饱和电子漂移速率高、抗辐射能力强等优越特性，因此广泛应用于高温、高压、大功率、高频域、耐辐射的一体化电力电子和光电器件中。SiC晶片的加工质量和精度直接影响半导体器件的性能，加工后的SiC晶片要求表面无损伤、无缺陷、低粗糙度，以满足超精密元器件的使用要求。

目前，对碳化硅晶圆的粗磨减薄加工已经相对成熟，但对于碳化硅晶圆超精密减薄研磨加工还处于探究发展阶段。碳化硅的超精密研磨是在粗磨减薄基础上对晶圆表面进一步加工以达到更低的表面粗糙度，来满足各类高精密元器件的使用要求。陶瓷结合剂超细金刚石砂轮因加工效率和表面精度高，而被广泛用于SiC晶圆超精密磨削。但是，超细粒度的金刚石达到纳米级别，其比表面积大，比表面能高，容易发生团聚而失去其纳米特性。在制造陶瓷结合剂超细金刚石砂轮时，纳米金刚石的团聚会严重影响砂轮组织的均匀性，大大降低晶圆的表面加工质量，且团聚的金刚石磨料易划伤晶圆，严重时会导致晶圆破裂。因此，基于陶瓷结合剂的超细金刚石砂轮中金刚石的分散程度非常重要。

为了解决现有技术中的砂轮成形料粉体分散不均匀、砂轮组织结构不均质等问题，需要一种用于碳化硅研磨加工的金刚石砂轮制备方法。

发明内容

为此，本发明提供了一种金刚石砂轮制备方法，以解决或至少缓解上面存在的问题。

根据本发明的一个方面，提供了一种金刚石砂轮制备方法，包括：将黄原胶粉末溶解在去离子水中，以配置成具有流变性的黄原胶溶液；按照预定配方将多种原料加入到所述黄原胶溶液中，并进行均匀混合，形成砂轮成形料悬浮液，其中，所述多种原料包括陶瓷结合剂、金刚石磨料、造孔剂、粘结剂；通过静电喷雾装置，将所述砂轮成形料悬浮液破碎成带电液滴，并进行均匀沉淀形成砂轮成形料；将所述砂轮成形料在预定温度下固化预定时长，再进行烧结，得到金刚石砂轮盘；基于所述金刚石砂轮盘制备金刚石砂轮。

可选地，在根据本发明的金刚石砂轮制备方法中，所述静电喷雾装置包括：静电发生器、微量进给注射泵、注射器、接收平台，所述静电发生器的负极与注射器的尖端相连，所述静电发生器的正极与接收平台相连；通过静电喷雾装置，将所述砂轮成形料悬浮液破碎成带电液滴，并进行均匀沉淀形成砂轮成形料，包括：将所述砂轮成形料悬浮液装入所述注射器中；通过所述微量进给注射泵将所述注射器中的砂轮成形料悬浮液挤出，同时通过所述静电发生器产生静电斥力，以将挤出的砂轮成形料悬浮液破碎成带电液滴，并均匀沉淀在所述接收平台上，形成砂轮成形料。

可选地，在根据本发明的金刚石砂轮制备方法中，所述静电喷雾装置还包括四轴移动平台，所述注射器适于装夹在所述四轴移动平台上；所述方法还包括：通过所述四轴移动平台调节所述注射器与所述接收平台之间的接收距离。

可选地，在根据本发明的金刚石砂轮制备方法中，基于所述金刚石砂轮盘制备金刚石砂轮，包括：对所述金刚石砂轮盘进行切割，以形成多个砂轮块；将多个砂轮块粘结在砂轮基体上，得到所述金刚石砂轮。

可选地，在根据本发明的金刚石砂轮制备方法中，将多个砂轮块粘结在砂轮基体上，得到所述金刚石砂轮，包括：对多个砂轮块和砂轮基体进行超声清洗；将超声清洗后的多个砂轮块粘结在超声清洗后的砂轮基体上，并固化18～24h，得到所述金刚石砂轮。

可选地，在根据本发明的金刚石砂轮制备方法中，所述预定配方包括每种原料对应的质量分数，其中，所述陶瓷结合剂的质量分数为10～30wt％，所述金刚石磨料的质量分数为70～90wt％，所述造孔剂的质量分数为0～20wt％，所述粘结剂的质量分数为3～5wt％。

可选地，在根据本发明的金刚石砂轮制备方法中，按照预定配方将多种原料加入到所述黄原胶溶液中，并进行均匀混合，形成砂轮成形料悬浮液，包括：按照预定配方将多种原料加入到所述黄原胶溶液中，并利用机械搅拌器搅拌至混合均匀，形成砂轮成形料悬浮液。

可选地，在根据本发明的金刚石砂轮制备方法中，将所述砂轮成形料在预定温度下固化预定时长，再进行烧结，得到金刚石砂轮盘，包括：将所述砂轮成形料在预定温度下固化预定时长，再放入放入马弗炉中进行烧结，其中，在烧结过程中按照预定升温曲线进行升温，并在烧结完成后自然冷却至环境温度，得到金刚石砂轮盘；其中，所述预定温度为25～30℃，所述预定时长为48h。

可选地，在根据本发明的金刚石砂轮制备方法中，在烧结过程中按照预定升温曲线进行升温，包括：在烧结过程中，按照所述升温曲线，以2℃/min的速率加热至320℃，并保温1h，再以3℃/min的速率升温至600℃，并保温1h。

可选地，在根据本发明的金刚石砂轮制备方法中，所述金刚石磨料的粒度为15000～30000#。

可选地，在根据本发明的金刚石砂轮制备方法中，所述造孔剂的成分包括核桃壳粉、PS微球、PMMA微球、空心玻璃微珠中的一种或多种。

可选地，在根据本发明的金刚石砂轮制备方法中，所述粘结剂的成分包括黄糊精、羧甲基纤维素、聚乙烯醇、水玻璃中的一种或多种。

可选地，在根据本发明的金刚石砂轮制备方法中，所述黄原胶溶液的质量百分比为1～3wt％。

可选地，在根据本发明的金刚石砂轮制备方法中，所述静电发生器的电压为-8～-20KV；所述注射器与所述接收平台之间的接收距离为30～60mm；所述微量进给注射泵的进给速率为5～20mm/s。

可选地，在根据本发明的金刚石砂轮制备方法中，所述砂轮块的宽度为3～4mm。

可选地，在根据本发明的金刚石砂轮制备方法中，所述金刚石砂轮用于碳化硅研磨加工。

根据本发明的技术方案，提供了一种金刚石砂轮制备方法，通过将黄原胶粉末溶解在去离子水中，配置成具有流变性的黄原胶溶液；按照预定配方将陶瓷结合剂、金刚石磨料、造孔剂、粘结剂加入到黄原胶溶液中，并进行均匀混合，形成砂轮成形料悬浮液；进而，通过静电喷雾装置将砂轮成形料悬浮液破碎成带电液滴，并进行均匀沉淀形成砂轮成形料；将该砂轮成形料在预定温度下固化预定时长，再进行烧结，可以得到超细金刚石砂轮盘；基于超细金刚石砂轮盘可以制备得到用于碳化硅研磨加工的超细金刚石砂轮。根据本发明的金刚石砂轮制备方法，能够实现超细金刚石磨粒在基体中均匀分布，进而提高砂轮组织致密性。根据本发明的方法制备的用于碳化硅研磨加工的金刚石砂轮，组织成分均匀，金刚石磨粒分散均匀，砂轮组织结构致密，进而提高了砂轮的强度和使用寿命，且砂轮磨削加工效率高，有利于挺高对晶圆表面的加工质量和加工精度。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本发明的具体实施方式。

附图说明

为了实现上述以及相关目的，本文结合下面的描述和附图来描述某些说明性方面，这些方面指示了可以实践本文所公开的原理的各种方式，并且所有方面及其等效方面旨在落入所要求保护的主题的范围内。通过结合附图阅读下面的详细描述，本公开的上述以及其它目的、特征和优势将变得更加明显。遍及本公开，相同的附图标记通常指代相同的部件或元素。

图1示出了根据本发明实施例提供的一种金刚石砂轮制备方法100的流程示意图；

图2示出了根据本发明实施例提供的通过静电喷雾装置200制备砂轮成形料的原理示意图。

具体实施方式

下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施例。虽然附图中显示了本公开的示例性实施例，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。

针对现有技术中的砂轮成形料粉体分散不均匀、砂轮组织结构不均质等问题，本发明提出了一种金刚石砂轮制备方法100。

图1示出了根据本发明实施例提供的一种金刚石砂轮制备方法100的流程示意图。需要说明的是，根据本发明的金刚石砂轮制备方法100制备的金刚石砂轮，可用于碳化硅研磨加工。

下面结合图1来介绍本发明的金刚石砂轮制备方法100。

如图1所示，方法100包含以下步骤110～150。

步骤110，将黄原胶粉末溶解在去离子水中，以配置成具有流变性的黄原胶溶液。黄原胶溶液即XG(Xanthan gum)溶液。

步骤120，按照预定配方将多种原料加入到黄原胶溶液中，并进行均匀混合，形成砂轮成形料悬浮液。这里的多种原料可以包括陶瓷结合剂、金刚石磨料、造孔剂、粘结剂。

步骤130，通过静电喷雾装置，将砂轮成形料悬浮液破碎成细小的带电液滴，且带电液滴可以均匀沉淀形成砂轮成形料。

在本发明的实施例中，利用静电喷雾装置及其产生的静电斥力，可以基于砂轮成形料悬浮液来制成砂轮成形料。

步骤140，将砂轮成形料在预定温度下固化预定时长，再对其进行烧结后，可以得到金刚石砂轮盘。

在本发明的实施例中，经过步骤140得到的是超细金刚石砂轮盘。

步骤150，基于金刚石砂轮盘(即，超细金刚石砂轮盘)制备金刚石砂轮。

在本发明的实施例中，在步骤150中，基于超细金刚石砂轮盘，能够制备得到金刚石磨粒分散均匀、砂轮组织结构致密的超细金刚石砂轮。

根据本发明实施例中的金刚石砂轮制备方法100所制备得到的金刚石砂轮，是能够用于碳化硅研磨加工的基于陶瓷结合剂的超细金刚石砂轮。

在一些实施例中，在步骤150中，可以对金刚石砂轮盘进行切割，以形成多个砂轮块。进而，将多个砂轮块粘结在砂轮基体上，可以得到金刚石砂轮。这里，砂轮基体可以预先制备。

图2示出了根据本发明实施例提供的通过静电喷雾装置200制备砂轮成形料的原理示意图。

下面结合图2，来介绍步骤130中通过静电喷雾装置200制备砂轮成形料的原理。

在一些实施例中，如图2所示，静电喷雾装置200包括静电发生器110、微量进给注射泵120、注射器150、接收平台130。其中，静电发生器110的负极与注射器150的尖端相连，静电发生器110的正极与接收平台130相连。注射器150的推杆与微量进给注射泵120相连。

通过静电喷雾装置200，将砂轮成形料悬浮液破碎成带电液滴，并进行均匀沉淀形成砂轮成形料，可以通过以下方式实现：首先，将砂轮成形料悬浮液装入注射器150中；然后，通过微量进给注射泵120将注射器150中的砂轮成形料悬浮液挤出，同时通过静电发生器110产生静电斥力，在静电斥力作用下，能够将挤出的砂轮成形料悬浮液破碎成细小的带电液滴，并使带电液滴均匀沉淀在接收平台130上，从而在接收平台130上形成砂轮成形料。

在一些实施例中，静电喷雾装置200还包括四轴移动平台140，注射器150可以装夹在四轴移动平台140上。在执行步骤130之前，或者，在步骤130中通过静电喷雾装置200制备砂轮成形料的过程中，还可以通过四轴移动平台140调节注射器150与接收平台130之间的接收距离。

在一些实施例中，在静电喷雾装置200中，静电发生器110的电压可以为-8～-20KV，注射器150与接收平台130之间的接收距离可以为30～60mm，微量进给注射泵120的进给速率为5～20mm/s。也就是说，在执行步骤130之前，或者，在步骤130中通过静电喷雾装置200制备砂轮成形料的过程中，可以将静电发生器110的电压调至-8～-20KV，并且，可以通过四轴移动平台140将注射器150与接收平台130之间的接收距离调至30～60mm，还可以将微量进给注射泵120的进给速率调至5～20mm/s。

在一些实施例中，在步骤130中通过静电喷雾装置200制备砂轮成形料的过程中，可以先打开微量进给注射泵120的开关，并设置微量进给注射泵120的进给速率，例如可以将微量进给注射泵120的进给速率设置为5～20mm/s。然后，通过微量进给注射泵120将注射器150中的砂轮成形料悬浮液以该进给速率挤出，同时，打开静电发生器110的开关，并调节静电发生器110的电压(静电电压)，例如可以将静电发生器110的电压调至-8～-20KV，从而使得砂轮成形料悬浮液带电，在静电斥力作用下，能够将挤出的砂轮成形料悬浮液破碎成细小的带电液滴，并使带电液滴均匀沉淀在接收平台130上，在带电液滴均匀沉淀在接收平台130上的过程中，可以通过四轴移动平台140将注射器150(尖端)与接收平台130之间的接收距离调至30～60mm。

需要说明的是，通过调整静电喷雾装置200中静电发生器110的电压、微量进给注射泵120的进给速率、注射器150与接收平台130之间的接收距离，进而对静电喷雾技术的工艺参数进行优化，使得最终制备的砂轮的组织结构更加均匀致密，同时提高砂轮强度和使用寿命，并且，利用本发明制备的砂轮对碳化硅晶圆进行超精密减薄研磨，能够提高对晶圆的加工质量和加工精度。

在一些实施例中，步骤110中配置成的黄原胶溶液的质量百分比可以为1～3wt％。

在一些实施例中，在步骤120中，可以按照预定配方将多种原料加入到黄原胶溶液中，并利用机械搅拌器(将多种原料和黄原胶溶液)搅拌至混合均匀，以形成砂轮成形料悬浮液。

在一些实施例中，在步骤120中，预定配方包括每种原料对应的质量分数，其中，陶瓷结合剂的质量分数可以为10～30wt％，金刚石磨料的质量分数可以为70～90wt％，造孔剂的质量分数可以为0～20wt％，粘结剂的质量分数可以为3～5wt％。

在一些实施例中，金刚石磨料的粒度可以为15000～30000#。

在一些实施例中，陶瓷结合剂可以为现有技术中任意一种低温结合剂。

在一些实施例中，造孔剂的成分可以包括核桃壳粉、PS微球、PMMA微球、空心玻璃微珠中的一种或多种。

在一些实施例中，粘结剂的成分可以包括黄糊精、羧甲基纤维素、聚乙烯醇、水玻璃中的一种或多种。

在一些实施例中，在步骤130中，静电发生器110的电压可以为-8～-20KV，注射器150与接收平台130之间的接收距离可以为30～60mm，微量进给注射泵120的进给速率为5～20mm/s。

在一些实施例中，在步骤140中，可以将砂轮成形料在预定温度下固化预定时长，再放入放入马弗炉中进行烧结，其中，在烧结过程中可以按照预定升温曲线进行升温，并在烧结完成后自然冷却至环境温度(随炉冷却至室温)，这样可以得到金刚石砂轮盘。

其中，预定温度可以为25～30℃，预定时长可以为48h，即，可以将砂轮成形料在25～30℃下固化48h，再将固化后的砂轮成形料放入放入马弗炉中进行烧结。

在烧结过程中按照预定升温曲线进行升温的过程如下：在烧结过程中，按照升温曲线，以2℃/min的速率加热至320℃，并保温1h，再以3℃/min的速率升温至600℃，并保温1h。

在一些实施例中，在步骤150中，在将多个砂轮块粘结在砂轮基体上之前，可以对切割形成的多个砂轮块以及预先制备的砂轮基体，进行超声清洗。之后，可以将超声清洗后的多个砂轮块粘结在超声清洗后的砂轮基体上，然后固化18～24h，可得到金刚石砂轮，即，将多个砂轮块在砂轮基体上固化18～24h，可以得到超细金刚石砂轮。这里，本发明对具体的固化时长不做限定。

在一些实施例中，对金刚石砂轮盘进行切割形成的上述砂轮块的宽度可以为3～4mm。应当指出，本发明对砂轮块的具体厚度不进行限定。

以下将通过三个具体实施例，来金刚石砂轮制备过程中涉及的材料成分及技术参数进行详细说明。

在第一个具体实施例中，步骤110中配置成的黄原胶溶液的质量百分比可以为1wt％。

在步骤120中，预定配方中每种原料对应的质量分数如下：陶瓷结合剂的质量分数可以为20wt％，金刚石磨料的质量分数可以为72wt％，造孔剂的质量分数可以为5wt％，粘结剂的质量分数可以为3wt％。

金刚石磨料的粒度可以为15000#。

陶瓷结合剂购自湖南大学实验室低温结合剂。造孔剂为PS微球，其粒径为5μm。粘结剂为黄糊精。

在步骤130中，静电发生器110的电压可以为-10KV，注射器150与接收平台130之间的接收距离可以为30mm，微量进给注射泵120的进给速率为10mm/s。

在步骤140中，预定温度可以为25℃，即，可以将砂轮成形料在25℃下(干净的环境中)固化48h，再将固化后的砂轮成形料放入放入马弗炉中进行烧结。在烧结过程中，可以按照升温曲线，以2℃/min的速率加热至320℃，并保温1h，再以3℃/min的速率升温至600℃，并保温1h。

在步骤150中，对金刚石砂轮盘进行切割形成的上述砂轮块的宽度可以为4mm。在将超声清洗后的多个砂轮块粘结在超声清洗后的砂轮基体上后，在室温下固化18h，可得到金刚石砂轮，即，将多个砂轮块在砂轮基体上固化18h，可以得到超细金刚石砂轮。

在第二个具体实施例中，步骤110中配置成的黄原胶溶液的质量百分比可以为2wt％。

在步骤120中，预定配方中每种原料对应的质量分数如下：陶瓷结合剂的质量分数可以为25wt％，金刚石磨料的质量分数可以为73wt％，造孔剂的质量分数可以为0wt％，粘结剂的质量分数可以为2wt％。

金刚石磨料的粒度可以为15000#。

陶瓷结合剂购自湖南大学实验室低温结合剂。粘结剂为黄糊精。

在步骤130中，静电发生器110的电压可以为-15KV，注射器150与接收平台130之间的接收距离可以为40mm，微量进给注射泵120的进给速率为15mm/s。

在步骤140中，预定温度可以为25℃，即，可以将砂轮成形料在25℃下(干净的环境中)固化48h，再将固化后的砂轮成形料放入放入马弗炉中进行烧结。在烧结过程中，可以按照升温曲线，以2℃/min的速率加热至320℃，并保温1h，再以3℃/min的速率升温至600℃，并保温1h。

在步骤150中，对金刚石砂轮盘进行切割形成的上述砂轮块的宽度可以为3mm。在将超声清洗后的多个砂轮块粘结在超声清洗后的砂轮基体上后，在室温下固化24h，可得到金刚石砂轮，即，将多个砂轮块在砂轮基体上固化24h，可以得到超细金刚石砂轮。

在第三个具体实施例中，步骤110中配置成的黄原胶溶液的质量百分比可以为3wt％。

在步骤120中，预定配方中每种原料对应的质量分数如下：陶瓷结合剂的质量分数可以为25wt％，金刚石磨料的质量分数可以为73wt％，造孔剂的质量分数可以为0wt％，粘结剂的质量分数可以为2wt％。

金刚石磨料的粒度可以为30000#。

陶瓷结合剂购自湖南大学实验室低温结合剂。粘结剂为黄糊精。

在步骤130中，静电发生器110的电压可以为-20KV，注射器150与接收平台130之间的接收距离可以为40mm，微量进给注射泵120的进给速率为15mm/s。

在步骤140中，预定温度可以为25℃，即，可以将砂轮成形料在25℃下(干净的环境中)固化48h，再将固化后的砂轮成形料放入放入马弗炉中进行烧结。在烧结过程中，可以按照升温曲线，以2℃/min的速率加热至320℃，并保温1h，再以3℃/min的速率升温至600℃，并保温1h。

在步骤150中，对金刚石砂轮盘进行切割形成的上述砂轮块的宽度可以为3mm。在将超声清洗后的多个砂轮块粘结在超声清洗后的砂轮基体上后，在室温下固化24h，可得到金刚石砂轮，即，将多个砂轮块在砂轮基体上固化18h，可以得到超细金刚石砂轮。

以上仅是对本发明的具体实施实例阐述，需指出的是，本发明金刚石砂轮制备方法中所涉及的材料配方，不受限于上述实施例中所描述的技术参数。

根据本发明实施例提供的金刚石砂轮制备方法，通过将黄原胶粉末溶解在去离子水中，配置成具有流变性的黄原胶溶液；按照预定配方将陶瓷结合剂、金刚石磨料、造孔剂、粘结剂加入到黄原胶溶液中，并进行均匀混合，形成砂轮成形料悬浮液；进而，通过静电喷雾装置将砂轮成形料悬浮液破碎成带电液滴，并进行均匀沉淀形成砂轮成形料；将该砂轮成形料在预定温度下固化预定时长，再进行烧结，可以得到超细金刚石砂轮盘；基于超细金刚石砂轮盘可以制备得到用于碳化硅研磨加工的超细金刚石砂轮。根据本发明的金刚石砂轮制备方法，能够实现超细金刚石磨粒在基体中均匀分布，进而提高砂轮组织致密性。根据本发明的方法制备的用于碳化硅研磨加工的金刚石砂轮，组织成分均匀，金刚石磨粒分散均匀，砂轮组织结构致密，进而提高了砂轮的强度和使用寿命，且砂轮磨削加工效率高，有利于挺高对晶圆表面的加工质量和加工精度。

此外，本发明的实施例还包括：A11、如A1-A10中任一项所述的方法，其中，所述造孔剂的成分包括核桃壳粉、PS微球、PMMA微球、空心玻璃微珠中的一种或多种。A12、如A1-A11中任一项所述的方法，其中，所述粘结剂的成分包括黄糊精、羧甲基纤维素、聚乙烯醇、水玻璃中的一种或多种。A13、如A1-A12中任一项所述的方法，其中，所述黄原胶溶液的质量百分比为1～3wt％。A14、如A2或A3所述的方法，其中，所述静电发生器的电压为-8～-20KV；所述注射器与所述接收平台之间的接收距离为30～60mm；所述微量进给注射泵的进给速率为5～20mm/s。A15、如A4所述的方法，其中，所述砂轮块的宽度为3～4mm。A16、如A1-A15中任一项所述的方法，其中，所述金刚石砂轮用于碳化硅研磨加工。

本说明书的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等均应做广义理解。此外，术语“前”“后”“上”、“下”、“内”、“外”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或单元必须具有特定的方向、以特定的方位构造和操作，因此，不能理解为对本发明的限制。

在此处所提供的说明书中，说明了大量具体细节。然而，能够理解，本发明的实施例可以在没有这些具体细节的情况下被实践。在一些实例中，并未详细示出公知的方法、结构和技术，以便不模糊对本说明书的理解。

类似地，应当理解，为了精简本公开并帮助理解各个发明方面中的一个或多个，在上面对本发明的示例性实施例的描述中，本发明的各个特征有时被一起分组到单个实施例、图、或者对其的描述中。

本领域那些技术人员应当理解在本文所公开的示例中的设备的模块或单元或组件可以布置在如该实施例中所描述的设备中，或者可替换地可以定位在与该示例中的设备不同的一个或多个设备中。

本领域那些技术人员可以理解，可以对实施例中的设备中的模块进行自适应性地改变并且把它们设置在与该实施例不同的一个或多个设备中。可以把实施例中的模块或单元或组件组合成一个模块或单元或组件，以及此外可以把它们分成多个子模块或子单元或子组件。

此外，本领域的技术人员能够理解，尽管在此所述的一些实施例包括其它实施例中所包括的某些特征而不是其它特征，但是不同实施例的特征的组合意味着处于本发明的范围之内并且形成不同的实施例。

如在此所使用的那样，除非另行规定，使用序数词“第一”、“第二”、“第三”等等来描述普通对象仅仅表示涉及类似对象的不同实例，并且并不意图暗示这样被描述的对象必须具有时间上、空间上、排序方面或者以任意其它方式的给定顺序。

尽管根据有限数量的实施例描述了本发明，但是受益于上面的描述，本技术领域内的技术人员明白，在由此描述的本发明的范围内，可以设想其它实施例。此外，应当注意，本说明书中使用的语言主要是为了可读性和教导的目的而选择的，而不是为了解释或者限定本发明的主题而选择的。