一种硅片旋转抛光头组件

技术领域

本发明涉及单晶硅片加工技术领域，具体为一种硅片旋转抛光头组件。

背景技术

单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势，近三十年来，太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓方面都获得了长足发展，成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一。

经过检索发现申请号为：CN201820586869.2的硅片旋转装置和硅片分选机，其内容为：本申请揭示了一种硅片旋转装置和硅片分选机，属于硅片分选技术领域。该硅片旋转装置包括旋转驱动部、升降驱动部和旋转平台，其中：旋转平台上设置有用于吸附硅片的吸附孔；旋转驱动部与旋转平台连接，旋转驱动部带动旋转平台在水平方向上旋转；升降驱动部同时驱动旋转驱动部和旋转平台进行升降运动。本申请利用旋转驱动部提升旋转平台以顶起硅片，利用旋转驱动部驱动旋转平台旋转以带动硅片旋转，达到了不仅避免旋转平台对传输中硅片的影响，还实现了对待旋转硅片的自动旋转的效果。但是还存在以下问题：

在传统的硅片抛光加工方面比较单一且无法将抛光头实现更进一步的适配性的加工，导致后期现在落实于硅片旋转抛光的环节上比较单一且具体的抛光的硅片组合适应性的旋转方面无法进一步的加以夹持；

传统的硅片旋转抛光方面比较困难的是对于抛光头的组合式的夹紧组件方面比较困难，严重影响到了后期硅片的旋转抛光。

发明内容

本发明的目的在于提供一种硅片旋转抛光头组件，以解决上述背景技术提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种硅片旋转抛光头组件，一种硅片旋转抛光头组件，包括一支撑机构，所述支撑机构包括一承载底板，所述承载底板的板面侧壁中部安装有一连接承载架，所述连接承载架的侧壁中部开设有一贴合承载板，所述贴合承载板的板面中部均铰接有一传动轴；

所述传动轴的侧壁中部横向设有一第一传动滚轴，所述第一传动滚轴的两边侧均设有若干个用于铰接的一第二传动滚轴，所述第二传动滚轴的顶端中部铰接有一紧固螺母，所述紧固螺母的一端安装有L型支架；

所述L型支架的底端中部安装有一连接垫片；

所述连接垫片的表面开设有若干个开孔；

所述L型支架的顶部两边侧分别穿插设有若干根连通杆，若干根所述连通杆的杆体中部横向设有一夹紧端。

作为本发明一种优选方案：所述夹紧端包括设置在两L型支架顶端中部的一连接横板；

其中该连接横板的顶端中部设有用于支撑的升降压缸基座，所述升降压缸基座的一端设有用于支撑的连接套筒，所述连接套筒的四边角位置均竖直安装有第一调节支架，所述第一调节支架的杆体顶端安装有气动座，所述气动座的后端依次设有三根连接阀，所述连接阀的阀体一端设有一U型接入套管，所述U型接入套管的一端安装有一连通套管，所述连通套管的一端设有用于接入的接入头。

作为本发明一种优选方案：所述L型支架的底端中部并排设有若干个独立的抛光机构；

抛光机构包括设置在连接横板底部的抛光底盘，所述抛光底盘的盘面顶端中部传动设有一第三传动滚轴，所述第三传动滚轴的顶端设有联动垫片，所述联动垫片的顶端中部竖直安装有安放座，所述承载底板的侧壁位置还设有用于支撑的加工机构，所述加工机构包括安装设置在承载底板顶端中部的方形承载板，所述方形承载板的顶部两边侧均设有加工托盘，所述加工托盘的中部安装有一装配顶盖。

作为本发明一种优选方案：所述方形承载板的顶端中部设有用于夹持的夹持限位机构；

所述夹持限位机构包括安装设置在方形承载板两边侧的一三角支架，所述三角支架的顶端中部设有一连接三角，所述连接三角的顶端四个边角处均设有承载立杆，所述承载立杆的顶端中部开设有圆形开槽，所述圆形开槽的中部竖直安装有调节基座。

作为本发明一种优选方案：所述调节基座的顶端中部设有一驱动电机，所述驱动电机的底端中部安装有连接杆轴，所述连接杆轴的底端中部设有连接基座，所述连接基座的顶部四边角位置均竖直安装有接入承载支架，所述接入承载支架的底端中部安装有第二调节支架，所述第二调节支架的顶端中部设有调节顶板。

作为本发明一种优选方案：所述调节顶板的板面顶部十字交叉设有拨动承载架，所述拨动承载架的一端设有用于调节的装配支架，所述装配支架顶端中部安装有一连接顶板，所述拨动承载架顶端中部设有调节顶杆，所述调节顶杆的一端设有U型支架，所述U型支架的底端中部安装有一接入底座，所述接入底座的底端中部设有用于铰接的控制柜，所述控制柜的顶端中部竖直安装有一承载架。

作为本发明一种优选方案：所述承载架的边侧设有一装配支架，所述装配顶盖的顶端中部安装有旋转机构；

所述旋转机构包括安装设置在装配顶盖顶端中部的一调节挂耳，所述调节挂耳的一端设有螺钉安装垫，所述螺钉安装垫的顶部四个边角位置均开设有圆形开孔，所述圆形开孔的孔位一端设有紧固螺钉，所述紧固螺钉的底部与若干个独立的调节挂耳的表面贴合设置。

作为本发明一种优选方案：所述调节挂耳环绕设置在调节挂耳四周的调节盘，所述调节盘的边缘位置均开设有若干个圆形上紧孔，若干个所述圆形上紧孔的孔位内部内嵌有用于螺纹连接的一上紧螺母；

上紧螺母的底部螺纹安装有转动盘，所述转动盘的中部设有用于驱动的联动盘，所述联动盘的四周外围均内嵌有一螺钉孔，所述螺钉孔环绕开设在指定的联动盘的四周外侧侧壁，位于所述转动盘的两边侧分别安装有夹持机构。

作为本发明一种优选方案：所述夹持机构包括设置在转动盘四周外侧壁的翻转扣，该翻转扣的扣接端与下端的传动支架紧固设置，所述传动支架的底端中部设有用于铰接的拨动支架，所述传动支架的一端安装有用于调节的夹持板，所述夹持板的一端设有用于调节的夹持架，所述夹持架的中部设有用于联动的安装撑杆，所述安装撑杆的底端中部设有连接立杆，所述连接立杆的底端中部设有梯形基座。

作为本发明一种优选方案：所述连接立杆的一端安装有承载支架，所述承载支架的顶端中部竖直安装有限位滚轴，所述限位滚轴的顶端中部横向安装有横向板；

所述横向板的顶端中部竖直安装有一连接撑杆，所述连接撑杆的顶端中部安装有微调架。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1）通过设有的承载底板和连接承载架的夹紧状态下，对应着传动滚轴的轴向转动后拨动前端的L型支架的铰接结构实现翻转后实现了对应着的U型支架的夹紧端实现连接，采用的连接基座的联动放置后实现传动式的旋转，采用的连接顶板和底端的承载架的夹紧后实现接触并加以限位；

2）通过采用的转动盘和圆形上紧孔的孔位旋转后进而促成了对应的转动盘的盘面旋转后进而达成了对于顶端的联动盘的盘面旋转后加以抛光和切割，依照联动盘盘面的旋转状态下，接触进而达成了对于盘面抛光的贴合设置。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

图2为本发明的侧面结构示意图；

图3为本发明的顶部结构示意图；

图4为本发明的夹紧端结构示意图；

图5为本发明的方形承载板结构示意图；

图6为本发明的底部结构示意图

图7为本发明的夹持限位机构结构示意图

图8为本发明的旋转机构结构示意图

图9为本发明的转动盘结构示意图；

图10为本发明的夹持机构结构示意图。

图中：1、支撑机构；11、承载底板；12、连接承载架；14、贴合承载板；15、传动轴；16、第一传动滚轴；17、第二传动滚轴；18、紧固螺母；19、L型支架；191、连接垫片；192、开孔；193、连通杆；2、夹紧端；21、连接横板；22、升降压缸基座；24、连接套筒；25、第一调节支架；26、气动座；27、连接阀；28、U型接入套管；29、连通套管；291、接入头；3、抛光机构；31、抛光底盘；32、第三传动滚轴；33、联动垫片；34、安放座；4、加工机构；41、方形承载板；42、加工托盘；43、装配顶盖；5、夹持限位机构；51、三角支架；52、连接三角；53、承载立杆；54、圆形开槽；55、调节基座；56、驱动电机；57、连接杆轴；58、连接基座；59、接入承载支架；591、第二调节支架；592、调节顶板；593、拨动承载架；594、连接顶板；596、U型支架；597、接入底座；598、控制柜；599、承载架；6、旋转机构；61、调节挂耳；62、螺钉安装垫；63、圆形开孔；64、紧固螺钉；65、调节盘；66、圆形上紧孔；67、上紧螺母；68、转动盘；69、联动盘；691、螺钉孔；7、夹持机构；71、翻转扣；72、传动支架；73、拨动支架；74、夹持板；75、安装撑杆；76、连接立杆；77、梯形基座；78、限位滚轴；79、横向板；791、连接撑杆。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1－图10，本发明提供一种技术方案：一种硅片旋转抛光头组件，包括一支撑机构1，支撑机构1包括一承载底板11，承载底板11的板面侧壁中部安装有一连接承载架12，连接承载架12的侧壁中部开设有一贴合承载板14，贴合承载板14的板面中部均铰接有一传动轴15；

传动轴15的侧壁中部横向设有一第一传动滚轴16，第一传动滚轴16的两边侧均设有若干个用于铰接的一第二传动滚轴17，第二传动滚轴17的顶端中部铰接有一紧固螺母18，紧固螺母18的一端安装有L型支架19；

L型支架19的底端中部安装有一连接垫片191；

连接垫片191的表面开设有若干个开孔192；

L型支架19的顶部两边侧分别穿插设有若干根连通杆193，若干根连通杆193的杆体中部横向设有一夹紧端2。

在本实施例中：夹紧端2包括设置在两L型支架19顶端中部的一连接横板21；

其中该连接横板21的顶端中部设有用于支撑的升降压缸基座22，升降压缸基座22的一端设有用于支撑的连接套筒24，连接套筒24的四边角位置均竖直安装有第一调节支架25，第一调节支架25的杆体顶端安装有气动座26，气动座26的后端依次设有三根连接阀27，连接阀27的阀体一端设有一U型接入套管28，U型接入套管28的一端安装有一连通套管29，连通套管29的一端设有用于接入的接入头291。

通过采用的气动座26和连接阀27的阀体结构进一步达成了阀体连通结构上的连接，采用的连通套管29和接入头291的连接实现气密充气端的连接。

在本实施例中：L型支架19的底端中部并排设有若干个独立的抛光机构3；

抛光机构3包括设置在连接横板21底部的抛光底盘31，抛光底盘31的盘面顶端中部传动设有一第三传动滚轴32，第三传动滚轴32的顶端设有联动垫片33，联动垫片33的顶端中部竖直安装有安放座34，承载底板11的侧壁位置还设有用于支撑的加工机构4，加工机构4包括安装设置在承载底板11顶端中部的方形承载板41，方形承载板41的顶部两边侧均设有加工托盘42，加工托盘42的中部安装有一装配顶盖43。

通过采用的第三传动滚轴32和联动垫片33的垫接后用于删了对于安放座34的组合式的安装，采用的方形承载板41和加工托盘42的盘面贴合后加以限制。

在本实施例中：方形承载板41的顶端中部设有用于夹持的夹持限位机构5；

夹持限位机构5包括安装设置在方形承载板41两边侧的一三角支架51，三角支架51的顶端中部设有一连接三角52，连接三角52的顶端四个边角处均设有承载立杆53，承载立杆53的顶端中部开设有圆形开槽54，圆形开槽54的中部竖直安装有调节基座55。

通过采用的承载立杆53和圆形开槽54的槽位一端加以结合后进一步达成了调节基座55

的夹紧后实现安装。

在本实施例中：调节基座55的顶端中部设有一驱动电机56，驱动电机56的底端中部安装有连接杆轴57，连接杆轴57的底端中部设有连接基座58，连接基座58的顶部四边角位置均竖直安装有接入承载支架59，接入承载支架59的底端中部安装有第二调节支架591，第二调节支架591的顶端中部设有调节顶板592。

采用的驱动电机56输出端带动底端的连接杆轴57的轴向旋转后带动底端的第二调节支架591限位转动。

在本实施例中：调节顶板592的板面顶部十字交叉设有拨动承载架593，拨动承载架593的一端设有用于调节的装配支架，装配支架顶端中部安装有一连接顶板594，拨动承载架593顶端中部设有调节顶杆，调节顶杆的一端设有U型支架596，U型支架596的底端中部安装有一接入底座597，接入底座597的底端中部设有用于铰接的控制柜598，控制柜598的顶端中部竖直安装有一承载架599。

通过设置的连接顶板594和调节顶杆用于将控制柜598的柜体位置加以固定，用于各类的夹持端的夹紧。

在本实施例中：承载架599的边侧设有一装配支架，装配顶盖43的顶端中部安装有旋转机构6；

旋转机构6包括安装设置在装配顶盖43顶端中部的一调节挂耳61，调节挂耳61的一端设有螺钉安装垫62，螺钉安装垫62的顶部四个边角位置均开设有圆形开孔63，圆形开孔63的孔位一端设有紧固螺钉64，紧固螺钉64的底部与若干个独立的调节挂耳61的表面贴合设置。

通过采用的调节挂耳61和紧固螺钉64的限位后，用于调节挂耳61位置上的贴紧放置。

在本实施例中：调节挂耳61环绕设置在调节挂耳61四周的调节盘65，调节盘65的边缘位置均开设有若干个圆形上紧孔66，若干个圆形上紧孔66的孔位内部内嵌有用于螺纹连接的一上紧螺母67；

上紧螺母67的底部螺纹安装有转动盘68，转动盘68的中部设有用于驱动的联动盘69，联动盘69的四周外围均内嵌有一螺钉孔691，螺钉孔691环绕开设在指定的联动盘69的四周外侧侧壁，位于转动盘68的两边侧分别安装有夹持机构7。

采用的联动盘69和螺钉孔691的孔位位置上将螺钉加以限制，按照转动盘68的盘面上的贴合放置。

在本实施例中：夹持机构7包括设置在转动盘68四周外侧壁的翻转扣71，该翻转扣71的扣接端与下端的传动支架72紧固设置，传动支架72的底端中部设有用于铰接的拨动支架73，传动支架72的一端安装有用于调节的夹持板74，夹持板74的一端设有用于调节的夹持架，夹持架的中部设有用于联动的安装撑杆75，安装撑杆75的底端中部设有连接立杆76，连接立杆76的底端中部设有梯形基座77。

通过采用的夹持板74的盘面的夹紧端在夹紧后实现贴合放置，设有的连接立杆76和梯形基座77加以固定后实现硅片的放置。

在本实施例中：连接立杆76的一端安装有承载支架，承载支架的顶端中部竖直安装有限位滚轴78，限位滚轴78的顶端中部横向安装有横向板79；

横向板79的顶端中部竖直安装有一连接撑杆791，连接撑杆791的顶端中部安装有微调架。

通过设有的横向板79和连接撑杆791和微调架的一端贴合放置后实现适应性的安装。

具体使用时，首先使用人员需要将承载底板11的板面位置加以支撑，此时使用人员按照承载底板11调节结构对于上端的方形承载板41的板面顶端的装配顶盖43的结构加以连接，此时使用人员按照装配顶盖43的杆体后实现需要抛光的硅片实现贴合安装，此时使用人员方形承载板41的放置后加以贴合安装，此时使用人员再依照对应的传动轴15的中部按照需要加工的芯片放置到联动盘69和调节盘65的表面贴合放置后再按照转动盘68的盘面转动方式上加以夹持；

人团再按照转动盘68的贴合后加以夹持，在夹持阶段后按照翻转扣71的扣紧固加以微调，此时使用人员对应着拨动支架73的剩下端实现抬高延伸，按照夹持板74的调节上移后对应着托架的调节的结构加以贴合连接；

需要抛光加工时；

此时使用人员再按照第一传动滚轴16的轴向旋转到合适的角度后，依照L型支架19的铰接的状态夹持实现对应着的连接顶板594的顶部的驱动电机56的输出端带动底部的杆体一端实现底部的连接杆轴57的一端带动后控制底部的联动顶板的一端实现下移后用于夹紧，进而达成了对于结构实现传递式的旋转，在夹紧完成后进而达成了对于底端的结构加以夹紧，在夹紧完成后进而促成了对于承载架599的结构加以竖直支撑，此时使用人员实现检测；

此时使用人员在按照多根U型支架596的调整后更好的促进了底端的结构夹紧后的夹紧。

本说明中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。