一种掩模夹具

技术领域

本发明涉及掩模夹具技术领域，具体为一种掩模夹具。

背景技术

掩模是半导体业、集成电路制作时所需的一种模具，可将掩模上的图形经过曝光制程复制于晶圆上。掩模厂根据客户设计的图形，将图形数据转化后，利用掩模曝光机在感光石英基材上进行曝光，经显影(显影+烘烤)、蚀刻制程使其表面产生透光与不透光的极细微的逻辑图形。在掩模工艺过程中，为了手动取放掩模版后遗留手指印以及颗粒等污染物质，出现了掩模夹具，现有的掩模台上需要夹持不同类型大小和不同形状的工件，因此在现有的夹具上拥有多种的类型的夹具，在多种类型的夹具下，因此也导致了掩模台使用不方便，还因为多种类型的夹具原因，使得在加工成本上的浪费，为了降低成本，为此，我们提出一种掩模夹具。

发明内容

本发明的目的在于提供一种掩模夹具，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种掩模夹具，包括滑槽，滑槽的一端固定安装有握柄，滑槽的另一端位置套接有可移动夹头，握柄和可移动夹头之间安装有使装置能够将不同类型大小的掩模板固定的辅助组件，且辅助组件套接在滑槽的表面，在滑槽的表面安装一个辅助组件有利于将夹具在夹紧掩模板的时候更为稳定一点，防止其脱落。

优选的，握柄的表面位置贯穿有螺杆，握柄的底部通过配合螺杆连接有用于手动调节的握把，握柄和握把之间安装有用于快速复位的第一弹簧，握把的一端在靠近滑槽的底端位置安装有固定夹头,且螺杆通过贯穿握柄与握把固定连接，安装第一弹簧的目的是在于在拆卸装置的时候有弹簧本身的弹性能够将掩模板被拆除。

优选的，滑槽的表面开设有多个卡槽，可移动夹头的表面位置贯穿有插销，插销的底端位置外圆套接有限位块，限位块的底端位置固定连接有第二弹簧，且插销通过贯穿可移动夹头与卡槽进行卡接，用卡槽和限位块卡接，有利于可移动夹头快速的找到对应的固定位置。

优选的，辅助组件包括设置在滑槽的表面用于保护装置的外壳，且外壳是种有槽腔体，外壳的内部安装有斜齿槽，斜齿槽的两侧位置均安装有用于将装置进行限位的软性移动块，软性移动块的表面贯穿有用于手动调节的移动柱，软性移动块的一侧位置连接固定有第三弹簧，第三弹簧的一端连接有与外壳滑动的滑块，移动柱的底端位置连接有连接杆，连接杆的一端固定连接有用于夹紧掩模板的辅助夹板，辅助夹板有利于夹住在不同类型的中掩模板，使得掩模板在加工固定的同时能够更稳定。

优选的，滑槽的一端在靠近握柄的连接处是为折叠层。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：现通过握柄与握把之间的的配合使得掩模板的一端被夹紧，在通过调节可移动夹头安装插销，然后对应卡槽，有利于将不同类型大小的掩模板夹紧，在通过辅助组件的作用下，有利于装置能够适应多种加工环境，也可以将掩模板悬空加工，且使得掩模板的四个端面能够受到力的作用，有利与辅助固定夹头和可移动夹头将掩模板夹紧。

附图说明

图1为本发明整体的构造的结构示意图；

图2为本发明可移动夹头的局部剖视结构示意图；

图3为本发明握柄的局部剖视结构示意图；

图4为本发明辅助组件的结构示意图；

图5为本发明A点的放大图结构示意图；

图6为本发明第一弹簧的安装方式的结构示意图。

图中：1-滑槽；2-握柄；3-握把；4-第一弹簧；5-固定夹头；6-插销；7-卡槽；8-可移动夹头；9-螺杆；10-限位块；11-第二弹簧；100-辅助组件；101-外壳；102-斜齿槽；103-连接杆；104-辅助夹板；105-软性移动块；106-移动柱；107-第三弹簧；108-滑块。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-6，本发明提供一种掩模夹具技术方案：一种掩模夹具，包括滑槽1，所述滑槽1的一端固定安装有握柄2，所述滑槽1的另一端位置套接有可移动夹头8，所述握柄2和可移动夹头8之间安装有使装置能够将不同类型大小的掩模板固定的辅助组件100，且辅助组件100套接在滑槽1的表面。

所述握柄2的表面位置贯穿有螺杆9，所述握柄2的底部通过配合螺杆9连接有用于手动调节的握把3，所述握柄2和握把3之间安装有用于快速复位的第一弹簧4，所述握把3的一端在靠近滑槽1的底端位置安装有固定夹头5,且螺杆9通过贯穿握柄2与握把3固定连接，固定夹头5与握把3之间的连接是由一根固定柱将两者连接的。

所述滑槽1的表面开设有多个卡槽7，所述可移动夹头8的表面位置贯穿有插销6，所述插销6的底端位置外圆套接有限位块10，所述限位块10的底端位置固定连接有第二弹簧11，且插销6通过贯穿可移动夹头8与卡槽7进行卡接，可移动夹头8内部开设有腔体，且腔体可以通过限位块10的旋转，并且将插销6锁死在可移动夹头8的里面，可移动夹头8与滑槽1的连接是由可移动夹头8里面安装有滑块。

所述辅助组件100包括设置在滑槽1的表面用于保护装置的外壳101，且外壳101是种有槽腔体，所述外壳101的内部安装有斜齿槽102，所述斜齿槽102的两侧位置均安装有用于将装置进行限位的软性移动块105，所述软性移动块105的表面贯穿有用于手动调节的移动柱106，所述软性移动块105的一侧位置连接固定有第三弹簧107，所述第三弹簧107的一端连接有与外壳101滑动的滑块108，所述移动柱106的底端位置连接有连接杆103，所述连接杆103的一端固定连接有用于夹紧掩模板的辅助夹板104。

所述滑槽1的一端在靠近握柄2的连接处是为折叠层。

工作原理:流程：首先通过把掩模板放在合适的加工位置，然后在滑槽1的一端接上可移动夹头8，由于滑槽1表面开设有多个卡槽7，使得可以在可移动夹头8的表面穿插一个插销6，将插销6插进卡槽7里面，由于在可移动夹头8里面的开设有腔，插销6就会在可移动夹头8的腔体部分安装限位块10，在通过旋转插销6，插销6就会与可移动夹头8固定，在通过在滑槽1的另外一端连接的握柄2上，用把手3在用力按压可以将固定夹头5和可移动夹头8之间的配合下将掩模板夹紧，由于如果在悬空加工的环境下很有可能夹持不稳定，在将滑槽1的表面套接一个辅助组件100，辅助组件100是先通过移动柱106把软性移动块105沿斜齿槽102的里面滑动，使得在连接杆103将辅助夹板104往内夹紧掩模板，在松开掩模板的时候可将辅助组件100时，可将移动柱106带动滑块108沿者外壳101里面的槽往上拉，使得软性移动块105与斜齿槽102分离，掩模板就会被松开。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。