碳化硅蚀刻工装

技术领域

本发明涉及碳化硅蚀刻技术领域，具体而言，涉及一种碳化硅蚀刻工装。

背景技术

碳化硅(SiC)的加工生产过程中，其碳化硅衬底的质量较为重要，其直接影响到研磨抛光的合格率，乃至影响到芯片端的合格率。目前检验碳化硅衬底质量的方法需要将碳化硅衬底置于高温的KOH溶液里进行蚀刻。但是，现有的蚀刻治具单次仅能蚀刻一片碳化硅衬底，导致蚀刻效率较低。

有鉴于此，研发设计出一种能够解决上述技术问题的碳化硅蚀刻工装显得尤为重要。

发明内容

本发明的目的在于提供一种碳化硅蚀刻工装，其能够同时蚀刻多个碳化硅衬底，具有蚀刻效率较高，且蚀刻灵活性较高的特点。

本发明提供一种技术方案：

第一方面，本发明实施例提供了一种碳化硅蚀刻工装，包括支撑杆及多个托架；

所述支撑杆竖直设置，且所述支撑杆的侧面开设有多个第一连接缺口；

多个所述托架均呈水平设置，且均用于承接碳化硅衬底，多个所述托架一一可拆卸地卡持于多个所述第一连接缺口内。

结合第一方面，在第一方面的第一种实现方式中，所述托架的顶部和/或底部开设有第二连接缺口，所述托架卡持于所述第一连接缺口内时，所述第一连接缺口的部分内壁卡持于所述第二连接缺口内。

结合第一方面及其上述实现方式，在第一方面的第二种实现方式中，多个所述第一连接缺口分别开设于所述支撑杆上相背的两个侧面上。

结合第一方面及其上述实现方式，在第一方面的第三种实现方式中，所述支撑杆的数量为两根，两根所述支撑杆间隔排列设置，且两根所述支撑杆上均开设有所述第一连接缺口，所述托架同时可拆卸地卡持于两根所述支撑杆上所述第一连接缺口内。

结合第一方面及其上述实现方式，在第一方面的第四种实现方式中，所述托架包括相互连接的连接管和承载杆，所述承载杆用于承载所述碳化硅衬底，所述连接管为矩管，且所述第一连接缺口与所述连接管匹配。

结合第一方面及其上述实现方式，在第一方面的第五种实现方式中，所述连接管包括依次连接的第一连接段、第二连接段及第三连接段，所述第一连接段、所述第二连接段及所述第三连接段共同呈凵字型设置，所述第二连接段用于可拆卸地卡持于所述第一连接缺口内；所述承载杆的两端分别连接于所述第一连接段的底部和所述第三连接段的底部。

结合第一方面及其上述实现方式，在第一方面的第六种实现方式中，所述碳化硅蚀刻工装还包括具有开口的固定环，所述固定环连接于所述第一连接段和所述第三连接段，并具有弹性；

所述固定环的末端以及所述固定环的中部均用于与所述碳化硅衬底的边缘抵持，以共同固定所述碳化硅衬底于所述托架上。

结合第一方面及其上述实现方式，在第一方面的第七种实现方式中，所述第一连接段和所述第二连接段上相对应的两个侧面上均开设有连接孔，所述连接孔为沿水平方向延伸的条孔；

所述固定环上部分位置可活动地伸入所述连接孔内，以与所述第一连接段和所述第三连接段连接。

结合第一方面及其上述实现方式，在第一方面的第八种实现方式中，所述固定环的两端上均设有固定柱，所述固定柱竖直设置，且所述固定柱的侧面开设有固定缺口，所述固定缺口的底壁用于与所述碳化硅衬底的边缘抵持。

结合第一方面及其上述实现方式，在第一方面的第九种实现方式中，所述固定环的中部还设置有所述固定柱，以通过三个所述固定柱共同固定所述碳化硅衬底。

相比现有技术，本发明实施例提供的碳化硅蚀刻工装相对于现有技术的有益效果包括：

该碳化硅蚀刻工装包括支撑杆及多个托架，其中，支撑杆竖直设置，且支撑杆的侧面开设有多个第一连接缺口。而多个托架均呈水平设置，且均用于承接碳化硅衬底，多个托架一一可拆卸地卡持于多个第一连接缺口内。这样一来，在使用上述碳化硅蚀刻工装时，可同时在支撑杆上连接多个托架，从而同时对多个碳化硅衬底进行蚀刻，其蚀刻效率较高，并且，可根据蚀刻需求调整支撑杆上连接的托架数量，以对对应数量的多个碳化硅衬底同时进行蚀刻，从而提高碳化硅蚀刻工装的灵活性。

为使本发明的上述目的、特征及优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍。应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定。对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本发明实施例提供的碳化硅蚀刻工装的立体结构示意图。

图2为本发明实施例提供的碳化硅蚀刻工装上具有第二连接缺口时的立体结构示意图。

图3为本发明实施例提供的碳化硅蚀刻工装在侧面视角下的结构示意图。

图4为本发明实施例提供的碳化硅蚀刻工装在俯视视角下的结构示意图。

图标：10-碳化硅蚀刻工装；11-支撑杆；111-第一连接缺口；112-挂钩；12-托架；120-连接管；121-第一连接段；122-第二连接段；123-第三连接段；125-连接孔；126-承载杆；127-第二连接缺口；13-固定环；131-固定柱；900-碳化硅衬底。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。术语“上”、“下”、“内”、“外”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，“设置”、“连接”等术语应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

下面结合附图，对本发明的具体实施方式进行详细说明。

实施例：

请参阅图1，图1为本发明实施例提供的碳化硅蚀刻工装10的立体结构示意图。

本发明实施例提供一种碳化硅蚀刻工装10，该碳化硅蚀刻工装10可以同时蚀刻多个碳化硅衬底900，具有蚀刻效率较高，且蚀刻灵活性较高的特点。

以下将具体介绍本发明实施例提供的碳化硅蚀刻工装10的结构组成、工作原理及有益效果。

请继续参阅图1，以及参阅图2和图3，图2为本发明实施例提供的碳化硅蚀刻工装10上具有第二连接缺口127时的立体结构示意图。图3为本发明实施例提供的碳化硅蚀刻工装10在侧面视角下的结构示意图。

该碳化硅蚀刻工装10包括支撑杆11及多个托架12，其中，支撑杆11竖直设置，且支撑杆11的侧面开设有多个第一连接缺口111。而多个托架12均呈水平设置，且均用于承接碳化硅衬底900，多个托架12一一可拆卸地卡持于多个第一连接缺口111内。这样一来，在使用碳化硅蚀刻工装10时，可同时在支撑杆11上连接多个托架12，从而同时对多个碳化硅衬底900进行蚀刻，其蚀刻效率较高，并且，可根据蚀刻需求调整支撑杆11上连接的托架12数量，以对对应数量的多个碳化硅衬底900同时进行蚀刻，从而提高碳化硅蚀刻工装10的灵活性。

而现有的蚀刻治具单次仅能蚀刻一片碳化硅衬底900，导致蚀刻效率较低。并且，对于线切后的多根不同晶棒，有时会出现需蚀刻多片碳化硅衬底900，但现有的蚀刻治具难以满足这一需求，而本实施例提供的碳化硅蚀刻工装10能够通过调整托架12的数量来蚀刻对应数量的碳化硅衬底900，其灵活性较高，且效率较高。

需要说明的是，在本实施例中，多个第一连接缺口111分别开设于支撑杆11上相背的两个侧面上。从而增加碳化硅蚀刻工装10所能同时蚀刻碳化硅衬底900的数量，提高碳化硅蚀刻工装10的灵活性。而在其他实施例中，第一连接缺口111也可开设于支撑杆11的四周的侧面上，以在在改变蚀刻坩埚尺寸的情况下，可以将托架12数量进行拓展，从而提升产能。进一步地，支撑杆11的数量可为两根，两根支撑杆11间隔排列设置，且两根支撑杆11上均开设有第一连接缺口111，托架12同时可拆卸地卡持于两根支撑杆11上第一连接缺口111内，换言之，托架12通过卡持于两个第一连接缺口111与支撑杆11连接，以提高托架12连接于支撑杆11的稳固性。

并且，在支撑杆11的侧面还可凸设有挂钩112，该挂钩112靠近支撑杆11的顶部设置，且与支撑杆11呈夹角设置，以用于在使用碳化硅蚀刻工装10时，通过提拉挂钩112来移动碳化硅蚀刻工装10。

需要说明的是，在本实施例中，支撑杆11为横截面为矩形的杆，多个第一连接缺口111分别开设于支撑杆11上相背的两个侧面上，第一连接缺口111为水平贯穿支撑杆11的缺口。

并且，托架12顶部和/或底部上还可开设有第二连接缺口127，托架12卡持于第一连接缺口111内时，第一连接缺口111的部分内壁卡持于第二连接缺口127内。换言之，在水平放置托架12于第一连接缺口111内时，第一连接缺口111的内壁与第二连接缺口127的内壁配合，以相互卡持，从而通过第二连接缺口127限制托架12相对于支撑杆11位移的范围，进一步提高托架12卡持于支撑杆11的稳固性。

进一步地，托架12包括连接管120和承载杆126，承载杆126与连接管120连接，且承载杆126用于承载碳化硅衬底900，而连接管120为矩管，且第一连接缺口111与连接管120匹配，换言之，第一连接缺口111的内壁也大致呈矩形，第一连接缺口111的内壁与横截面为矩形的连接管120的侧面抵持，以可拆卸地卡持托架12。

并且，连接管120包括依次连接的第一连接段121、第二连接段122及第三连接段123，其中，第一连接段121、第二连接段122及第三连接段123共同呈凵字型设置，如图1所示，其中，第二连接段122用于可拆卸地卡持于第一连接缺口111内。承载杆126的两端分别连接于第一连接段121的底部和第三连接段123的底部，这样一来，在碳化硅衬底900位于承载杆126上时，第一连接段121、第二连接段122及第三连接段123围设于碳化硅衬底900的外周，以限制碳化硅衬底900的位置，提高托架12承载碳化硅衬底900的可靠性。

需要说明的是，在本实施例中，第二连接缺口127开设于第二连接段122的顶部和底部上，从而限制托架12沿第二连接段122的延伸方向相对于支撑杆11运动。而在其他实施例中，第二连接缺口127也可仅开设于第二连接段122的底部或顶部。

请继续参阅图1、图2及图3，以及参阅图4，图4为本发明实施例提供的碳化硅蚀刻工装10在俯视视角下的结构示意图。

碳化硅蚀刻工装10还可包括具有开口的固定环13，该固定环13连接于第一连接段121和第三连接段123，并且，该固定环13具有弹性。固定环13的末端以及固定环13的中部均用于与碳化硅衬底900的边缘抵持，以共同固定碳化硅衬底900于托架12上。换言之，具有弹性的固定环13的两端以及固定环13的中部均具有向碳化硅衬底900的中心运动的趋势，从而共同夹持碳化硅衬底900，以较稳固地固定碳化硅衬底900于托架12上。

需要说明的是，在本实施例中，中部是指将对应物件按其长度方向分为三等份时，其中的中间等份所对应的位置。

进一步地，第一连接段121和第二连接段122上相对应的两个侧面上均开设有连接孔125，该连接孔125为沿水平方向延伸的条孔，如图1所示。

而固定环13上部分位置可活动地伸入连接孔125内，以与第一连接段121和第三连接段123连接，换言之，固定环13延伸路径先伸入连接孔125，再由连接孔125伸出，或者说，固定环13的一段弧形段位于连接孔125内，且能够于连接孔125内滑动。这样一来，在放置或拿取碳化硅衬底900时，若出现带动碳化硅衬底900在水平面运动的误操作，可活动的固定环13始终夹持于碳化硅衬底900外周，以保护碳化硅衬底900。并且，在放置碳化硅衬底900在固定环13内时，由于固定环13可活动，可固定环13的末端及中部逐次地与碳化硅衬底900夹持，提高放置固定碳化硅衬底900的便捷度。

进一步地，固定环13的两端上可均设有固定柱131，该固定柱131竖直设置，且固定柱131的侧面开设有固定缺口(图未示)，固定缺口的底壁用于与碳化硅衬底900的边缘抵持，换言之，固定柱131通过固定缺口限制碳化硅衬底900上下移动，进一步提高托架12固定碳化硅衬底900的稳定性。

此外，固定环13的中部还可设置有固定柱131，从而通过三个固定柱131共同固定碳化硅衬底900，进一步地提高托架12固定碳化硅衬底900的稳定性。

本发明实施例提供的碳化硅蚀刻工装10的工作原理是：

该碳化硅蚀刻工装10包括支撑杆11及多个托架12，其中，支撑杆11竖直设置，且支撑杆11的侧面开设有多个第一连接缺口111。而多个托架12均呈水平设置，且均用于承接碳化硅衬底900，多个托架12一一可拆卸地卡持于多个第一连接缺口111内。这样一来，在使用上述碳化硅蚀刻工装10时，可同时在支撑杆11上连接多个托架12，从而同时对多个碳化硅衬底900进行蚀刻，其蚀刻效率较高，并且，可根据蚀刻需求调整支撑杆11上连接的托架12数量，以对对应数量的多个碳化硅衬底900同时进行蚀刻，从而提高碳化硅蚀刻工装10的灵活性。

综上所述：

本发明实施例提供一种碳化硅蚀刻工装10，其能够同时蚀刻多个碳化硅衬底900，具有蚀刻效率较高，且蚀刻灵活性较高的特点。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，在不冲突的情况下，上述的实施例中的特征可以相互组合，本发明也可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。并且，应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。