喷墨头、喷墨打印机及喷墨头的制造方法

技术领域

本发明的实施方式涉及喷墨头及喷墨打印机。

背景技术

在例如通过压电元件将油墨加压，使油墨滴从设置于喷嘴板的喷嘴喷出的喷墨头中，为了使喷嘴板的表面不附着油墨而对其赋予疏液性。为了在喷嘴板的表面赋予疏液性，在喷嘴板基板的表面通过涂布法或者气相沉积法使氟系化合物成膜而形成疏液膜。

本发明所要解决的课题是提供一种疏液性优异的喷墨头、以及具备这样的喷墨头的喷墨打印机。

发明内容

实施方式的喷墨头具备喷嘴板，所述喷嘴板设置有向记录介质喷出油墨的喷嘴。喷嘴板包括喷嘴板基板、底涂层和疏液层，所述底涂层设置于所述喷嘴板基板与所述记录介质相对的面，由包含硅原子和碳原子的底涂(primer)剂的单分子膜形成，所述疏液层设置于所述底涂层上，由在表面侧具有全氟烷基作为一方的末端基、另一方的末端基结合于所述底涂层的直链状氟化合物的单分子膜形成。

附图说明

图1是示出实施方式涉及的喷墨头的立体图。

图2是示出实施方式涉及的构成喷墨头的致动器基板、框架及喷嘴板的分解立体图。

图3是示出实施方式涉及的喷墨打印机的模式图。

图4是示出实施方式涉及的喷墨打印机的主要部分的立体图。

图5是概略性示出实施方式涉及的喷嘴板的结构的剖面图。

图6是示出针对实施例涉及的喷嘴板得到的XPS能谱的图表。

图7是示出针对比较例涉及的喷嘴板得到的XPS能谱的图表。

【符号说明】

1、喷墨头；10、油墨歧管；11、油墨供给管；12、油墨返回管；20、致动器基板；21、油墨供给口；22、油墨排出口；30、致动器；31、布线图案；40、框架；50、喷嘴板；N、喷嘴；51、喷嘴板基板；52、底涂层；53、疏液层；60、柔性印刷基板；61、驱动回路；100、喷墨打印机；1011、盒；1012、盒；102、供纸辊；103、供纸辊；104、输送辊对；105、输送辊对；106、对齐辊对；107、输送带；108、驱动辊；109、从动辊；111、负压室；112；输送辊对；113、输送辊对；114、输送辊对；1151、喷墨头；1152、喷墨头；1153、喷墨头；1154、喷墨头；1161、油墨盒；1162、油墨盒；1163、油墨盒；1164、油墨盒；1171、管；1172、管；1173、管；1174、管；118、排纸托盘；119、风扇；P、记录介质；110、介质保持机构；120、头移动机构；130、刮刀移动机构；140、擦拭刮刀。

具体实施方式

以下，参考附图对实施方式进行说明。

图1是示出实施方式涉及的、搭载于喷墨打印机的头滑架而使用的按需(ondemand)型喷墨头1的立体图。在以下的说明中，使用由X轴、Y轴、Z轴形成的直角坐标系。为了方便，将图中箭头所指的方向作为正方向。X轴方向与印刷宽度方向相对应。Y轴方向与输送记录介质的方向相对应。Z轴正方向为与记录介质相对的方向。

参考图1进行概略性说明，喷墨头1具备油墨歧管10、致动器基板20、框架40以及喷嘴板50。

致动器基板20成为以X轴方向为长边方向的矩形。可以列举出例如氧化铝(Al

为了关闭油墨歧管10的开口端，致动器基板20重叠于油墨歧管10的上方。油墨歧管10经由油墨供给管11以及油墨返回管12与油墨盒连接。

在致动器基板20上安装有框架40。在框架40上安装有喷嘴板50。在喷嘴板50上，多个喷嘴N以沿着Y轴形成为两列的方式沿着X轴方向隔开预定的间隔设置。

图2是构成实施方式涉及的喷墨头1的致动器基板20、框架40以及喷嘴板50的分解立体图。该喷墨头1是所谓的剪切模式共享壁(share wall)的侧边喷射(side shooter)型。

以在Y轴方向的中央部形成列的方式，多个油墨供给口21沿着X轴方向隔开间隔而设置于致动器基板20。另外，以相对于油墨供给口21的列在Y轴正方向以及Y轴负方向分别形成列的方式，多个油墨排出口22沿着X轴方向隔开间隔而设置于致动器基板20。

在中央的油墨供给口21的列与一方的油墨排出口22的列之间设置有多个致动器30。这些致动器30在X轴方向形成延伸的列。另外，在中央的油墨供给口21的列与另一方的油墨排出口22的列之间也设置有多个致动器30。这些致动器30也在X轴方向形成延伸的列。

每个由多个致动器30形成的列由层叠于致动器基板20上的第一压电体以及第二压电体构成。可以列举例如锆钛酸铅(PZT)、铌酸锂(LiNbO

在由第一以及第二压电体形成的层叠体中设置有各自向Y轴方向延伸并在X轴方向排列的多个沟。这些沟在第二压电体侧开口，具有比第二压电体的厚度更大的深度。以下将该层叠体中相邻的沟夹着的部分称为沟道壁。这些沟道壁各自向Y轴方向延伸并在X轴方向排列。需要说明的是，相邻的两个沟道壁之间的沟是油墨流通的油墨沟道。

在油墨沟道的侧壁以及底形成有电极。这些电极与沿着Y轴方向延伸的布线图案31连接。

除了与后述的柔性印刷基板的连接部之外，在包括电极以及布线图案31的致动器基板20的表面形成有未图示的保护膜。保护膜包括例如多层的无机绝缘膜以及有机绝缘膜。

框架40具有开口部。该开口部比致动器基板20小且比在致动器基板20中设置油墨供给口21、致动器30以及油墨排出口22的区域大。框架40例如由陶瓷形成。框架40例如通过粘合剂与致动器基板20接合。

喷嘴板50包括喷嘴板基板、底涂层和疏液层，所述底涂层设置于其介质相对面(从喷嘴N喷出油墨的喷出面)，所述疏液层设置于底涂层的上方。喷嘴板基板由例如聚酰亚胺膜等树脂膜形成。关于底涂层以及疏液层稍后详述。

喷嘴板50比框架40的开口部大。喷嘴板50例如通过粘合剂与框架40接合。

在喷嘴板50中设置多个喷嘴N。这些喷嘴N与油墨沟道对应而形成两列。随着从记录介质相对面向油墨沟道的方向前进，喷嘴N的直径越大。喷嘴N的尺寸对应于油墨的喷出量而设定为预定的值。喷嘴N可以例如通过实施利用准分子激光的激光加工而形成。

致动器基板20、框架40以及喷嘴板50如图1所示成为一体，形成中空结构。由致动器基板20、框架40以及喷嘴板50包围的区域是油墨流通室。油墨进行如下循环：从油墨歧管10通过油墨供给口21被供给至油墨流通室，通过油墨沟道，剩余的油墨从油墨排出口22返回至油墨歧管10。油墨的一部分在流经油墨沟道的期间从喷嘴N喷出而被用于印刷。

在布线图案31中，在致动器基板20上、框架40的外侧位置连接有柔性印刷基板60。在柔性印刷基板60中，搭载有驱动致动器30的驱动回路61。

以下对致动器30的动作进行说明。在此，着眼于相邻的三个油墨沟道中的中央的油墨沟道对动作进行说明。与相邻的三个油墨沟道相对应的电极作为A、B以及C。在与沟道壁垂直的方向未施加电场的情况下，沟道壁为直立状态。

例如对中央的电极B施加比两旁的电极A以及C的电位高的电位的电压脉冲，使在与沟道壁垂直的方向产生电场。如此，在剪切模式下驱动沟道壁，令夹着中央的油墨沟道的一对沟道壁使中央的油墨沟道的体积扩张而变形。

接着，对两旁的电极A以及C施加比中央的电极B的电位高的电位的电压脉冲，使在与沟道壁垂直的方向产生电场。如此，在剪切模式下驱动沟道壁，令夹着中央的油墨沟道的一对沟道壁使中央的油墨沟道的体积缩小而变形。通过该动作，对中央的油墨沟道内的油墨施加压力，使从与该油墨沟道对应的喷嘴N喷出油墨而降落于记录介质。

例如将所有的喷嘴分成三组，对上面说明的驱动操作加以时分控制而进行三次循环，进行向记录介质的印刷。

图3示出了喷墨打印机100的模式图。图3所示的喷墨打印机100包括设置有排纸托盘118的壳体。壳体内设置有盒1011及1012、供纸辊102及103、输送辊对104及105、对齐辊对106、输送带107、风扇119、负压室111、输送辊对112、113及114、喷墨头1151、1152、1153及1154、油墨盒1161、1162、1163及1164、以及管1171、1172、1173及1174。

盒1011及1012收纳大小不同的记录介质P。供纸辊102或者103将与被选择的记录介质的大小相对应的记录介质P从盒1011或者1012取出，输送至输送辊对104及105和对齐辊对106。

输送带107由于驱动辊108和两根从动辊109而被赋予了张力。在输送带107的表面以预定间隔设置了孔。在输送带107的内侧设置有用于使记录介质P吸附于输送带107的、与风扇119连结的负压室111。在输送带107的输送方向的下游设置有输送辊对112、113及114。需要说明的是，在从输送带107至排纸托盘118的输送路径中，可以设置对记录介质P上形成的印刷层进行加热的加热器。

在输送带107的上方配置有对应于图像数据而将油墨喷出至记录介质P的四个喷墨头。具体的，喷出青色(C)油墨的喷墨头1151、喷出品红色(M)油墨的喷墨头1152、喷出黄色(Y)油墨的喷墨头1153、及喷出黑色(Bk)油墨的喷墨头1154从上游侧按此顺序配置。喷墨头1151、1152、1153及1154均为参考图1以及图2而说明的喷墨头1。

在喷墨头1151、1152、1153及1154的上方设置有分别收纳与它们相对应的油墨的青色(C)油墨盒1161、品红色(M)油墨盒1162、黄色(Y)油墨盒1163及黑色(Bk)油墨盒1164。这些墨盒1161、1162、1163及1164分别通过管1171、1172、1173及1174与喷墨头1151、1152、1153以及1154连结。

接着，对该喷墨打印机100的图像形成动作进行说明。

首先，图像处理装置(未图示)开始用于记录的图像处理，生成与图像数据相对应的图像信号，且生成控制各种辊、负压室111等的动作的控制信号。

供纸辊102或者103在图像处理装置的控制下，从盒1011或者1012逐张取出被选择大小的记录介质P，输送至输送辊对104以及105和对齐辊对106。对齐辊对106修正记录介质P的偏斜，在预定的时机输送记录介质P。

负压室111经由输送带107的孔吸入空气。因此，记录介质P在吸附于输送带107的状态下，随着输送带107的移动，被依次输送至喷墨头1151、1152、1153及1154下方的位置。

喷墨头1151、1152、1153及1154在图像处理装置的控制下，与记录介质P被输送的时机同步地喷出油墨。由此，可以在记录介质P的预期位置形成彩色图像。

之后，输送辊对112、113及114将形成了图像的记录介质P排纸至排纸托盘118。在对从输送带107至排纸托盘118的输送路径设置加热器的情况下，也可以通过加热器对形成于记录介质P上的印刷层加热。若通过加热器进行加热，特别是在记录介质P为非浸透性的情况下，可以提高印刷层对记录介质P的紧贴性。

图4示出喷墨打印机100的主要部分的立体图。图4中画出了上面说明的喷墨头1、介质保持机构110、头移动机构120、刮刀移动机构130和擦拭刮刀140。

介质保持机构110将记录介质P，例如记录用纸，与喷墨头1相对而保持。介质保持机构110具有作为使记录介质移动的记录用纸移动机构的功能。介质保持机构110包括图3的输送带107、驱动辊108、从动辊109、负压室111以及风扇119。介质保持机构110在印刷时，使记录介质P在与喷墨头1相对的状态下，向与记录介质P的印刷面平行的方向移动。在此期间，喷墨头1从喷嘴喷出油墨滴而印刷在记录介质P上。

头移动机构120在印刷时使喷墨头1移动至印刷位置。另外，头移动机构120在清洁时将喷墨头1移动至清洁位置。

擦拭刮刀140擦拭喷墨头1的喷嘴板与记录介质相对的面，即，记录介质相对面，从该记录介质相对面除去附着物。在此，附着物是指例如油墨、粉尘以及灰尘等垃圾。

刮刀移动机构130使擦拭刮刀140移动。具体的，头移动机构120使喷墨头1移动至清洁位置后，刮刀移动机构130将擦拭刮刀140按到喷嘴板50的记录介质相对面并在其上移动。由此，去除附着于喷嘴板50的记录介质相对面的油墨等附着物。

需要说明的是，也可以省略擦拭刮刀140以及刮刀移动机构130。

在上述的喷墨头1中，对喷嘴板50的介质相对面赋予了疏液性。为了赋予疏液性，在喷嘴板基板的介质相对面设置底涂层以及疏液层。对此，参考图5进行说明。

图5是概略性示出图1以及图2的喷嘴板50的结构的剖面图。喷嘴板50如上述所述，包括喷嘴板基板51、底涂层52和疏液层53。

底涂层52设置于喷嘴板基板51与记录介质P相对的面。底涂层52由底涂剂的单分子膜形成。底涂剂包含硅原子和碳原子。

底涂剂包含例如第一及第二反应性官能团、碳骨架以及烷氧基甲硅烷基。

第一反应性官能团通过与存在于喷嘴板基板51的表面的官能团反应，使底涂剂与喷嘴板基板51结合。第一反应性官能团是例如羟基、环氧基、氨基、甲基丙烯酸基、乙烯基等不饱和烃基，或者巯基。存在于喷嘴板基板51的表面的官能团是例如羟基、酯键、氨基或者硫醇基。

第二反应性官能团通过与在疏液层53的形成中使用的直链状氟化合物反应，使直链状氟化合物与底涂剂结合。对直链状氟化合物稍后叙述。第二反应性官能团是例如羟基、或者甲氧基以及乙氧基等烷氧基。

碳骨架将第一反应性官能团与第二反应性官能团连结。碳骨架包含一个以上的碳原子。碳骨架的碳原子数较优选在4至30的范围内，更优选在4至22的范围内。碳骨架较优选进一步包含一个以上的氟原子。若碳骨架具有氟原子则疏液性优异。

烷氧基甲硅烷基连结至碳骨架。烷氧基甲硅烷基水解生成硅烷醇基。通过在喷嘴板基板51上相邻的底涂剂的分子间发生硅烷醇基脱水缩合，可以在底涂剂中生成分子间键。如此，较优选底涂剂的分子相互结合。根据一例，在喷嘴板基板51上相邻的底涂剂分子通过硅氧烷键(Si-O-Si)相互结合。由此，底涂剂形成相对于喷嘴板基板51的介质相对面略平行的结合。

需要说明的是，通过水解生成的硅烷醇基中，未用于底涂剂的分子间键的硅烷醇基可以用于底涂剂与直链状氟化合物的结合。

可以使用例如由下述的通式(1)表示的化合物作为底涂剂。

【化学式1】

在通式(1)中，n是1至10的自然数。在通式(1)中，R1以及R2分别是上述的第一以及第二反应性官能团。由通式(1)表示的化合物包含第一以及第二反应性官能团、碳骨架和烷氧基甲硅烷基。

在通式(1)中，烷氧基甲硅烷基是三甲氧基甲硅烷基，烷氧基甲硅烷基也可以是三乙氧基甲硅烷基等官能团。另外，在通式(1)中，包含于碳骨架的CF

若使用上述底涂剂形成单分子膜，则通常可以得到0.7nm至1nm厚度的底涂层52。

疏液层53被设置于底涂层52上。疏液层53由直链状氟化合物的单分子膜形成。直链状氟化合物是在表面侧具有全氟烷基作为一方的末端基、另一方的末端基结合于底涂层52的直链状分子。

疏液层53能够使用例如一方的末端基是全氟烷基、另一方的末端基是第三反应性官能团的直链状氟化合物而形成。

全氟烷基是直链状。全氟烷基的碳原子数可以在4以下(C1至C4)的范围内选择。全氟烷基较优选对于喷嘴板基板51的表面沿着垂线方向直立。若增加全氟烷基的碳原子数，虽然易于使全氟烷基直立，但具有致癌性等对人体的恶劣影响。

第三反应性官能团通过与第二反应性官能团反应，使直链状氟化合物与底涂剂结合。第三反应性官能团是例如羟基、或者甲氧基以及乙氧基等烷氧基。

需要说明的是，利用通过烷氧基甲硅烷基的水解生成的硅烷醇基中、未用于分子间键的硅烷醇基与第三反应性官能团反应，也可以使直链状氟化合物与底涂剂结合。

直链状氟化合物具有例如将全氟烷基与第三反应性官能团连结的间隔连结基。若存在间隔连结基，则有利于全氟烷基采用对于喷嘴板基板51的表面沿着垂线方向直立的结构。间隔连结基是例如全氟聚醚基。

可以使用例如由下述通式(2)表示的化合物作为直链状氟化合物。

【化学式2】

在通式(2)中，p是1至50的自然数，R3是第三反应性官能团。

若使用上述直链状氟化合物形成单分子膜，则通常可以得到9nm至10nm厚度的疏液层53。

图5所示的喷嘴板50例如可以通过如下方式得到。需要说明的是，在此作为一例，喷嘴板基板51由聚酰亚胺形成，底涂剂包含烷氧基甲硅烷基。

首先，准备由聚酰亚胺形成的喷嘴板基板51。喷嘴板基板51的表面中与记录介质P相对的面有时几乎没有与底涂剂结合所必须的官能团，例如羟基。在那种情况下，在形成底涂层52之前，较优选对喷嘴板基板51进行如下的前处理。

例如在氩-氧混合气体中对喷嘴板基板51的表面施加离子等离子体处理，进行表面的改质。离子等离子体处理例如以如下的方式进行。即，将喷嘴板基板51设置于真空室内，将室内的空气抽真空。然后，将上述喷嘴板基板51周围的气氛切换为氩-氧混合气体，之后产生等离子体。

通过在含氧氛围中进行离子等离子体处理，在喷嘴板基板51表面的聚酰亚胺发生开环反应，将该表面用羟基修饰。除此之外，通过在含氩氛围中进行离子等离子体处理，除去附着于喷嘴板基板51的垃圾。

离子等离子体处理较优选在氧浓度是50体积％以下的氩-氧混合气体中进行，更优选在氧浓度是20至50体积％的范围内的氩-氧混合气体中进行。需要说明的是，在氧浓度过大的情况下，损伤喷嘴板基板51的表面，表面可能会变粗糙。在喷嘴板基板51的表面变粗糙的情况下，与底涂剂的结合可能不充分。

离子等离子体处理较优选进行100秒以上，更优选内进行200秒以上。在等离子体照射时间过短的情况下，可能无法充分进行对喷嘴板基板51的表面修饰。

接着，向喷嘴板基板51的表面涂布包含底涂剂的溶液。可以使用例如将底涂剂用有机溶剂溶解的溶液作为包含底涂剂的溶液。另外，溶液的涂布可以使用喷涂法、旋涂法、刮涂法等通常的方法。

接下来，加热具备包含底涂剂的涂膜和喷嘴板基板51的层叠体。如此操作，底涂剂结合于聚酰亚胺，且使涂膜干燥。加热例如在200℃进行15分钟。

接下来，使底涂剂的烷氧基甲硅烷基水解。若底涂剂的烷氧基甲硅烷基水解，则生成硅烷醇基。然后，在喷嘴板基板51上相邻的底涂剂的分子间发生硅烷醇基的脱水缩合。由此，形成底涂剂的分子间键。

如此操作，在喷嘴板基板51上形成底涂层52。

接下来，在底涂层52的表面涂布包含直链状氟化合物的溶液而形成疏液层53。可以使用例如将直链状氟化合物溶解于有机溶剂的溶液作为包含直链状氟化合物的溶液。另外，溶液的涂布可以使用关于包含底涂剂的溶液的上述方法。

接下来，加热具备包含直链状氟化合物的涂膜、底涂层52和喷嘴板基板51的层叠体。如此操作，使直链状氟化合物与底涂剂之间发生反应，使直链状氟化合物与底涂层52的表面结合。由此，形成由直链状氟化合物形成的单分子膜作为疏液层53。加热例如在200℃进行15分钟。

以如上的方式操作，可以得到图5所示的喷嘴板50。

上述喷嘴板50的疏液性优异。因此具备上述喷嘴板50的喷墨头1的疏液性也优异。

例如省略底涂层，通过使用在一分子内具有关于底涂剂的上述结构和关于直链状氟化合物的上述结构的材料、而在喷嘴板基板上形成疏液层的方式也可以得到具有与上述喷嘴板50类似结构的喷嘴板。

然而，用于这样的疏液层的形成的分子由于在一分子内具有关于底涂剂的上述结构和关于直链状氟化合物的上述结构而是长的。因此，难以将这些分子致密且有序地配置于喷嘴板基板上。

另一方面，用于上述喷嘴板50的制造的底涂剂的分子长度较短。因此，这些底涂剂分子易于在喷嘴板基板51上致密且有序地配置。另外，用于上述喷嘴板50的制造的直链状氟化合物的分子长度也较短。因此，这些直链状氟化合物分子也易于在底涂层52上致密且有序地配置。因此，在喷嘴板基板51上具有上述底涂层52与疏液层53的二层结构的喷嘴板50比省略了底涂层的上述喷嘴板达成了更优异的疏液性。

另外，由于上述喷嘴板50在喷嘴板基板51上具有底涂层52与疏液层53的二层结构，因此底涂剂的摩尔数与直链状氟化合物的摩尔数无需一致。所以例如可以使疏液层53包含的直链状氟化合物的摩尔数比底涂层52包含的底涂剂的摩尔数更大。具体的，第二反应性官能团及未用于分子间键的硅烷醇基分别与其他的直链状氟化合物的分子结合，疏液层53包含的直链状氟化合物的摩尔数可以比底涂层52包含的底涂剂的摩尔数大。如此，在上述的喷嘴板50中，可以容易达成预期的疏液性。

上述的喷嘴板50包含由单分子膜形成的底涂层52。这样的喷嘴板50相比于底涂层是由多个单分子膜的层叠体形成的喷嘴板，疏液层与喷嘴板基板的紧贴性以及耐刮擦性优异。耐刮擦性是指不易发生起因于使用擦拭刮刀140等刮擦的疏液性劣化的性质。

需要说明的是，底涂层52是否为由单分子膜形成的判断可以利用X射线光电子分光分析(XPS)法。例如通过将具备疏液层53、底涂层52和喷嘴板基板51的喷嘴板50，对从疏液层53的表面刻蚀而得到的喷嘴板50进行X射线光电子分光(XPS)能谱检测可以进行上述的判断。

[实施例]

以下，对实施例以及比较例进行说明。

(实施例)

在本例中，制造具有底涂层和疏液层的喷嘴板。底涂层以及疏液层通过以下方法形成。

准备聚酰亚胺膜作为喷嘴板基板。在包含氩-氧混合气体的减压氛围中对该喷嘴板基板施加等离子体处理。由此，使基板表面的聚酰亚胺发生开环反应，向该表面赋予羟基。

向喷嘴板基板的上述表面通过刮涂法涂布底涂剂的溶液。使用由上述通式(1)表示的、R1是羟基、R2是羟基、n是10的化合物作为底涂剂。

该涂膜在200℃下加热15分钟。如此操作，使底涂剂与聚酰亚胺结合且使涂膜干燥。进一步，使底涂剂的烷氧基甲硅烷基水解，使在相邻的底涂剂分子之间发生硅烷醇基的脱水缩合。由此，形成由底涂剂形成的单分子膜作为底涂层。

之后，在底涂层上通过刮涂法涂布直链状氟化合物的溶液。由上述通式(2)表示的、R3是羟基、p是1的化合物作为直链状氟化合物。

该涂膜在200℃加热15分钟。如此操作，使直链状氟化合物的第三反应性官能团与底涂层的第二反应性官能团反应。由此，形成由氟化合物形成的单分子膜作为疏液层。

(比较例)

除了进行两次底涂层的形成以外，通过与上述实施例同样的方法制造喷嘴板。

(疏液性试验)

分别将实施例以及比较例涉及的喷嘴板切断为15mm的宽度。分别将这些样品使其主面与重力方向平行而浸渍于喷墨油墨中数秒钟。然后，将各样品仅以长度45mm的方式从油墨中拉出，测定直到拉出部分的油墨消失所需要的时间。其结果，任何样品在刚从油墨中拉出后，油墨均从拉出部分消失。由此可知，实施例以及比较例涉及的喷嘴板的疏液性均优异。

(紧贴性以及耐刮擦性试验)

实施例涉及的喷嘴板通过擦拭刮刀擦拭6000次。其结果，实施例涉及的喷嘴板即使在擦拭6000次后，疏液层未从喷嘴板基板剥离。另外，擦拭后的喷嘴板的疏液性优异。如此，实施例涉及的喷嘴板的疏液层与喷嘴板基板的紧贴性以及耐刮擦性优异。

比较例涉及的喷嘴板通过擦拭刮刀擦拭时，疏液层立刻从喷嘴板基板剥离。如此，比较例涉及的喷嘴板的疏液层与喷嘴板基板的紧贴性不优异，且耐刮擦性也不优异。

(XPS分析)

对实施例以及比较例涉及的每个喷嘴板测定XPS能谱。除了上述的XPS能谱的测定之外，刻蚀实施例以及比较例涉及的每个喷嘴板，对刻蚀而得到的喷嘴板也测定XPS能谱。另外，对变更刻蚀时间而得到的喷嘴板也测定XPS能谱。刻蚀是以刻蚀速度为1.7pm/秒而进行的。

图6以及图7分别是示出对于实施例以及比较例涉及的喷嘴板得到的XPS能谱的图表。如图6以及图7所示，例如在刻蚀6000秒的情况下，实施例涉及的喷嘴板与比较例涉及的喷嘴板相比，在680至690eV的结合能范围内的能量强度的峰值更小。

如此，实施例涉及的喷嘴板的结构与比较例涉及的喷嘴板的结构的差异可以在XPS能谱中表现。

需要说明的是，本发明并非限制于上述实施方式，可以在实施阶段中在不脱离其主旨的范围进行多种变形。另外，实施方式可以适宜地组合实施，在该情况下，可以得到组合效果。进一步，在上述实施方式中包含多种发明，通过选自于公开的多个构成要件的组合能够提取出多种发明。例如在即使将实施方式中示出的全部构成要件中的若干构成要件删除，也可以解决课题、得到效果的情况下，将该构成要件删除的构成可以提取作为发明。