一种CVD工件加工设备

技术领域

本发明属于金刚石片加工技术领域，特别涉及一种CVD工件加工设备。

背景技术

CVD工件，即金刚石，目前多个金刚石片同时加工的过程是粘贴在粘胶顶面，加工后，需要对多个金刚石片未加工表面进行加工时，需要将多个金刚石片一一从粘胶表面取下后，将金刚石片已加工的表面粘贴在粘胶上后，方便对金刚石片未加工表面进行加工，会浪费大量的加工时间。

因此，发明一种CVD工件加工设备来解决上述问题很有必要。

发明内容

针对上述问题，本发明提供了一种CVD工件加工设备，以解决上述背景技术中提出的问题：

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种CVD工件加工设备，包括设备壳体，所述设备壳体设置有安装台，所述安装台顶部安装有夹持结构，且夹持结构对应夹持有CVD工件，所述夹持结构顶部设置有抽气筒，抽气筒顶部出气口外接气泵输入端，所述抽气筒一侧连接有加工部件，且加工部件对CVD工件进行加工处理，所述夹持结构包括底座，所述底座一侧顶面两侧均设置有支柱，所述支柱中心处竖直设置有螺槽，所述螺槽底部螺旋卡接有螺钉，且螺钉顶端对应贯穿底座底面，相邻两个支柱之间夹持有中间板，所述中间板两侧均设置有夹板，所述夹板两端与中间板之间采用螺杆固定连接，相邻两个螺杆之间利用皮带传动连接，两个所述夹板与中间板之间均设置有多个夹杆，夹杆顶部固定有夹头，所述夹头表面设置有CVD工件，且夹头顶面设置有粘贴CVD工件的粘胶。

进一步的，所述中间板的两侧位于夹杆的位置均开设有V型槽，所述V型槽开口的尺寸大于夹杆的直径尺寸，所述中间板与夹板配合将夹杆限定夹持在V型槽内侧，夹板表面设置有与多个夹杆一一对应的卡槽，所述卡槽内部螺旋卡接有有内杆，所述内杆内侧端与夹杆圆周外侧面紧密贴合。

进一步的，所述中间板两端面均固定有凸块，所述支柱内侧面设置有与凸块对应的凹槽，所述中间板端部的凸块对应卡扣在支柱的凹槽内部，且中间板端面与支柱内侧面贴合。

进一步的，所述中间板顶部设置有底架，所述底架顶部设置有顶架，顶架和底架相对设置，所述底架两端端部均套接有套框，且套框对应套接于底架和顶架端部，所述底架和顶架的剖面外形均设置为“凹”字形结构，底架和顶架设置有设置有带动CVD工件转动的转动结构，所述转动结构对应夹持CVD工件内侧端。

进一步的，所述底架两端底面均固定有竖杆，所述竖杆底端对应插入支柱的螺槽顶部，所述螺槽顶部固定有相对设置的两个卡板，两个卡板表面转动卡接有转套，所述转套螺旋套接于竖杆表面。

进一步的，所述转动结构包括多个套圈，多个套圈与中间板一侧的多个夹杆一一对应，所述底架顶面和顶架底面均设置有与套圈对应的条槽，所述底架的条槽内部设置有限定多个套圈的多组楔架，每组楔架包括两个相对设置有的楔块，套圈对应处于两个楔块之间。

进一步的，所述转动结构还包括相对设置的两个相对设置的夹持件，两个夹持件分别夹持CVD工件，所述夹持件包括上夹架和下夹架，上夹架和下夹架内侧端均固定有半圆板，所述套圈套接于上夹架和下夹架的半圆板表面，且半圆板处于顶架和底架的条槽内侧，所述上夹架和下夹架外侧端均固定有侧板，且上夹架和下夹架均利用侧板夹持CVD工件。

进一步的，所述上夹架和下夹架之间设置有两个竖直的活动杆，且上夹架和下夹架表面均设置有与两个活动杆对应的通槽，所述活动杆表面套接有弹簧，且弹簧顶端和底端分别连接上夹架底面和下夹架顶面。

本发明的技术效果和优点：

1、本发明通过转动转套，转套与竖杆的螺旋效果使得竖杆在螺槽内部上移，底架与顶架配合利用夹持件带动CVD工件远离夹头顶面的粘胶，推动顶架移动，顶架利用套圈和夹持件带动CVD工件转动180°后，完成对CVD工件进行翻面处理，反向转动转套，方便底架与顶架配合利用夹持件带动CVD工件靠近夹头顶面的粘胶，使得CVD工件的不同加工平面对应限定在夹头顶面，方便加工部件对CVD工件的不同平面进行加工。

2、本发明通过反向转动内杆，内杆与卡槽的螺旋效果使得内杆内侧端远离夹杆，利用夹头拉动夹杆在V型槽内侧上下移动，直至夹头移动到合适位置后，转动内杆，利用内杆内侧端与V型槽配合限定夹持夹杆，可以根据CVD工件的厚度从而实时控制夹头与中间板之间的相对距离。

3、本发明通过将两个活动杆分别卡入到上夹架和下夹架的通槽内部，按压上夹架和下夹架时，上夹架和下夹架利用活动杆配合挤压弹簧，将上夹架和下夹架内侧端卡入套圈内部时，上夹架和下夹架带动活动杆进入到套圈内部，利用套圈封堵上夹架和下夹架的通槽，弹簧的弹力使得上夹架和下夹架的圆周侧面与套圈内侧壁紧密贴合，推动顶架移动时，顶架带动套圈在两个楔块之间转动时，套圈利用上夹架和下夹架外侧端的侧板带动CVD工件转动，直至CVD工件转动180°后，方便对CVD工件进行翻面处理。

附图说明

图1是本发明实施例的CVD工件加工设备整体部件示意图；

图2是本发明实施例的设备壳体内部的部件示意图；

图3是本发明实施例的夹持结构的整体立体示意图；

图4是本发明实施例的中间板限定在两个支柱之间的示意图；

图5是本发明实施例的中间板配合夹板对应夹持夹杆示意图；

图6是本发明实施例的顶架和底架限定夹持套圈示意图；

图7是本发明实施例的转动结构夹持CVD工件示意图；

图中：1、设备壳体；2、安装台；3、CVD工件；4、抽气筒；5、加工部件；6、底座；7、支柱；8、螺槽；9、螺钉；10、中间板；11、夹板；12、螺杆；13、皮带；14、夹杆；15、夹头；16、V型槽；17、内杆；18、凸块；19、底架；20、顶架；21、套框；22、竖杆；23、卡板；24、转套；25、套圈；26、楔架；27、上夹架；28、下夹架；29、侧板；30、活动杆；31、弹簧。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合实施例对本发明技术方案进行清楚、完整地描述。

本发明提供了一种CVD工件加工设备，如图1至图5所示，包括设备壳体1，所述设备壳体1设置有安装台2，所述安装台2顶部安装有夹持结构，且夹持结构对应夹持有CVD工件3，所述夹持结构顶部设置有抽气筒4，抽气筒4顶部出气口外接气泵输入端，所述抽气筒4一侧连接有加工部件5，且加工部件5对CVD工件3进行加工处理，利用夹持结构限定CVD工件3后，设备壳体1内部的加工部件5对CVD工件3进行加工处理时，启动气泵，气泵利用抽气筒4抽取CVD工件3在加工过程中产生的废气以及粉尘，避免废气和粉尘弥漫。

所述夹持结构包括底座6，所述底座6一侧顶面两侧均设置有支柱7，所述支柱7中心处竖直设置有螺槽8，所述螺槽8底部螺旋卡接有螺钉9，且螺钉9顶端对应贯穿底座6底面，相邻两个支柱7之间夹持有中间板10，所述中间板10两侧均设置有夹板11，所述夹板11两端与中间板10之间采用螺杆12固定连接，相邻两个螺杆12之间利用皮带13传动连接，两个所述夹板11与中间板10之间均设置有多个夹杆14，夹杆14顶部固定有夹头15，所述夹头15表面设置有CVD工件3，且夹头15顶面设置有粘贴CVD工件3的粘胶。根据底座6选用合适的支柱7和中间板10，两个支柱7对应夹持在中间板10两端，将支柱7底端对应放置在底座6顶面后，利用螺钉9顶端贯穿底座6底面后，将螺钉9顶端与螺槽8底部螺旋配合，利用螺钉9与螺槽8的螺旋效果使得支柱7底端对应限定在底座6顶面，此时两个支柱7限定夹持中间板10，将两个夹板11分别放置在中间板10两侧后，利用螺杆12贯穿夹板11后，螺杆12内侧端螺旋卡接在支柱7侧面，利用螺杆12与支柱7的螺旋效果方便夹板11与中间板10配合夹持夹杆14，方便通过夹杆14限定夹头15，在夹头15顶面粘贴粘胶后，将CVD工件3对应粘贴在夹头15顶面，完成对CVD工件3的初步限定。

转动螺杆12时，螺杆12利用皮带13带动另一个螺杆12同步转动，两个螺杆12分别与两个支柱7配合，进而对夹板11两端同时进行限定，或者同时使得夹板11两端分别两个支柱7。

在图3至图5中，所述中间板10的两侧位于夹杆14的位置均开设有V型槽16，所述V型槽16开口的尺寸大于夹杆14的直径尺寸，所述中间板10与夹板11配合将夹杆14限定夹持在V型槽16内侧，夹板11表面设置有与多个夹杆14一一对应的卡槽，所述卡槽内部螺旋卡接有有内杆17，所述内杆17内侧端与夹杆14圆周外侧面紧密贴合。将夹杆14底端放置在中间板10侧面的V型槽16内侧，将夹板11两端内侧面配合贴合在支柱7侧面，利用螺杆12与支柱7配合将夹板11限定安装后，此时夹板11与中间板10的V型槽16限定夹杆14，此时夹杆14底端能够在V型槽16内部上下移动，转动内杆17，内杆17与卡槽的螺旋效果使得内杆17内侧端靠近夹杆14，直至内杆17内侧端与夹杆14内侧端贴合后，完成夹杆14的限定。

需要调整夹头15与中间板10顶面之间的距离时，反向转动内杆17，内杆17与卡槽的螺旋效果使得内杆17内侧端远离夹杆14，利用夹头15拉动夹杆14在V型槽16内侧上下移动，直至夹头15移动到合适位置后，转动内杆17，利用内杆17内侧端与V型槽16配合限定夹持夹杆14，可以根据CVD工件3的厚度从而实时控制夹头15与中间板10之间的相对距离。

在图3和图4中，所述中间板10两端面均固定有凸块18，所述支柱7内侧面设置有与凸块18对应的凹槽，所述中间板10端部的凸块18对应卡扣在支柱7的凹槽内部，且中间板10端面与支柱7内侧面贴合。两个支柱7限定中间板10时，将中间板10两端的凸块18分别对应卡扣在两个支柱7的凹槽内部，此时中间板10端面对应贴合在支柱7内侧面，利用螺钉9与螺槽8的螺旋效果使得支柱7底端对应限定在底座6顶面，方便两个支柱7对应限定中间板10。

在图3和图6中，所述中间板10顶部设置有底架19，所述底架19顶部设置有顶架20，顶架20和底架19相对设置，所述底架19两端端部均套接有套框21，且套框21对应套接于底架19和顶架20端部，所述底架19和顶架20的剖面外形均设置为“凹”字形结构，底架19和顶架20设置有设置有带动CVD工件3转动的转动结构，所述转动结构对应夹持CVD工件3内侧端。利用套框21限定顶架20和底架19后，顶架20和底架19配合夹持转动结构，转动结构限定夹持CVD工件3内侧端，利用底架19和顶架20配合转动结构带动CVD工件3上移，使得CVD工件3远离夹头15顶面的粘胶后，推动顶架20移动，此时顶架20带动转动结构在底架19顶面转动，利用转动结构带动CVD工件3同步转动，直至CVD工件3转动180°后，底架19和顶架20配合转动结构带动CVD工件3下移，直至CVD工件3重新粘贴在夹头15顶面的粘胶上，方便对CVD工件3进行翻转的同时，也能使得CVD工件3的不同加工平面对应限定在夹头15顶面，方便加工部件5对CVD工件3的不同平面进行加工。

在图3和图5中，所述底架19两端底面均固定有竖杆22，所述竖杆22底端对应插入支柱7的螺槽8顶部，所述螺槽8顶部固定有相对设置的两个卡板23，两个卡板23表面转动卡接有转套24，所述转套24螺旋套接于竖杆22表面。将底架19对应放置在中间板10顶部后，此时底架19底面的两个竖杆22分别对应在两个支柱7的螺槽8顶部，转动转套24，由于卡板23对转套24的限定，转套24无法与支柱7分离；此时转动的转套24与竖杆22的螺旋效果使得竖杆22底端进入到螺槽8内部，利用转套24与竖杆22的螺旋效果从而控制底架19与中间板10之间的相对距离。

在图5至图7中，所述转动结构包括多个套圈25，多个套圈25与中间板10一侧的多个夹杆14一一对应，所述底架19顶面和顶架20底面均设置有与套圈25对应的条槽，所述底架19的条槽内部设置有限定多个套圈25的多组楔架26，每组楔架26包括两个相对设置有的楔块，套圈25对应处于两个楔块之间。推动顶架20移动时，由于每组楔架26的两个楔块限定套圈25，此时顶架20在移动过程中使得套圈25在两个楔块之间转动，并且由于套框21限定顶架20和底架19，方便顶架20和底架19紧密夹持套圈25表面，此时套圈25对应处于顶架20和底架19的条槽内侧，通过顶架20和底架19配合，方便在多组楔架26内侧限定多个套圈25。

在图6和图7中，所述转动结构还包括相对设置的两个相对设置的夹持件，两个夹持件分别夹持CVD工件3，所述夹持件包括上夹架27和下夹架28，上夹架27和下夹架28内侧端均固定有半圆板，所述套圈25套接于上夹架27和下夹架28的半圆板表面，且半圆板处于顶架20和底架19的条槽内侧，所述上夹架27和下夹架28外侧端均固定有侧板29，且上夹架27和下夹架28均利用侧板29夹持CVD工件3。底架19通过转套24与竖杆22的螺旋效果限定安装在中间板10顶部后，上夹架27和下夹架28利用侧板29处于CVD工件3内侧端顶部和底部后，推动上夹架27和下夹架28靠近CVD工件3内侧端，将套圈25放置在底架19的两个楔块之间后，推动上夹架27和下夹架28远离CVD工件3，按压上夹架27和下夹架28，使得上夹架27和下夹架28利用侧板29夹持CVD工件3内侧端，直至上夹架27和下夹架28进入到套圈25内部，即夹持件内侧端进入到套圈25内部，同时在将另一个夹持件内侧端对应卡入到套圈25内部，两个夹持件内侧端相互贴合，此时将顶架20限定放置在底架19顶部，利用套框21限定顶架20和底架19，方便顶架20和底架19配合夹持转动结构。

在图6和图7中，所述上夹架27和下夹架28之间设置有两个竖直的活动杆30，且上夹架27和下夹架28表面均设置有与两个活动杆30对应的通槽，所述活动杆30表面套接有弹簧31，且弹簧31顶端和底端分别连接上夹架27底面和下夹架28顶面。将两个活动杆30分别卡入到上夹架27和下夹架28的通槽内部，此时遮挡上夹架27和下夹架28底部的通槽，避免活动杆30与通槽分离，按压上夹架27和下夹架28时，上夹架27和下夹架28利用活动杆30配合挤压弹簧31，活动杆30防止上夹架27和下夹架28相互靠近的过程中产生偏移的状况，直至上夹架27和下夹架28利用侧板29夹持CVD工件3后，将上夹架27和下夹架28内侧端卡入套圈25内部时，上夹架27和下夹架28带动活动杆30进入到套圈25内部，利用套圈25封堵上夹架27和下夹架28的通槽，弹簧31的弹力使得上夹架27和下夹架28的圆周侧面与套圈25内侧壁紧密贴合。

推动顶架20移动时，顶架20带动套圈25在两个楔块之间转动时，套圈25利用上夹架27和下夹架28外侧端的侧板29带动CVD工件3转动，直至CVD工件3转动180°后，方便对CVD工件3进行翻面处理。

本发明工作原理：

参照图1至图7所示，根据底座6选用合适的支柱7和中间板10，两个支柱7对应夹持在中间板10两端，中间板10两端的凸块18分别对应卡扣在两个支柱7的凹槽内部，此时中间板10端面对应贴合在支柱7内侧面，将支柱7底端对应放置在底座6顶面后，利用螺钉9顶端贯穿底座6底面后，将螺钉9顶端与螺槽8底部螺旋配合，利用螺钉9与螺槽8的螺旋效果使得支柱7底端对应限定在底座6顶面，此时两个支柱7限定夹持中间板10，将两个夹板11分别放置在中间板10两侧后，利用螺杆12贯穿夹板11后，螺杆12内侧端螺旋卡接在支柱7侧面，利用螺杆12与支柱7的螺旋效果方便夹板11与中间板10配合夹持夹杆14，方便通过夹杆14限定夹头15，在夹头15顶面粘贴粘胶后，将CVD工件3对应粘贴在夹头15顶面，完成对CVD工件3的初步限定。

利用套框21限定顶架20和底架19后，顶架20和底架19配合夹持转动结构，转动结构限定夹持CVD工件3内侧端，转动转套24，转套24与竖杆22的螺旋效果使得竖杆22在螺槽8内部上移，此时底架19和顶架20通过套框21配合转动结构带动CVD工件3上移，使得CVD工件3远离夹头15顶面的粘胶后，推动顶架20移动，推动顶架20移动时，顶架20带动套圈25在两个楔块之间转动时，套圈25利用上夹架27和下夹架28外侧端的侧板29带动CVD工件3转动，直至CVD工件3转动180°后，方便对CVD工件3进行翻面处理。

反向转动转套24，使得竖杆22在螺槽8内部下移，底架19和顶架20通过套框21配合转动结构带动CVD工件3下移，直至CVD工件3重新粘贴在夹头15顶面的粘胶上，方便对CVD工件3进行翻转的同时，也能使得CVD工件3的不同加工平面对应限定在夹头15顶面，方便加工部件5对CVD工件3的不同平面进行加工。

以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制。