一种设有热交换装置的半导体加工设备及其使用方法

技术领域

本发明涉及一种设有热交换装置的半导体加工设备及其使用方法。

背景技术

半导体，指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。如二极管就是采用半导体制作的器件，半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料，而进料装置是半导体加工中采用的设备之一。但是目前所使用的半导体加工进料装置不能将其产生的热量进行有效的利用，降低了能源的利用效率，因此我们提出了一种设有热交换装置的半导体加工设备及其使用方法。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供了一种设有热交换装置的半导体加工设备及其使用方法，克服了现有技术的不足。

为了解决上述技术问题，本发明提供了如下的技术方案：一种设有热交换装置的半导体加工设备，包括进料管体和连接壳体，且连接壳体安装在进料管体的左侧外壁上，所述进料管体的右侧内壁靠近顶部处安装有存料筒体，且存料筒体的左侧外壁靠近顶部处固定连接有第一导料斜板，且第一导料斜板的左侧固定连接在进料管体的左侧内壁靠近顶部处，所述存料筒体的内腔底部上安装有第一水箱，所述第一水箱的顶部连通连接有导气管，且导气管的顶部为封闭设置，所述第一水箱的右侧靠近顶部和底部处分别连通连接有注水管和排水管，且注水管和排水管延伸至进料管体的右侧，并且注水管和排水管均安装有阀门；

所述存料筒体的左侧侧壁连通连接有导料管，且导料管的右侧管口与第一水箱的顶部相持平，所述导料管内靠近右侧处设置有密封挡块，所述密封挡块的左侧固定连接有电动推杆，且电动推杆的左端固定连接有固定块，并且固定块的顶部和底部分别与导料管的内腔顶部和底部固定连接，所述导料管的左端贯穿进料管体的左侧侧壁，并与连接壳体的左侧内壁固定连接，所述导料管的底部靠近密封挡块处连通连接有排料漏斗，所述进料管体内靠近底部处设置有第一挡料板和第二挡料板，所述第二挡料板的前壁上固定连接有若干个均匀分布的第一套管，且位于两端的两个第一套管分别通过轴承与进料管体的内壁活动连接，所述第一挡料板的后壁上安装有若干个均匀分布的第二套管，且若干个所述第一套管和第二套管内活动连接同一个旋转杆，所述进料管体的右侧外壁上安装有盒体，且盒体的左侧为开口设置，所述盒体内滑动连接有U形板，位于右侧的所述第一套管右端延伸至盒体内固定连接有第一连接块，且第一连接块位于U形板的左侧，所述旋转杆的右端延伸至盒体内并穿过U形板固定连接有第二连接块，且第二连接块位于U形板的右侧，所述第一连接块的右侧靠近前侧处连接有第一圆杆，且U形板上靠近前侧处开设有与第一圆杆相匹配的第一卡槽，所述第二连接块的左侧靠近后侧处连接有第二圆杆，且U形板上靠近前侧处开设有与第二圆杆相匹配的第二卡槽；

所述盒体的后侧内壁上安装有粗管，且粗管的前侧为封闭设置，所述导气管的右侧连通连接有聚气管，且聚气管的另一端贯穿盒体，并与粗管的内部相连通，所述粗管内靠近后侧处滑动连接有一级活塞，所述一级活塞的前壁上安装有第一电动伸缩杆，所述第一电动伸缩杆的前端固定连接有二级活塞，所述二级活塞的前壁上固定连接有驱动杆，所述粗管的前壁上开设有与驱动杆相匹配的通孔，且驱动杆的前端穿过通孔，并铰接在U形板的后壁上，所述驱动杆上套设有缓冲弹簧，且缓冲弹簧的后端和前端分别与二级活塞的前壁和粗管的前侧内壁固定连接，所述粗管的右侧连通连接有出气管，且出气管的另一端延伸至盒体的右侧。

作为本发明的一种优选技术方案，所述导料管的顶部固定连接有第二水箱，且第二水箱的顶部连通连接有加水管，且加水管的顶部延伸至连接壳体的上方，所述第二水箱的左侧连通连接有放水管，且放水管的左端延伸至连接壳体的左侧，并且放水管上安装有调节阀。

作为本发明的一种优选技术方案，所述第一导料斜板的底部与导料管的顶部之间固定连接有若干个均匀分布的第一导热杆，相邻的两个所述第一导热杆之间固定连接有若干个均匀分布的第二导热杆，位于左侧的所述第一导热杆上安装有若干个均匀分布的第三导热杆，且第三导热杆的左侧延伸至第二水箱内。

作为本发明的一种优选技术方案，所述进料管体内靠近排料漏斗设置有阻料板，所述进料管体和连接壳体的左侧均开设有与阻料板相匹配的矩形孔，且阻料板的左侧延伸至连接壳体上的矩形孔内，所述阻料板的顶部靠近左侧处固定连接有竖板，所述竖板的右侧侧壁与进料管体的左侧侧壁之间固定连接有第二电动伸缩杆。

作为本发明的一种优选技术方案，所述阻料板的顶部靠近左侧处贴合有第二导料斜板，所述第二导料斜板的左侧固定连接在进料管体的左侧内壁上。

作为本发明的一种优选技术方案，所述U形板的顶部和底部上均安装有滑块，且所述盒体的内腔顶部和底部上均安装有与滑块相匹配的滑槽。

作为本发明的一种优选技术方案，所述驱动杆的左右两侧侧壁靠近前侧处均通过转轴和轴承活动连接有矩形块，且两个矩形块安装在U形板的后壁上。

一种设有热交换装置的半导体加工设备的使用方法，包括以下步骤：

S1：首先将进料管体与加工设备完成对接，并往进料管体顶部管口内注入液体原料；

S2：随之原料通过第一导料斜板注入到存料筒体内，使得液体原料与第一水箱和导气管进行充分的接触；

S3：随后第一水箱内的水将热量进行吸收，并产生气体，气体通过导气管和聚气管导入到粗管内，并使得一级活塞在粗管内向前侧滑动；

S4：接着一级活塞通过第一电动伸缩杆带动二级活塞在粗管内向前侧滑动，二级活塞通过驱动杆带动U形板向前侧移动，此时缓冲弹簧处于压缩状态；

S5：随之U形板通过第一卡槽和第二卡槽带动第一圆杆和第二圆杆带动第一连接块和第二连接块转动，而第一连接块通过第一套管带动第二挡料板转动；

S6：同时第二连接块通过旋转杆和第二套管带动第一挡料板转动，当气体从出气管排出时，并在缓冲弹簧的弹力左右下，使其进行复位，可实现带动第一挡料板和第二挡料板做开合运动，达到间歇性进料的目的；

S7：然后第一导热杆、第二导热杆和第三导热杆将热量导入到第二水箱，第二水箱对热量进行吸收，达到热交换的目的，此时启动电动推杆，电动推杆收缩带动密封挡块在导料管内向左侧运动，此时液体原料通过导料管导入到第二导料斜板和阻料板上；

S8：启动第二电动伸缩杆，第二电动伸缩杆向外延伸并通过竖板带动阻料板向左侧滑动，此时液体原料进入到第一挡料板和第二挡料板上，而第一挡料板和第二挡料板做开合运动，可间歇性进料。

本发明实施例提供了一种设有热交换装置的半导体加工设备及其使用方法，具备以下有益效果：在本发明中，可实现将半导体加工过程中的液体所产生的热量进行交换，并将热量进行吸收收集，达到重复在利用的目的，可有效的增加能源的利用效率，避免了能源的浪费，可实现将热量作为下部流量调节的动力源，实现了间歇性进料，同时可延长液体原料的滞留时间，延长了热交换时间，可有效的提高其热交换效率。

附图说明

附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：

图1是本发明的主视图；

图2是图1的截面结构示意图；

图3是图2中盒体的截面俯视图；

图4是图2中进料管体的截面仰视图；

图5是图2中的A处放大图。

图中：1、进料管体；2、聚气管；3、注水管；4、排水管；5、盒体；6、出气管；7、连接壳体；8、放水管；9、加水管；10、第三导热杆；11、第二水箱；12、导料管；13、竖板；14、第二电动伸缩杆；15、阻料板；16、排料漏斗；17、第二导料斜板；18、存料筒体；19、第一水箱；20、第一导热杆；21、第一导料斜板；22、第二导热杆；23、导气管；24、第二套管；25、旋转杆；26、第一套管；27、粗管；28、二级活塞；29、一级活塞；30、第一电动伸缩杆；31、缓冲弹簧；32、驱动杆；33、第一圆杆；34、U形板；35、第二圆杆；36、第一连接块；37、第二连接块；38、第一挡料板；39、第二挡料板；40、固定块；41、电动推杆；42、密封挡块。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明，并不用于限定本发明。

实施例：如图1-5所示，一种设有热交换装置的半导体加工设备，包括进料管体1和连接壳体7，且连接壳体7安装在进料管体1的左侧外壁上，进料管体1的右侧内壁靠近顶部处安装有存料筒体18，且存料筒体18的左侧外壁靠近顶部处固定连接有第一导料斜板21，且第一导料斜板21的左侧固定连接在进料管体1的左侧内壁靠近顶部处，存料筒体18的内腔底部上安装有第一水箱19，第一水箱19的顶部连通连接有导气管23，且导气管23的顶部为封闭设置，第一水箱19的右侧靠近顶部和底部处分别连通连接有注水管3和排水管4，且注水管3和排水管4延伸至进料管体1的右侧，并且注水管3和排水管4均安装有阀门；

本实施例中，存料筒体18可实现对液体原料进行有效的存放，使得其与第一水箱19进行充分的接触，达到初步热交换的目的；

其中，存料筒体18的左侧侧壁连通连接有导料管12，且导料管12的右侧管口与第一水箱19的顶部相持平，导料管12内靠近右侧处设置有密封挡块42，密封挡块42的左侧固定连接有电动推杆41，且电动推杆41的左端固定连接有固定块40，并且固定块40的顶部和底部分别与导料管12的内腔顶部和底部固定连接，导料管12的左端贯穿进料管体1的左侧侧壁，并与连接壳体7的左侧内壁固定连接，导料管12的底部靠近密封挡块42处连通连接有排料漏斗16，进料管体1内靠近底部处设置有第一挡料板38和第二挡料板39，第二挡料板39的前壁上固定连接有若干个均匀分布的第一套管26，且位于两端的两个第一套管26分别通过轴承与进料管体1的内壁活动连接，第一挡料板38的后壁上安装有若干个均匀分布的第二套管24，且若干个第一套管26和第二套管24内活动连接同一个旋转杆25，进料管体1的右侧外壁上安装有盒体5，且盒体5的左侧为开口设置，盒体5内滑动连接有U形板34，U形板34的顶部和底部上均安装有滑块，且盒体5的内腔顶部和底部上均安装有与滑块相匹配的滑槽，位于右侧的第一套管26右端延伸至盒体5内固定连接有第一连接块36，且第一连接块36位于U形板34的左侧，旋转杆25的右端延伸至盒体5内并穿过U形板34固定连接有第二连接块37，且第二连接块37位于U形板34的右侧，第一连接块36的右侧靠近前侧处连接有第一圆杆33，且U形板34上靠近前侧处开设有与第一圆杆33相匹配的第一卡槽，第二连接块37的左侧靠近后侧处连接有第二圆杆35，且U形板34上靠近前侧处开设有与第二圆杆35相匹配的第二卡槽；

其中，盒体5的后侧内壁上安装有粗管27，且粗管27的前侧为封闭设置，导气管23的右侧连通连接有聚气管2，且聚气管2的另一端贯穿盒体5，并与粗管27的内部相连通，粗管27内靠近后侧处滑动连接有一级活塞29，一级活塞29的前壁上安装有第一电动伸缩杆30，第一电动伸缩杆30的前端固定连接有二级活塞28，二级活塞28的前壁上固定连接有驱动杆32，粗管27的前壁上开设有与驱动杆32相匹配的通孔，且驱动杆32的前端穿过通孔，并铰接在U形板34的后壁上，驱动杆32的左右两侧侧壁靠近前侧处均通过转轴和轴承活动连接有矩形块，且两个矩形块安装在U形板34的后壁上，驱动杆32上套设有缓冲弹簧31，且缓冲弹簧31的后端和前端分别与二级活塞28的前壁和粗管27的前侧内壁固定连接，粗管27的右侧连通连接有出气管6，且出气管6的另一端延伸至盒体5的右侧；

本实施例中，可实现将热量作为下部流量调节的动力源，实现了间歇性进料，同时可延长液体原料的滞留时间，延长了热交换时间，可有效的提高其热交换效率。

其中，导料管12的顶部固定连接有第二水箱11，且第二水箱11的顶部连通连接有加水管9，且加水管9的顶部延伸至连接壳体7的上方，第二水箱11的左侧连通连接有放水管8，且放水管8的左端延伸至连接壳体7的左侧，并且放水管8上安装有调节阀；

本实施例中，可实现将半导体加工过程中的液体所产生的热量进行交换，并将热量进行吸收收集，达到重复在利用的目的，可有效的增加能源的利用效率，避免了能源的浪费。

其中，第一导料斜板21的底部与导料管12的顶部之间固定连接有若干个均匀分布的第一导热杆20，相邻的两个第一导热杆20之间固定连接有若干个均匀分布的第二导热杆22，位于左侧的第一导热杆20上安装有若干个均匀分布的第三导热杆10，且第三导热杆10的左侧延伸至第二水箱11内；

本实施例中，可实现通过第一导热杆20、第二导热杆22和第三导热杆10将热量导入到第二水箱11内，使得第二水箱11内的水将热量充分的吸收。

其中，进料管体1内靠近排料漏斗16设置有阻料板15，进料管体1和连接壳体7的左侧均开设有与阻料板15相匹配的矩形孔，且阻料板15的左侧延伸至连接壳体7上的矩形孔内，阻料板15的顶部靠近左侧处固定连接有竖板13，竖板13的右侧侧壁与进料管体1的左侧侧壁之间固定连接有第二电动伸缩杆14；

本实施例中，可延长物料的存放时间，达到便捷进料的目的。

其中，阻料板15的顶部靠近左侧处贴合有第二导料斜板17，第二导料斜板17的左侧固定连接在进料管体1的左侧内壁上；

本实施例中，第二导料斜板17可实现便捷的导料，同时可避免物料残留在阻料板15上。

一种设有热交换装置的半导体加工设备的使用方法，包括以下步骤：

S1：首先将进料管体1与加工设备完成对接，并往进料管体1顶部管口内注入液体原料；

S2：随之原料通过第一导料斜板21注入到存料筒体18内，使得液体原料与第一水箱19和导气管23进行充分的接触；

S3：随后第一水箱19内的水将热量进行吸收，并产生气体，气体通过导气管23和聚气管2导入到粗管27内，并使得一级活塞29在粗管27内向前侧滑动；

S4：接着一级活塞29通过第一电动伸缩杆30带动二级活塞28在粗管27内向前侧滑动，二级活塞28通过驱动杆32带动U形板34向前侧移动，此时缓冲弹簧31处于压缩状态；

S5：随之U形板34通过第一卡槽和第二卡槽带动第一圆杆33和第二圆杆35带动第一连接块36和第二连接块37转动，而第一连接块36通过第一套管26带动第二挡料板39转动；

S6：同时第二连接块37通过旋转杆25和第二套管24带动第一挡料板38转动，当气体从出气管6排出时，并在缓冲弹簧31的弹力左右下，使其进行复位，可实现带动第一挡料板38和第二挡料板39做开合运动，达到间歇性进料的目的；

S7：然后第一导热杆20、第二导热杆22和第三导热杆10将热量导入到第二水箱11，第二水箱11对热量进行吸收，达到热交换的目的，此时启动电动推杆41，电动推杆41收缩带动密封挡块42在导料管12内向左侧运动，此时液体原料通过导料管12导入到第二导料斜板17和阻料板15上；

S8：启动第二电动伸缩杆14，第二电动伸缩杆14向外延伸并通过竖板13带动阻料板15向左侧滑动，此时液体原料进入到第一挡料板38和第二挡料板39上，而第一挡料板38和第二挡料板39做开合运动，可间歇性进料。

工作原理：本技术方案在使用时，首先将进料管体1与加工设备完成对接，并往进料管体1顶部管口内注入液体原料，原料通过第一导料斜板21注入到存料筒体18内，使得液体原料与第一水箱19和导气管23进行充分的接触，第一水箱19内的水将热量进行吸收，并产生气体，气体通过导气管23和聚气管2导入到粗管27内，并使得一级活塞29在粗管27内向前侧滑动，一级活塞29通过第一电动伸缩杆30带动二级活塞28在粗管27内向前侧滑动，二级活塞28通过驱动杆32带动U形板34向前侧移动，此时缓冲弹簧31处于压缩状态，而U形板34通过第一卡槽和第二卡槽带动第一圆杆33和第二圆杆35带动第一连接块36和第二连接块37转动，而第一连接块36通过第一套管26带动第二挡料板39转动，同时第二连接块37通过旋转杆25和第二套管24带动第一挡料板38转动，当气体从出气管6排出时，并在缓冲弹簧31的弹力左右下，使其进行复位，可实现带动第一挡料板38和第二挡料板39做开合运动，达到间歇性进料的目的，同时第一导热杆20、第二导热杆22和第三导热杆10将热量导入到第二水箱11，第二水箱11对热量进行吸收，达到热交换的目的，此时启动电动推杆41，电动推杆41收缩带动密封挡块42在导料管12内向左侧运动，此时液体原料通过导料管12导入到第二导料斜板17和阻料板15上，启动第二电动伸缩杆14，第二电动伸缩杆14向外延伸并通过竖板13带动阻料板15向左侧滑动，此时液体原料进入到第一挡料板38和第二挡料板39上，而第一挡料板38和第二挡料板39做开合运动，可间歇性进料。

最后应说明的是：在本发明的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。