一种表面洁净的管道管件系统及方法

技术领域

本发明涉及特气管道技术领域，具体公开一种表面洁净的管道管件系统及方法。

背景技术

特殊气体(以下简称为“特气”)广泛应用于半导体制造业中，其可用于薄膜沉积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗，或用作载气、保护气，特气(又称电子气体)是半导体、微电子、太阳能电池等高科技行业必不可少的耗材，被广泛用于薄膜沉积、刻蚀、掺杂、清洗等工艺的反应气或者载气。随着半导体和微电子技术的发展，对特气的纯度要求越来越高。为保证特气纯度，一方面需要提升特气纯度，目前气体纯化技术可制备8N-9N纯度的特气。另一方面特气需要通过特气管道输送至使用端，特气管道的洁净度和密封性，防止特气输送过程中的污染对保证特气纯度也至关重要。

申请号202110690633X公开了一种特气监控系统，包括：多个采集装置，用于从目标设备上获取目标信号，并将目标信号传输至通信设备，目标设备是需要使用特气的半导体制造设备，目标信号是用于监控特气的状态所需的信号；通信设备，用于接收目标信号，并将目标信号传输至监控设备；监控设备，用于根据目标信号对特气的状态进行监控；其中，多个采集装置和所述通信设备之间的连接为手拉手连接。本申请通过将多个采集目标信号的采集装置和通信设备的连接方式由星型连接改为手拉手连接，将采集装置和通信设备串联，使采集装置按顺序逐个反馈信号，从而改善了通信异常问题，提高了通信稳定性。

但由于特气管道的材质为不锈钢材质，在不锈钢炼制过程中，每吨不锈钢可吸收高达200g左右的气体，在管道成型过程中，不锈钢表面也会沾染颗粒等污物，这些吸附的气体和污物会污染在管道中流动的特气。此外不锈钢管道需要焊接，若焊口密封性不佳，空气也会渗透进管道污染特气。因此特气管道的清洗和密封性对于保证特气纯度至关重要。特气管道工程安装结束后，需要进行压力测试、氦检漏测试、颗粒测试、水分测试、氧分测试，当五项测试合格后，特气管道工程才被认定合格。特气管道在日常使用过程中，需要定期检修维护和清洗，目前尚无专用设备，且特气在使用时不便于对特气进行运输，从而给人们带来很大不便，为此我们提出一种表面洁净的管道管件系统及方法用于解决上述问题。

发明内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，本申请旨在提供一种表面洁净的管道管件系统，包括特气柜，所述特气柜的一侧设有总管道，总管道上设有多个特气管道，所述特气管道的一侧设有连接管和负压真空泵，所述连接管一端与特气管道连接、另一端与负压真空泵的出气口连接，所述连接管上旁接有与其连通的排空管，所述排空管上设有排空球阀，所述连接管上设有截止球阀和真空压力表，所述连接管上旁接有与其连通的支管，真空压力表连接于支管端部，所述连接管、排空管和支管均采用EP级不锈钢管。

优选的，所述特气管道的数量为五到十个，且五到十个特气管道等间距间隔设置。

优选的，所述特气管道、连接管和排空管均设有密封圈，密封圈与特气管道、连接管和排空管密封连接。

优选的，其中特气应用于表面洁净的管道包括以下方法：

S1：对特气进行预处理，然后通过压力装置对特气进行提取，使得特气能够进入指定的罐内；

S2：对特气进行杀毒除菌处理，通过高温对特气进行除菌，通过紫外线对特气进行杀毒，从而使得处理后的特气是无菌无毒的，从而能够很好的在工艺中进行使用；

S3：对特气管道进行处理，对特气管道的内壁进行除菌，通过风机或者高温对特气管道的内壁进行处理，从而能够对其进行除菌，然后通过紫外线对特气管道的内壁进行照射，从而对特气管道的内壁进行杀毒，从而对特气进行更好的输送；

S4：通过通入惰性气体对特气管道内的空气进行排放，防止对特气的浓度进行影响，从而防止特气浓度对后续工艺产生影响；

S5：再通过压力泵和气阀的作用对特气进行运输，输送至需要的液压罐，从而对工艺进行反应；

优选的，通过压力泵将罐内的特气输送至特气柜内，然后通过控制阀门箱，然后通过检测装置对特气进行检测，对其浓度进行检测，然后检测合格再将特气进行输送，输送至各个使用罐内，然后对使用后的特气尾气进行处理。

优选的，所述特气柜上设有控制系统，控制系统包括电脑、触摸屏和控制模块，电脑、触摸屏和控制模块之间相互配合。

优选的，所述特气柜内设有温度计、温度计的一侧设有液位计和真空压力表、特气柜内设有电磁控制的气动开关阀和开关量输出模块，所述温度计、液位计、真空压力表、电磁控制的气动开关阀、开关量输出模块与电脑之间相互配合使。

有益效果：

1、该半导体特气应用于单晶沉积氧化工艺的系统及方法，通过对特气管道进行处理，对特气管道的内壁进行除菌，通过风机或者高温对特气管道的内壁进行处理，从而能够对其进行除菌，然后通过紫外线对特气管道的内壁进行照射，从而对特气管道的内壁进行杀毒，从而对特气进行更好的输送。

2、该半导体特气应用于单晶沉积氧化工艺的系统及方法，通过压力泵将罐内的特气输送至特气柜内，然后通过控制阀门箱，然后通过检测装置对特气进行检测，对其浓度进行检测，然后检测合格再将特气进行输送，输送至各个使用罐内，然后对使用后的特气尾气进行处理，能够很好的对特气进行输送。

3、通过温度计的设置从而能够很好的帮助人们测量特气柜内的温度，通过液位计的设置能够帮助人们测试特气柜的液压，从而能够控制特气的量，通过电磁控制的气动开关阀、开关量输出模块与电脑之间相互配合使用从而能够便于人们对特气进行运输，电磁控制的气动开关阀的设置能够控制特气输出的量，从而使得特气能够更好的完成工艺。

4、通过控制系统的设置从而能够通过控制电脑来控制控制模块从而能够对特气柜内的特气进行控制，从而不仅能够更好的便于对特气进行保存，且能够对特气进行很好的运输，通过密封圈的设置从而能够有效防止特气再使用时发生特气泄露，因此防止特气泄露造成损失。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为发明的流程示意图；

图2为发明的特气应用的流程图；

图3为特气的外部连接图；

图4为本发明的实施例构造示意图。

1、特气柜；2、总管道；3、特气管道；4、负压真空泵；5、截止球阀、6真空压力表；7、排空球阀。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不能用来限制本发明的范围。

在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

请参阅图1-4，一种表面洁净的管道管件系统，包括特气柜1，所述特气柜1的一侧设有总管道2，总管道2上设有多个特气管道3，所述特气管道3的一侧设有连接管8和负压真空泵4，所述连接管8一端与特气管道3连接、另一端与负压真空泵4的出气口连接，所述连接管8上旁接有与其连通的排空管，所述排空管上设有排空球阀7，所述连接管8上设有截止球阀5和真空压力表6，所述连接管8上旁接有与其连通的支管，真空压力表连接于支管端部，所述连接管8、排空管和支管均采用EP级不锈钢管。

本实施例中，所述特气管道3的数量为五到十个，且五到十个特气管道3等间距间隔设置，通过多个特气管道3的设置从而能够通过特气管道3能够将特气输送至各个使用罐内，从而便于人们进行使用。

本实施例中，所述特气管道3、连接管8和排空管均设有密封圈，密封圈与特气管道3、连接管8和排空管密封连接，通过密封圈的设置从而能够有效防止特气再使用时发生特气泄露，因此防止特气泄露造成损失。

本实施例中，其中特气应用于表面洁净的管道包括以下方法：

S1：对特气进行预处理，然后通过压力装置对特气进行提取，使得特气能够进入指定的罐内；

S2：对特气进行杀毒除菌处理，通过高温对特气进行除菌，通过紫外线对特气进行杀毒，从而使得处理后的特气是无菌无毒的，从而能够很好的在工艺中进行使用；

S3：对特气管道3进行处理，对特气管道3的内壁进行除菌，通过风机或者高温对特气管道3的内壁进行处理，从而能够对其进行除菌，然后通过紫外线对特气管道3的内壁进行照射，从而对特气管道3的内壁进行杀毒，从而对特气进行更好的输送；

S4：通过通入惰性气体对特气管道3内的空气进行排放，防止对特气的浓度进行影响，从而防止特气浓度对后续工艺产生影响；

S5：再通过压力泵和气阀的作用对特气进行运输，输送至需要的液压罐，从而对工艺进行反应；

本实施例中，通过压力泵将罐内的特气输送至特气柜内，然后通过控制阀门箱，然后通过检测装置对特气进行检测，对其浓度进行检测，然后检测合格再将特气进行输送，输送至各个使用罐内，然后对使用后的特气尾气进行处理。

本实施例中，所述特气柜上设有控制系统，控制系统包括电脑、触摸屏和控制模块，电脑、触摸屏和控制模块之间相互配合，通过控制系统的设置从而能够通过控制电脑来控制控制模块从而能够对特气柜内的特气进行控制，从而不仅能够更好的便于对特气进行保存，且能够对特气进行很好的运输。

本实施例中，所述特气柜内设有温度计、温度计的一侧设有液位计和真空压力表、特气柜内设有电磁控制的气动开关阀和开关量输出模块，所述温度计、液位计、真空压力表、电磁控制的气动开关阀、开关量输出模块与电脑之间相互配合使用，通过温度计的设置从而能够很好的帮助人们测量特气柜内的温度，通过液位计的设置能够帮助人们测试特气柜的液压，从而能够控制特气的量，通过电磁控制的气动开关阀、开关量输出模块与电脑之间相互配合使用从而能够便于人们对特气进行运输，电磁控制的气动开关阀的设置能够控制特气输出的量，从而使得特气能够更好的完成工艺。

工作原理，通过控制系统的设置从而能够通过控制电脑来控制控制模块从而能够对特气柜内的特气进行控制，从而不仅能够更好的便于对特气进行保存，且能够对特气进行很好的运输，通过温度计的设置从而能够很好的帮助人们测量特气柜内的温度，通过液位计的设置能够帮助人们测试特气柜的液压，从而能够控制特气的量，通过电磁控制的气动开关阀、开关量输出模块与电脑之间相互配合使用从而能够便于人们对特气进行运输，电磁控制的气动开关阀的设置能够控制特气输出的量，从而使得特气能够更好的完成工艺，通过压力泵将罐内的特气输送至特气柜内，然后通过控制阀门箱，然后通过检测装置对特气进行检测，对其浓度进行检测，然后检测合格再将特气进行输送，输送至各个使用罐内，然后对使用后的特气尾气进行处理，对特气进行预处理，然后通过压力装置对特气进行提取，使得特气能够进入指定的罐内，对特气进行杀毒除菌处理，通过高温对特气进行除菌，通过紫外线对特气进行杀毒，从而使得处理后的特气是无菌无毒的，从而能够很好的在工艺中进行使用，对特气管道3进行处理，对特气管道3的内壁进行除菌，通过风机或者高温对特气管道3的内壁进行处理，从而能够对其进行除菌，然后通过紫外线对特气管道3的内壁进行照射，从而对特气管道3的内壁进行杀毒，从而对特气进行更好的输送，通过通入惰性气体对特气管道3内的空气进行排放，防止对特气的浓度进行影响，从而防止特气浓度对后续工艺产生影响，再通过压力泵和气阀的作用对特气进行运输，输送至需要的液压罐，从而对工艺进行反应。

本说明中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的发明范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。