真空干燥装置、基板真空干燥方法及真空干燥设备

技术领域

本申请涉及喷墨打印技术领域，具体涉及一种真空干燥装置、基板真空干燥方法及真空干燥设备。

背景技术

传统IJP(Ink Jet Printing，喷墨打印)OLED(Organic Light Emitting Diode，OLED，有机发光二极管)器件制备，在打印机执行完HI、HT、EML打印后，由于其处于液态状态，在下一步需要执行VCD(VacuumDry，真空干燥)制程，使得溶液中的溶剂得到快速的挥发，得到干燥的HI、HT、EML的膜层。但是在传统的VCD制程当中，会出现诸如溶液未抽干等问题，在该制程没有相应的监控措施，使得未抽干等问题得不到及时的反馈与解决，导致后续会出现膜厚不均匀以及色度偏差等，特别是溶液未干，会造成VCD mura，这些问题会严重影响产品良率。

发明内容

本申请实施例提供一种真空干燥装置、基板真空干燥方法及真空干燥设备，通过局部干燥结构定位溶液未干的目标区域进行局部干燥，减少甚至杜绝由于溶液未干而引起的VCD mura，可以极大提高产品良率。

第一方面，本申请实施例提供一种真空干燥装置，包括：

底座，

干燥室，包括设于所述底座的腔室以及与所述腔室活动连接的腔门，所述腔室设有容纳腔，所述腔门用于供待干燥的基板进入所述容纳腔；

局部干燥结构，包括设于所述底座的驱动机构以及与所述驱动机构连接的干燥机构，所述驱动机构驱动所述干燥机构进入所述容纳腔对所述基板进行局部干燥；所述干燥机构包括与所述驱动机构连接底板、设于所述底板的定位器和干燥器，所述驱动机构驱动所述干燥器对目标区域进行干燥，所述目标区域为所述定位器定位的所述基板上溶液未干的区域。

在一些实施例中，所述干燥器包括至少一个一端开口的真空管，且所述真空管设有抽气口。

在一些实施例中，所述真空管与所述底板活动连接。

在一些实施例中，所述定位器包括至少一个摄像机。

第二方面，本申请提供一种基板真空干燥方法，包括：

真空干燥制程结束之后，打开真空干燥装置的腔门；

控制驱动机构将所述真空干燥装置的干燥机构移动至腔室内；

通过所述干燥机构的定位器定位待干燥的基板上溶液未干的目标区域；

控制所述干燥机构的干燥器对所述目标区域进行干燥。

在一些实施例中，所述真空干燥制程结束之后，打开真空干燥装置的腔门之前，包括：

将所述待干燥的基板放入所述真空干燥装置中的腔室内；

关闭腔门，执行真空干燥制程。

在一些实施例中，所述通过所述干燥机构的定位器定位待干燥的基板上溶液未干的目标区域，包括：

获取待干燥的基板的目标基板信息；

根据预设的运动轨迹与基板信息的对应关系以及所述目标基板信息，确定目标运动轨迹；

控制所述定位器的摄像机按照所述目标运动轨迹进行移动，同时通过所述摄像机获取所述待干燥的基板的图像信息；

根据所述图像信息定位所述目标区域。

在一些实施例中，所述控制所述干燥机构的干燥器对所述目标区域进行干燥，包括：

控制所述干燥机构移动至所述干燥器的真空管开口的一端与所述目标区域抵接；

控制所述真空管对所述目标区域进行真空干燥制程。

在一些实施例中，所述控制所述干燥机构移动至所述干燥器的真空管开口的一端与所述目标区域抵接，包括：

控制所述干燥机构的所述底板移动，直至所述真空管到达所述目标区域的预设范围内；

控制所述真空管移动，直至所述真空管开口的一端与所述目标区域抵接。

第三方面，本申请提供一种真空干燥设备，包括真空抽取装置以及上述任意一项所述的真空干燥装置，所述真空抽取装置的抽气口与所述真空干燥装置的腔室连通。

本申请实施例提供的真空干燥装置、基板真空干燥方法及真空干燥设备，设置局部干燥结构，在通过干燥室对待干燥的基板整体进行真空干燥制程之后，通过局部干燥结构定位溶液未干的目标区域进行局部干燥，减少甚至杜绝由于溶液未干而引起的VCDmura，可以极大提高产品良率。

附图说明

下面结合附图，通过对本申请的具体实施方式详细描述，将使本申请的技术方案及其它有益效果显而易见。

图1是本申请实施例中真空干燥装置的结构示意图；

图2是本申请实施例中基板真空干燥方法的流程示意图；

图3是本申请另一实施例中基板真空干燥方法的流程示意图。

附图标号：

1、底座；2、干燥室；21、腔室；22、腔门；3、局部干燥结构；31、驱动机构；32、干燥机构；321、底板；322、干燥器；323、定位器。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本申请的不同结构。为了简化本申请的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本申请。此外，本申请可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本申请提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。

请参阅图1，本申请实施例提供一种真空干燥装置，真空干燥装置包括底座1、干燥室2以及局部干燥结构3，干燥室2和局部干燥结构3均设于底座1上，底座1为其余部件提供固定支撑，待干燥的基板首先通过干燥室2执行真空干燥制程，进行整体的真空干燥，然后再通过局部干燥结构3对待干燥的基板上溶液未干的区域针对性地进行局部干燥。

干燥室2包括腔室21和腔门22，腔室21设于底座1上，且腔室21设有容纳腔，待干燥的基板被放置在容纳腔内执行真空干燥制程。腔门22与腔室21活动连接的，腔门22用于供待干燥的基板以及局部干燥结构3进出容纳腔。

当待干燥的基板被放置在容纳腔内执行真空干燥制程，对待干燥的基板整体进行真空干燥时，舱门关闭，整个干燥室2内形成真空腔室。当控制局部干燥结构3进行腔室21对待干燥的基板的局部进行真空干燥时，舱门开启，通过局部干燥结构3对需要进行干燥的局部区域形成真空腔室。

局部干燥结构3包括驱动机构31和干燥机构32，驱动机构31设于底座1上，干燥机构32与驱动机构31连接，驱动机构31驱动干燥机构32进出容纳腔以对基板进行局部干燥。干燥机构32包括底板321、定位器323以及干燥器322，底板321与驱动机构31连接，定位器323和干燥器322均设于底板321，定位器323用于采集干燥后的基板的相关信息以定位溶液未干即需要局部干燥的目标区域，干燥器322对定位器323定位的区域进行干燥。当驱动机构31驱动底板321移动时，同时带动定位器323和干燥器322移动，以实现定位器323的定位工序以及干燥器322的干燥工序。驱动机构31包括但不限于机械臂、滑轨等。

本实施例可以通过局部干燥结构3的定位器323监控成膜情况，对未完全成膜的基板，进行二次成膜，降低VCD mura。

在本申请的一些实施例中，定位器323包括至少一个摄像机，摄像机用于获取待干燥的基板的图像信息，溶液未干的区域与已干的区域图像差别较大，因此通过分析图像信息定位溶液未干的目标区域。为了减少定位出错的几率以及增加图像获取的面积以减少对摄像机的移动，多个摄像机间隔设置，多个摄像机的设置方式基于摄像机的采集范围、精度等因素决定，本实施例不作具体限定。此外考虑到真空环境对摄像机的固定有较大的挑战，采用支架的方式对摄像机进行固定。

在本申请的一些实施例中，干燥器322包括至少一个一端开口的真空管，且真空管设有抽气口，当定位器323定位溶液未干的目标区域时，驱动机构31驱动底板321移动，进而带动真空管到达对应的区域，使真空管的一端与基板的未干区域抵接，然后通过抽气口进行抽气使真空管内形成真空腔，执行真空干燥制程。其中，为了确保真空管的密封性，真空管开口的一端即与基板抵接的一端可以设为弹性件或者真空管整体设为弹性件。当设有多个真空管时，可以同时对多个未干区域进行干燥，以提高局部干燥的效率。此外，不同的真空管开口一端的尺寸可以相同也可以不相同，当尺寸相同时，对应地基板均分为多个局部区域，真空管开口一端可以覆盖局部区域，当尺寸不同时，可以根据未干区域的大小选择对应尺寸的真空管执行真空干燥制程。

在本申请的一些实施例中，真空管与底板321活动连接，当有多个未干区域需要局部干燥时，可以根据各个区域的位置对真空管进行调节，以实现多个未干区域同时干燥，提升干燥效率。此外，由于驱动机构31移动时，是带动整个干燥机构32移动，整体目标较大，移动调节的精度较低，可能无法精准控制真空管与基板接触的位置，因此可以首先通过驱动机构31移动干燥机构32，然后再控制真空管在底板321上活动以与基板抵接，即先粗调后精调，以便真空管与溶液未干的目标区域准确对接。

在本申请的一些实施例中，真空干燥装置还可以设置集成控制器，集成控制器与真空干燥装置中的各活动件连接，活动件包括腔门22、驱动机构31、定位器323以及干燥器322，集成控制器用于控制各活动件活动并执行各自的工序，例如对摄像机和真空管的位移进行编程。在IJP OLED产品开发过程中，减少甚至杜绝由于溶液未干而引起的VCD mura，可以极大提高产品良率，同时高度自动化设备的引入，极大地减少了人力物力的浪费。

本实施例中，将待干燥的基板放入真空干燥装置中的腔室21内，关闭腔门22，对待干燥的基板的整体执行真空干燥制程。真空干燥制程结束之后打开腔门22，驱动机构31将干燥机构32移动至腔室21内，然后驱动机构31控制底板321移动，进而带动定位器323移动，定位器323获取待干燥的基板的图像信息以定位基板上溶液未干的目标区域。驱动机构31控制底板321移动，进而带动真空管移动至与目标区域抵接，可选地，真空管可以相对底板321进行移动，以使得真空管与目标区域抵接更加准确。其后，通过真空管的抽气口进行抽气使真空管内形成真空腔，然后执行真空干燥制程，完成对目标区域的局部干燥。需要说明的是，上述各个部件的移动、信息采集与分析可以是通过集成控制器完成，也可以是各个部件自身的控制器控制完成，也可以是上述两种方式配合控制，本实施例不作具体限定。

本实施例中在干燥室2VCD制程结束后，通过控制干燥机构32进入到VCD腔室21，通过定位器323对基板进行扫描，对未干区域进行定位。扫描完成后，通过干燥器322对未干区域进行定向VCD制程，至此VCD mura free结束。

请参阅图2，本申请实施例提供一种基板真空干燥方法，应用于上述实施例任意一项所述的真空干燥装置，方法包括：

S101、真空干燥制程结束之后，打开真空干燥装置的腔门；

S102、控制驱动机构将所述真空干燥装置的干燥机构移动至腔室内；

S103、通过所述干燥机构的定位器定位待干燥的基板上溶液未干的目标区域；

S104、控制所述干燥机构的干燥器对所述目标区域进行干燥。

具体地，在对待干燥的基板整体的真空干燥制程结束之后，打开真空干燥装置的腔门，控制驱动机构将真空干燥装置的干燥机构移动至腔室内对待干燥的基板局部进行干燥。通过干燥机构的定位器获取相关信息分析定位待干燥的基板上溶液未干的目标区域，然后控制干燥机构的干燥器对目标区域进行干燥。需要说明的是，驱动机构可以是机械臂、滑轨等，定位器可以是摄像机、传感器等，干燥器为真空管等，本实施例不作具体限定。

本实施例中通过局部干燥结构的定位器监控成膜情况，对未完全成膜的基板，进行二次成膜，降低VCD mura。在IJP OLED产品开发过程中，减少甚至杜绝由于溶液未干而引起的VCD mura，可以极大提高产品良率，同时高度自动化设备的引入，极大地减少了人力物力的浪费。

在本申请的一些实施例中，步骤S101、真空干燥制程结束之后，打开真空干燥装置的腔门之后，包括：S201、将所述待干燥的基板放入所述真空干燥装置中的腔室内；S202、关闭腔门，执行真空干燥制程。

具体地，将待干燥的基板放入真空干燥装置中的腔室内，关闭腔门，对待干燥的基板整体执行真空干燥制程，其真空干燥制程为根据基板上的溶液信息指定的对应的制程，本实施例不作具体限定。

在本申请的一些实施例中，如图3所示，步骤S103、通过所述干燥机构的定位器定位待干燥的基板上溶液未干的目标区域，包括：S301、获取待干燥的基板的目标基板信息；S302、根据预设的运动轨迹与基板信息的对应关系以及所述目标基板信息，确定目标运动轨迹；S303、控制所述定位器的摄像机按照所述目标运动轨迹进行移动，同时通过所述摄像机获取所述待干燥的基板的图像信息；S304、根据所述图像信息定位所述目标区域。

具体地，获取待干燥的基板的目标基板信息，目标基板信息包括但不限于基板类型、尺寸大小等，对于不同的目标基板信息，定位器获取相关信息进行定位时的方式不同，例如当待干燥的基板较大时，则需要移动定位器逐一采集基板表面的信息，因此根据预设的运动轨迹与基板信息的对应关系以及目标基板信息确定定位器的目标运动轨迹。其中，运动轨迹与基板信息的对应关系预先进行设置，其目的通过适用于不同的基板信息的运动轨迹使得任意情况下都能获取到足够清晰有效的信息用于定位，以使得定位结果准确。

控制定位器的摄像机按照目标运动轨迹进行移动，在摄像机移动的同时获取待干燥的基板的图像信息。需要说明的是，可以是通过控制干燥机构的底板移动以带动摄像机移动，也可以是控制摄像机相对于底板移动，本实施例不作具体限定。

为了减少定位出错的几率以及增加图像获取的面积以减少对摄像机的移动，多个摄像机间隔设置，多个摄像机的设置方式基于摄像机的采集范围、精度等因素决定，本实施例不作具体限定。此外考虑到真空环境对摄像机的固定有较大的挑战，采用支架的方式对摄像机进行固定。

其中，待干燥的基板在执行真空干燥制程之后，已干的区域与溶液未干的区域颜色、形态上存在明显差异，因此通过摄像机获取待干燥的基板的图像信息，分析图像信息即可定位溶液未干的目标区域。其中，可以首先将获取的待干燥的基板的图像信息相互对比，将已干的区域与溶液未干的区域进行区分，然后再与存储的已干的区域与溶液未干的区域的模板图像进行比对，进一步确定溶液未干的目标区域。需要说明的是，上述仅仅是通过待干燥的基板的图像信息定位目标区域其中一种方式的举例说明，不应理解为对本实施例的限制，实际上还可以是通过神经网络学习等手段进行识别定位，本实施例不作具体限定。

在本申请的一些实施例中，S104、控制所述干燥机构的干燥器对所述目标区域进行干燥，包括：S401、控制所述干燥机构移动至所述干燥器的真空管开口的一端与所述目标区域抵接；S402、控制所述真空管对所述目标区域进行真空干燥制程。

具体地，当确定待干燥的基板上溶液未干的目标区域之后，控制干燥机构的底板移动，进而带动真空管到达对应的区域，使真空管的一端与基板的未干区域抵接，然后通过抽气口进行抽气使真空管内形成真空腔，执行真空干燥制程。其中，为了确保真空管的密封性，真空管开口的一端即与基板抵接的一端可以设为弹性件或者真空管整体设为弹性件。当设有多个真空管时，可以同时对多个未干区域进行干燥，以提高局部干燥的效率。此外，不同的真空管开口一端的尺寸可以相同也可以不相同，当尺寸相同时，对应地基板均分为多个局部区域，真空管开口一端可以覆盖局部区域，当尺寸不同时，可以根据未干区域的大小选择对应尺寸的真空管执行真空干燥制程。

在本申请的一些实施例中，S401、控制所述干燥机构移动至所述干燥器的真空管开口的一端与所述目标区域抵接，包括：S501、控制所述干燥机构的所述底板移动，直至所述真空管到达所述目标区域的预设范围内；S502、控制所述真空管移动，直至所述真空管开口的一端与所述目标区域抵接。

具体地，由于驱动机构移动时，是带动整个干燥机构移动，整体目标较大，移动调节的精度较低，可能无法精准控制真空管与基板接触的位置，因此可以设置干燥机构内真空管与底板活动连接，首先控制底板带动真空管整体一起移动，然后再控制真空管在底板上活动以与基板抵接，即先粗调后精调，以便真空管与溶液未干的目标区域准确对接。

本申请实施例提供一种真空干燥设备，包括真空抽取装置以及上述任意一项所述的真空干燥装置，所述真空抽取装置的抽气口与所述真空干燥装置的腔室连通。

在本申请的一些实施例中，如图1所示，真空干燥装置包括：

底座1，

干燥室2，包括设于所述底座1的腔室21以及与所述腔室21活动连接的腔门22，所述腔室21设有容纳腔，所述腔门22用于供待干燥的基板进入所述容纳腔；

局部干燥结构3，包括设于所述底座1的驱动机构31以及与所述驱动机构31连接的干燥机构32，所述驱动机构31驱动所述干燥机构32进入所述容纳腔对所述基板进行局部干燥；所述干燥机构32包括与所述驱动机构31连接底板321、设于所述底板321的定位器323和干燥器322，所述驱动机构31驱动所述干燥器322对所述定位器323定位的所述基板的区域进行干燥。

在本申请的一些实施例中，所述干燥器322包括至少一个一端开口的真空管，且所述真空管设有抽气口。

在本申请的一些实施例中，所述真空管与所述底板321活动连接。

在本申请的一些实施例中，所述定位器323包括至少一个摄像机。

在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见其他实施例的相关描述。

以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上对本申请实施例所提供的一种喷墨打印干燥装置及设备进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想；同时，对于本领域的技术人员，依据本申请的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上，本说明书内容不应理解为对本申请的限制。