掌桥专利:专业的专利平台
掌桥专利
首页

用于光学装置的反射镜

文献发布时间:2023-06-19 09:26:02


用于光学装置的反射镜
相关技术
  • 用于投射光刻系统的光瞳分面反射镜、光学系统和照明光学系统
  • 微机电反射镜、反射镜扫描仪、光学扫描单元和成像装置
技术分类

06120112161240