一种气动式半导体自动测试探针

技术领域

本发明属于半导体检测技术领域，具体涉及一种气动式半导体自动测试探针。

背景技术

在生产印刷电路板的过程中需要对印刷电路板进行电性测试，以判断印刷电路板各组件的电性参数(例如阻值、容值或感抗等)是否符合标准要求。

常见的印刷电路板的测试方式是在印刷电路板上设置测试点，将锡膏印刷于测试点表面，通过自动化测试设备或在线测试设备，以探针直接接触测试点的锡膏部位以取得相关的电性参数。

随着科技的发展，消费者不断地朝着电子产品小巧、轻薄的方向发展，随之对于电子产品的性能检测要求也越来越高，探针已被广泛应用于仪表和测试行业中，是精密测量电阻或者其他电信号最常用的采样手段，探针主要类型：悬臂探针和垂直探针，但是现有的探针由于本身体积过小，难以实现自动化测试。

发明内容

本发明的目的是提供一种气动式半导体自动测试探针，解决现有探针由于体积较小，难以实现自动化测试的问题。

为了解决上述技术问题，本发明公开了一种气动式半导体自动测试探针，包括三通连接管，所述三通连接管的中间端口连接有进气管，三通连接管的一侧端口连接有第一针管，所述第一针管内设置有第一弹簧，所述第一弹簧内设置有第一针轴，所述第一针轴的首部从第一针管伸出，三通连接管的另一侧端口连接有第二针管，所述第二针管内设置有第二弹簧，所述第二弹簧内设置有第二针轴，所述第二针轴的首部从第二针管伸出。

本发明的技术方案，还具有以下特点：

作为本发明技术方案的进一步改进，所述第一弹簧和第二弹簧均为压缩弹簧。

作为本发明技术方案的进一步改进，所述进气管、第一针管、第二针管分别与三通连接管的中间端口和两个侧端口螺纹连接。

作为本发明技术方案的进一步改进，所述第一针轴和第二针轴的尾部设置有限位台，所述第一弹簧和第二弹簧套设在第一针轴和第二针轴上。

作为本发明技术方案的进一步改进，所述第一针管和第二针管的端口形成有缩口。

与现有技术相比，本发明的一种气动式半导体自动测试探针，通过三通连接管实现两个针管的连接，并通过气动的方式驱动两个针轴在两个针管内运动，从而实现自动测试，改变了现有探针难以进行自动化测试的问题。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本发明的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1是本发明的一种气动式半导体自动测试探针的结构示意图；

图2是本发明的一种气动式半导体自动测试探针的分解图。

图中：

1.三通连接管；

2.第一针管；

3.第一针轴；

4.第一弹簧；

5.限位台；

6.进气管；

7.第二针管；

8.第二针轴；

9.第二弹簧。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

本发明的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本发明中的具体含义。

如图1所示，本发明的一种气动式半导体自动测试探针，包括三通连接管1，三通连接管1的中间端口连接有进气管6，三通连接管1的一侧端口连接有第一针管2，第一针管2内设置有第一弹簧4，第一弹簧4内设置有第一针轴3，第一针轴3的首部从第一针管2伸出，三通连接管1的另一侧端口连接有第二针管7，第二针管7内设置有第二弹簧9，第二弹簧9内设置有第二针轴8，第二针轴8的首部从第二针管7伸出。

工作的时候，向进气管6内充气，气体推动第一针轴3和第二针轴8分别从第一针管2和第二针管7伸出，以便与被测对象接触，实现自动化检测，该半导体测试探针操作方便，适用于较为复杂的环境进行自动化检测。

如图1所示，在本发明的一种气动式半导体自动测试探针中，第一弹簧4和第二弹簧9均为压缩弹簧。

第一弹簧4和第二弹簧9均优选为压缩弹簧，可以确保弹簧的弹力均匀的作用在第一针轴3和第二针头8上，确保第一针轴3和第二针头8能够在第一针管2和第二针管7内沿着直线上下运动，不会发生偏移。

如图1所示，在本发明的一种气动式半导体自动测试探针中，进气管6、第一针管2、第二针管7分别与三通连接管1的中间端口和两个侧端口螺纹连接。

进气管6、第一针管2、第二针管7分别与三通连接管1的中间端口和两个侧端口螺纹装配在一起，装配较为方便，也以便局部损坏时候更换，延长适用寿命。

即使用针管尾端打点方式紧固，具体来说将第二针头6装配在针管1中后，在针管1的外部打一圈凹点，可以将第二针头6和扩管7固定在一起，操作较为方便。

如图1所示，在本发明的一种气动式半导体自动测试探针中，第一针轴3和第二针轴8的尾部设置有限位台5，第一弹簧4和第二弹簧9套设在第一针轴3和第二针轴8上，并抵压在限位台5的一侧，这样可以确保第一针轴3和第二针轴8移动时候对第一弹簧4和第二弹簧9施压，确保其发生弹性形变，以便不充气的时候，在弹力的作用下能够快速复位。

如图1所示，在本发明的一种气动式半导体自动测试探针中，第一针管2和第二针管7的端口形成有缩口。

使用端面包口方式限位，即在第一针管2和第二针管7的端口形成有缩口，确保缩口的内径小于限位台5的外径，但大于第一针轴3和第二针轴8的外径，这样就可确保第一针管2和第二针管7内进行一定范围内的上下移动，不会从第一针管2和第二针管7中掉出来。

与现有技术相比，本发明的一种气动式半导体自动测试探针，通过三通连接管1实现两个针管(第一针管2和第二针管7)的连接，并通过气动的方式驱动两个针轴(第一针轴3和第二针轴8)在两个针管内运动，从而实现自动测试，改变了现有探针难以进行自动化测试的问题。

上述说明示出并描述了发明的若干优选实施例，但如前所述，应当理解发明并非局限于本文所披露的形式，不应看作是对其他实施例的排除，而可用于各种其他组合、修改和环境，并能够在本文所述发明构想范围内，通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动。而本领域人员所进行的改动和变化不脱离发明的精神和范围，则都应在发明所附权利要求的保护范围内。