一种机械手教点系统及控制方法

技术领域

本公开的实施例涉及计算机技术领域，具体涉及一种机械手教点系统及控制方法。

背景技术

半导体设备内的布局空间小,为了能以最小的占地空间达到最大的空间利用,在设计上会充分地配置必要的机器,由于空间被完全有效利用了,所以在设备内若要进行机械手教点操作十分苦难。

操作者在手动安全模式下进入了设备内执行教点操作,因空间的限制除了无法正确地教点之外,还容易在操作过程中身体碰撞挤压到其它元件而产生人员受伤或者元件损坏。

另外在教点目标位置对地高度高于2公尺以上位置时,亦受到空间限制,人员除了看不到目标位置也无法在受限的空间登高作业。以致于教点操作耗时之外教点的精确度亦不理想,教点操作需要不断地重覆确认与修正。

发明内容

本公开的内容部分用于以简要的形式介绍构思，这些构思将在后面的具体实施方式部分被详细描述。本公开的内容部分并不旨在标识要求保护的技术方案的关键特征或必要特征，也不旨在用于限制所要求的保护的技术方案的范围。

本公开的一些实施例提出了一种机械手教点系统及控制方法，来解决以上背景技术部分提到的技术问题。

第一方面，本公开的一些实施例提供了一种机械手教点系统，其中，上述机械手教点系统包括机械手、传感模块、中控模块以及基准模块，上述传感模块安装在上述机械手上，用于对上述基准模块进行感测，并将感测结果传递至上述中控模块；上述基准模块安装在目标工位上并作为上述机械手相对于目标工位的基准，用于被上述传感模块感测；上述中控模块，用于根据上述感测结果对上述机械手进行控制。

第二方面，本公开的一些实施例提供了一种如第一方面上述的机械手教点系统的控制方法，包括：通过上述传感模块确定上述机械手于上述基准模块的位置信息；根据上述位置信息控制上述机械手移动至上述目标工位的目标位置。

本公开的上述各个实施例中的一个实施例具有如下有益效果：能够以最小的占地空间达到最大的空间利用，避免了在操作过程中身体碰撞挤压到其它元件而产生人员受伤或者元件损坏，节省教点操作的耗时，提高教点的精确度,减少教点操作时所需要地重复确认与修正，实现了自动完成工位教点，提高用户体验，节省操作时间。

附图说明

结合附图并参考以下具体实施方式，本公开各实施例的上述和其他特征、优点及方面将变得更加明显。贯穿附图中，相同或相似的附图标记表示相同或相似的元素。应当理解附图是示意性的，元件和元素不一定按照比例绘制。

图1是本公开的一些实施例的一种机械手教点系统的示例性结构图；

图2是根据本公开的一种机械手教点系统的控制方法的一些实施例的流程图。

具体实施方式

下面将参照附图更详细地描述本公开的实施例。虽然附图中显示了本公开的某些实施例，然而应当理解的是，本公开可以通过各种形式来实现，而且不应该被解释为限于这里阐述的实施例。相反，提供这些实施例是为了更加透彻和完整地理解本公开。应当理解的是，本公开的附图及实施例仅用于示例性作用，并非用于限制本公开的保护范围。

另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与有关发明相关的部分。在不冲突的情况下，本公开中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

需要注意，本公开中提及的“第一”、“第二”等概念仅用于对不同的装置、模块或单元进行区分，并非用于限定这些装置、模块或单元所执行的功能的顺序或者相互依存关系。

需要注意，本公开中提及的“一个”、“多个”的修饰是示意性而非限制性的，本领域技术人员应当理解，除非在上下文另有明确指出，否则应该理解为“一个或多个”。

本公开实施方式中的多个装置之间所交互的消息或者信息的名称仅用于说明性的目的，而并不是用于对这些消息或信息的范围进行限制。

本实施例的一种机械手教点系统，其中，上述机械手教点系统包括机械手、传感模块、中控模块以及基准模块，上述传感模块安装在上述机械手上，用于对上述基准模块进行感测，并将感测结果传递至上述中控模块；上述基准模块安装在目标工位上并作为上述机械手相对于目标工位的基准，用于被上述传感模块感测；上述中控模块，用于根据上述感测结果对上述机械手进行控制。

在一些实施例的一些可选的实现方式中，上述传感模块以激光测距工装治具的方式限制并固定于上述机械手的前端机构上，上述激光测距工装治具包括两个发射端，上述两个发射端上分别安装上述传感模块。

在一些实施例的一些可选的实现方式中，上述传感模块还用于感测上述机械手于上述基准模块的位置信息，其中，上述位置信息包括上述机械手于上述基准模块的相对位置和角度。

在一些实施例的一些可选的实现方式中，上述基准模块由两个基准块组成，以上述目标工位中目标位置为原点建立三维坐标系，上述两个基准块的连接线与Y轴平行，上述两个基准块的连接线的中点在上述三维坐标系的X轴上。

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本公开。

图1是本公开的一些实施例的一种机械手教点系统的示例性结构图。

如图1所示，上述机械手教点系统100包括机械手102、传感模块103、中控模块以及基准模块104，上述传感模块103安装在上述机械手102上，用于对上述基准模块104进行感测，并将感测结果传递至上述中控模块；上述基准模块104安装在目标工位101上并作为上述机械手102相对于目标工位101的基准，用于被上述传感模块103感测；上述中控模块，用于根据上述感测结果对上述机械手102进行控制。

在一些实施例的一些可选的实现方式中，上述传感模块以激光测距工装治具的方式限制并固定于上述机械手的前端机构上，上述激光测距工装治具包括两个发射端，上述两个发射端上分别安装上述传感模块。

在一些实施例的一些可选的实现方式中，上述传感模块还用于感测上述机械手于上述基准模块的位置信息，其中，上述位置信息包括上述机械手于上述基准模块的相对位置和角度。

在一些实施例的一些可选的实现方式中，上述基准模块由两个基准块组成，以上述目标工位中目标位置为原点建立三维坐标系，如图1所示，上述两个基准块的连接线与Y轴平行，上述两个基准块的连接线的中点在上述三维坐标系的X轴上。

本公开的上述各个实施例中的一个实施例具有如下有益效果：能够以最小的占地空间达到最大的空间利用，避免了在操作过程中身体碰撞挤压到其它元件而产生人员受伤或者元件损坏，节省教点操作的耗时，提高教点的精确度,减少教点操作时所需要地重复确认与修正，实现了自动完成工位教点，提高用户体验，节省操作时间。

继续参考图2，示出了根据本公开的一种机械手教点系统的控制方法的一些实施例的流程200。该一种机械手教点系统的控制方法，包括以下步骤：

步骤201，通过上述传感模块确定上述机械手于上述基准模块的位置信息。

在一些实施例中，一种机械手教点系统的控制方法的执行主体(例如图1所示的中控模块)可以通过上述传感模块确定上述机械手于上述基准模块的位置信息。

在一些实施例的一些可选的实现方式中，上述执行主体可以通过上述激光测距工装治具确定上述目标工位上两个基准块之间的距离；根据上述两个基准块之间的距离和上述两个发射端之间的距离，确定上述机械手于上述两个基准块所组成平面的相对角度。

作为示例，上述执行主体可以通过以下步骤确定上述机械手于上述两个基准块所组成平面的相对角度：

1.Robot手臂向前方定点伸出

2.由激光测距测得两基准块的差距t和以下公式可得上述机械手于上述两个基准块所组成平面的相对角度：θ＝tan

在一些实施例的一些可选的实现方式中，上述执行主体可以通过上述激光测距工装治具确定上述机械手与上述基准块之间的距离信息；根据上述距离信息、上述机械手于上述两个基准块所组成平面的相对角度以及基准块坐标，确定上述机械手的位置坐标，并将上述位置坐标作为上述位置信息，其中，以上述目标工位中目标位置为原点建立三维坐标系，上述两个基准块的连接线与Y轴平行，上述两个基准块的连接线的中点在上述三维坐标系的X轴上。

作为示例，当测距Sensor测得基准块时,该位置的两个发射端的坐标与基准块之间的相对坐标可计算得到上述机械手于目标位置坐标。

步骤202，根据上述位置信息控制上述机械手移动至上述目标工位的目标位置。

在一些实施例中，基于步骤201中得到的位置信息，上述执行主体可以根据上述位置信息控制上述机械手移动至上述目标工位的目标位置。

本公开的上述各个实施例中的一个实施例具有如下有益效果：能够以最小的占地空间达到最大的空间利用，避免了在操作过程中身体碰撞挤压到其它元件而产生人员受伤或者元件损坏，节省教点操作的耗时，提高教点的精确度,减少教点操作时所需要地重复确认与修正，实现了自动完成工位教点，提高用户体验，节省操作时间。

在一些实施方式中，客户端、服务器可以利用诸如HTTP(HyperText TransferProtocol，超文本传输协议)之类的任何当前已知或未来研发的网络协议进行通信，并且可以与任意形式或介质的数字数据通信(例如，通信网络)互连。通信网络的示例包括局域网(“LAN”)，广域网(“WAN”)，网际网(例如，互联网)以及端对端网络(例如，ad hoc端对端网络)，以及任何当前已知或未来研发的网络。

可以以一种或多种程序设计语言或其组合来编写用于执行本公开的一些实施例的操作的计算机程序代码，上述程序设计语言包括面向对象的程序设计语言—诸如Java、Smalltalk、C++，还包括常规的过程式程序设计语言—诸如“C”语言或类似的程序设计语言。程序代码可以完全地在用户计算机上执行、部分地在用户计算机上执行、作为一个独立的软件包执行、部分在用户计算机上部分在远程计算机上执行、或者完全在远程计算机或服务器上执行。在涉及远程计算机的情形中，远程计算机可以通过任意种类的网络——包括局域网(LAN)或广域网(WAN)——连接到用户计算机，或者，可以连接到外部计算机(例如利用因特网服务提供商来通过因特网连接)。

附图中的流程图和框图，图示了按照本公开各种实施例的系统、方法和计算机程序产品的可能实现的体系架构、功能和操作。在这点上，流程图或框图中的每个方框可以代表一个模块、程序段、或代码的一部分，该模块、程序段、或代码的一部分包含一个或多个用于实现规定的逻辑功能的可执行指令。也应当注意，在有些作为替换的实现中，方框中所标注的功能也可以以不同于附图中所标注的顺序发生。例如，两个接连地表示的方框实际上可以基本并行地执行，它们有时也可以按相反的顺序执行，这依所涉及的功能而定。也要注意的是，框图和/或流程图中的每个方框、以及框图和/或流程图中的方框的组合，可以用执行规定的功能或操作的专用的基于硬件的系统来实现，或者可以用专用硬件与计算机指令的组合来实现。

本文中以上描述的功能可以至少部分地由一个或多个硬件逻辑部件来执行。例如，非限制性地，可以使用的示范类型的硬件逻辑部件包括：现场可编程门阵列(FPGA)、专用集成电路(ASIC)、专用标准产品(ASSP)、片上系统(SOC)、复杂可编程逻辑设备(CPLD)等等。

以上描述仅为本公开的一些较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本公开的实施例中所涉及的发明范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离上述发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本公开的实施例中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。