一种薄膜及其涂布设备

技术领域

本发明涉及薄膜涂布领域，尤其是涉及一种薄膜及其涂布设备。

背景技术

真空蒸镀，简称蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料（或称膜料）并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法，在对薄膜进行蒸镀金属的过程中，传统的设备至多只能镀两种金属，不便于一次同时蒸镀多种金属，薄膜蒸镀效率低。

针对上述相关技术，亟需设计研发一种薄膜及其涂布设备，可同时蒸镀多种金属，提高薄膜蒸镀效率。

发明内容

为了同时蒸镀多种金属，提高薄膜蒸镀效率，本申请提供一种薄膜及其涂布设备。

本申请提供的一种薄膜及其涂布设备采用如下的技术方案：

一种薄膜及其涂布设备，包括机箱和设置于所述机箱内用于蒸镀金属的蒸镀机构，所述机箱内设置有用于安装薄膜卷的放卷机构、用于收卷薄膜的收卷机构和设置于所述蒸镀机构上方的冷凝机构，所述冷凝机构包括设置于所述机箱内的冷凝辊，所述薄膜设置于所述冷凝辊上，所述蒸镀机构包括设置于机箱内的蒸发舟，所述蒸发舟位于所述冷凝辊的下方，所述蒸发舟的顶面上开设有多个用于盛放金属材料的承料槽。

通过采用上述技术方案，蒸镀机构包括蒸发舟，蒸发舟设置于机箱内，蒸发舟的顶面上开设有多个承料槽，承料槽内放置有金属材料，冷凝机构包括冷凝辊，冷凝辊设置于机箱内，蒸发舟位于冷凝辊下方，薄膜设置于冷凝辊上，机箱内设置有放卷机构，薄膜卷设置于放卷机构上，机箱内设置有收卷机构，收卷机构可用于收卷蒸镀后的薄膜，可在蒸发舟内放置多种不同的金属材料，即可同时蒸镀多种金属，提高薄膜蒸镀效率。

优选的，所述放卷机构包括转动设置于所述机箱内的放卷辊，所述薄膜卷套设于所述放卷辊上。

通过采用上述技术方案，放卷机构包括放卷辊，放卷辊转动设置于机箱内，薄膜卷套设于放卷辊上，便于存放薄膜卷。

优选的，所述收卷机构包括转动设置于所述机箱内的收卷辊，经过蒸镀后的薄膜经由所述收卷辊收卷。

通过采用上述技术方案，收卷机构包括收卷辊，收卷辊转动设置于机箱内，蒸镀后的薄膜经由收卷辊收卷，便于收卷成品。

优选的，所述机箱内还设置有传动机构，所述传动机构包括多根转动设置于所述机箱内的传动辊，所述薄膜经由所述传动辊传动。

通过采用上述技术方案，机箱内设置有传动机构，传动机构包括多根传动辊，多根传动辊转动设置于机箱内，薄膜经由传动辊传动，便于传动薄膜。

优选的，所述机箱上设置有抽气机构，所述抽气机构包括设置于所述机箱上的真空泵和与所述真空泵相连通的真空管，所述真空管与所述机箱内相连通。

通过采用上述技术方案，机箱内设置有抽气机构，抽气机构包括真空泵和真空管，真空泵设置于机箱上，真空管与真空泵相连通，真空管与机箱内相连通，便于将极机箱内的空气抽出，使得机箱内在蒸镀前实现真空状态，有利于蒸镀工作的顺利完成。

优选的，所述机箱上设置有调控机构，所述调控机构包括设置于所述机箱上的调控按钮一和设置于所述调控按钮一旁的调控按钮二，所述调控按钮二设置于所述机箱上。

通过采用上述技术方案，机箱上设置有调控机构，调控机构包括调控按钮一和调控按钮二，调控按钮一与调控按钮二均设置于机箱上，调控按钮二设置于调控按钮一侧旁，根据薄膜厚度的不同，通过调控按钮一和调控按钮二可调节蒸发速率以及薄膜传输速度等，便于调节不同的参数。

优选的，所述机箱的侧面上开设有窗口，所述窗口内铰接有真空阀门。

通过采用上述技术方案，机箱的侧面上开设有窗口，窗口内铰接有真空阀门，当需要取放薄膜或者更换、补充金属材料时，打开真空阀门，便于取放薄膜，便于更换、补充金属材料。

优选的，所述真空阀门的侧面设置有密封垫条，所述密封垫条可与所述窗口的内壁相贴合。

通过采用上述技术方案，真空阀门的侧面设置有密封垫条，密封垫条可与窗口的内壁相贴合，当关闭真空阀门时，密封垫条与窗口的内壁相贴合，防止外界空气通过真空阀门与窗口之间的间隙进入机箱内，增强机箱的密封性。

优选的，所述蒸镀机构包括设置于所述机箱内的辐射加热炉，所述辐射加热炉可用于蒸镀不同于所述蒸发舟内的金属。

通过采用上述技术方案，蒸镀机构包括辐射加热炉，辐射加热炉设置于机箱内，辐射加热炉可用于蒸镀不同于蒸发舟内的金属，便于不同的金属原子在空气中发生碰撞，从而提高蒸镀的效果。

优选的，所述机箱内设置有隔板，所述隔板的顶面上开设有安装槽，所述冷凝辊转动设置于所述安装槽内，所述蒸发舟位于所述隔板下方，所述辐射加热炉位于所述隔板下方，所述蒸发舟位于所述辐射加热炉侧旁。

通过采用上述技术方案，机箱内设置有隔板，隔板的顶面上开设有安装槽，冷凝辊转动设置于安装槽内，蒸发舟位于隔板下方，辐射加热炉位于隔板下方，蒸发舟位于辐射加热炉侧旁，蒸发舟与辐射加热炉蒸镀金属时，蒸发出的金属原子会沉积在薄膜材料的表面并形成一层薄膜，隔板能够阻碍金属原子飘散至机箱内的其他部位，降低出现金属原子飘散影响薄膜蒸镀的可能，从而提高薄膜蒸镀的成品率。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1.蒸镀机构包括蒸发舟，蒸发舟设置于机箱内，蒸发舟的顶面上开设有多个承料槽，承料槽内放置有金属材料，冷凝机构包括冷凝辊，冷凝辊设置于机箱内，蒸发舟位于冷凝辊下方，薄膜设置于冷凝辊上，机箱内设置有放卷机构，薄膜卷设置于放卷机构上，机箱内设置有收卷机构，收卷机构可用于收卷蒸镀后的薄膜，可在蒸发舟内放置多种不同的金属材料，即可同时蒸镀多种金属，提高薄膜蒸镀效率；

2.机箱上设置有调控机构，调控机构包括调控按钮一和调控按钮二，调控按钮一与调控按钮二均设置于机箱上，调控按钮二设置于调控按钮一侧旁，根据薄膜厚度的不同，通过调控按钮一和调控按钮二可调节蒸发速率以及薄膜传输速度等，便于调节不同的参数；

3.机箱内设置有隔板，隔板的顶面上开设有安装槽，冷凝辊转动设置于安装槽内，蒸发舟位于隔板下方，辐射加热炉位于隔板下方，蒸发舟位于辐射加热炉侧旁，蒸发舟与辐射加热炉蒸镀金属时，蒸发出的金属原子会沉积在薄膜材料的表面并形成一层薄膜，隔板能够阻碍金属原子飘散至机箱内的其他部位，降低出现金属原子飘散影响薄膜蒸镀的可能，从而提高薄膜蒸镀的成品率。

附图说明

图1是本申请实施例一中涂布设备的整体结构示意图。

图2是本申请实施例一中机箱的剖视图。

图3是本申请实施例一中放卷辊与收卷辊的剖视图。

图4是本申请实施例一中冷凝辊的剖视图。

图5是本申请实施例二中机箱的剖视图。

附图标记说明：

1、机箱；11、窗口；12、真空阀门；13、密封垫条；14、隔板；141、安装槽；15、斜向支撑板；2、蒸镀机构；21、蒸发舟；211、承料槽；22、辐射加热炉；3、放卷机构；31、放卷辊；311、转动槽一；3111、限位环槽一；32、连接柱一；321、连接环一；4、收卷机构；41、收卷辊；411、转动槽二；4111、限位环槽二；42、连接柱二；421、连接环二；5、冷凝机构；51、冷凝辊；511、转动槽三；5111、限位环槽三；52、连接柱三；521、连接环三；6、传动机构；61、传动辊；7、抽气机构；71、真空泵；72、真空管；8、调控机构；81、调控按钮一；82、调控按钮二。

实施方式

以下结合附图1-5对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开一种薄膜及其涂布设备。实施例一：参照图1和图2所示，薄膜及其涂布设备包括机箱1、蒸镀机构2、放卷机构3、收卷机构4、冷凝机构5、传动机构6、抽气机构7和调控机构8，机箱1水平放置，机箱1的侧面上开设有窗口11，窗口11内铰接有真空阀门12，真空阀门12的一侧铰接于窗口11的内壁上，真空阀门12水平设置于窗口11内。

参照图1所示，真空阀门12靠近窗口11内壁的侧面上设置有密封垫条13，密封垫条13可与窗口11的内壁相贴合，当关闭真空阀门12时，密封垫条13与窗口11的内壁相贴合，防止外界空气通过真空阀门12与窗口11之间的间隙进入机箱1内，增强机箱1的密封性。

参照图1所示，抽气机构7包括真空泵71和真空管72，真空泵71水平焊接固定于机箱1的侧面上，真空管72的一端与真空泵71的抽气口相连接，真空管72的另一端与机箱1相连接，真空管72的另一端插设于机箱1内，真空管72的另一端与机箱1内部相连通，便于将极机箱1内的空气抽出，使得机箱1内在蒸镀前实现真空状态，有利于蒸镀工作的顺利完成。

参照图2和图3所示，放卷机构3包括放卷辊31和连接柱一32，连接柱一32水平焊接固定于机箱1的内壁上，连接柱一32的长度方向垂直于机箱1内壁，连接柱一32远离机箱1内壁的侧面上焊接固定有连接环一321，连接环一321的轴心线与连接柱一32的轴心线相重合。

参照图2和图3所示，放卷辊31靠近机箱1内壁的侧面上开设有转动槽一311，转动槽一311的侧面上开设有限位环槽一3111，连接柱一32转动插设于转动槽一311内，连接环一321转动设置于限位环槽一3111内，放卷辊31的长度方向与连接柱一32的长度方向相同，连接环一321阻碍放卷辊31脱离连接柱一32，从而阻碍放卷辊31脱离机箱1，增强放卷辊31与机箱1连接的稳定性。

参照图2和图3所示，收卷机构4包括收卷辊41和连接柱二42，连接柱二42水平焊接固定于机箱1的内壁上，连接柱二42的长度方向垂直于机箱1内壁，连接柱二42远离机箱1内壁的侧面上焊接固定有连接环二421，连接环二421的轴心线与连接柱二42的轴心线相重合。

参照图2和图3所示，收卷辊41靠近机箱1内壁的侧面上开设有转动槽二411，转动槽二411的侧面上开设有限位环槽二4111，连接柱二42转动插设于转动槽二411内，连接环二421转动设置于限位环槽二4111内，收卷辊41的长度方向与连接柱二42的长度方向相同，连接环二421阻碍收卷辊41脱离连接柱二42，从而阻碍收卷辊41脱离机箱1，增强收卷辊41与机箱1连接的稳定性。

参照图2和图4所示，冷凝机构5包括冷凝辊51和连接柱三52，连接柱三52水平焊接固定于机箱1的内壁上，连接柱三52的长度方向垂直于机箱1内壁，连接柱三52远离机箱1内壁的侧面上焊接固定有连接环三521，连接环三521的轴心线与连接柱三52的轴心线相重合。

参照图2和图4所示，冷凝辊51靠近机箱1内壁的侧面上开设有转动槽三511，转动槽三511的侧面上开设有限位环槽三5111，连接柱三52转动插设于转动槽三511内，连接环三521转动设置于限位环槽三5111内，冷凝辊51的长度方向与连接柱三52的长度方向相同，连接环三521阻碍冷凝辊51脱离连接柱三52，从而阻碍冷凝辊51脱离机箱1，增强冷凝辊51与机箱1连接的稳定性，薄膜设置于冷凝辊51上。

参照图2所示，传动机构6包括多根传动辊61和多根卡柱，多根卡柱均水平焊接固定于机箱1的内壁上，卡柱的长度方向垂直于机箱1内壁，卡柱远离机箱1内壁的侧面上焊接固定有卡环，卡环的轴心线与卡柱的轴心线相重合。

参照图2所示，传动辊61靠近机箱1内壁的侧面上开设有容置槽，容置槽的侧面上开设有限位卡槽，卡柱转动插设于容置槽内，卡环转动设置于限位卡槽内，传动辊61的长度方向与卡柱的长度方向相同，卡环阻碍传动辊61脱离卡柱，从而阻碍传动辊61脱离机箱1，增强传动辊61与机箱1连接的稳定性，薄膜经由传动辊61传动。

参照图2所示，机箱1内水平设置有隔板14和斜向支撑板15，隔板14靠近机箱1内壁的侧面焊接固定于机箱1的内壁，斜向支撑板15的靠近机箱1底壁的侧面与机箱1底壁相焊接固定，斜板靠近隔板14的侧面与隔板14的侧面相焊接固定，隔板14、斜向支撑板15与机箱1内壁之间形成有密闭空间。

参照图2所示，隔板14的顶面上开设有安装槽141，安装槽141的长度方向与冷凝辊51的长度方向相同，冷凝辊51转动设置于安装槽141内。

参照图2所示，蒸镀机构2包括蒸发舟21和辐射加热炉22，蒸发舟21与辐射加热炉22均水平放置于机箱1内，蒸发舟21的长度方向与冷凝辊51的长度方向相同，辐射加热炉22的长度方向与蒸发舟21的长度方向相同，蒸发舟21的长度与辐射加热炉22的长度相等，蒸发舟21与辐射加热炉22均位于冷凝辊51的下方。

参照图2所示，蒸发舟21的顶面上开设有多个承料槽211，多个承料槽211在蒸发舟21的顶面上沿蒸发舟21的长度方向等距离均匀分布，使用者可以根据需求在承料槽211内放置不同的金属材料，例如：镁、铝、锌、铜、银等，可同时蒸镀多种金属，提高薄膜蒸镀效率。

参照图2所示，辐射加热炉22位于蒸发舟21的侧旁，辐射加热炉22内可存放不同于蒸发舟21内的金属，便于不同的金属原子在空气中发生碰撞，从而提高蒸镀的效果。

参照图1所示，调控机构8包括调控按钮一81和调控按钮二82，调控按钮一81与调控按钮二82均水平设置于机箱1的外侧面，调控按钮一81与调控按钮二82关于机箱1侧面长度方向上的中心线相对称，根据薄膜厚度的不同，通过调控按钮一81和调控按钮二82可调节蒸发速率以及薄膜传输速度等，便于调节不同的参数。

参照图1和图5所示，实施例二：不同于实施例一，机箱1内设置有两组冷凝机构5，隔板14水平焊接固定于机箱1内，隔板14与机箱1内侧壁形成密闭空间，隔板14的顶面上开设有两条安装槽141，安装槽141的长度方向与冷凝辊51的长度方向相同，两根冷凝管分别转动设置于两条安装槽141内，两根冷凝管下方均水平放置有两条蒸发舟21和一个辐射蒸发炉，辐射蒸发炉位于冷凝管的正下方，两条蒸发舟21关于辐射蒸发炉相对称，蒸发舟21的长度方向与冷凝辊51的长度方向相同，辐射加热炉22的长度方向与蒸发舟21的长度方向相同，蒸发舟21的长度与辐射加热炉22的长度相等，薄膜经由放卷辊31沿传动辊61传送至第一组冷凝机构5的冷凝辊51上，薄膜在第一组冷凝辊51上完成一面的蒸镀后，经由传动辊61传送至第二组冷凝机构5的冷凝辊51上，由冷凝辊51完成翻面，并在第二组冷凝辊51上完成另一面的蒸镀，带薄膜双面蒸镀完成后，由收卷辊41完成对薄膜的收卷。

本申请实施例一种薄膜及其涂布设备的实施原理为：

当需要对薄膜进行单面蒸镀时，在蒸发舟21与辐射加热炉22内分别放置需要蒸镀的金属，关闭真空阀门12，使得密封垫条13完全贴合窗口11内壁，启动真空泵71，真空泵71将机箱1内的空气抽出，使得机箱1内保持真空状态，加热蒸发舟21与辐射加热炉22，待蒸发舟21与辐射加热炉22升温到一定温度时，金属形成气态金属原子，根据所需的薄膜性能和厚度，调节蒸发速率、基片温度、基片输送速度等参数，转动收卷辊41，收卷辊41转动带动薄膜传动，薄膜绕传动辊61传动，薄膜由放卷辊31经由传动辊61传送至冷凝管，此时，位于蒸发舟21与辐射加热炉22内的金属被蒸镀至金属原子状态，不同种类的金属原子在机箱1内碰撞并沉积在薄膜表面，当达到预设的镀膜时间或厚度后，停止加热，结束镀膜过程，向真空室内充入干燥空气或惰性气体，使其恢复常压，打开真空室的门，取出已经镀好薄膜，进行检测和包装。

当需要对薄膜进行双面蒸镀时，在所有的蒸发舟21与所有辐射加热炉22内分别放置需要蒸镀的金属，关闭真空阀门12，使得密封垫条13完全贴合窗口11内壁，启动真空泵71，真空泵71将机箱1内的空气抽出，使得机箱1内保持真空状态，根据所需的薄膜性能和厚度，调节蒸发速率、薄膜输送速度等参数，加热所有的蒸发舟21与所有的辐射加热炉22，待蒸发舟21与辐射加热炉22升温到一定温度时，金属形成气态金属原子，转动收卷辊41，收卷辊41转动带动薄膜传动，薄膜绕传动辊61传动，薄膜由放卷辊31经由传动辊61传送至第一组冷凝机构5的冷凝辊51，此时，位于蒸发舟21与辐射加热炉22内的金属被蒸镀至金属原子状态，不同种类的金属原子在机箱1内碰撞并沉积在薄膜表面，当达到预设的镀膜时间或厚度时，薄膜在第一组冷凝辊51上完成一面的蒸镀，然后经由传动辊61传送至第二组冷凝机构5的冷凝辊51上，由冷凝辊51完成翻面，并在第二组冷凝辊51上完成另一面的蒸镀，待薄膜完成双面蒸镀后，停止加热，结束镀膜过程，向真空室内充入干燥空气或惰性气体，使其恢复常压，打开真空室的门，取出已经镀好薄膜，进行检测和包装。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。