一种砂轮划片机的气浮主轴

技术领域

本发明涉及划片机技术领域，具体涉及一种砂轮划片机的气浮主轴。

背景技术

划片切割机是通过安装在气浮主轴刀盘上的砂轮薄片对物体进行精密划槽、切割。刀盘在气浮主轴上的安装精度和性能及喷水结构对划片切割机的划槽、切割质量影响很大，尤其是晶圆、硅片、LED原件等超精密划切的电子、光学元器件。

现有技术中的气浮主轴的芯轴和外壳之间通过斜向的气浮轴承进行转动连接，单个轴承需要承担芯轴在高速转动时的径向和轴向压力，使得轴承容易出现过载损坏，导致气浮主轴损坏。

因此，如何提供一种砂轮划片机的气浮主轴，以解决现有技术所存在的问题，对其应用具有重要意义。

发明内容

有鉴于此，本申请的目的在于提供一种砂轮划片机的气浮主轴，以解决现有技术中的气浮主轴的芯轴和外壳之间通过斜向的气浮轴承进行转动连接，单个轴承需要承担芯轴在高速转动时的径向和轴向压力，使得轴承容易出现过载损坏，导致气浮主轴损坏问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种砂轮划片机的气浮主轴，包括主轴芯轴和外壳，所述主轴芯轴的中部安装有电机定子，所述外壳的内部的安装有径向气浮轴承一和径向气浮轴承二，所述主轴芯轴通过径向气浮轴承一和径向气浮轴承二与外壳转动连接，所述主轴芯轴的两端通过推力气浮轴承一和过推力气浮轴承二与外壳转动连接，所述主轴芯轴的两端分别固定连接有输出端头一和输出端头二。

优选的，所述外壳的顶端开设有主气道、第一支气道、第二支气道、第三支气道和第四支气道，所述主气道横向设置于外壳的顶端，所述第一支气道、第二支气道、第三支气道和第四支气道均与主气道连通。

优选的，所述第三支气道与推力气浮轴承一连通，所述第一支气道与径向气浮轴承二连通。

优选的，所述第四支气道与推力气浮轴承一连通，所述第二支气道与推力气浮轴承二连通。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1、本发明采用推力气浮轴承和径向气浮轴承来提高主轴的稳定性，通过设置推力气浮轴承来承接主轴芯轴在高速转动时的轴向压力，通过设置径向气浮轴承来承接主轴芯轴在高速转速时的径向压力，相比较现有的气浮主轴，本发明设置两个气浮轴承来分散两个不同方向的压力，减轻了气浮轴承的压力负载，从而使得气浮主轴运行更加稳定。

2、本发明采用双出头设计，能够安装两把划切刀片，从而提高划片效率，电子定子中置，两端的输出端头对称设置，保持主轴的动平衡，性能更优。

上述说明仅是本申请技术方案的概述，为了能够更清楚了解本申请的技术手段，从而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本申请的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下以本申请的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

根据下文结合附图对本申请具体实施例的详细描述，本领域技术人员将会更加明了本申请的上述及其他目的、优点和特征。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。

图1为本发明的结构示意图。

图中：1、主轴芯轴；2、推力气浮轴承一；3、径向气浮轴承一；4、电机定子；5、输出端头一；6、输出端头二；7、推力气浮轴承二；8、径向气浮轴承二；9、外壳；10、主气道；11、第一支气道；12、第二支气道；13、第三支气道；14、第四支气道。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。在下面的描述中，提供诸如具体的配置和组件的特定细节仅仅是为了帮助全面理解本申请的实施例。因此，本领域技术人员应该清楚，可以对这里描述的实施例进行各种改变和修改而不脱离本申请的范围和精神。另外，为了清楚和简洁，实施例中省略了对已知功能和构造的描述。

此外，本申请可以在不同例子中重复参考数字和/或字母。这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身并不指示所讨论各种实施例和/或设置之间的关系。

本文中术语“和/或”，仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，单独存在B，同时存在A和B三种情况，本文中术语“/和”是描述另一种关联对象关系，表示可以存在两种关系，例如，A/和B，可以表示：单独存在A，单独存在A和B两种情况，另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”关系。

还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含。

请参阅图1，本发明提供了一种砂轮划片机的气浮主轴的技术方案：包括主轴芯轴1和外壳9，主轴芯轴1的中部安装有电机定子4，外壳9的内部的安装有径向气浮轴承一3和径向气浮轴承二8，主轴芯轴1通过径向气浮轴承一3和径向气浮轴承二8与外壳9转动连接，主轴芯轴1的两端通过推力气浮轴承一2和过推力气浮轴承二7与外壳9转动连接，主轴芯轴1的两端分别固定连接有输出端头一5和输出端头二6，采用双出头设计，能够安装两把划切刀片，从而提高划片效率，电子定子4中置，两端的输出端头对称设置，保持主轴的动平衡，性能更优。

推力气浮轴承一2和推力气浮轴承二7为对称设置，径向气浮轴承一3和来径向气浮轴承二8为对称设置。

本发明通过设置推力气浮轴承一2和推力气浮轴承二7来承接主轴芯轴1在高速转动时的轴向压力，通过设置径向气浮轴承一3和来径向气浮轴承二8承接主轴芯轴在高速转速时的径向压力，相比较现有的气浮主轴，本发明设置两个气浮轴承来分散两个不同方向的压力，减轻了气浮轴承的压力负载，从而使得气浮轴承运行更加稳定。

外壳9的顶端开设有主气道10、第一支气道11、第二支气道12、第三支气道13和第四支气道14，主气道10横向设置于外壳9的顶端，第一支气道11、第二支气道12、第三支气道13和第四支气道14均与主气道10连通，第三支气道13与推力气浮轴承一2连通，第一支气道11与径向气浮轴承二8连通，第四支气道14与推力气浮轴承一2连通，第二支气道12与推力气浮轴承二7连通

在本实施方式中，主气道10、第一支气道11、第二支气道12、第三支气道13和第四支气道14均设置在外壳9的顶端，方便气源接通和安装。

本发明的工作原理，通过中置的电机定子4驱动主轴芯轴1转动，此时推力气浮轴承一2和推力气浮轴承二7来承接主轴芯轴1在高速转动时的轴向压力，通过设置径向气浮轴承一3和来径向气浮轴承二8承接主轴芯轴在高速转速时的径向压力，相比较现有的气浮主轴，本发明设置两个气浮轴承来分散两个不同方向的压力，减轻了气浮轴承的压力负载，从而使得气浮主轴运行更加稳定。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，其并非因此限制本发明的保护范围，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，通过常规的替代或者能够实现相同的功能在不脱离本发明的原理和精神的情况下对这些实施例进行变化、修改、替换、整合和参数变更均落入本发明的保护范围内。