一种自走机器人及其使用方法

技术领域

本发明属于半导体制造领域，尤其是涉及一种自走机器人及其使用方法。

背景技术

在半导体硅单晶制造领域中,使用避免人工接触产品的自走式机器人进行产品的搬运，上下料是一种高效安全的自动化搬运方式。该方式自诞生以来，被多家半导体厂家尝试使用，随着越来越多自走式机器人在半导体车间应用，传统的基于多控制器协同工作的自走式机器人的效率问题，稳定性问题，部署和修改问题都逐渐地暴露出来，且多控制器和控制系统也导致产品制造成本高，造成在行业内半导体搬运自行走机器人始终属于试用阶段，没有形成大批量商业化发展。传统上的，2-3个互相通讯的控制器，逐一进行设置，逐一设置的过程需要注意各个控制器设置的顺序，彼此的关系，操作的过程容易出现错误，设置的结果可靠性和稳定性也存在问题，这对于高疲劳强度的半导体产业来说，是灾难性的。

发明内容

本发明要解决的问题是提供一种自走机器人及其使用方法，有效的解决自走式机器人系统稳定性差，可靠性差，现场实施耗时费力且整体成本高，不能大规模生产的问题。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种自走机器人，包括控制系统和控制器，其特征在于：所述控制系统设置在所述自走机器人上，用于控制所述自走机器人搬运物料；所述控制器用于控制所述控制系统。

优选地，所述控制系统包括AGV控制系统和机器人控制系统，所述AGV控制系统设置在底盘上，用于控制所述自走机器人移动；所述机器人控制系统设置在所述自走机器人上，用于控制所述自走机器人搬运所述物料。

优选地，所述AGV控制系统还包括AGV电机控制系统和AGV传感器，所述AGV电机控制系统设置在所述底盘上，用于控制所述自走机器人是否移动；所述AGV传感器设置在所述底盘上，用于控制所述自走机器人的移动方向。

优选地，所述控制系统还包括载台传感器和视觉传感器，所述载台传感器设置在载台上，用于检测所述载台上是否存在所述物料；所述视觉传感器设置在所述自走机器人上，用于检测所述物料的位置。

优选地，所述控制器包括按钮和信息发射系统，所述按钮设置在所述控制器上，用于控制所述信息发射系统；所述信息发射系统设置在所述控制器内部，用于发射信息控制所述控制系统。

一种使用如权利要求1所述的一种自走机器人的方法，其特征在于：所述控制器控制所述控制系统，所述控制系统控制所述自走机器人搬运所述物料。

优选地，所述控制系统包括AGV控制系统和机器人控制系统，所述AGV控制系统设置在底盘上，用于控制所述自走机器人移动；所述机器人控制系统设置在所述自走机器人上，用于控制所述自走机器人搬运所述物料；在使用时，所述AGV控制系统控制所述自走机器人移动，移动至目标位置后，所述机器人控制系统控制所述自走机器人搬运所述物料。

优选地，所述AGV控制系统还包括AGV电机控制系统和AGV传感器，所述AGV电机控制系统设置在所述底盘上，用于控制所述自走机器人是否移动；所述AGV传感器设置在所述底盘上，用于控制所述自走机器人的移动方向；在使用时，所述AGV电机控制系统控制所述自走机器人开始向目标方向移动，所述AGV传感器判断前方是否有障碍物，若有所述障碍物，控制所述自走机器人转换方向，绕过所述障碍物后继续向目标方向前进。

优选地，所述控制系统还包括载台传感器和视觉传感器，所述载台传感器设置在载台上，用于检测所述载台上是否存在所述物料；所述视觉传感器设置在所述自走机器人上，用于检测所述物料的位置；在使用时，所述视觉传感器判断所述物料的位置，将位置信息传递给所述AGV控制系统，所述机器人控制系统控制所述自走机器人搬运所述物料至载台上，所述载具传感器判断所述物料是否处于所述载台上。

优选地，所述控制器包括按钮和信息发射系统，所述按钮设置在所述控制器上，用于控制所述信息发射系统；所述信息发射系统设置在所述控制器内部，用于发射信息控制所述控制系统；在使用时，人员按下所述控制器的相应按钮，信息发射系统发射相应的信息至所述控制系统，所述控制系统控制所述自走机器人搬运物料。

由于单一控制器的设计，使得工作人员不用同时控制2-3个控制器，解决机器不协调配合、不稳定、现场实施耗时费力的问题；由于自走机器人的设计，解决了系统稳定性差，可靠性差，现场实施耗时费力且整体成本高，不能大规模生产的问题。

附图说明

图1是本发明实施例一种自走机器人控制系统结构示意图

具体实施方式

下面结合实施例和附图对本发明作进一步说明：

在本发明实施例的描述中，需要理解的是，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

本发明的一个实施例中，如图1一种自走机器人控制系统结构示意图所示：一种自走机器人，包括控制系统和控制器，其特征在于：所述控制系统设置在所述自走机器人上，用于控制所述自走机器人搬运硅片载具；所述控制器用于控制所述控制系统。

具体的，所述控制系统包括AGV控制系统和机器人控制系统，所述AGV控制系统设置在自走机器人的底盘上，控制所述自走机器人移动；AGV控制系统还包括AGV电机控制系统和AGV传感器，所述AGV电机控制系统用螺栓安装在自走机器人的底盘上，控制所述自走机器人底盘的前进或停止，所述底盘带动机器人移动；所述AGV传感器用螺栓安装在自走机器人底盘上，用于控制所述自走机器人的移动方向；前方若有障碍物，AGV传感器控制所述自走机器人底盘改变移动方向，绕开障碍物，躲避完成后，继续向目标方向前进。所述机器人控制系统设置在所述自走机器人上，控制所述自走机器人搬运硅片载具。

所述控制系统还包括载台传感器和视觉传感器，所述载台传感器设置在自走机器人的载台上，在自走机器人搬运完硅片载具至载台后，检测所述载台上是否存在硅片载具；所述视觉传感器设置在所述自走机器人偏上部，检测硅片载具的具体位置，然后将信息传入到AGV电机控制系统，确定目标方向。

所述控制器包括按钮和信息发射系统，所述按钮设置在所述控制器上，用于控制所述信息发射系统，按钮个数不限，对应的功能位置也不限，包括启动按钮和结束按钮，控制器只有一个，解决机器不协调配合、不稳定、现场实施工作人员耗时费力的问题；所述信息发射系统设置在所述控制器内部，按钮按下后，发射信息控制相应的控制系统。

在使用时，工作人员控制控制器，按下开始按钮后，信息发射系统发射信息控制AGV电机控制系统自走机器人开始移动，此时视觉传感器开始工作，确定硅片载具的位置，定制目标方向，将信息传输至AGV电机控制系统。AGV电机控制系统控制自走机器人底片开始向目标方向移动，移动过程中，AGV传感器开始工作，判断自走机器人前方有无障碍物，若有障碍物，将信息传输至AGV电机控制系统，控制自走机器人换一个方向，绕开障碍物后，转换方向，继续向目标方向移动。移动至目标位置后，机器人控制系统控制自走机器人将硅片载具搬起，放置在自走机器人的载台上，此时载台传感器检测硅片载具是否处于载台上，若在载台上，则继续移动至目标位置，若不在载台上，则机器人控制系统继续控制自走机器人重新搬运硅片载具至载台上。检测硅片载具在载台上后，视觉传感器寻找要搬运到的地方，确定下一移动目标方向，将信息传输至AGV电机控制系统。AGV电机控制系统控制自走机器人底片开始向目标方向移动，移动过程中，AGV传感器开始工作，判断自走机器人前方有无障碍物，若有障碍物，将信息传输至AGV电机控制系统，控制自走机器人换一个方向，绕开障碍物后，转换方向，继续向目标方向移动。移动至目标位置后，机器人控制系统控制自走机器人卸下载台上的硅片载具，此时载台传感器检测硅片载具是否处于载台上，若在载台上，机器人控制系统再次控制自走机器人将硅片载具卸下，若不在载台上，则重复上述操作，继续搬运硅片载具，搬运结束后，工作人员按下结束按钮，控制AGV电机控制系统停止运转，整个工作过程结束。

本发明的另一实施例中，所述控制系统包括AGV控制系统和机器人控制系统，所述AGV控制系统设置在自走机器人的底盘上，控制所述自走机器人移动；AGV控制系统还包括AGV电机控制系统，所述AGV电机控制系统用螺栓安装在自走机器人的底盘上，控制所述自走机器人底盘的前进或停止，所述底盘带动机器人移动；所述机器人控制系统设置在所述自走机器人上，控制所述自走机器人搬运硅片载具。

所述控制系统还包括载台传感器和视觉传感器，所述载台传感器设置在自走机器人的载台上，在自走机器人搬运完硅片载具至载台后，检测所述载台上是否存在硅片载具；所述视觉传感器设置在所述自走机器人偏上部，检测硅片载具的具体位置，然后将信息传入到AGV电机控制系统，确定目标方向。

所述控制器包括按钮和信息发射系统，所述按钮设置在所述控制器上，用于控制所述信息发射系统，按钮个数不限，对应的功能位置也不限，包括启动按钮、结束按钮和方向控制按钮，控制器只有一个，解决机器不协调配合、不稳定、现场实施工作人员耗时费力的问题；所述信息发射系统设置在所述控制器内部，按钮按下后，发射信息控制相应的控制系统。

在使用时，工作人员控制控制器，按下开始按钮后，信息发射系统发射信息控制AGV电机控制系统自走机器人开始移动，此时视觉传感器开始工作，确定硅片载具的位置，定制目标方向，将信息传输至AGV电机控制系统。AGV电机控制系统控制自走机器人底片开始向目标方向移动，移动过程中，需要工作人员随时观察自走机器人的移动方向上是否有障碍物，若有，需要工作人员控制控制器上的方向控制按钮。移动至目标位置后，机器人控制系统控制自走机器人将硅片载具搬起，放置在自走机器人的载台上，此时载台传感器检测硅片载具是否处于载台上，若在载台上，则继续移动至目标位置，若不在载台上，则机器人控制系统继续控制自走机器人重新搬运硅片载具至载台上。检测硅片载具在载台上后，视觉传感器寻找要搬运到的地方，确定下一移动目标方向，将信息传输至AGV电机控制系统。AGV电机控制系统控制自走机器人底片开始向目标方向移动，移动过程中，需要工作人员随时观察自走机器人的移动方向上是否有障碍物，若有，需要工作人员控制控制器上的方向控制按钮。移动至目标位置后，机器人控制系统控制自走机器人卸下载台上的硅片载具，此时载台传感器检测硅片载具是否处于载台上，若在载台上，机器人控制系统再次控制自走机器人将硅片载具卸下，若不在载台上，则重复上述操作，继续搬运硅片载具，搬运结束后，工作人员按下结束按钮，控制AGV电机控制系统停止运转，整个工作过程结束。

以上对本发明的多个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本发明的较佳实施例，不能被认为用于限定本发明的实施范围。凡依本发明申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本发明的专利涵盖范围之内。