一种可调内孔检具
文献发布时间:2023-06-19 09:55:50
技术领域
本发明是一种可调内孔检具,应用于IC装备制造领域。
背景技术
IC装备制造领域,内孔的测量方法很多,但对于深度较浅的内孔往往无法测量,或检具笨重不便于检测,而且检测精度低,无法达到精度要求。
发明内容
针对以上问题,本发明的目的是发明一种可调内孔检具,过可调外径调整检具大小,撑紧零件内孔并用螺帽锁紧,取出检具用外径千分尺测量。
本发明的目的是通过如下技术方案实现的:
一种可调内孔检具,包括固定主体和活动体,固定主体一端设有圆环形结构,另一端为平面结构,在固定主体上设有方形开口槽,方形开口槽贯穿设有螺纹孔,活动体通过螺杆与固定主体螺合连接,将浅的零件内径转换成外径,便于精准测量。
在活动体的螺杆上设有定位螺栓。
固定主体和活动体的厚度大于零件壁厚。
本发明的有益效果是:
1、本发明将过浅的内径转换成外径,便于测量。测量方法简便,实用,可应用范围广,测量精度高。
2、本发明可以将检具直接在零件上锁紧,在零件与检具不分开的状态下直接测量,提高检测精度。
附图说明
图1为待测量工件。
图2为可调内孔检具。
图3为检测示意图。
具体实施方式
下面结合附图1-3及实例对本发明进行详细描述。
一种可调内孔检具,包括固定主体1和活动体3,固定主体1一端设有圆环形结构,另一端为平面结构,在固定主体1上设有方形开口槽2,方形开口槽2贯穿设有螺纹孔,活动体3通过螺杆与固定主体1螺合连接,将浅的零件内径转换成外径,便于精准测量。
在活动体3的螺杆上设有定位螺栓。
固定主体1和活动体3的厚度大于零件壁厚。
通过可调外径调整检具大小,撑紧零件内孔并用螺帽锁紧,取出检具用外径千分尺测量,本发明可有效解决内孔深度过浅,内径千分尺无法测量的问题。
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