一种光刻机的温度变频调节系统

技术领域

本发明涉及光刻机技术领域，具体是一种光刻机的温度变频调节系统。

背景技术

光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机两种，分辨率通常七纳米至几微米之间，高端光刻机号称世界上最精密的仪器，世界上已有1.2亿美金一台的光刻机。高端光刻机堪称现代光学工业之花，其制造难度之大，全世界只有少数几家公司能够制造。国外品牌主要以荷兰ASML(镜头来自德国)，日本Nikon和日本Canon三大品牌为主。位于我国上海的SMEE已研制出具有自主知识产权的投影式中端光刻机，形成产品系列初步实现海内外销售。现有的光刻机的温度调节系统多为固定式水冷结构，例如申请号为201620946402.5，名称为一种光刻机的温度变频调节系统的专利，受作业位置与调节速率控制需求的不同，单一结构影响调温速率进而影响光刻品质，实用性差。

发明内容

本发明的目的在于提供一种光刻机的温度变频调节系统，以解决现有技术中受作业位置与调节速率控制需求的不同，单一结构影响调温速率进而影响光刻品质，实用性差的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种光刻机的温度变频调节系统，包括工作台、定位机构、温控机构，所述工作台的侧面一端通过轨道横向活动设置有移位台车，所述移位台车位于工作台上方一端的侧面纵向固定设置有U形组装板，所述工作台上方的机架内部横向固定设置有传动盒，所述定位机构包括置物平车、调位滑台、调距杆，所述置物平车通过导轮纵向活动设置在组装板的内腔一端，所述调位滑台纵向活动设置在工作台上方的两个传动盒之间，所述调距杆通过连接座竖直固定设置在组装板一端下侧面中部，所述温控机构包括循环风箱、温度变送器、水冷散热箱，所述循环风箱通过螺栓固定设置在置物平车的顶部表面，所述循环风箱的上表面通过密封圈固定设置有光刻掩模板，所述温度变送器通过角码竖直固定设置在调距杆一端侧面的光刻镜头模组外侧，所述水冷散热箱通过支撑架固定设置在调距杆外侧的光刻镜头模组侧面一端。

优选的，所述工作台侧面设有多个辅助定位磁环控制移位台车在工作台侧面的位置，所述工作台上方设有两组移位台车且由控制器控制独立移动。

优选的，所述置物平车由正反转步进电机控制在组装板内腔纵向往复移动，所述置物平车与调位滑台协同控制光刻镜头模组在两组光刻掩模板间的交替工作。

优选的，所述调位滑台为电机驱动型直线滑台且经电机由传动盒控制左右移动，所述调位滑台远离调距杆一端侧面设有配重块。

优选的，所述调距杆为气动伸缩缸，所述调距杆经红外测距传感器控制光刻镜头模组与光刻掩模板间的距离。

优选的，所述循环风箱由侧负压风扇、S形风道和下排气扇组合而成，所述循环风箱下排气扇的出风口设于组装板内壁斜向开设引风槽的上方。

优选的，所述温度变送器为探针式温度感应控制元件且经变频器自动控制光刻镜头模组的加热温度。

优选的，所述水冷散热箱的进水口处设有净水过滤器且经换热板控制与光刻镜头模组外表面进行热交换。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1、温控机构包括循环风箱、温度变送器、水冷散热箱，温度变送器为探针式温度感应控制元件且经变频器自动控制光刻镜头模组的加热温度，温度变送器实时监测光刻镜头模组使用时板材表面的温度以实现变频控制，与此同时水冷散热箱将光刻镜头模组表面的热量经换热板输送至水冷散热箱以完成降温处理，使用效果好。

2、定位机构包括置物平车、调位滑台、调距杆，移位台车配合置物平车控制板材的上下料位置，调位滑台配合传动盒的移动完成印制位置的精准定位，并利用红外测距传感器控制调距杆的伸缩完成光刻镜头模组与板材间距离的调整作业，且循环风箱下排气扇的出风口设于引风槽的上方，能够有效加快光刻作业后板材的表面散热作业效率，实用性强。

附图说明

附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：

图1为本发明的结构示意图；

图2为本发明工作台的表面结构示意图；

图3为本发明循环风箱的内部结构俯视图；

图4为本发明调位滑台的表面结构示意图；

图5为本发明调位滑台的侧面结构示意图。

图中：1、工作台；2、移位台车；3、组装板；4、传动盒；5、置物平车；6、调位滑台；7、调距杆；8、循环风箱；9、温度变送器；10、水冷散热箱；11、光刻掩模板；12、光刻镜头模组；13、辅助定位磁环；14、配重块；15、红外测距传感器；16、侧负压风扇；17、S形风道；18、下排气扇；19、引风槽；20、净水过滤器；21、换热板。

具体实施方式

为使本发明实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本发明一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本发明的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1、图2、图3、图4、图5，本发明实施例中，一种光刻机的温度变频调节系统，包括工作台1、定位机构、温控机构，工作台1的侧面一端通过轨道横向活动设置有移位台车2，移位台车2位于工作台1上方一端的侧面纵向固定设置有U形组装板3，工作台1上方的机架内部横向固定设置有传动盒4，定位机构包括置物平车5、调位滑台6、调距杆7，置物平车5通过导轮纵向活动设置在组装板3的内腔一端，调位滑台6纵向活动设置在工作台1上方的两个传动盒4之间，调距杆7通过连接座竖直固定设置在组装板3一端下侧面中部，温控机构包括循环风箱8、温度变送器9、水冷散热箱10，循环风箱8通过螺栓固定设置在置物平车5的顶部表面，循环风箱8的上表面通过密封圈固定设置有光刻掩模板11，温度变送器9通过角码竖直固定设置在调距杆7一端侧面的光刻镜头模组12外侧，水冷散热箱10通过支撑架固定设置在调距杆7外侧的光刻镜头模组12侧面一端；工作台1侧面设有多个辅助定位磁环13控制移位台车2在工作台1侧面的位置，工作台1上方设有两组移位台车2且由控制器控制独立移动，满足上下料位置调整需求；置物平车5由正反转步进电机控制在组装板3内腔纵向往复移动，置物平车5与调位滑台6协同控制光刻镜头模组12在两组光刻掩模板11间的交替工作，保证光刻作业连续可靠；调位滑台6为电机驱动型直线滑台且经电机由传动盒4控制左右移动，调位滑台6远离调距杆7一端侧面设有配重块14，避免调位滑台6移动时重心偏移影响运行安全；调距杆7为气动伸缩缸，调距杆7经红外测距传感器15控制光刻镜头模组12与光刻掩模板11间的距离，保证光刻时位置调整精准稳定；循环风箱8由侧负压风扇16、S形风道17和下排气扇18组合而成，循环风箱8下排气扇18的出风口设于组装板3内壁斜向开设引风槽19的上方，加快光刻作业后板面的散热处理效率；温度变送器9为探针式温度感应控制元件且经变频器自动控制光刻镜头模组12的加热温度，实现温度控制时的智能调节；水冷散热箱10的进水口处设有净水过滤器20且经换热板21控制与光刻镜头模组12外表面进行热交换，保证进水品质以增强换热性能；使用时根据光刻作业需求将板材置于置物平车5上方的循环风箱8内部并组装光刻掩模板11，移位台车2配合置物平车5控制板材的上下料位置，与此同时通过调位滑台6与传动盒4的移动完成印制位置的精准定位，并利用红外测距传感器15控制调距杆7的伸缩完成光刻镜头模组12与板材间距离的调整作业，温度变送器9实时监测光刻镜头模组12使用时板材表面的温度以实现变频控制，与此同时水冷散热箱10将光刻镜头模组12表面的热量经换热板21输送至水冷散热箱10以完成降温处理，且循环风箱8下排气扇18的出风口设于引风槽19的上方，能够有效加快光刻作业后板材的表面散热效率，使用效果好。

本发明的工作原理及使用流程：使用时根据光刻作业需求将板材置于置物平车5上方的循环风箱8内部并组装光刻掩模板11，移位台车2配合置物平车5控制板材的上下料位置，与此同时通过调位滑台6与传动盒4的移动完成印制位置的精准定位，并利用红外测距传感器15控制调距杆7的伸缩完成光刻镜头模组12与板材间距离的调整作业，温度变送器9实时监测光刻镜头模组12使用时板材表面的温度以实现变频控制，与此同时水冷散热箱10将光刻镜头模组12表面的热量经换热板21输送至水冷散热箱10以完成降温处理，且循环风箱8下排气扇18的出风口设于引风槽19的上方，能够有效加快光刻作业后板材的表面散热效率，使用效果好。

最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。