充气货架、充气系统及充气方法

技术领域

本公开涉及半导体材料搬运过程中存储技术领域，具体而言，涉及一种充气货架、充气系统及充气方法。

背景技术

在半导体集成电路领域中，许多物料如晶圆需要利用传送盒作为载体进行搬运，当传送盒传送的产品无法进入下一道生产工序时，自动化天车会将传送盒放置在氮气导入系统存储货架上暂存，直至下一道工序可以生产。为了增加传送盒内晶圆的存储时间，会向传送盒内充入氮气，以保证传送盒内的无氧无湿环境。

但是，现有的充氮方式中，一般持续的对传送盒内进行充氮，浪费氮气用量，或者当机台断电或气源供气异常时，无法继续充氮，会造成晶圆受污染的风险。

发明内容

本公开的主要目的在于提供一种充气货架、充气系统及充气方法。

为了实现上述目的，根据本公开的一个方面，提供了一种充气货架，充气货架包括：支撑座，用于支撑物料盒；供气通道，至少部分设置在支撑座内，供气通道与物料盒连通，用于向物料盒内输入气体；排气通道，至少部分设置在支撑座内，排气通道与物料盒连通，物料盒内的气体通过排气通道排出；湿度检测部件，设置在排气通道内，用于检测物料盒内的气体流经排气通道时的湿度。

进一步地，供气通道通过第一供气管路提供气源，第一供气管路上设置有压力式开关阀，充气货架还包括：压力按钮，设置在支撑座的支撑端面上，压力按钮沿竖直方向可伸缩地设置，压力按钮与压力式开关阀连接；支撑座在支撑物料盒时，物料盒的至少部分压设在压力按钮上。

进一步地，供气通道为多条，多条供气通道沿支撑座的周向方向间隔设置；支撑端面上设置有多个与供气通道连通的供气口，多个供气口与多条供气通道一一对应地设置。

进一步地，第一供气管路包括多条供气支路，多条供气支路与多个供气通道一一对应地连通；压力式开关阀设置在供气支路上，通过压力式开关阀控制供气支路的通断；压力式开关阀为多个，多个压力式开关阀与多条供气支路一一对应地设置；压力按钮为多个，多个压力按钮与多个压力式开关阀一一对应地设置。

进一步地，支撑端面上设置有多个与供气通道连通的供气口，多个供气口沿支撑端面的周向方向间隔设置，第一供气管路通过供气通道与多个供气口连通。

进一步地，充气货架还包括：状态监测部，设置在支撑座上，通过状态监测部显示支撑座的工作状态。

进一步地，状态监测部包括多个信号灯，多个信号灯并列设置在支撑座上。

根据本公开的第二个方面，提供了一种充气系统，适用于上述的充气货架，充气系统包括：第一供气管路，与充气货架的供气通道连通，第一供气管路的进气端与第一气源连通；第二供气管路，与充气货架的供气通道连通，第二供气管路的进气端与第二气源连通。

进一步地，充气系统还包括：第一电磁阀，设置在第一供气管路上并与第一供气管路连通；第一调压阀，设置在第一供气管路上并与第一供气管路连通，第一调压阀位于第一电磁阀的入口端。

进一步地，充气系统还包括：流量控制器，设置在第一供气管路上，通过流量控制器控制第一供气管路内气体的流量。

进一步地，充气系统还包括：第二电磁阀，设置在第二供气管路上并与第二供气管路连通；第二调压阀，设置在第二供气管路上并与第二供气管路连通，沿气体的流入方向，第二电磁阀和第二调压阀依次设置。

进一步地，第二供气管路包括：第一供气段，与第二气源连通，第二电磁阀和第二调压阀均设置在第一供气段上；第二供气段，第一供气段与第二供气段之间通过汽化器连通，第一供气段内的气体流经汽化器后流入至第二供气段内，第二供气段的出气端口与供气通道连通。

进一步地，充气系统还包括：第三电磁阀，设置在第二供气段上并与第二供气段连通；第三调压阀，设置在第二供气段上并与第二供气段连通，沿气体的流入方向，第三调压阀和第三电磁阀依次设置。

进一步地，第二供气管路还包括：第三供气段，与第二供气段的出气端连通，第三供气段的出气口与供气通道连通。

进一步地，充气系统还包括：第四电磁阀，设置在第三供气段上并与第三供气段连通；第四调压阀，设置在第三供气段上并与第三供气段连通；第二单向阀，设置在第三供气段上并与第三供气段连通，沿气体的流入方向，第四调压阀、第四电磁阀和第二单向阀依次设置。

根据本公开的第三个方面，提供了一种充气方法，适用于上述的充气系统，充气方法包括：向充气货架上的物料盒内供气；检测物料盒内的气体流经排气通道时的湿度；当湿度达到第一预定值时，停止供气。

进一步地，充气方法还包括：在停止供气之后，每间隔预定时间对物料盒内的气体流经排气通道时的湿度进行检测。

进一步地，在将物料盒由支撑座上卸下之前，检测物料盒内的气体流经排气通道时的湿度：当湿度大于第二预定值时，继续向物料盒内供气，直至湿度小于第二预定值。

进一步地，控制第一供气管路或第二供气管路向物料盒内供气。

应用本公开的技术方案，充气货架包括用于支撑物料盒的支撑座，供气通道的至少部分设置在支撑座内，供气通道与物料盒连通，通过供气通道向物料盒内输入气体，排气通道的至少部分设置在支撑座内，排气通道与物料盒连通，这样使物料盒内的气体通过排气通道排出，同时，在排气通道内设置湿度检测部件，用于检测物料盒内的气体流经排气通道时的湿度值，这样通过湿度检测部件能够实时检测物料盒内的湿度，进而控制供气通道的通断以及供气流量，避免了资源浪费的同时，使物料盒内始终保持无氧无湿的环境，以增加物料盒内物料(如晶圆)的保存时间，同时又可通过检测湿度值控制气体如氮气的充入量。

附图说明

构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本公开的进一步理解，本公开的示意性实施例及其说明用于解释本公开，并不构成对本公开的不当限定。在附图中：

图1示出了根据本公开的充气货架与物料盒配合的实施例的结构示意图；

图2示出了根据本公开的充气货架的俯视图；

图3示出了根据本公开的充气货架的仰视图；

图4示出了根据本公开的充气货架与供气支路的连接关系图；

图5示出了根据本公开的充气系统的结构示意图；

图6示出了根据本公开的充气方法的第一控制流程图；

图7示出了根据本公开的充气方法的第二控制流程图；

图8示出了根据本公开的充气方法的第三控制流程图。

其中，上述附图包括以下附图标记：

100、物料盒；10、支撑座；11、供气通道；12、排气通道；13、湿度检测部件；14、压力按钮；101、支撑端面；102、供气口；103、排气口；15、状态监测部；150、信号灯；16、流量计；17、流量控制阀；18、RFID阅读器；19、端口引脚；

20、第一供气管路；21、第二供气管路；201、第一电磁阀；202、第一调压阀；203、流量控制器；204、第一单向阀；205、压力式开关阀；206、供气支路；207、流量传感器；

210、第二电磁阀；211、第二调压阀；212、第一供气段；213、第二供气段；214、汽化器；2131、第三电磁阀；2132、第三调压阀；215、第三供气段；2150、第四电磁阀；2151、第四调压阀；2152、第二单向阀；216、第一固定流量阀；217、第二固定流量阀；218、第三固定流量阀；219、液氮存储器；

30、排气管。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本公开。

请参考图1至图4，本公开提供了一种充气货架，充气货架包括：支撑座10，用于支撑物料盒100；供气通道11，至少部分设置在支撑座10内，供气通道11与物料盒100连通，用于向物料盒100内输入气体；排气通道12，至少部分设置在支撑座10内，排气通道12与物料盒100连通，物料盒100内的气体通过排气通道12排出；湿度检测部件13，设置在排气通道内，用于检测物料盒100内的气体流经排气通道时的湿度。

根据本公开提供的充气货架，包括用于支撑物料盒100的支撑座10，供气通道11的至少部分设置在支撑座10内，供气通道11与物料盒100连通，通过供气通道11向物料盒100内输入气体，排气通道12的至少部分设置在支撑座10内，排气通道12与物料盒100连通，这样使物料盒100内的气体通过排气通道12排出，同时，在排气通道内设置湿度检测部件13，用于检测物料盒100内的气体流经排气通道时的湿度值，这样通过湿度检测部件13能够实时检测物料盒100内的湿度，进而控制供气通道11的通断以及供气流量，避免了资源浪费的同时，使物料盒100内始终保持无氧无湿的环境，以增加物料盒100内物料的保存时间。

本公开的物料盒100以晶圆传送盒为例，将晶圆放置在晶圆传送盒内，当晶圆传送盒无法进入下一道生产工序时，自动化天车会将晶圆传送盒放置在支撑座10上暂存，为了增加晶圆的存储时间，通过支撑座10上的供气通道11持续的向晶圆传送盒内输入氮气等惰性气体，以保证晶圆传送盒内部无氧无湿的环境，本申请中，为了避免氮气浪费，进而增加了湿度检测部件13，优选地，湿度检测部件13为湿度传感器，通过实时对晶圆传送盒内部的湿度进行检测，在检测到晶圆传送盒内部的湿度值满足要求时，停止向晶圆传送盒内供气，进一步地，在停止供气之后，每隔一段时间对晶圆传送盒内的湿度进行检测，当检测到晶圆传送盒内的湿度过高的时候，控制供气通道11继续向物料盒100内充入氮气，直至晶圆传送盒内的湿度值满足工况需求，这样避免了持续向晶圆传送盒内输入氮气导致的氮气浪费的问题，在将晶圆传送盒输送至下一工位之前，使晶圆传送盒内始终保持无氧无湿环境。

具体地，供气通道11通过第一供气管路20提供气源，第一供气管路20上设置有压力式开关阀205，充气货架还包括：压力按钮14，设置在支撑座10的支撑端面101上，压力按钮14沿竖直方向可伸缩地设置，压力按钮14与压力式开关阀205连接；支撑座10在支撑物料盒100时，物料盒100的至少部分压设在压力按钮14上。在工作过程中，当物料盒100放置在支撑端面101上时，与压力按钮14接触，给予压力按钮14向下回缩的压力，此时压力按钮14将接收到的压力信号传递至压力式开关阀205，压力式开关阀205收到压力信号后，表示支撑端面101上放置了物料盒100，之后控制第一供气管路20导通，以向物料盒100内输入气体(以及后续的物料盒100内的气体排出)，这样能够实现将物料盒100放置在支撑座10上时自动向物料盒100内供气，无需动用人力手动开启第一供气管路20导通，也无需操作人员自主判断物料盒100是否搁置到了支撑端面101上，使整个充气流程操作方便，同时在支撑端面101上没有放置物料盒100时，压力按钮14上没有压力存在，此时，压力式开关阀205控制第一供气管路20处于断路状态，能够避免第一供气管路20内的氮气泄漏以及氮气浪费。

为了提高物料盒100内的进气量，在本公开的第一个实施例中，供气通道11为多条，多条供气通道11沿支撑座10的周向方向间隔设置；支撑端面101上设置有多个与供气通道11连通的供气口102，多个供气口102与多条供气通道11一一对应地设置。其中，供气口102的气流流通截面积小于供气通道11的气流流通截面积，这样气流在由供气通道11流入至供气口102的过程中，气体会增大一定的压力，提高了气流的流速，使气流在流入至物料盒100内的过程中流速增大，以加快将物料盒100内的氧气排出以及湿度的降低，提高充氮效率，以保证硅片或晶圆的质量。

具体地，如图4所示，第一供气管路包括多条供气支路206，多条供气支路206与多个供气通道11一一对应地连通；压力式开关阀205设置在供气支路206上，通过压力式开关阀205控制供气支路206的通断；压力式开关阀205为多个，多个压力式开关阀205与多条供气支路206一一对应地设置；压力按钮14为多个，多个压力按钮14与多个压力式开关阀205一一对应地设置。这样能够在支撑座10的周向方向上，利用多个供气通道11同时向物料盒100内充入氮气，提高氮气充入物料盒100内的均匀性，且多个压力按钮14与多个压力式开关阀205一一对应地设置，进而使各条供气支路206分别利用各个压力式开关阀205独立控制，当多条供气支路206中的一条供气支路206出现故障时，利用其他供气支路206保证了氮气能够正常充入。

本实施例中，通过设置多个压力按钮14和与其一一对应的多个压力式开关阀205，这样在放置物料盒100的过程中，无需主动去寻找压力按钮14的所在位置，直接将物料盒100搁置在支撑座10上，物料盒100与多个压力按钮14接触即可触发对应的压力式开关阀205开启，实现向物料盒100内充气。

在公开的第二个实施例中，支撑端面101上设置有多个与供气通道11连通的供气口102，多个供气口102沿支撑端面101的周向方向间隔设置，第一供气管路20通过供气通道11与多个供气口102连通。具体地，支撑座10内设置有腔体结构，腔体结构的至少部分形成供气通道11，利用第一供气管路20向供气通道11内通入气体，之后利用多个供气口102使气体分布在物料盒100内，这样简化了充气货架的整体结构以及管路布置。

在具体实施时，支撑端面101上还设置有与排气通道12连通的排气口103，排气通道12远离排气口103的一端与排气管30连通，物料盒100内的气体依次通过排气口103、排气通道12和排气管30排出，其中，排气通道12内也设置有压力式开关阀205，当多个压力按钮14感应到压力时，在压力式开关阀205的控制下第一供气管路20和排气通道12能够同时导通，形成气体流通通路，在多个压力按钮14均没有感应到压力时，压力式开关阀205控制第一供气管路20和排气通道12同时关闭，避免了气体泄漏。

其中，支撑座10上还设置有流量控制阀17、流量计16和RFID阅读器18(无线射频识别)，流量计16用于检测供气通道11内的气体流量，流量控制阀17与供气通道11连通，通过流量控制阀17调节供气通道11内气体的流量；通过设置RFID阅读器18，来接收支撑座10内各个电器元件所发出的无线信号，并将各个信号传输至对应的控制模块上，此外，还可以利用RFID阅读器18识别物料盒100上的电子标签，以读取物料盒100的运行数据；进一步地，RFID阅读器18设置在支撑端面101上，支撑端面101上还设置有多个端口引脚19，当物料盒100放置在支撑端面101上时，多个端口引脚19分别插入物料盒100上对应的多个插孔内，以使物料盒100放置在指定位置，同时还方便物料盒100运行数据传输。

如图3所示，充气货架还包括：状态监测部15，设置在支撑座10上，通过状态监测部15显示支撑座10的工作状态。这样在工作过程中，操作人员可以根据状态监测部15实时监测支撑座10的工作状态，以使操作人员能够精准的判断支撑座10是否能够正常工作。在实际工作过程中，支撑座10设置在车间的顶部，距离地面较高的位置，操作人员在地面工作时无法实时判断支撑座10的运行情况，通过设置状态监测部15，使在地面工作的操作人员抬头即能够利用状态监测部15观察支撑座10的运行情况，能够方便实时对支撑座10进行检测。

具体地，状态监测部15包括多个信号灯150，多个信号灯150并列设置在支撑座10上。其中，多个信号灯150分别具有不同的颜色，每种颜色分别代表支撑座10的不同状态，例如，绿色信号灯150亮起，表示支撑座10能够正常工作；红色信号灯150亮起，表示支撑座10故障；黄色信号灯150亮起，表示支撑座10正处于工作状态。

如图5所示，本公开还提供了一种充气系统，适用于上述实施例的充气货架，充气系统包括：第一供气管路20，与充气货架的供气通道11连通，第一供气管路20的进气端与第一气源连通；第二供气管路21，与充气货架的供气通道11连通，第二供气管路21的进气端与第二气源连通。

根据本公开提供的充气系统，适用于上述的充气货架，其中，通过设置第一供气管路20和第二供气管路21，第一供气管路20分别连通供气通道11和第一气源，第二供气管路21分别连通供气通道11和第二气源，这样当第一供气管路20发生故障时，可以利用第二供气管路21向物料盒100内充气，以保证物料能够正常加工，避免了由于无法及时充气导致的损坏物料的情况。

具体地，充气系统还包括：第一电磁阀201，设置在第一供气管路20上并与第一供气管路20连通；第一调压阀202，设置在第一供气管路20上并与第一供气管路20连通，第一调压阀202位于第一电磁阀201的入口端。其中，根据物料盒100内的湿度值，通过第一电磁阀201控制第一供气管路20的通断，利用第一调压阀202调节第一供气管路20内气流的压力，以精准的控制气流输入压力。

进一步地，在本公开提供的实施例中，充气系统还包括：流量控制器203，设置在第一供气管路20上，通过流量控制器203控制第一供气管路20内气体的流量。将流量控制器203与第一调压阀202之间相互配合，以精准的控制物料盒100内的气体含量，进而控制物料盒100内的实际湿度值，避免了氮气浪费。优选地，第一供气管路20上还设置有流量传感器207，通过流量传感器207检测第一供气管路20内气体的流量，流量传感器207与流量控制器203连接，流量控制器203根据接收到的流量传感器207所检测的信号来控制第一供气管路20内气体的流量；其中，第一供气管路20上还设置有第一单向阀204，通过第一单向阀204避免了在第一供气管路20停止供气而第二供气管路21持续供气的情况下，第二供气管路21内的气体逆流入到第一供气管路20内，也避免了逆流至第一气源内引发两种气源混合的情况。

为了便于控制第二供气管路21的通断，充气系统还包括：第二电磁阀210，设置在第二供气管路21上并与第二供气管路21连通；第二调压阀211，设置在第二供气管路21上并与第二供气管路21连通，沿气体的流入方向，第二电磁阀210和第二调压阀211依次设置。在第一供气管路20无法向物料盒100内供气时，第二电磁阀210打开，第二调压阀211将第二供气管路21内的气体压力调节至最佳值，以通过第二供气管路21向物料盒100内供气。

具体地，第二供气管路21包括：第一供气段212，与第二气源连通，第二电磁阀210和第二调压阀211均设置在第一供气段212上；第二供气段213，第一供气段212与第二供气段213之间通过汽化器214连通，第一供气段212内的气体流经汽化器214后流入至第二供气段213内，第二供气段213的出气端口与供气通道11连通。其中，第一供气段212上还设置有第一固定流量阀216，第一固定流量阀216位于第二调压阀211的出口端，通过第一固定流量阀216稳定第一供气段212内气体的流量，具体地，第二气源为液氮，液氮存储在液氮存储器219内，第一供气段212与液氮存储器219连通，液氮流经第一供气段212的过程中，利用第二调压阀211稳压之后，通过第一固定流量阀216稳定流量，之后通过汽化器214气化，进而通过第二供气段213输入至物料盒100内。

在具体实施时，充气系统还包括：第三电磁阀2131，设置在第二供气段213上并与第二供气段213连通；第三调压阀2132，设置在第二供气段213上并与第二供气段213连通，沿气体的流入方向，第三调压阀2132和第三电磁阀2131依次设置。其中，第二供气段213上设置有第二固定流量阀217，第二固定流量阀217位于第三电磁阀2131的出口侧，在液氮被气化后，利用第二固定流量阀217稳定氮气的流量，利用第三调压阀2132稳定氮气的压力。

进一步地，第二供气管路21还包括：第三供气段215，与第二供气段213的出气端连通，第三供气段215的出气口与供气通道11连通。在实际应用过程中，通过第一供气段212、第二供气段213和第三供气段215之间相互配合，氮气在各个供气段内保持稳定的压力和流量，最终通过第三供气段215实现将氮气输入值支撑座10的供气通道11内。

充气系统还包括：第四电磁阀2150，设置在第三供气段215上并与第三供气段215连通；第四调压阀2151，设置在第三供气段215上并与第三供气段215连通；第二单向阀2152，设置在第三供气段215上并与第三供气段215连通，沿气体的流入方向，第四调压阀2151、第四电磁阀2150和第二单向阀2152依次设置。这样在第二供气管路21的每个供气段上均设置了调压阀，以调节每段供气段内气体的压力，保证第二供气管路21内各个供气段内的压力均保持正常运行状态，此外，第三供气段215上还设置有第三固定流量阀218，第三固定流量阀218位于第四电磁阀2150与第二单向阀2152之间，通过第三固定流量阀218稳定第三供气段215内的氮气的流量。其中，第二单向阀2152能够阻止第一供气管路20内的气体流入至第二供气管路21内，避免了发生气体窜流的情况。

在本公开提供的充气系统中，通过增设了第二供气管路21，并在第二供气管路21上设置第二电磁阀210、第二调压阀211、汽化器214、第三电磁阀2131、第三调压阀2132、第四电磁阀2150和第二单向阀2152等部件，在第一供气管路20出现故障时，能够利用第二供气管路21持续的对晶圆传送盒内供气，以保证硅片或晶圆的质量。其中，充气系统还包括供气支路，供气支路的两端分别与第一供气管路20和供气通道11连通，第三供气段215的出口端与供气支路连通，这样在第一供气管路20供气的时候，利用连通支路向支撑座10内不同位置的供气通道11内供气，进而在第三供气段215的出口端设置了第二单向阀2152，避免了第一供气管路20内的氮气通过供气支路流入到第二供气管路21内，保证了第一供气管路20与第二供气管路21之间相互独立运行。

如图6至图8所示，本公开还提供了一种充气方法，适用于上述实施例的充气系统，充气方法包括：向充气货架上的物料盒100内供气；检测充气货架上的物料盒100内的湿度(即检测物料盒100内的气体流经排气通道12时的湿度)；当物料盒100内的湿度达到第一预定值时，停止供气。

如图6所示，根据本公开提供的充气方法，在具体实施的过程中，持续不断地向物料盒100内充气，当检测到的物料盒100内的湿度达到第一预定值时，将第一预定值反馈至控制主板，控制主板接收到信号之后控制第一电磁阀关闭，停止向物料盒100内充气，之后将物料盒100由支撑座10上卸下。

如图7所示，充气方法还包括：在停止供气之后，每间隔预定时间对物料盒100内的湿度值进行检测。优选地，每间隔0.5s至2s对物料盒100内的湿度进行检测，以判断物料盒100内的湿度是否符合第一预定湿度值，当物料盒100内的湿度不符合第一预定湿度值时，继续向物料盒100内充氮气；物料盒100内的湿度符合第一预定湿度值时，发出将物料盒100由支撑座10上卸下的指令。

进一步地，充气方法还包括：在将物料盒100由支撑座10上卸下之前，检测物料盒100内的湿度；当物料盒100内的湿度值大于第二预定值时，继续向物料盒100内供气，直至物料盒100内的湿度值小于第二预定值。这样设置能够保证物料盒100由支撑座10上卸下之前，其内部的湿度值始终保持在预定的阈值范围内，其中，收到物料盒100由支撑座10上卸下的指令之后，第二预定值可以为0.5％。

在具体实施的过程中，充气方法还包括，控制第一供气管路20或第二供气管路21向物料盒100内供气。在实际应用过程中，针对第一气源突发停气或机台突发断电情况，为了保证物料盒100内不间断氮气冲入，避免断电断气期间物料盒100内的氧浓度过高或湿度过高导致的产品报废，进而增设了第二供气管路21。

具体地，当第一供气管路20断电或断气之后，利用第二供气管路21供气，在第一供气管路20的供电或供气恢复之后，首先对物料盒100内的湿度进行检测是否达标，如达标，则卸下物料盒100，避免第一供气管路20的电力恢复后再次充气，浪费资源。

实际应用过程中，当第一供气管路20断电，控制系统检查电力情况，当遇到异常跳闸的情况时，控制重启电源，使第一供气管路20恢复运行；如果遇到第一气源停气的情况，利用第一气源连接的流量传感器对第一气源的管路进行检测，在检查三次后，若第一气源的流量为零，则判断第一气源断气，开启第二电磁阀，控制第二供气管路21打开，当物料盒100放置在支撑座上之后，通过第二供气管路21向物料盒100内充气；当第一供气管路20同时停电和停气时，分别检查电力情况和第一气源的输出流量，若判断第一供气管路20断气断电，则第二电磁阀210开启，第三固定流量阀218以35L/min向物料盒100内充气。

根据本公开提供的充气方法，通过设定物料盒100内的湿度的第一预定值，在对物料盒100内的湿度进行实时监测的过程中，以设定的第一预定值为标准，当监测到物料盒100内的湿度达到了第一预定值时，停止供气，避免持续供气造成的氮气浪费；之后，优选每间隔1s对物料盒100内的湿度进行检测，以当湿度检测达到标准后，下达卸下物料盒100的指令，在这之后，继续对物料盒100内的湿度进行检测，在检测到物料盒100内的湿度大于0.5％之后，继续向物料盒100内充入氮气，直至物料盒100内的湿度值小于0.5％，之后将物料盒100转移至下一工位。

从以上的描述中，可以看出，本公开上述的实施例实现了如下技术效果：

根据本公开提供的充气货架，包括用于支撑物料盒100的支撑座10，供气通道11的至少部分设置在支撑座10内，供气通道11与物料盒100连通，通过供气通道11向物料盒100内输入气体，排气通道12的至少部分设置在支撑座10内，排气通道12与物料盒100连通，这样使物料盒100内的气体通过排气通道12排出，同时，在排气通道内设置湿度检测部件13，用于检测物料盒100内的气体流经排气通道时的湿度值，这样通过湿度检测部件13能够实时检测物料盒100内的湿度，进而控制供气通道11的通断以及供气流量，避免了资源浪费的同时，使物料盒100内始终保持无氧无湿的环境，以增加物料盒100内物料的保存时间。

为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90度或处于其他方位)，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。

需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施方式例如能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

以上所述仅为本公开的优选实施例而已，并不用于限制本公开，对于本领域的技术人员来说，本公开可以有各种更改和变化。凡在本公开的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本公开的保护范围之内。