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集成电路互连结构

文献发布时间:2023-06-19 18:35:48


集成电路互连结构
相关技术
  • 在用于集成电路(IC)的互连结构中形成自对准垂直互连通道(VIA)
  • 集成电路器件及具有互连结构的集成电路器件
技术分类

06120115626490