流体控制装置

技术领域

本发明涉及具备泵和内包泵的框体的流体控制装置。

背景技术

在专利文献1中，记载了具备泵部、阀部以及外框体的压电鼓风机。泵部与阀部连通。由泵部和阀部构成的部分配置在外框体内。由泵部和阀部构成的构造体固定于外框体。

由泵部和阀部构成的构造体将外框体的内部空间分成泵侧的空间和阀侧的空间。在外框体形成有使泵侧的空间与外部空间连通的贯通孔、以及使阀侧的空间与外部空间连通的贯通孔。

泵部具备压电元件。通过对压电元件施加驱动电压信号，使其作为泵发挥功能。压电元件露出于泵侧的空间。

专利文献1：国际公开第2017/038565号

然而，在专利文献1所示的结构中，当长时间驱动压电元件时，产生的热量积存在外框体内。由此，压电鼓风机整体的温度上升，作为鼓风机(流体控制装置)的特性降低。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种能够抑制由压电元件的发热引起的特性的降低的流体控制装置。

本发明的流体控制装置具备泵和内包泵的外框体。泵具备：第一平板；第二平板，配置为相对于第一平板空开间隔地对置，并与第一平板一起形成泵室；以及压电元件，配置于第一平板的与泵室相反侧的面。外框体具备：第一外壁，形成第一平板侧的第一内部空间，并具有使第一内部空间与外部空间连通的第一贯通孔；和第二外壁，形成第二平板侧的第二内部空间，并具有使第二内部空间与外部空间连通的第二贯通孔。第一外壁具备：第一外壁主板，与压电元件对置；和第一侧板，与第一外壁主板连接且具有第一贯通孔。第一外壁主板具有比第二外壁高的导热性。

在该结构中，由于压电元件的驱动而产生的热量经由第一外壁主板以高效率向外部空间散热。

根据本发明，能够抑制由压电元件的发热引起的特性降低。

附图说明

图1是表示第一实施方式所涉及的流体控制装置10的结构的一个例子的分解立体图。

图2(A)是表示第一实施方式所涉及的流体控制装置10的结构的一个例子的侧面剖视图，图2(B)是概略地表示第一实施方式所涉及的流体控制装置10的散热状态的图。

图3是表示比较结构的流体控制装置和本发明的第一实施方式所涉及的结构的流体控制装置10中的压电元件侧的内部空间的温度的图。

图4是表示第二实施方式所涉及的流体控制装置10A的结构的一个例子的侧面剖视图。

图5是表示比较结构的流体控制装置和本发明的第二实施方式所涉及的结构的流体控制装置10A中的压电元件侧的内部空间的温度的图。

图6(A)、图6(B)是表示第三实施方式所涉及的流体控制装置10B1、10B2的结构的一个例子的侧面剖视图。

图7(A)是表示第四实施方式所涉及的流体控制装置10C的结构的一个例子的侧面剖视图，图7(B)是表示第四实施方式所涉及的流体控制装置10C的结构的一部分的分解立体图。

图8(A)、图8(B)是表示第五实施方式所涉及的流体控制装置10D1、10D2的结构的一个例子的侧面剖视图。

图9(A)、图9(B)是表示第六实施方式所涉及的流体控制装置10E1、10E2的结构的一个例子的侧面剖视图。

图10是表示第七实施方式所涉及的流体控制装置10F的结构的一个例子的侧面剖视图。

图11是表示第八实施方式所涉及的流体控制装置10G的结构的一个例子的侧面剖视图。

具体实施方式

[第一实施方式]

参照附图对本发明的第一实施方式所涉及的流体控制装置进行说明。图1是表示第一实施方式所涉及的流体控制装置10的结构的一个例子的分解立体图。图2(A)是表示第一实施方式所涉及的流体控制装置10的结构的一个例子的侧面剖视图，图2(B)是概略地表示第一实施方式所涉及的流体控制装置10的散热状态的图。在包括本实施方式的各实施方式的各图中，为了使流体控制装置10的结构容易理解，将各个构成要素的形状局部或整体上夸大地记载。

如图1、图2(A)所示，流体控制装置10具备泵20以及外框体40。泵20大致内包于外框体40。

(泵20的结构)

泵20具备平板21、平板22、泵用框体23以及压电元件30。

平板21是圆板。平板21由金属板等构成。在平板21形成有贯通孔TH21。贯通孔TH21沿厚度方向贯通平板21。贯通孔TH21形成在平板21的外周端附近。更具体而言，在俯视观察时，形成于比平板21与压电元件30重叠的部分靠外周侧，且比平板21与后述的泵用框体23重叠的部分靠中心侧。贯通孔TH21沿厚度方向贯通平板21。贯通孔TH21是沿着平板21的外周形成且呈离散的形状的槽。由此，平板21中的比贯通孔TH21的形成部分靠内侧的部分能够进行弯曲振动。

压电元件30配置于平板21的一个主面。压电元件30是圆板，且俯视观察时的形状比平板21小。在俯视观察时，压电元件30的中心与平板21的中心大致一致。压电元件30例如由平板的压电体和形成于该压电体的两个主面的电极图案实现。

平板22的俯视观察时的形状为规定形状(在流体控制装置10中为矩形)，由比平板21难以弯曲的材料构成，具有厚度。

平板22配置于平板21的另一主面侧(与配置有压电元件30的一侧相反的一侧)。平板22相对于平板21在与主面(平板面)正交的方向上分离地配置。平板22的主面与平板21的主面平行。平板22的俯视观察时的面积比平板21的俯视观察时的面积大。在俯视观察时，平板22的中心与平板21的中心大致一致。在平板22形成有贯通孔TH22。贯通孔TH22沿厚度方向贯通平板22。贯通孔TH22配置在平板22的俯视观察时的中心。

泵用框体23为圆环形。泵用框体23配置在平板21与平板22之间，并接合或粘接于平板21和平板22。由此，泵20具有由平板21、平板22以及泵用框体23围起来的泵室100。此外，平板21对应于本发明的“第一平板”，平板22对应于本发明的“第二平板”。

(外框体40的结构)

外框体40具备外壁主板41、外壁主板42、侧板431以及侧板432。此外，在图1、图2(A)的结构中，平板22的外周端部分也构成外框体40的一部分。

(第一外壁的结构)

第一外壁由外壁主板41和侧板431构成。

外壁主板41是规定形状的平板。例如，如果是图1、图2(A)的情况，则外壁主板41是俯视观察时为矩形的平板。外壁主板41的俯视观察时的形状是比平板21大，与平板22大致相同的大小且大致相同的形状。

外壁主板41配置于平板21的一个主面侧(配置有压电元件30的面侧)。外壁主板41的平板面(主面)与平板21的平板面(主面)平行且对置。外壁主板41在与平板21的平板面(主面)正交的方向上与平板21分离地配置。该分离距离是在流体控制装置10的通常的使用状况下，压电元件30和外壁主板41不会因平板21的弯曲振动而接触的距离。

外壁主板41是金属(金属板)。此时，外壁主板41优选使用导热性高的金属作为材料。但是，外壁主板41的材料也可以考虑导热性和刚性来选择。即，对于外壁主板41的材料而言，也可以选择具有作为流体控制装置10所需的刚性且能够获得所希望的导热性的材料。例如，外壁主板41可以是SUS等，外壁主板41的主材料例如可以是SUS。另外，例如，也可以使用Cu等，在该情况下，为了可靠性等，更优选具备后述的绝缘薄膜。

此外，导热性高的材料例如是指热量在由该材料构成的物质中的传递速度、扩散速度快。

侧板431是具有规定高度的环状。侧板431的高度方向的一端与平板22的外周端的部分连接。侧板431的高度方向的另一端与外壁主板41的外周端的部分连接。通过该结构，在泵20的平板21侧形成有由外壁主板41、侧板431以及泵20的平板22围起来的内部空间101。通过该结构，压电元件30配置在内部空间101内。

在侧板431形成有贯通孔51。另外，在侧板431的形成有贯通孔51的部分的外表面侧配置有喷嘴501。喷嘴501的开口与贯通孔51连通。此外，喷嘴501与侧板431可以一体地形成，也可以分体地形成。通过该贯通孔51，内部空间101与外部空间连通。

此外，外壁主板41对应于本发明的“第一外壁主板”，侧板431对应于本发明的“第一侧板”。另外，内部空间101对应于本发明的“第一内部空间”。另外，贯通孔51对应于本发明的“第一贯通孔”。

(第二外壁的结构)

第二外壁由外壁主板42和侧板432构成。

外壁主板42是规定形状的平板。例如，如果是图1、图2(A)的情况，则外壁主板42是俯视观察时为矩形的平板。外壁主板42的俯视观察时的形状是与平板22大致相同的大小，且大致相同的形状。

外壁主板42配置于平板22的与同平板21对置的一侧相反的一侧。外壁主板42的平板面(主面)与平板22的平板面(主面)平行且对置。外壁主板42在与平板22的平板面(主面)正交的方向上与平板22分离地配置。

外壁主板42是金属(金属板)。此外，外壁主板42也可以不是金属。

侧板432是具有规定高度的环状。侧板432的高度方向的一端与平板22的外周端的部分连接。侧板432的高度方向的另一端与外壁主板42的外周端的部分连接。通过该结构，在泵20的平板22侧形成有由外壁主板42、侧板432以及泵20的平板22围起来的内部空间102。

在侧板432形成有贯通孔52。另外，在侧板432的形成有贯通孔52的部分的外表面侧配置有喷嘴502。喷嘴502的开口与贯通孔52连通。此外，喷嘴502可以与侧板432一体地形成，也可以分体地形成。通过该贯通孔52，内部空间102与外部空间连通。

此外，外壁主板42对应于本发明的“第二外壁主板”，侧板432对应于本发明的“第二侧板”。另外，内部空间102对应于本发明的“第二内部空间”。另外，贯通孔52对应于本发明的“第二贯通孔”。

(流体控制装置10的动作)

在上述结构的流体控制装置10中，在输送流体时，压电元件30的电极图案被施加交流的驱动信号。由此，压电元件30的压电体应变。由于该应变而产生的应力施加于平板21，由此平板21进行弯曲振动。由于平板21弯曲振动，泵室100内的体积、压力变动。

由于该压力变动，例如流体通过贯通孔TH21从内部空间101依次被吸入。该内部空间101内的流体通过贯通孔51及喷嘴501从外部空间供给。吸入到泵室100内的流体通过贯通孔TH22向内部空间102排出，内部空间102的流体通过贯通孔52及喷嘴502向外部空间排出。

或者，由于该压力变动，例如流体通过贯通孔TH22从内部空间102依次被吸入。该内部空间102内的流体通过贯通孔52及喷嘴502从外部空间供给。吸入到泵室100内的流体通过贯通孔TH21向内部空间101排出，内部空间101的流体通过贯通孔51及喷嘴501向外部空间排出。

对于这样的向一个方向输送流体的动作，例如连续地进行任一方。由此，流体控制装置10能够将流体向一个方向输送。

压电元件30连续地被施加驱动信号，连续地产生应变。由此，压电元件30发热。

在流体控制装置10中，外壁主板41与压电元件30对置。因此，如图2(B)所示，从压电元件30产生的热量经过内部空间101向外壁主板41传递，并从外壁主板41向外部空间散热。

这里，外壁主板41是金属。即，外壁主板41的导热性高。由此，从压电元件30发出并经过内部空间101传递至外壁主板41的热量在外壁主板41内传递、扩散，向外壁主板41的外部空间侧的面传递。然后，传递至该外壁主板41的外部空间侧的面的热量向外部空间辐射。

其结果，流体控制装置10能够有效地散发内部空间101及压电元件30的热量。由此，流体控制装置10能够有效地抑制内部空间101及压电元件30的温度上升。

图3是表示比较结构的流体控制装置和本发明的第一实施方式所涉及的结构的流体控制装置10中的压电元件侧的内部空间的温度的图。图3是在25℃的环境下，以1W将压电元件30持续驱动20分钟后的温度。此外，在比较结构中，由绝缘性树脂形成外框体。如图3所示，通过使用本申请结构，能够降低内部空间的温度。

由此，流体控制装置10能够抑制由温度的上升引起的流体的输送特性的劣化。另外，流体控制装置10能够降低对构成流体控制装置10的各构件的热应力，能够提高可靠性。例如，流体控制装置10能够延长产品寿命。

此外，在上述说明中，虽然没有详细地示出外壁主板41的厚度，但考虑到上述的刚性，外壁主板41的厚度优选尽可能地薄。由此，流体控制装置10能够实现更有效的散热。

[第二实施方式]

参照附图对本发明的第二实施方式所涉及的流体控制装置进行说明。图4是表示第二实施方式所涉及的流体控制装置10A的结构的一个例子的侧面剖视图。

如图4所示，第二实施方式所涉及的流体控制装置10A相对于第一实施方式所涉及的流体控制装置10，在外框体40A的外壁主板42A的结构不同。流体控制装置10A的其他结构与流体控制装置10相同，省略相同部位的说明。

流体控制装置10A具备外框体40A，外框体40A具备外壁主板42A。外壁主板42A由绝缘性树脂形成。通过这样的结构，流体控制装置10A能够起到与流体控制装置10同样的作用效果。

图5是表示比较结构的流体控制装置和本发明的第二实施方式所涉及的结构的流体控制装置10A中的压电元件侧的内部空间的温度的图。图5是在25℃的环境下，以1W将压电元件30持续驱动20分钟后的温度。此外，在比较结构中，由绝缘性树脂形成外框体。如图5所示，通过使用本实施方式的结构，能够降低内部空间的温度。

另外，流体控制装置10A能够实现轻型化。

在流体控制装置10A中，使外壁主板42A比外壁主板41厚。由此，对于流体控制装置10A而言，即使由绝缘性树脂构成外壁主板42A，也能够提高外框体40A的刚性。

换言之，在流体控制装置10A中，使外壁主板41比外壁主板42A薄。由此，流体控制装置10A能够使外框体40A维持规定的刚性，并且实现进一步的轻型化。另外，通过使外壁主板41变薄，流体控制装置10A能够进一步提高散热性(向外部空间的排热性)。

此时，流体控制装置10A通过使外壁主板41中的至少与压电元件30对置的部分(在俯视观察时与压电元件30重叠的部分)变薄，能够实现散热性的提高。另外，流体控制装置10A通过仅使外壁主板41中的与压电元件30对置的部分(在俯视观察时与压电元件30重叠的部分)变薄，能够实现散热性的提高和更高的刚性的确保。

此外，在上述说明中，示出了将外壁主板42A和侧板432分体地形成的方式。然而，外壁主板42A和侧板432也可以一体地形成。

[第三实施方式]

参照附图对本发明的第三实施方式所涉及的流体控制装置进行说明。图6(A)是表示第三实施方式所涉及的流体控制装置10B1的结构的一个例子的侧面剖视图，图6(B)是表示第三实施方式所涉及的流体控制装置10B2的结构的一个例子的侧面剖视图。

如图6(A)所示，第三实施方式所涉及的一个方式的流体控制装置10B1相对于第二实施方式所涉及的流体控制装置10A，在具备绝缘薄膜401这一点不同。此外，在流体控制装置10B1中，外框体40B及外壁主板42B与流体控制装置10A的外框体40A及外壁主板42A相同。流体控制装置10B1的其他结构与流体控制装置10A相同，省略相同部位的说明。

流体控制装置10B1具备绝缘薄膜401。绝缘薄膜401配置在外壁主板41的压电元件30侧的面。绝缘薄膜401比外壁主板41薄，且具有规定的导热性。此时，通过使用导热性高的绝缘薄膜401，能够提高外壁主板41的内部空间101侧的表面的热辐射率，能够抑制从内部空间101向外壁主板41的热阻的上升。

通过这样的结构，流体控制装置10B1能够起到与流体控制装置10A同样的作用效果，并且抑制金属制的外壁主板41与压电元件30的短路。

此外，在图6(A)中，示出了在外壁主板41的压电元件30侧的面的整个面配置绝缘薄膜401的方式。然而，绝缘薄膜401只要配置在外壁主板41的至少与压电元件30对置的部分(在俯视观察时与压电元件30重叠的部分)即可。另外，流体控制装置10B1通过仅在外壁主板41中的与压电元件30对置的部分(在俯视观察时与压电元件30重叠的部分)配置绝缘薄膜401，能够实现散热性的确保和短路的抑制。

如图6(B)所示，第三实施方式所涉及的一个方式的流体控制装置10B2相对于第二实施方式所涉及的流体控制装置10A，在具备绝缘薄膜402这一点不同。此外，在流体控制装置10B2中，外框体40B及外壁主板42B与流体控制装置10A的外框体40A及外壁主板42A相同。流体控制装置10B2的其他结构与流体控制装置10A相同，省略相同部位的说明。

流体控制装置10B2具备绝缘薄膜402。绝缘薄膜402配置在外壁主板41的外部空间侧的面。绝缘薄膜402比外壁主板41薄，且具有规定的导热性。此时，通过使用导热性高的绝缘薄膜402，能够提高外壁主板41的外部空间侧的表面的热辐射率，能够抑制从外壁主板41向外部空间的热量的辐射电阻的上升。

通过这样的结构，流体控制装置10B1能够起到与流体控制装置10A同样的作用效果，并且抑制金属制的外壁主板41与外部的导体等的短路。

此外，在图6(A)中，示出了在外壁主板41的压电元件30侧的面的整个面配置绝缘薄膜401的方式。然而，绝缘薄膜402只要配置在外壁主板41的至少必要部位即可。例如，绝缘薄膜402只要配置在与接近流体控制装置10B2的导体对置的部分即可。另外，在图6(B)中，流体控制装置10B2通过仅在外壁主板41的必要部位配置绝缘薄膜402，能够实现散热性的确保和短路的抑制。

此外，流体控制装置也可以配置图6(A)所示的绝缘薄膜401和图6(B)所示的绝缘薄膜402这两者。另外，在图6(A)、图6(B)中，绝缘薄膜401、绝缘薄膜402也可以以规定的图案配置。例如，绝缘薄膜401也可以是网状、水珠状等。

[第四实施方式]

参照附图对本发明的第四实施方式所涉及的流体控制装置进行说明。图7(A)是表示第四实施方式所涉及的流体控制装置10C的结构的一个例子的侧面剖视图，图7(B)是表示第四实施方式所涉及的流体控制装置10C的结构的一部分的分解立体图。

如图7(A)、图7(B)所示，第四实施方式所涉及的流体控制装置10C相对于第二实施方式所涉及的流体控制装置10A，在外框体40C的外壁主板41C的结构不同。此外，在流体控制装置10C中，外壁主板42C与流体控制装置10A的外壁主板42A相同。流体控制装置10C的其他结构与流体控制装置10A相同，省略相同部位的说明。

外壁主板41C具备金属部411和树脂部412。树脂部412配置为包围金属部411的外周。

金属部411例如为圆板形状。金属部411的平面形状与压电元件30的平面形状大致相同。金属部411与压电元件30对置。此外，金属部411的面积也可以不与压电元件30的面积大致相同，优选为压电元件30的面积以上。

通过这样的结构，流体控制装置10C能够有效地散发内部空间101及压电元件30的热量。另外，流体控制装置10C能够实现轻型化。

此外，也可以使金属部411比树脂部412薄，通过该结构，流体控制装置10C能够更有效地散发热量。

[第五实施方式]

参照附图对本发明的第五实施方式所涉及的流体控制装置进行说明。图8(A)是表示第五实施方式所涉及的流体控制装置10D1的结构的一个例子的侧面剖视图，图8(B)是表示第五实施方式所涉及的流体控制装置10D2的结构的一个例子的侧面剖视图。

如图8(A)、图8(B)所示，第五实施方式所涉及的流体控制装置10D1、10D2相对于第二实施方式所涉及的流体控制装置10A，在外框体40D的外壁主板41D1、41D2不同。此外，在流体控制装置10D1、10D2中，外壁主板42D与流体控制装置10A的外壁主板42A相同。流体控制装置10D1、10D2的其他结构与流体控制装置10A相同，省略相同部位的说明。

如图8(A)所示，在流体控制装置10D1中，外壁主板41D1具备金属部411D1和树脂部412。

金属部411D1具有厚度不同的两个区域。更具体而言，具有厚的中央区域和薄的周边区域。中央区域的平面形状与压电元件30的平面形状大致相同。周边区域是包围中央区域的外周的形状，周边区域的外形形状与平板22的平面形状大致相同。金属部411D1的一个主面在中央区域和周边区域齐平。金属部411D1的另一主面是周边区域比中央区域凹陷的形状。

树脂部412是在中央具有开口的平板。树脂部412配置于金属部411D1的另一主面侧的周边区域的部分。换言之，树脂部412配置为填埋金属部411D1的另一主面侧的凹陷。由此，外壁主板41D1的两个主面变得平坦。

外壁主板41D1配置为金属部411D1的另一主面与压电元件30对置。

通过这样的结构，流体控制装置10D1能够有效地散发内部空间101及压电元件30的热量。另外，外壁主板41D1与整体由金属构成的外壁主板41相比能够实现轻型化。

如图8(B)所示，在流体控制装置10D2中，外壁主板41D2具备金属部411D2和树脂部412。

金属部411D2为与金属部411D1相同的形状。外壁主板41D2配置为金属部411D1的另一主面露出于外部空间。

通过这样的结构，流体控制装置10D2能够有效地散发内部空间101及压电元件30的热量。另外，外壁主板41D2与整体由金属构成的外壁主板41相比能够实现轻型化。

[第六实施方式]

参照附图对本发明的第六实施方式所涉及的流体控制装置进行说明。图9(A)是表示第六实施方式所涉及的流体控制装置10E1的结构的一个例子的侧面剖视图，图9(B)是表示第六实施方式所涉及的流体控制装置10E2的结构的一个例子的侧面剖视图。

如图9(A)、图9(B)所示，第六实施方式所涉及的流体控制装置10E1、10E2相对于第一实施方式所涉及的流体控制装置10，在具备阀60E1、60E2这一点不同。流体控制装置10E1、10E2的其他结构与流体控制装置10相同，省略相同部位的说明。

如图9(A)所示，流体控制装置10E1具备阀60E1。阀60E1具备平板22E、平板61、阀用框体62以及阀膜63。

平板22E与上述的平板22同样地，与平板21对置，并与平板21、泵用框体23一起形成泵室100。

平板61相对于平板22E分离地配置在与平板21侧相反的一侧。平板61与平板22E对置。

阀用框体62为环形。阀用框体62配置在平板22E与平板61之间，并接合或粘接于平板22E和平板61。由此，阀60E1具有由平板22E、平板61以及阀用框体62围起来的阀室110。

阀膜63在阀室110内沿厚度方向可移动地配置。

在平板22E形成有贯通孔TH22E。在平板61形成有贯通孔TH61。在俯视观察(沿与平板61及平板22E的平板面(主面)正交的方向观察)时，贯通孔TH61与贯通孔TH22E不重叠。在阀膜63形成有贯通孔TH63，阀膜63的贯通孔TH63与贯通孔TH61重叠，与贯通孔TH22E不重叠。

由阀60E1和泵20E构成的构造体通过将内部空间101与内部空间102隔开的支承部件71而固定于外框体40。

通过该结构，流体控制装置10E1能够将流体沿从泵20E向阀60E1流入的方向输送，能够抑制反向的输送。

如图9(B)所示，流体控制装置10E2具备阀60E2。阀60E2具备平板22E、平板61、阀用框体62以及阀膜63。对于阀60E2而言，贯通孔TH22E相对于平板22E以及贯通孔TH61相对于平板61的形成位置与阀60E1不同。阀60E2的其他结构与阀60E1相同，省略相同部位的说明。

在平板22E形成有贯通孔TH22E。在平板61形成有贯通孔TH61。在俯视观察(沿与平板61及平板22E的平板面(主面)正交的方向观察)时，贯通孔TH61与贯通孔TH22E不重叠。在阀膜63形成有贯通孔TH63，阀膜63的贯通孔TH63与贯通孔TH22E重叠，与贯通孔TH61不重叠。

通过该结构，流体控制装置10E2能够将流体沿从阀60E2向泵20E流入的方向输送，能够抑制反向的输送。

即使是具有这样的阀的结构，流体控制装置10E1、10E2也能够有效地散发内部空间101及压电元件30的热量。

[第七实施方式]

参照附图对本发明的第七实施方式所涉及的流体控制装置进行说明。图10是表示第七实施方式所涉及的流体控制装置10F的结构的一个例子的侧面剖视图。

如图10所示，第七实施方式所涉及的流体控制装置10F相对于第一实施方式所涉及的流体控制装置10，在省略了喷嘴501、502这一点不同。流体控制装置10F的其他结构与流体控制装置10相同，省略相同部位的说明。

流体控制装置10F不具有喷嘴501、502。即使是这样的结构，流体控制装置10F也能够有效地散发内部空间101及压电元件30的热量。

[第八实施方式]

参照附图对本发明的第八实施方式所涉及的流体控制装置进行说明。图11是表示第八实施方式所涉及的流体控制装置10G的结构的一个例子的侧面剖视图。

如图11所示，第八实施方式所涉及的流体控制装置10G相对于第二实施方式所涉及的流体控制装置10A，在使内部空间102与外部空间连通的贯通孔420G的形成方式不同。流体控制装置10G的其他结构与流体控制装置10A相同，省略相同部位的说明。

流体控制装置10G具备包括外壁主板42G的外框体40G。在外壁主板42G形成有贯通孔420G。

即使是这样的结构，流体控制装置10G也能够有效地散发内部空间101及压电元件30的热量。

此外，在上述各实施方式中，示出了由金属构成的部分由一张金属形成的方式，但也可以是层叠了多个金属而形成的方式。或者，也可以通过在薄的绝缘性的芯材层叠比芯材厚的金属而形成。

另外，上述各实施方式的结构能够适当组合，能够起到与各个组合相应的作用效果。

附图标记说明

TH21、TH22、TH22E、TH61、TH63...贯通孔；10、10A、10B1、10B2、10C、10D1、10D2、10E1、10E2、10F、10G...流体控制装置；20、20E...泵；21、22、22E...平板；23...泵用框体；30...压电元件；40、40A、40B、40C、40D、40G...外框体；41、41C、41D1、41D2、42、42A、42B、42C、42D、42G...外壁主板；51、52...贯通孔；60E1、60E2...阀；61...平板；62...阀用框体；63...阀膜；71...支承部件；100...泵室；101、102...内部空间；110...阀室；401、402...绝缘薄膜；411、411D1、411D2...金属部；412...树脂部；420G...贯通孔；431、432...侧板；501、502...喷嘴。