一种拾取晶圆盒中透气材料的装置

技术领域

本发明涉及半导体晶圆自动化封装技术领域，尤其是涉及一种拾取晶圆盒中透气材料的装置。

背景技术

芯片制造商一般利用晶圆盒来搬运和储存晶圆。通常一个晶圆盒内叠层存储20～30片晶圆，相邻的晶圆之间通过隔离纸、海绵进行隔离。

为了从晶圆盒分离晶圆，需要将晶圆、隔离纸、海绵一一拾取出来，晶圆可通过真空机械手进行拾取，然而，隔离纸、海绵属于透气材料，真空机械手对隔离纸和海绵进行有效分离，现有技术大都采用人工分离方式，此种方式效率低下，人工成本高，因此亟需设计一种自动拾取晶圆盒中透气材料的装置。

发明内容

本发明的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种拾取晶圆盒中透气材料的装置。

本发明的目的可以通过以下技术方案来实现：

一种拾取晶圆盒中透气材料的装置，该装置包括伯努利盘、导流盘和气管接头，所述的导流盘固定在伯努利盘下表面中间区域并与伯努利盘之间形成空气流通间隙，所述的空气流通间隙通过气管接头连接连通至气源，所述的导流盘用于将输入至空气流通间隙中的气流向伯努利盘周侧导通分散。

优选地，所述的伯努利盘和导流盘外轮廓均为圆形。

优选地，所述的伯努利盘和导流盘中心对中，导流盘直径为伯努利盘直径的1/2～2/3。

优选地，所述的导流盘上表面与伯努利盘相对设置，所述的导流盘上表面呈环型阶梯状，进而形成环型阶梯状的空气流通间隙，所述的空气流通间隙的高度呈现如下变化方式：从导流盘中心位置向导流盘边缘位置，空气流通间隙的高度由小变大。

优选地，所述的气管接头固定在伯努利盘上表面上，所述的气管接头穿过所述的伯努利盘与所述的空气流通间隙连通。

优选地，所述的伯努利盘下表面上还径向设置若干导流槽。

优选地，所述的导流槽均匀分布。

优选地，所述的导流槽起始于导流盘边缘、终止于伯努利盘边缘。

优选地，该装置还包括用于检测与待拾取的透气材料距离的测距传感器，所述的传感器安装在伯努利盘边缘位置，所述的伯努利盘上设有用于安装测距传感器的传感器安装孔。

优选地，所述的测距传感器包括红外测距传感器。

与现有技术相比，本发明具有如下优点：

(1)本发明设计伯努利盘和导流盘，通过向伯努利盘下表面通过空气，基于伯努利原理，由于伯努利盘和待拾取的透气材料之间空气流速大，进而压强减小，待拾取的透气材料下方的大气压将透气材料推向伯努利盘，由此实现透气材料的自动化拾取，无需人工参与，大大提高生产效率，降低人力成本；

(2)本发明通过导流盘上表面环型阶梯状设计，使得从导流盘中心位置向导流盘边缘位置，空气流通间隙的高度由小变大，提供了气流向周侧均匀快速流动，使得伯努利盘下方区域的压力趋于均匀，提高了吸附效果；

(3)本发明设置导流槽，进一步提高了气流流动的均匀性，提高吸附效果；

(4)本发明设置测距传感器，当伯努利盘靠近待拾取的透气材料时控制气管接头开启向空气流通间隙中输入空气，保证了吸附位置的精准性，同时节约了资源。

附图说明

图1为本发明一种拾取晶圆盒中透气材料的装置的组装爆炸图；

图中，1为伯努利盘，2为导流盘，3为气管接头，4为导流槽，5为传感器安装孔。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明进行详细说明。注意，以下的实施方式的说明只是实质上的例示，本发明并不意在对其适用物或其用途进行限定，且本发明并不限定于以下的实施方式。

实施例

如图1所示，一种拾取晶圆盒中透气材料的装置，该装置包括伯努利盘1、导流盘2和气管接头3，导流盘2固定在伯努利盘1下表面中间区域并与伯努利盘1之间形成空气流通间隙，空气流通间隙通过气管接头3连接连通至气源，导流盘2用于将输入至空气流通间隙中的气流向伯努利盘1周侧导通分散。

设计伯努利盘1和导流盘2，通过向伯努利盘1下表面通过空气，基于伯努利原理，由于伯努利盘1和待拾取的透气材料之间空气流速大，进而压强减小，待拾取的透气材料下方的大气压将透气材料推向伯努利盘1，由此实现透气材料的自动化拾取，无需人工参与，大大提高生产效率，降低人力成本。

伯努利盘1和导流盘2外轮廓均为圆形，伯努利盘1和导流盘2中心对中，导流盘2直径为伯努利盘1直径的1/2～2/3。本实实例中，导流盘2直径设计为伯努利盘1直径的1/2。

导流盘2上表面与伯努利盘1相对设置，导流盘2上表面呈环型阶梯状，进而形成环型阶梯状的空气流通间隙，空气流通间隙的高度呈现如下变化方式：从导流盘2中心位置向导流盘2边缘位置，空气流通间隙的高度由小变大。气管接头3固定在伯努利盘1上表面上，气管接头3穿过伯努利盘1与空气流通间隙连通。通过导流盘2上表面环型阶梯状设计，使得从导流盘2中心位置向导流盘2边缘位置，空气流通间隙的高度由小变大，提供了气流向周侧均匀快速流动，使得伯努利盘1下方区域的压力趋于均匀，提高了吸附效果。

伯努利盘1下表面上还径向设置若干导流槽4，导流槽4均匀分布。在一优选实施方式下，导流槽4起始于导流盘2边缘、终止于伯努利盘1边缘。通过设置导流槽4，进一步提高了气流流动的均匀性，提高吸附效果。

该装置还包括用于检测与待拾取的透气材料距离的测距传感器，传感器安装在伯努利盘1边缘位置，伯努利盘1上设有用于安装测距传感器的传感器安装孔5。测距传感器包括红外测距传感器。当测距传感器检测到伯努利盘1靠近待拾取的透气材料时，控制气管接头3开启向空气流通间隙中输入空气，保证了吸附位置的精准性，同时节约了资源。

本发明拾取晶圆盒中透气材料的装置的工作原理：该装置从晶圆盒顶部伸入晶圆盒中，距传感器检测伯努利盘1与待待拾取的透气材料的距离，当测得距离小于设定值时开启气管接头3，气管接头3将气体导入到伯努利盘1下表面并在空气流通间隙中流动，气体顺着空气流通间隙向导流盘2边缘流动，最后通过进入导流槽4并沿着导流槽4向伯努利盘1边缘流动，此时，由于伯努利盘1和待拾取的透气材料之间空气流速大，进而压强减小，待拾取的透气材料下方的大气压将透气材料推向伯努利盘1，进而通过伯努利盘1实现透气材料的自动拾取。

上述实施方式仅为例举，不表示对本发明范围的限定。这些实施方式还能以其它各种方式来实施，且能在不脱离本发明技术思想的范围内作各种省略、置换、变更。