一种旋转吸盘、旋涂装置及旋涂方法

技术领域

本发明属于树脂镜片制造技术领域，涉及镜片旋涂，尤其涉及一种旋转吸盘、旋涂装置及旋涂方法。

背景技术

在树脂镜片制造领域中，对镜片表面进行涂层加工是赋予镜片新功能的重要方法。其中，旋转喷涂是常用的涂层加工工艺。旋转喷涂工艺具有易控制涂层厚度，节省涂料的优点，主要通过抽真空将镜片固定在吸盘上，并采用点胶在镜片的工作面滴下涂料，再利用高速旋转产生的离心力，将涂料均匀的涂覆在镜片的工作面上，以形成均匀涂层。

然而，现有的旋涂吸盘通常将镜片背面较多的暴露在旋转缸体内，在实际生产中，旋转甩出的涂料会在缸体内壁飞溅回落到镜片的背面产生污染，严重影响镜片的成品率。此外，吸盘与镜片接触面积较小，且镜片的中部架空，使得镜片吸附时受力不均匀，较易产生形变导致光度偏差。

另外，在旋转喷涂的过程中，镜片会以中间抽真空的方式被吸附在吸盘上，通过加大真空度，为镜片的提供足够吸力，提高镜片在高速旋转时的稳定性。但是，真空度的增加会导致镜片中心产生轻微的变形，当涂覆涂层后，发生的形变造成光度产生偏差。为了减小对光度影响，需要不断调整真空度，以适配不同光度的镜片，并且，生产不同尺寸的镜片时还需要更换不同的吸盘，使得旋涂工艺操作复杂，影响生产效率。

因此，制作一种新式的吸盘结构，能够简单有效地解决旋涂工艺中的镜片光度偏差的问题是非常重要的。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种旋转吸盘、旋涂装置及旋涂方法，采用特定结构的旋转吸盘，增加与基片的接触面积，使基片受力均匀，不易发生形变，适用于不同直径的基片，提高工作效率。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

第一方面，本发明提供了一种旋转吸盘，所述旋转吸盘包括吸盘本体，所述吸盘本体用于承载基片，所述吸盘本体上由内到外依次设置有至少两层环形托盘，至少两层的所述环形托盘的高度由内到外递减。

本发明提供的旋转吸盘采用多层环形托盘的结构，增加了与基片的接触面积，能够承受高速旋转不掉落，保证牢固稳定。同时，吸附时的基片受力均匀，不易发生形变。并且，旋转吸盘适用于不同直径的基片，无需反复更换吸盘，提高工作效率。

需要说明的是，本发明提供的旋转吸盘适用范围广，操作简单，特别适用于镜片的旋涂工艺，适应不同直径的镜片，并且保证镜片光度稳定无变化，解决了镜片光度偏差的问题。

作为本发明一个优选技术方案，所述吸盘本体的中部设置有支撑凸台，所述支撑凸台用于支撑基片。

优选地，所述支撑凸台与所述环形托盘同轴设置。

优选地，所述支撑凸台为橡胶材质。

需要说明的是，本发明中支撑凸台的高度设计，使得在抽真空时基片的背面能够接触到支撑凸台，为基片中心区域提供支撑点，有利于分散基片受到的压力，使其受力均匀。

作为本发明一个优选技术方案，所述环形托盘倾斜设置，所述环形托盘的外壁与所述吸盘本体所在水平面的夹角为45～90°，例如可以是45°、50°、55°、60°、65°、70°、75°、80°、85°或90°，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

优选地，所述环形托盘的外径为60～80mm，例如可以是60mm、63mm、65mm、68mm、70mm、72mm、75mm、78mm或80mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

需要说明的是，本发明中环形托盘与吸盘本体一体成型，采用硅胶或橡胶材质，具有可压缩性质，环形托盘倾斜设置，且在环形托盘与基片接触的边缘向外倾斜，能够在旋转时顺利甩出余料，防止发生污染。

优选地，所述吸盘本体的表面分布有进气孔。

优选地，所述的进气孔包括圆形孔、矩形孔或环形孔槽中的任一种或至少两种的组合。

需要说明的是，本发明提供的进气孔开设在支撑凸台的外侧，即支撑凸台与最内层环形托盘之间，密封性好，能够保证吸附牢固稳定，无需加大真空度，通过增大吸附面积来提升牢固及稳定度。

优选地，所述旋转吸盘还包括保护套管，所述保护套管套设在所述吸盘本体的外周。

需要说明的是，本发明中的保护套管设置在吸盘本体的外周，保护套管的高度与基片吸附后背面边缘在环形托盘上的高度平齐，保护套管的直径大于吸盘本体的外径，能够将甩出的余料与吸盘本体和基片完全隔离，改善了基片表面被飞溅余料污染的问题。

作为本发明一个优选技术方案，所述旋转吸盘还包括转轴与真空管道，所述转轴固定连接所述吸盘本体，所述真空管道沿所述转轴伸入所述吸盘本体内，并与所述进气孔连通。

优选地，所述旋转吸盘还包括驱动组件与抽真空组件，所述驱动组件传动连接所述转轴，所述抽真空组件连接所述真空管道。

需要说明的是，相比于现有旋转吸盘，通过提高真空度来增加吸附力，本发明提供的旋转吸盘的密封性好，在一定真空度下，就能保证牢固稳定，无需加大真空度，有效地提升基片吸附的稳定度。

第二方面，本发明提供了一种旋涂装置，所述旋涂装置包括无尘仓，所述无尘仓内设置有喷涂单元，以及第一方面所述的旋转吸盘，所述喷涂单元用于向所述旋转吸盘承载的基片上喷涂料液。

本发明中的无尘仓为密封的仓体，喷涂单元的料液出口与承载有基片的旋转吸盘均设置在无尘仓内，无尘仓的上方设置有空气过滤器。无尘仓由透明玻璃或亚克力板围设而成，便于操作人员观察，本领域技术人员可根据实际情况在透明玻璃或亚克力板上贴滤光膜。

作为本发明一个优选技术方案，所述喷涂单元包括储料腔体与回料腔体，所述储料腔体设置于所述旋转吸盘的上方，所述回料腔体围绕设置在所述旋转吸盘的外周。

优选地，所述储料腔体的底部设置有送料管，所述送料管靠近所述旋转吸盘的一端设置有喷头，所述喷头用于喷射料液。

优选地，所述送料管上设置有过滤组件。

优选地，所述喷涂单元还包括气缸组件，所述气缸组件用于驱动所述喷头进行伸缩。

需要说明的是，本发明的储料腔体用于储存涂覆基片的料液，通过送料管将料液送入喷头，喷头设置在无尘仓内，利用喷头喷射至基片的表面。送料管上焊接有过滤组件，以去除涂料中多余的杂质和气泡，直径为0.5～10μm。回料腔体的下端开有回料孔，旋转甩出的余料落入回料腔体的内壁，经回料孔流出无尘仓。

作为本发明一个优选技术方案，所述旋涂装置还包括传送单元与固化装置，所述传送单元包括传送带与夹持组件，所述传送带将基片依次送入所述无尘仓与固化装置内，所述夹持组件用于取放基片。

需要说明的是，本发明的传送单元用于将基片输送至无尘仓内进行旋涂，并在结束旋涂后，送入固化装置内进行固化成型。夹持组件用于将基片由传送带抓取至旋转吸盘上，在结束旋涂后，再将基片抓取移动至传送带上。

第三方面，本发明提供了一种旋涂方法，所述旋涂方法采用第二方面所述的旋涂装置进行旋涂，所述旋涂方法包括：

将基片送入无尘仓内，并吸附固定在旋转吸盘，喷涂单元向基片的表面喷涂料液，驱动所述旋转吸盘进行转动，在基片表面形成均匀涂层。

作为本发明一个优选技术方案，所述的旋涂方法具体包括如下步骤：

(Ⅰ)利用传送带将基片输送至无尘仓内，夹持组件夹取基片，并放置于旋转吸盘的环形托盘上；

(Ⅱ)启动抽真空组件抽真空，将基片吸附固定在环形托盘与支撑凸台形成的支撑面上；

(Ⅲ)将储料腔体内的料液由喷头喷射在基片表面，开启驱动组件驱动转轴进行转动，进而带动承载有基片的旋转吸盘转动；

(Ⅳ)结束旋转后，夹持组件夹取基片，并放置在传送带上，并将基片至固化装置内进行固化成型，形成均匀涂层。

作为本发明一个优选技术方案，所述的旋涂方法还包括：在输送基片前，对基片进行预处理。

优选地，所述预处理包括：采用清洗液浸渍或喷淋基片，并烘干基片表面。

优选地，所述清洗液包括碱液、清洗剂、乙醇或纯水中的任一种或至少两种的组合。

优选地，步骤(Ⅱ)中，所述抽真空至真空度为-10～-50kPa，例如可以是-10kPa、-15kPa、-20kPa、-25kPa、-30kPa、-35kPa、-40kPa、-45kPa或-50kPa，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

优选地，步骤(Ⅲ)中，所述喷射料液的流量为25～60mL/min，例如可以是25mL/min、30mL/min、35mL/min、40mL/min、45mL/min、50mL/min、55mL/min或60mL/min，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

优选地，步骤(Ⅲ)中，所述旋转吸盘的转动速度为500～2500r/min，例如可以是500r/min、600r/min、700r/min、800r/min、1000r/min、1200r/min、1500r/min、1800r/min、2000r/min、2200r/min、2300r/min、2400r/min或2500r/min，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

优选地，步骤(Ⅳ)中，所述固化成型为光固化成型或热固化成型。

优选地，所述光固化成型的时间为4～8s，例如可以是4s、4.5s、5s、5.5s、6s、6.5s、7s、7.5s或8s，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

优选地，所述光固化成型的紫外光照功率为450～550mW/cm

优选地，所述热固化成型的时间为1～2.3h，例如可以是1h、1.2h、1.5h、1.8h、2h、2.2h或2.3h，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

优选地，所述热固化成型的温度为110～130℃，例如可以是110℃、112℃、115℃、118℃、120℃、123℃、125℃、128℃或130℃，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。需要说明的是，当采用光固化成型时，利用紫外光照射涂覆后的基片，得到均匀固化的涂层，将基片移动至紫外灯光源处，通过光照固化成型，并根据光固化料液的性质，紫外灯所在的环境需要除氧并通氮，光固化成型时间短。而采用热固化成型时，需将基片传送到烘道/烘箱内加热成型，且热固化的涂层固化时间较长。

本发明所述的数值范围不仅包括上述例举的点值，还包括没有例举出的上述数值范围之间的任意的点值，限于篇幅及出于简明的考虑，本发明不再穷尽列举所述范围包括的具体点值。

与现有技术相比，本发明的有益效果为：

本发明提供的一种旋转吸盘、旋涂装置及旋涂方法，在旋涂过程中为基片提供支撑点，分散基片受到的压力，多层环形托盘的设计增大了与基片的接触面接，同时能够适用于不同直径的基片，保证其在承受高速旋转时不掉落，解决了基片光度偏差的问题，有效地防止飞溅料液污染基片表面。

附图说明

图1为本发明一个具体实施方式提供的旋转吸盘的结构示意图；

图2为本发明一个具体实施方式提供的旋转吸盘的俯视图；

图3为本发明一个具体实施方式提供的旋涂装置的结构示意图。

其中，1-吸盘本体；2-环形托盘；3-支撑凸台；4-进气孔；5-转轴；6-真空通道；7-无尘仓；8-储料腔体；9-送料管；10-喷头；11-基片；12-保护套管；13-抽真空组件；14-驱动组件；15-传送带；16-过滤组件；17-固化装置；18-夹持组件；19-回料腔体。

具体实施方式

需要理解的是，在本发明的描述中，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

需要说明的是，在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

本领域技术人员理应了解的是，本发明中必然包括用于实现工艺完整的必要管线、常规阀门和通用泵设备，但以上内容不属于本发明的主要发明点，本领域技术人员可以基于工艺流程和设备结构选型进可以自行增设布局，本发明对此不做特殊要求和具体限定。

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。

在一个具体实施方式中，本发明提供了一种旋转吸盘，如图1所示，包括吸盘本体1，所述吸盘本体1用于承载基片11，所述吸盘本体1上由内到外依次设置有至少两层环形托盘2，至少两层的所述环形托盘2的高度由内到外递减。

本发明提供的旋转吸盘适用范围广，特别适用于镜片的旋涂工艺，适应不同直径的镜片，无需反复更换吸盘，提高工作效率，并且保证镜片光度稳定无变化，解决了镜片光度偏差的问题。

在一些实施方式中，所述吸盘本体1的中部设置有支撑凸台3，所述支撑凸台3用于支撑基片11。所述支撑凸台3与所述环形托盘2同轴设置。所述支撑凸台3为橡胶材质。同时，支撑凸台3的高度设计，使得在抽真空时基片11的背面能够接触到支撑凸台3，为基片11的中心区域提供支撑点，有利于分散基片11受到的压力，使其受力均匀。

在一些实施方式中，所述环形托盘2倾斜设置，所述环形托盘2的外壁与所述吸盘本体1所在水平面的夹角为45～90°，所述环形托盘2的外径为60～80mm。本发明中环形托盘2与吸盘本体1一体成型，采用硅胶或橡胶材质，具有可压缩性质，环形托盘2倾斜设置，且在环形托盘2与基片11接触的边缘向外倾斜，能够在旋转时顺利甩出余料，防止发生污染。

如图2所示，所述吸盘本体1的表面分布有进气孔4，进气孔4开设在支撑凸台3的外侧，即支撑凸台3与最内层环形托盘2之间，密封性好，能够保证吸附牢固稳定，无需加大真空度，通过增大吸附面积来提升牢固及稳定度。所述的进气孔4包括圆形孔、矩形孔或环形孔槽中的任一种或至少两种的组合。

在一些实施方式中，所述旋转吸盘还包括保护套管12，所述保护套管12套设在所述吸盘本体1的外周，保护套管12的高度与基片11吸附后背面边缘在环形托盘2上的高度平齐，保护套管12的直径大于吸盘本体1的外径，能够将甩出的余料与吸盘本体1和基片11完全隔离，改善了基片11表面被飞溅余料污染的问题。

在一些实施方式中，所述旋转吸盘还包括转轴5、真空管道、驱动组件14与抽真空组件13，所述转轴5固定连接所述吸盘本体1，所述真空管道沿所述转轴5伸入所述吸盘本体1内，并与所述进气孔4连通，所述驱动组件14传动连接所述转轴5，所述抽真空组件13连接所述真空管道。本发明提供的旋转吸盘的密封性好，在一定真空度下，就能保证牢固稳定，无需加大真空度，有效地提升基片11吸附的稳定度。

在另一个具体实施方式中，本发明提供了一种旋涂装置，如图3所示，包括无尘仓7，所述无尘仓7内设置有喷涂单元，以及一个具体实施方式中所述的旋转吸盘，所述喷涂单元用于向所述旋转吸盘承载的基片11上喷涂料液。

本发明中的无尘仓7为密封的仓体，喷涂单元的料液出口与承载有基片11的旋转吸盘均设置在无尘仓7内，无尘仓7的上方设置有空气过滤器。无尘仓7由透明玻璃或亚克力板围设而成，便于操作人员观察，本领域技术人员可根据实际情况在透明玻璃或亚克力板上贴滤光膜。

在一些实施方式中，所述喷涂单元包括储料腔体8与回料腔体19，所述储料腔体8设置于所述旋转吸盘的上方，所述回料腔体19围绕设置在所述旋转吸盘的外周。所述储料腔体8的底部设置有送料管9，所述送料管9靠近所述旋转吸盘的一端设置有喷头10，所述喷头10用于喷射料液。所述送料管9上设置有过滤组件16。

本发明的储料腔体8用于存放涂覆基片11的料液，利用齿轮泵或蠕动泵由送料管9将料液送入喷头10，喷头10设置在无尘仓7内，利用喷头10喷射至基片11的表面。送料管9上焊接有过滤组件16，以去除涂料中多余的杂质和气泡，直径为0.5～10μm。回料腔体19的下端开有回料孔，旋转甩出的余料落入回料腔体19的内壁，经回料孔流出无尘仓7。

在一些实施方式中，所述喷涂单元还包括气缸组件，所述气缸组件用于驱动所述喷头10进行伸缩。

在一些实施方式中，所述旋涂装置还包括传送单元与固化装置17，所述传送单元包括传送带15与夹持组件18，所述传送带15将基片11依次送入所述无尘仓7与固化装置17内，所述夹持组件18用于取放基片11。

本发明的传送单元用于将基片11输送至无尘仓7内进行旋涂，并在结束旋涂后，送入固化装置17内进行固化成型。夹持组件18用于将基片11由传送带15抓取至旋转吸盘上，在结束旋涂后，再将基片11抓取移动至传送带15上。本发明对于夹持组件18的类型不作具体要求或特殊限定，可采用机械臂，当然可以理解的是能够实现将基片11抓取并移动的其他样式的夹持组件18同样落入本发明的保护范围和公开范围之内，因此现有技术中已公开或新技术中未公开的其他形式的夹持组件18同样可以用于本发明中。

本发明中的固化形式可采用热固化或光固化，当采用热固化工艺时，固化装置17可以为烘箱或烘道；当采用光固化工艺时，固化装置17可以为紫外灯光源，示例性地，可采用发光二极管(Light-Emitting Diode，LED)或高压汞灯。当然可以理解的是能够实现将烘干基片11的其他样式的固化装置17同样落入本发明的保护范围和公开范围之内，因此现有技术中已公开或新技术中未公开的其他形式的固化装置17同样可以用于本发明中。

在一些实施方式中，所述旋涂装置还包括电控单元，控制传送带15、夹持组件18、气缸组件，抽真空组件13等设备的运作。

在另一个具体实施方式中，本发明提供了一种旋涂方法，所述旋涂方法采用另一个具体实施方式所述的旋涂装置进行旋涂，所述旋涂方法具体包括如下步骤：

(1)采用清洗液浸渍或喷淋基片11，并烘干基片11表面，清洗液包括碱液、清洗剂、乙醇或纯水中的任一种或至少两种的组合；

(2)利用传送带15将基片11输送至无尘仓7内，夹持组件18夹取基片11，并放置于旋转吸盘的环形托盘2上；

(3)启动抽真空组件13抽真空至真空度为-10～-50kPa，将基片11吸附固定在环形托盘2与支撑凸台3形成的支撑面上；

(4)将储料腔体8内的料液由喷头10喷射在基片11表面，喷射料液的流量为25～60mL/min，随后开启驱动组件14驱动转轴5进行转动，进而带动承载有基片11的旋转吸盘转动，转动速度为500～2500r/min；

(5)结束旋转后，夹持组件18夹取基片11，并放置在传送带15上，并将基片11移动至固化装置17内进行固化成型，形成均匀涂层，当采用光固化成型时，固化成型时间为4～8s，紫外光照功率为450～550mW/cm

实施例1

本实施例提供了一种旋转吸盘，包括用于承载基片11的吸盘本体1，吸盘本体1上由内到外依次设置有两层环形托盘2，两层环形托盘2的高度由内到外递减。两层环形托盘2倾斜设置，环形托盘2的外壁与吸盘本体1所在水平面的夹角为60°。位于内层的环形托盘2的外径为65mm，位于外层的环形托盘2的外径为70mm。

吸盘本体1的外周还套设有保护套管12，保护套管12的高度与基片11吸附后背面边缘在环形托盘2上的高度平齐，保护套管12的直径大于吸盘本体1的外径，能够将甩出的余料与吸盘本体1和基片11完全隔离。

吸盘本体1的中部设置有用于支撑基片11的支撑凸台3，并与环形托盘2同轴设置。支撑凸台3为橡胶材质。吸盘本体1的表面分布有圆形的进气孔4，进气孔4沿支撑凸台3的外侧均匀分布。

旋转吸盘还包括转轴5、真空管道、电机与真空泵。其中，转轴5固定连接吸盘本体1，真空管道沿转轴5伸入吸盘本体1内，并与进气孔4连通，电机传动连接转轴5，真空泵连接真空管道。采用真空泵将基片11吸附固定在吸盘本体1的环形托盘2上，并利用电机驱动转轴5转动，进而带动承载有基片11的吸盘本体1转动。

实施例2

本实施例提供了一种旋涂装置，包括无尘仓7、传送单元、电控单元、喷涂单元、固化装置17，以及实施例1中的旋转吸盘。

无尘仓7为密封的仓体，无尘仓7的上方设置有空气过滤器，由透明玻璃围设而成，在透明玻璃贴有滤光膜。

喷涂单元包括储料腔体8、回料腔体19与气缸组件，储料腔体8设置于旋转吸盘的上方，回料腔体19围绕设置在旋转吸盘的外周。储料腔体8的底部设置有送料管9，送料管9靠近旋转吸盘的一端设置有喷头10，喷头10用于喷射料液，气缸组件用于驱动喷头10进行伸缩。送料管9上还设置滤芯，以去除涂料中多余的杂质和气泡。喷涂单元的喷头10与承载有基片11的旋转吸盘均设置在无尘仓7内。

传送单元包括传送带15与夹持组件18，传送带15用于将基片11输送至无尘仓7内进行旋涂，并在结束旋涂后，送入固化装置17内进行固化成型。夹持组件18由四根金属臂构成，用于将基片11由传送带15抓取至旋转吸盘上，在结束旋涂后，再将基片11抓取移动至传送带15上。固化装置17为紫外灯光源，对涂覆有料液的基片11进行光固化，以形成均匀的涂层。

电控单元电性连接传送单元、喷涂单元与旋转吸盘，控制传送带15、夹持组件18、气缸组件，抽真空组件13等设备的运作。

实施例3

本实施例提供了一种旋涂装置，与实施例2的区别在于：固化装置为烘箱，其余装置结构及工艺参数与实施例2相同。

实施例4

本实施例提供了一种旋涂方法，采用实施例2中的旋涂装置对树脂镜片进行旋涂，具体包括如下步骤：

(1)采用碱液喷淋基片11，并烘干树脂镜片的表面，得到洁净的树脂镜片；

(2)利用传送带15将树脂镜片输送至无尘仓7内，金属臂夹取树脂镜片，并放置于旋转吸盘的环形托盘2上；

(3)启动真空泵抽真空至真空度为-30kPa，将树脂镜片吸附固定在环形托盘2与支撑凸台3形成的支撑面上；

(4)利用蠕动泵将储料腔体8内的料液由喷头10喷射在树脂镜片的表面，喷射料液的流量为60mL/min，随后开启电机驱动转轴5进行转动，进而带动承载有树脂镜片的旋转吸盘转动，转动速度为2000r/min；

(5)结束旋转后，再利用金属臂夹取树脂镜片，放置在传送带15上，并将树脂镜片移动至固化区域，采用紫外灯照射树脂镜片5s进行固化成型，形成均匀涂层。

实施例5

本实施例提供了一种旋涂方法，采用实施例3中的旋涂装置对树脂镜片进行旋涂。其中，旋涂过程的具体步骤与实施例4的区别在于：步骤(5)中采用烘箱进行热固化成型，即传送带15将树脂镜片移动至固化区域的烘箱内，在120℃下，烘干1.5h，其余工艺参数及操作条件与实施例4相同。

对比例1

本对比例公开了一种旋转吸盘，与实施例1的区别在于：吸盘本体1上未设置内层环形托盘2，即仅设置一层环形托盘2，其余工艺参数与实施例1相同。

对比例2

本对比例公开了一种旋转吸盘，与实施例1的区别在于：吸盘本体1上未设置支撑凸台3，其余工艺参数与实施例1相同。

本发明采用实施例1、对比例1和对比例2的旋转吸盘，根据实施例3提供的旋涂方法分别对相同型号的树脂镜片进行旋涂，并测量旋涂后树脂镜片的光度，结果如表1所示。

其中，镜片光度偏差测试方法为：使用焦度计(尼德克焦度计LM-600P)测出镜片旋涂前后光度数值，并计算出前后光度差即为镜片光度偏差数值。

本发明还通过逐渐增加真空度，观察实施例1、对比例1与对比例2的旋转吸盘上树脂镜片是否出现裂痕，结果如表1所示。

表1

本发明采用实施例1、对比例1和对比例2的旋转吸盘，分别对20个相同的树脂镜片进行吸附稳定性测试，具体为：在真空度为-50kPa下吸附树脂镜片，并以2200r/min的转速进行旋转，观察树脂镜片是否脱落，结果如表2所示：

表2

由表1可知，采用实施例1提供的旋转吸盘进行旋涂后树脂镜片的光度稳定性要高于对比例1，这主要是由于实施例1中采用的旋转吸盘为多层环形托盘2设计，增大了接触面积，使得树脂镜片的受力均匀，牢固稳定的吸附在环形托盘2上，密封性好，不易发生形变，有利于提高镜片光度的稳定性。

相比于对比例1与对比例2，实施例1中承载的树脂镜片没有出现裂痕或破裂，这主要是由于实施例1的旋转吸盘上设置有支撑凸台3，为树脂镜片的中心区域提供了支撑点，分散其受到的压力，同时，设置的多层环形托盘2促使树脂镜片受力均匀，不易发生裂痕。

由表2可知，相比于对比例1和对比例2，在相同的吸附力下，实施例1的旋转吸盘的吸附稳定性高，这主要是由于实施例1的旋转吸盘为多层结构设计，且中部设置有支撑凸台3，增大了与树脂镜片的接触面积，即使在高速旋转过程中树脂镜片也不易脱落或甩飞，具有更好的吸附效果。

申请人声明，以上所述仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，所属技术领域的技术人员应该明了，任何属于本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。

以上详细描述了本发明的优选实施方式，但是，本发明并不限于上述实施方式中的具体细节，在本发明的技术构思范围内，可以对本发明的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本发明的保护范围。