一种用于超分辨电化学扫描成像的多功能样品台

技术领域

本发明涉及多种材料的形貌及活性检测技术领域，更具体地说，涉及一种用于超分辨电化学扫描成像的多功能样品台。

背景技术

扫描电化学显微镜是基于电化学原理工作，可测量微区内物质氧化或还原所给出的电化学电流，利用驱动非常小的电极(探针)在靠近样品处进行扫描，从而获得对应的微区电化学和相关信息，可达到的最高分辨率约为几十纳米，广泛适用于对不同电池材料性能、催化材料性能、材料微腐蚀等领域的微观研究的新型纳米电化学扫描探针技术。这种技术需通过电化学扫描成像样品台来实现对探针的精准三维空间高分辨移动和定位控制。

目前，电化学扫描成像样品台存在以下缺点：其一、使用场景局限，结构设计无法和多种类型的显微镜联用，无法满足多角度样品安装和观察的需求；其二、样品台调平精度低，使得样品台无法与探针保持相对水平，成像范围小，不利于扫描成像过程的稳定性和精确度。

综上所述，如何提供一种用于超分辨电化学扫描成像的多功能样品台，能够突破使用场景的局限，以及提高调平精度，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的是提供一种用于超分辨电化学扫描成像的多功能样品台，该样品台能够与多种类型显微镜联用，实现多场景的电化学扫描成像，以及提高调平精度，实现大范围、高精度成像。

为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种用于超分辨电化学扫描成像的多功能样品台，包括：

三维机械扫描平台，包括用于放置样品的承载平板、用于支撑所述承载平板的支撑构件和用于调平所述承载平板的调平构件，所述承载平板水平设于所述支撑构件上，所述调平构件包括呈正三角形或正四边形分布的多个紧固件，各所述紧固件均沿竖向设置并螺纹连接于所述承载平板与所述支撑构件之间；

压电位移平台，靠近所述三维机械扫描平台设置，所述压电位移平台包括压电位移驱动器和探针，所述探针沿竖向设置并位于所述承载平板的上方，所述压电位移驱动器与所述探针传动连接，用于带动所述探针进行纳米级的三维位移；

三维位移平台，与所述压电位移平台一体化设置，所述三维位移平台包括第一驱动构件，所述第一驱动构件与所述压电位移平台传动连接，用于带动所述探针进行大幅度的三维位移；

控制单元，与所述压电位移平台信号连接。

优选的，旋转盘水平且可转动设于所述承载平板上，用于放置所述样品并带动其进行多角度旋转。

优选的，所述支撑构件包括均沿竖向设置的多个支撑柱和水平设置的第一平板，多个所述支撑柱两两对称设于所述第一平板的底端上，且所述承载平板通过多个所述紧固件与所述第一平板可调节连接。

优选的，多个所述支撑柱均设于垫板上，所述垫板用于水平放置在地面上。

优选的，所述支撑构件包括支撑件、均设于所述支撑件上的第二驱动构件和第二平板；

所述第二平板水平设置，且所述承载平板通过多个所述紧固件与所述第二平板可调节连接，所述第二驱动构件与所述第二平板传动连接，用于带动所述承载平板水平移动。

优选的，所述支撑件沿竖向设置，且其呈工字形状。

优选的，所述第二驱动构件包括第二前后驱动组件、第二左右驱动组件；

所述第二前后驱动组件包括第四滑块和沿所述承载平板的前后方向设置的第四旋转轴，所述第四滑块可滑动设于所述支撑件上，所述第四旋转轴与所述第四滑块螺纹连接；

所述第二左右驱动组件包括第五滑块和沿所述承载平板的左右方向设置的第五旋转轴，所述第五滑块可滑动设于所述第四滑块上，所述第五旋转轴与所述第五滑块螺纹连接。

优选的，所述承载平板上设有开口，用于兼容倒置显微镜。

优选的，所述压电位移驱动器的驱动端连接有探针支架，所述探针可拆卸设于所述探针支架中。

优选的，所述第一驱动构件包括支撑架和均设于所述支撑架上的竖向驱动组件、第一前后驱动组件及第一左右驱动组件；

所述第一左右驱动组件包括第一滑块和沿所述承载平板的左右方向设置的第一旋转轴，所述第一滑块可滑动设于所述支撑架的底部，所述第一旋转轴与所述第一滑块螺纹连接；

所述第一前后驱动组件包括第二滑块和沿所述承载平板的前后方向设置的第二旋转轴，所述第二滑块可滑动设于所述第一滑块上，所述第二旋转轴与所述第二滑块螺纹连接；

所述竖向驱动组件包括均沿竖向设置的第三滑块和第三旋转轴，所述第三滑块可滑动设于所述支撑架的顶部，所述第三旋转轴与所述第三滑块螺纹连接。

相较于上述背景技术，本发明提供的用于超分辨电化学扫描成像的多功能样品台由三维机械扫描平台、压电位移平台和三维位移平台组成，三维机械扫描平台的承载平板通过支撑构件架设在地面上，三维机械扫描平台的周向和上下侧具有用于放置不同种类显微镜的空间，在使用时，一体化设置的压电位移平台和三维位移平台放置于三维机械扫描平台的前侧，而三维机械扫描平台的左右两侧可分别放置侧位显微镜和卧式显微镜，或者三维机械扫描平台的一侧放置侧位显微镜，三维机械扫描平台的下方和上方分别放置倒置显微镜的物镜和照明系统，以使本申请与多种类型显微镜联用，适用于多场景电化学成像，从而满足多种类材料多角度成像的需求。

根据不同的样品完成多个扫描电化学显微镜联用安装后，具体电化学成像的操作为：第一、初步调平承载平板，具体为承载平板与支撑构件通过多个紧固件螺纹连接，每个紧固件对应一个调平点，多个调平点呈正三角形或正四边形分布，旋转多个紧固件，承载平板达到水平方向的调平；第二、安装待测样品，具体为待测样品固定在承载平板上，将探针与扫描电化学显微镜的电极相连接；第三、调节显微镜，使得探针和待测样品在显微镜下能够清晰地呈现在视野中；第四、粗调探针位置，具体为通过三维位移平台的第一驱动构件带动压电位移平台在XYZ轴方向上的移动，以带动压电位移平台上的探针移动到待测样品上的设定位置；第五、精准调平承载平板，具体为在待测样品表面选择呈正三角形分布的三个检测点，或者呈正四边形分布的四个检测点，通过压电位移平台的压电位移驱动器带动探针沿多个检测点分别渐进，压电位移驱动器同时起到感应器作用，得到不同渐近距离参数并传送给控制器，控制器根据获取的渐进距离参数计算偏差角度，最后根据偏差角度手动调整调平点处的紧固件旋紧度，以调节承载平板的水平面与Z轴之间的相对角度，保证探针与承载平板相对水平，以实现承载平板的精准调平；第六、完成调平后，通过控制器控制压电位移驱动器带动探针在XYZ轴方向上的纳米级移动，以实现样品纳米电化学扫描成像。

综上所述，本申请可联用多种类型显微镜如侧位显微镜、倒置显微镜、卧式显微镜，适用于多场景电化学成像，从而满足多种类材料多角度成像的需求，另外，多个紧固件采用正三角形或正四边形的设计，使每个调平点的调节起伏对承载平板的影响相似度更高，再根据精准检测计算出的承载平板与探针的偏差角度，手动调整调平点处的紧固件旋紧度，以保证探针与承载平板相对水平，从而实现承载平板的精准调平，增大成像范围，提高扫描成像精确度。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本发明所提供的一种用于超分辨电化学扫描成像的多功能样品台(与侧位显微镜和卧式显微镜联用)的结构示意图；

图2为本发明所提供的另一种用于超分辨电化学扫描成像的多功能样品台(与侧位显微镜和倒置显微镜联用)的结构示意图；

图3为图1和图2中31处的局部放大图。

图中：

1为三维机械扫描平台、2为压电位移平台、3为三维位移平台、4为旋转盘、5为侧位显微镜、6为卧式显微镜、7为倒置显微镜；

11为承载平板、12为紧固件、13为支撑构件、131为第一平板、132为支撑柱、133为垫板、134为第二平板、135为第二驱动构件、136为支撑件、137为开口；

135-1为第四滑块、135-2为第四旋转轴、135-3为第五滑块、135-4为第五旋转轴；

21为压电位移驱动器、22为探针支架；

31为第一驱动构件、32为连接板、311为支撑架、312为第一滑块、313为第一旋转轴、314为第二滑块、315为第二旋转轴、316为第三滑块、317为第三旋转轴；

311-1为支撑部、311-2为安装部。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明的核心是提供一种用于超分辨电化学扫描成像的多功能样品台，该样品台能够与多种类型显微镜联用，实现多场景的电化学扫描成像，以及提高调平精度，实现大范围、高精度成像。

需要说明的是，在本实施例中，“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系进行描述，且Y轴指沿承载平板的前后方向，X轴指沿承载平板的左右方向，Z轴指垂直于承载平板的方向，即为竖向，以便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

请参考图1和图2，本申请提供了一种用于超分辨电化学扫描成像的多功能样品台，包括三维机械扫描平台1、压电位移平台2和三维位移平台3。

三维机械扫描平台1，包括用于放置样品的承载平板11、用于支撑承载平板11的支撑构件13和用于调平承载平板11的调平构件，承载平板11水平设于支撑构件13上，调平构件包括呈正三角形或正四边形分布的多个紧固件12，各紧固件12均沿竖向设置并螺纹连接于承载平板11与支撑构件13之间。

压电位移平台2靠近三维机械扫描平台1设置，压电位移平台2包括压电位移驱动器21和探针，探针沿竖向设置并位于承载平板11的上方，压电位移驱动器21与探针传动连接，用于带动探针进行纳米级的三维位移。

三维位移平台3与压电位移平台2一体化设置，三维位移平台3包括第一驱动构件31，第一驱动构件31与压电位移平台2传动连接，用于带动探针进行大幅度的三维位移。

控制单元与压电位移平台2信号连接。

需要说明的是，三维机械扫描平台1由承载平板11、支撑构件13和调平构件组成，承载平板11水平设置，支撑构件13连接于承载平板11的底端与地面之间，使得承载平板11通过支撑构件13架设在地面上；调平构件包括多个紧固件12，承载平板11与支撑构件13之间通过多个紧固件12螺纹连接，且各紧固件12均沿竖向设置，使得通过调节紧固件12的旋紧度，便可调节承载平板11的水平面与Z轴之间的角度，每个紧固件12在承载平板11上对应一个调节点，多个调节点呈正三角形或正四边形分布，使得调整每个调节点处的起伏对承载平板11的影响相似度更高，以确保调平的精准性；另外，压电位移平台2和三维位移平台3一体化设置，三维位移平台3由第一驱动构件31和支撑架311组成，支撑架311靠近三维机械扫描平台1设置，第一驱动构件31通过支撑架311设置在地面上，第一驱动构件31传动连接有压电位移驱动器21，压电位移驱动器21置于承载平板11的上方，探针沿竖向可移动设置于压电位移驱动器21上，其中第一驱动构件31可带动压电位移驱动器21在XYZ轴方向上进行大幅度移动，以实现对探针位置进行大幅度调节，压电位移驱动器21是一种利用压电效应来实现位置的精准微调的装置，利用压电位移驱动器21可带动探针在XYZ轴方向上进行微移，以实现对探针位置进行纳米级调节；压电位移驱动器21与控制单元信号连接，压电位移驱动器21具有位移感应器功能，能够检测探针的位移量并通过信号传递给控制单元；探针需与扫描电化学显微镜的工作电极、参比电极相连接，且当探针末端靠近基底电极时，探针尖端的电解液微液滴与基底电极构成纳米液滴电化学池，从而能够在纳米尺度测量样品的电化学活性并得到电化学扫描成像。

优选的，本申请中的紧固件12采用螺丝，相应的，承载平板11的各检测点处以及与其对应的支撑构件13上均设置螺孔，通过旋拧螺丝，螺丝与螺孔螺纹配合，二者之间产生斜面摩擦和压力，从而实现承载平板11与支撑构件13的固定连接，同时，螺丝具有可调节性，通过旋转来调节紧固力，以实现承载平板11与支撑构件13可调节连接，进而实现承载平板11的调平。然而，紧固件12采用类型并不唯一，也可采用其他类型，只要实现承载平板11与支撑构件13可调节连接即可。

在上述实施例的基础上，请参考图1，旋转盘4水平且可转动设于承载平板11上，用于放置样品并带动其进行多角度旋转。

具体的，旋转盘4水平设置并通过转轴设置在承载平板11上，且转轴沿竖向设置，使得旋转盘4可绕Z轴方向转动，以使放置于旋转盘4上的待测样品可进行360°旋转，从而调节样品成像方位，以达到多角度成像的目的。

当本申请联用侧位显微镜5和卧式显微镜6时，一体化设置的压电位移平台2和三维位移平台3放置于三维机械扫描平台1的前侧，而三维机械扫描平台1的左右两侧可分别放置侧位显微镜5和卧式显微镜6，在电化学扫描成像时，待测样品固置于承载平台上，只需通过旋转盘4旋转调节样品成像区域，便可实现侧位显微镜5和卧式显微镜6电化学成像。

由此，请参考图1，支撑构件13优选为由均沿竖向设置的多个支撑柱132和水平设置的第一平板131组成，多个支撑柱132两两对称设于第一平板131的底端上，且承载平板11通过多个紧固件12与述一平板可调节连接。

具体的，第一平板131与承载平板11相互平行且水平设置，且二者之间留有间隙并通过多个紧固件12螺纹连接，以形成双层承载板，这样，由于第一平板131水平设置，且通过旋转紧固件12相同的圈数，便能够初步调平承载平板11，使承载平板11达到水平方向的调平，提高初步调平操作的便捷性和精准性，以避免承载平板11与探针偏差角度过大而影响后续精准调平；另外，四个支撑柱132分别沿竖向设置在第一平板131的四角，以将双层承载板稳固地架设在地面上，保证三维机械扫描平台1具有较高的机械强度和结构稳定性，以保证样品安装的稳定性，且还可满足质量较大的样品池的和较为复杂的除氧装置的安装需求。

可选的，多个支撑柱132与地面之间设有垫板133，这样，垫板133可增加支撑柱132底部与地面接触面积，以提高支撑住的稳定性，以及减少地面震动能量向支撑柱132的传递，减少对支撑杆的晃动和损害，以避免双层承载板上的样品发生晃动而影响成像精度。

当本申请联用侧位显微镜5和倒置显微镜7时，一体化设置的压电位移平台2和三维位移平台3放置于三维机械扫描平台1的前侧，三维机械扫描平台1的左侧或右侧放置侧位显微镜5，三维机械扫描平台1需夹置于倒置显微镜7的物镜和照明系统之间，在电化学扫描成像时，由于倒置显微镜7上方的照明系统和其下方的物镜均固定设置，故待测样品固置于承载平台上后，还需水平移动承载平台，以将样品移动于照明系统与物镜之间。

由此，请参考图2，支撑构件13优选为由支撑件136、均设于支撑件136上的第二驱动构件135和第二平板134组成，第二平板134水平设置，且承载平板11通过多个紧固件12与第二平板134可调节连接，第二驱动构件135与第二平板134传动连接，用于带动承载平板11水平移动。

具体的，第二平板134与承载平板11相互平行且水平设置，且二者之间留有间隙并通过多个紧固件12螺纹连接，以形成双层承载板，从而提高初步调平操作的便捷性和精准性，以避免承载平板11与探针偏差角度过大而影响后续精准调平；且第二平板134与支撑件136之间设置第二驱动构件135，第二驱动构件135与第二平板134传动连接，以带动双层承载板在XY轴方向进行移动，进而带动样品沿XY轴方向移动至倒置显微镜7的照明系统与物镜之间。

可选的，支撑件136呈工字形状，并沿竖向设置，可增强支撑件136的承载能力，从而提高三维机械扫描平台1的机械强度和结构稳定性，进而满足质量较大的样品池的和较为复杂的除氧装置的安装需求。

另外，上述第二驱动构件135包括第二前后驱动组件、第二左右驱动组件；第二前后驱动组件包括第四滑块135-1和沿承载平板11的前后方向设置的第四旋转轴135-2，第四滑块135-1可滑动设于支撑件136上，第四旋转轴135-2与第四滑块135-1螺纹连接；第二左右驱动组件包括第五滑块135-3和沿承载平板11的左右方向设置的第五旋转轴135-4，第五滑块135-3可滑动设于第四滑块135-1上，第五旋转轴135-4与第五滑块135-3螺纹连接。

具体的，支撑件136的顶端面与第二平板134的底端面之间依次设置第二前后驱动组件设置和第二左右驱动组件，其中第二前后驱动组件包括第四滑块135-1和第四旋转轴135-2，第四滑块135-1沿Y轴方向滑动设置在支撑件136的顶端面上，第四旋转轴135-2沿Y轴方向插设于第四滑块135-1中并与其螺纹连接；第二左右驱动组件包括第五滑块135-3和第五旋转轴135-4，第五滑块135-3沿X轴方向滑动设置在第四滑块135-1的顶端面与第二平板134的底端面之间，第五旋转轴135-4沿X轴方向插设于第五滑块135-3中并与其螺纹连接。这样，当需要沿Y轴方向调节样品位置时，向前旋入第四旋转轴135-2，双层承载板整体向前移动，以带动样品向前移动，而向后旋出第四旋转轴135-2，双层承载板整体向后移动，以带动样品向后移动；当需要沿X轴方向调节样品位置时，向左旋入第五旋转轴135-4，双层承载板整体向左移动，以带动样品向左移动，而向后旋出第五旋转轴135-4，双层承载板整体向右移动，以带动样品向右移动，从而通过控制第四旋转轴135-2和第五旋转轴135-4可实现样品水平移动，保证样品置于倒置显微镜7的成像视野中。另外，第二前后驱动组件和第二左右驱动组件紧凑设置，使得第二驱动构件135的结构紧凑，节省安装空间。需要说明的是，上述第四滑块135-1的底端面与支撑件136的顶端面之间、第四滑块135-1的顶端面与第五滑块135-3的底端面之间以及第五滑块135-3的顶端面与第二平板134的底端面之间的滑动连接方式均采用滑轨和滑槽相互配合。

可选的，第四旋转轴135-2和第五旋转轴135-4均可连接驱动电机，且驱动电机与控制单元信号连接，以实现远程自动化控制样品水平位置的调节，且省时省力。

进一步地，请参考图2，承载平板11的前侧设有开口137，用于兼容倒置显微镜7，使得位于承载平板11上方的照明系统照射样品，以及位于承载平板11的下方物镜观察样品。

在上述实施例的基础上，请参考图1和图2，压电位移驱动器21的驱动端连接有探针支架22，探针通过螺栓固定于探针支架22中，以提高探针的结构稳固性，同时便于探针的拆装。

在上述实施例的基础上，请参考图3，第一驱动构件31包括支撑架311和均设于支撑架311上的竖向驱动组件、第一前后驱动组件及第一左右驱动组件；第一左右驱动组件包括第一滑块312和沿承载平板11的左右方向设置的第一旋转轴313，第一滑块312可滑动设于支撑架311的底部，第一旋转轴313与第一滑块312螺纹连接；第一前后驱动组件包括第二滑块314和沿承载平板11的前后方向设置的第二旋转轴315，第二滑块314可滑动设于第一滑块312上，第二旋转轴315与第二滑块314螺纹连接；竖向驱动组件包括均沿竖向设置的第三滑块316和第三旋转轴317，第三滑块316可滑动设于支撑架311的顶部，第三旋转轴317与第三滑块316螺纹连接。

具体的，支撑架311由支撑部311-1和安装部311-2组成，支撑部311-1呈工字形状，安装部311-2呈L形状，支撑部311-1沿竖向设置在地面，第一左右驱动组件和第一前后驱动组件依次堆叠在支撑部311-1上，安装部311-2设置在第一前后驱动组件上，竖向驱动组件滑动设置在安装部311-2上，以保证第一驱动构件31的结构稳定性。其中第一左右驱动组件由第一滑块312和第一旋转轴313组成，第一滑块312沿X轴方向滑动设置在支撑部311-1的顶端面上，第一旋转轴313沿X轴方向插入第一滑块312中并与其螺纹连接，第一前后驱动组件由第二滑块314和第二旋转轴315组成，第二滑块314沿Y轴方向滑动设置在第一滑块312的顶端面上，第二旋转轴315沿Y轴方向插入第二滑块314中并与其螺纹连接，L形安装部311-2的横端固定在第二滑块314的顶端面上，竖向驱动组件由第三滑块316和第三旋转轴317组成，第三滑块316沿Z轴方向滑动设置在L形安装部311-2的竖直端，第三旋转轴317沿Z轴方向插入第三滑块316并与其螺纹连接。需要说明的是，压电位移驱动器21通过连接板32与第三滑块316连接，以实现压电位移平台2与三维位移平台3结构一体化。

上述结构在使用时，沿X轴方向控制第一旋转轴313的旋入或旋出，可带动竖向驱动组件、第一前后驱动组件及第一左右驱动组件整体沿X轴方向移动，以实现探针沿X轴方向移动；沿Y轴方向控制第二旋转轴315的旋入或旋出，可带动竖向驱动组件和第一前后驱动组件沿Y轴方向移动，以实现探针沿Y轴方向移动；沿Z轴方向控制第三旋转轴317的旋入或旋出，可带动竖向驱动组件沿Z轴方向移动，以实现探针沿Z轴方向移动。因而，第一驱动构件31采用上述结构，可实现探针进行大幅度的三维位移，操作简单便捷，以及第一驱动构件31结构紧凑，节省安装空间。

可选的，第一旋转轴313、第二旋转轴315和第三旋转轴317均可连接驱动电机，且驱动电机与控制单元信号连接，以实现远程自动化对探针的位置进行大幅度调节，省时省力。

本申请在使用时，由于承载平板11通过支撑构件13架设在地面上，故三维机械扫描平台1的周向和上下侧具有用于放置不同种类显微镜的空间，使得一体化设置的压电位移平台2和三维位移平台3放置于三维机械扫描平台1的前侧，而三维机械扫描平台1的左右两侧可分别放置侧位显微镜5和卧式显微镜6，或者三维机械扫描平台1的一侧放置侧位显微镜5，三维机械扫描平台1的下方和上方分别放置倒置显微镜7的物镜和照明系统，以使本申请与多种类型显微镜联用，适用于多场景电化学成像，从而满足多种类材料多角度成像的需求。

另外，不同的样品完成多个扫描电化学显微镜联用安装后，具体电化学成像的操作为：第一、初步调平承载平板11，具体为承载平板11与支撑构件13通过多个紧固件12螺纹连接，每个紧固件12对应一个调平点，多个调平点呈正三角形或正四边形分布，多个紧固件12旋转相同圈数，承载平板11达到水平方向的调平；第二、安装待测样品，具体为待测样品固定在承载平板11上，将探针与扫描电化学显微镜的电极相连接；第三、调节显微镜，使得探针和待测样品在显微镜下能够清晰地呈现在视野中；第四、粗调探针位置，具体为通过三维位移平台3的第一驱动构件31带动压电位移平台2在XYZ轴方向上的移动，以带动压电位移平台2上的探针移动到待测样品上的设定位置；第五、精准调平承载平板11，具体为在待测样品表面选择呈正三角形分布的三个检测点，或者呈正四边形分布的四个检测点，通过压电位移平台2的压电位移驱动器21带动探针沿多个检测点分别渐进，压电位移驱动器21同时起到感应器作用，得到不同渐近距离参数并传送给控制器，控制器根据获取的渐进距离参数计算偏差角度，最后根据偏差角度手动调整调平点处的紧固件12旋紧度，以调节承载平板11的水平面与Z轴之间的相对角度，保证探针与承载平板11相对水平，以实现承载平板11的精准调平；第六、完成调平后，通过控制器控制压电位移驱动器21带动探针在XYZ轴方向上的纳米级移动，以实现样品在纳米尺度上的电化学扫描成像。

综上所述，本申请具有以下有益效果：其一、可联用多种类型显微镜如侧位显微镜5、倒置显微镜7、卧式显微镜6，适用于多场景电化学成像，从而满足多种类材料多角度成像的需求；其二、多个紧固件12采用正三角形或正四边形的设计，使每个调平点的调节起伏对承载平板11的影响相似度更高，再根据精准检测计算出的承载平板11与探针的偏差角度，手动调整调平点处的紧固件12旋紧度，以保证探针与承载平板11相对水平，从而实现承载平板11的精准调平，增大成像范围，提高扫描成像精确度；其三、待测样品可进行360°旋转，以调节样品成像方位达到多角度成像的目的；其四、三维机械扫描平台1具有较高的机械强度和稳定性，以满足电化学成像的更多使用场景。

需要说明的是，在本说明书中，诸如第一和第二之类的关系术语仅仅用来将一个实体与另外几个实体区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体之间存在任何这种实际的关系或者顺序。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。

以上对本发明所提供的用于超分辨电化学扫描成像的多功能样品台进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以对本发明进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本发明权利要求的保护范围内。