固化性树脂组合物、图案及显示装置

技术领域

本发明涉及能够低温固化和光聚合的固化性树脂组合物、由上述固化性树脂组合物形成的图案以及包含上述图案的显示装置。

背景技术

显示器领域中，固化性树脂组合物用于形成光致抗蚀剂、绝缘膜、保护膜、黑矩阵、柱状间隔物等多种多样的固化图案。具体而言，利用光刻工序将固化性树脂组合物选择性曝光和显影而形成期望的图案，该过程中，为了提高工序上的收率、且提高应用对象的物性，要求具有高灵敏度的固化性树脂组合物。固化性树脂组合物根据固化机理可以分为热固化性和光固化性(感光性)。

光固化性树脂组合物的图案形成依靠由光刻、即光反应引起的高分子的极性变化以及交联反应。尤其利用曝光后对于碱水溶液等溶剂的溶解性的变化特性。

利用光固化性树脂组合物的图案形成根据所感光的部分对于显影的溶解度分为正型和负型。正型光致抗蚀剂是曝光的部分被显影液溶解，负型光致抗蚀剂是曝光的部分不溶于显影液、非曝光部分溶解而形成图案的方式，正型和负型所使用的粘合剂树脂、交联剂等彼此不同。

近年来，具备触摸面板的触摸屏的使用呈爆发式增长，最近柔性触摸屏受到极大关注。因此，作为触摸屏中所使用的各种基板等的材料，应当具备柔性特性，由此发生可使用的材料也被限制为柔性的高分子材料，制造工序同样被要求在更加温和的条件下进行。因此，热固化性树脂组合物的固化条件从以往的高温固化转向低温固化的必要性也凸显出来，但低温固化存在反应性下降、所形成的图案的耐久性、耐化学试剂性降低的问题。

为此，近年来，进行了大量针对柔性(flexible)显示器的研究，韩国注册专利第10-1464312号公开了一种能够进行低温固化的感光性树脂组合物，但是没有公开小于100℃时的固化，因而存在以下问题：在高分子化合物、聚合物等柔性基板上、特别是在下部层存在有机物层的基板上形成图案时无法使用。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：韩国注册专利第10-1464312号

发明内容

本发明的目的在于，提供一种固化性树脂组合物，其曝光部和非曝光部在显影工序中表现出显影速度之比，从而因优异的对比度而分明，对于光固化后形成的图案，由于在热固化工序温度具有合适的软化点的碱溶性树脂和多官能环氧低聚物而热固化反应容易进行，从而能够制造耐化学试剂性优异的图案。

解决课题的方法

为了实现上述目的，本发明提供一种固化性树脂组合物，其包含碱溶性树脂(A)、光聚合性不饱和单体(C)、光聚合引发剂(D)以及溶剂(E)，上述碱溶性树脂(A)包含以下化学式1的构成单元(a-1)以及以下化学式3的构成单元(a-2)：

[化学式1]

上述化学式1中，R

[化学式2]

上述化学式2中，R

[化学式3]

上述化学式3中，R

此外，本发明提供由上述固化性树脂组合物形成的图案以及包含上述图案的显示装置。

发明效果

本发明的固化性树脂组合物的曝光部和非曝光部在显影工序中表现出显影速度之比，从而因优异的对比度而分明，对于光固化后形成的图案，由于在热固化工序温度具有合适的软化点的碱溶性树脂和多官能环氧低聚物而热固化反应容易进行，从而能够制造低温下密合性和固化密度也提高、且对于剥离液不发生表面损伤或溶胀、膜收缩的光固化性和热固化性图案。

此外，本发明的固化性树脂组合物在小于100℃的温度下也能够进行固化，从而对于后工序中所使用的剥离液表现出优异的耐化学试剂性。

具体实施方式

本发明提供固化性树脂组合物、由上述固化性树脂组合物形成的图案以及包含上述图案的显示装置，上述固化性树脂组合物包含含有两种特定构成单元的碱溶性树脂(A)、多官能环氧低聚物(B)、3官能以上的光聚合性不饱和单体(C)、光聚合引发剂(D)以及溶剂(E)。

本发明能够提供一种固化性树脂组合物，其曝光部和非曝光部在显影工序中表现出显影速度之比，从而因优异的对比度而分明，对于光固化后形成的图案，由于在热固化工序温度具有合适的软化点的碱溶性树脂和多官能环氧低聚物而热固化反应容易进行，从而能够制造具有更加改善了的耐化学试剂性的图案。具体而言，本发明的固化性树脂组合物的特征在于，能够在80℃～230℃进行固化，尤其能够在80℃～100℃的温度进行固化。由此，在柔性高分子材料的基板上形成图案时具有能够提高图案的耐化学试剂性的优点。

<固化性树脂组合物>

本发明的固化性树脂组合物包含碱溶性树脂(A)、光聚合性不饱和单体(C)以及光聚合引发剂(D)，视需要可以进一步包含多官能环氧低聚物(B)、溶剂(E)和/或添加剂(F)。

此外，对于本发明的固化性树脂组合物而言，在包含多官能环氧低聚物(B)的情况下，上述碱溶性树脂(A)、上述多官能环氧低聚物(B)以及上述光聚合性不饱和单体(C)的重量比可以为1:0.1:1～1:0.5:2，优选为1:0.1:1.1～1:0.3:1.5。在以上述重量比包含的情况下，能够在光固化后在显影液中形成优异的图案且能够形成在后工序中对于剥离液不发生表面损伤或溶胀、膜收缩的图案。

以下，按照构成分别说明本发明的固化性树脂组合物所包含的构成。

碱溶性树脂(A)

本发明中，碱溶性树脂(A)是赋予对于形成图案时的显影处理工序中所使用的碱显影液的可溶性的成分，包含以下化学式1的构成单元(a-1)和以下化学式3的构成单元(a-2)。

本发明的碱溶性树脂(A)中所包含的构成单元(a-1)如下：

[化学式1]

上述化学式1中，R

[化学式2]

上述化学式2中，R

一实施例中，作为用于衍生上述构成单元(a-1)的化合物，例如可以为甲基丙烯酸异癸酯、甲基丙烯酸异冰片酯、甲基丙烯酸异丁酯、甲基丙烯酸异辛酯、丙烯酸异癸酯、丙烯酸异冰片酯等，但不限定于此。

本发明的碱溶性树脂(A)中所包含的构成单元(a-2)如下：

[化学式3]

上述化学式3中，R

一实施例中，作为用于衍生上述构成单元(a-2)的化合物，例如，可以举出丙烯酸、(甲基)丙烯酸、巴豆酸等单羧酸；或马来酸、富马酸、柠康酸、中康酸、衣康酸等二羧酸等，用于衍生上述构成单元(a-2)的酸酐可以为上述二羧酸的酸酐。其中，从共聚反应性、所得的树脂的碱溶性、获取的容易性等方面考虑，优选为(甲基)丙烯酸和马来酸酐。用于衍生这样的构成单元(a-2)的化合物可以单独使用或两种以上组合使用。

此外，本发明的碱溶性树脂(A)可以进一步包含选自如下构成单元中的一种以上构成单元：衍生自具有环氧基的不饱和化合物的构成单元(a-3)、衍生自具有脂环式环氧基的不饱和化合物的构成单元(a-4)以及衍生自具有芳香族基的不饱和化合物构成单元(a-5)。

作为上述用于衍生构成单元(a-3)的具有环氧基的不饱和化合物，只要是含有环氧基的不饱和化合物就没有特别限定，作为上述用于衍生构成单元(a-4)的具有脂环式环氧基的不饱和化合物，只要是含有脂环式环氧基的化合物就没有特别限定。构成脂环式环氧基的脂环式基可以为单环或多环，作为单环的脂环式基，可以举出环戊基、环己基等。此外，作为多环的脂环式基，可以举出降冰片基、异冰片基、三环壬基、三环癸基、四环十二烷基等。

具体而言，作为上述用于衍生构成单元(a-3)的具有环氧基的不饱和化合物，优选为具有缩水甘油基和乙烯性不饱和键的单体，例如，可以为(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸β甲基缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸β乙基缩水甘油酯、缩水甘油基乙烯基醚、邻乙烯基苄基缩水甘油基醚、间乙烯基苄基缩水甘油基醚、对乙烯基苄基缩水甘油基醚、α-甲基-邻乙烯基苄基缩水甘油基醚、α-甲基-间乙烯基苄基缩水甘油基醚、α-甲基-对乙烯基苄基缩水甘油基醚、2,3-双(缩水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2,4-双(缩水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2,5-双(缩水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2,6-双(缩水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2,3,4-三(缩水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2,3,5-三(缩水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2,3,6-三(缩水甘油基氧基甲基)苯乙烯、3,4,5-三(缩水甘油基氧基甲基)苯乙烯以及2,4,6-三(缩水甘油基氧基甲基)苯乙烯等，但不限于此。

例如，作为用于衍生构成单元(a-4)的具有脂环式环氧基的不饱和化合物，可以举出1,2-环氧-4-乙烯基环己烷、3,4-环氧环己基甲基(甲基)丙烯酸酯、3,4-环氧环己基甲基(甲基)丙烯酸酯等，但不限于此。

作为上述用于衍生构成单元(a-5)的具有芳香族基的不饱和化合物，只要是含有芳香族基的不饱和化合物就没有特别限定。芳香族基可以为单环或多环，且可以为取代或非取代的芳香族基。作为芳香族基，可以举出苯基、萘基、联苯基、蒽基、菲基、吡啶基、呋喃基、噻吩基、咪唑基、吡唑基、

例如，作为上述用于衍生构成单元(a-5)的具有芳香族基的不饱和化合物，可以为苯乙烯、α-甲基苯乙烯、间甲基苯乙烯、对甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、对甲氧基苯乙烯等含乙烯基的芳香族化合物等，但不限于此。

例举一实施例，上述碱溶性树脂(A)中，以上述构成单元(a-1)、上述构成单元(a-2)以及选自上述(a-3)～(a-5)中的一种以上构成单元的合计100重量份为基准，可以以10:5:85～40:20:40的重量比包含上述构成单元(a-1):上述构成单元(a-2):选自上述(a-3)～(a-5)中的一种以上的构成单元，优选可以以20:10:70～40:20:40的重量比包含。在以上述重量比包含上述构成单元(a-1):上述构成单元(a-2):选自上述(a-3)～(a-5)中的一种以上构成单元的情况下，可以具有以下优点：非曝光部中的优异的碱溶性以及热固化后形成的涂膜会形成对于剥离液不发生表面损伤或溶胀、膜收缩的图案。

例举一实施例，上述碱溶性树脂(A)的重均分子量可以为3,000～30,000，优选可以为3,000～15,000。在上述碱溶性树脂(A)的重均分子量处于上述范围内的情况下，可以具有未曝光部在显影液中表现出优异的溶解性的优点。

相对于上述固化性树脂组合物的全部固体成分，上述碱溶性树脂(A)的含量可以为30～50重量％，优选可以为35～45重量％。在含量处于上述范围内的情况下，显影液中的溶解性充分而显影性变佳，图案的机械物性可以提高。

多官能环氧低聚物(B)

本发明的固化性树脂组合物视需要可以进一步包含多官能环氧低聚物(B)。

本发明中，多官能环氧低聚物(B)是促进上述碱溶性树脂(A)的聚合反应、且诱导交联形成的成分，只要是包含环氧基的多官能低聚物就没有特别限定。

例举一实施例，上述多官能环氧低聚物(B)可以包含三苯基甲烷结构。

由于上述多官能环氧低聚物(B)的环氧基开环，促进上述碱溶性树脂(A)的聚合反应，因此环氧基优选包含在低聚物的重复单元内，由此能够将反应促进效果最大化。

例举一实施例，上述多官能环氧低聚物(B)通过环球法测定的软化点可以为100℃以下，优选可以为50℃以上100℃以下，更优选可以为60℃以上100℃以下，环氧当量(EEW)可以为250g/eq.以下。在软化点处于上述范围内的情况下，可以具有热固化工序中反应容易进行的优点，在环氧当量处于上述范围内的情况下，可以具有表现出高固化密度的优点。

相对于组合物中固体成分总重量，上述多官能环氧低聚物(B)的含量可以为1～20重量％，优选可以为5～10重量％。在含量处于上述范围内的情况下，可以在热工序后表现出高固化密度。

光聚合性不饱和单体(C)

本发明中，光聚合性不饱和单体(C)是能够通过后述的光聚合引发剂(D)的作用而聚合的化合物，是提高交联密度、增强图案的机械特性的成分，可以无特别限制地使用本领域中使用的物质。

从光固化后曝光部表现出对于下部基材的优异的密合力的方面考虑，本发明的光聚合性不饱和单体优选为3官能以上，更优选为3～6官能。

上述3官能以上的多官能单体例如可以举出三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等。

相对于组合物中固体成分总重量，上述3官能以上的光聚合性不饱和单体(C)的含量可以为30～70重量％，优选可以为40～50重量％。在含量处于上述范围内的情况下，能够提高图案的耐久性和组合物的显影性。

光聚合引发剂(D)

本发明中，光聚合引发剂(D)只要能够使上述光聚合性不饱和单体(C)聚合，则可以不特别限制其种类地使用。

例举一实施例，上述光聚合引发剂(D)可以包含选自由苯乙酮系化合物、二苯甲酮系化合物、三嗪系化合物、联咪唑系化合物、噻吨酮系化合物以及肟酯系化合物组成的组中的至少一种化合物。

相对于组合物中固体成分总重量，上述光聚合引发剂(D)的含量可以为1～10重量％，优选可以为2～8重量％。在含量处于上述范围内的情况下，能够提高图案的强度和直进性。

上述光聚合引发剂(D)也可以组合使用光聚合引发助剂。如果将光聚合引发助剂与上述光聚合引发剂(D)并用，则含有它们的固化性树脂组合物达到更高灵敏度，使用其形成盒厚(cell gap)维持用支撑间隔物时生产率提高，因此优选。

上述光聚合引发助剂可以为了提高聚合效率而使用，可以使用选自由胺系化合物、烷氧基蒽系化合物、噻吨酮系化合物、羧酸和磺酸化合物组成的组中的一种以上化合物，优选可以选自由羧酸和磺酸化合物组成的组。

上述光聚合引发助剂优选以每1摩尔光聚合引发剂计通常在10摩尔以下、优选在0.01～5摩尔的范围内使用。在上述范围内使用光聚合引发助剂的情况下，能够提高聚合效率而期待生产率提高效果。

溶剂(E)

本发明中，溶剂(E)可以无特别限制地使用本领域中通常使用的有机溶剂。作为上述溶剂(E)，可以举出醚类、乙酸酯类、芳香族烃类、酮类、醇类以及酯类等，可以从其中选择一种以上使用，但不限定于此。

上述溶剂(E)的含量可以是使组合物总重量成为100重量％的余量。具体而言，本发明中，“余量”的含义是使包含本发明的必要成分及其追加成分的组合物的总重量成为100重量％的余量，不会因为上述“余量”的含义而限定本发明的组合物不包含追加成分。

例举一实施例，相对于组合物总重量，上述溶剂(E)的含量可以为60～90重量％，优选可以为70～85重量％。在上述溶剂(E)的含量处于上述范围内的情况下，利用辊涂机、旋涂机、狭缝式旋涂机、狭缝涂布机(有时也称为模涂机)、喷墨打印机等涂布装置进行涂布时，具有涂布性变佳的倾向，因此优选。

添加剂(F)

本发明的固化性树脂组合物除了上述成分以外在不损害本发明的目的的范围内可以根据本领域技术人员的需要进一步包含添加剂(G)。

上述添加剂(F)可以包含选自由例如抗氧化剂、表面活性剂、3官能以上的氧阻聚抑制剂等组成的组中的一种以上。

上述添加剂(F)可以在不损害本发明的效果的范围内由本领域的技术人员适当追加使用。比如，相对于固化性树脂组合物整体100重量份，上述添加剂(F)可以以0.05～10重量份、优选以0.1～10重量份、更优选以0.1～5重量份使用，但不限定于此。

<图案>

本发明的图案除了由上述固化性树脂组合物形成以外可以通过本技术领域已知的方法来制造。

例举一实施例，上述图案可以为选自由阵列平坦化膜图案、保护膜图案、绝缘膜图案、光致抗蚀剂图案、黑矩阵图案、柱状间隔物图案以及黑色柱状间隔物图案组成的组中的图案。

<显示装置>

本发明的显示装置除了包含上述图案以外包含本技术领域已知的构成，作为具体例，可以举出液晶显示装置、OLED、柔性显示器、电致发光显示装置、等离子体显示装置、场发射显示装置等，但不限定于此。

以下，利用实施例和比较例来更加详细地说明本发明。但是，以下实施例用于例示本发明，本发明不受这些实施例的限定，可以进行多种多样的修改以及变更。

合成例1：碱溶性树脂(A-1)的合成

在具备搅拌机、温度计、回流冷凝管、滴液漏斗和氮气导入管的烧瓶中投入丙二醇单甲基醚乙酸酯120g、丙二醇单甲基醚80g、2,2'-偶氮二异丁腈2g、甲基丙烯酸异癸酯10g、丙烯酸5g、甲基丙烯酸缩水甘油酯35g、乙烯基甲苯50g、正十二烷硫醇3g并进行氮气置换。

之后搅拌，将反应液的温度升至70℃并反应8小时。这样合成的碱溶性树脂的固体成分酸值为58㎎KOH/g，由GPC测定的重均分子量Mw为约7,450。

合成例2：碱溶性树脂(A-2)的合成

在具备搅拌机、温度计、回流冷凝管、滴液漏斗和氮气导入管的烧瓶中投入丙二醇单甲基醚乙酸酯120g、丙二醇单甲基醚80g、2,2'-偶氮二异丁腈2g、甲基丙烯酸异癸酯25g、丙烯酸12.5g、甲基丙烯酸缩水甘油酯35g、乙烯基甲苯27.5g、正十二烷硫醇3g并进行氮气置换。

之后搅拌，将反应液的温度升至70℃并反应8小时。这样合成的碱溶性树脂的固体成分酸值为74㎎KOH/g，由GPC测定的重均分子量Mw为约8,015。

合成例3：碱溶性树脂(A-3)的合成

在具备搅拌机、温度计、回流冷凝管、滴液漏斗和氮气导入管的烧瓶中投入丙二醇单甲基醚乙酸酯120g、丙二醇单甲基醚80g、2,2'-偶氮二异丁腈2g、甲基丙烯酸异癸酯40g、丙烯酸20g、甲基丙烯酸缩水甘油酯35g、乙烯基甲苯5g、正十二烷硫醇3g并进行氮气置换。

之后搅拌，将反应液的温度升至70℃并反应8小时。这样合成的碱溶性树脂的固体成分酸值为95㎎KOH/g，由GPC测定的重均分子量Mw为约8,174。

合成例4：碱溶性树脂(A-4)的合成

使用甲基丙烯酸异冰片酯来代替甲基丙烯酸异癸酯，除此以外，与合成例2同样地进行反应。这样合成的碱溶性树脂的固体成分酸值为77㎎KOH/g，由GPC测定的重均分子量Mw为约8,205。

合成例5：碱溶性树脂(A-5)的合成

使用甲基丙烯酸异丁酯来代替甲基丙烯酸异癸酯，除此以外，与合成例2同样地进行反应。这样合成的碱溶性树脂的固体成分酸值为81㎎KOH/g，由GPC测定的重均分子量Mw为约8,019。

合成例6：碱溶性树脂(A-6)的合成

使用甲基丙烯酸异辛酯来代替甲基丙烯酸异癸酯，除此以外，与合成例2同样地进行反应。这样合成的碱溶性树脂的固体成分酸值为87㎎KOH/g，由GPC测定的重均分子量Mw为约7,812。

合成例7：碱溶性树脂(A-7)的合成

使用丙烯酸异癸酯来代替甲基丙烯酸异癸酯，除此以外，与合成例2同样地进行反应。这样合成的碱溶性树脂的固体成分酸值为83㎎KOH/g，由GPC测定的重均分子量Mw为约8,472。

合成例8：碱溶性树脂(A-8)的合成

使用丙烯酸异冰片酯来代替甲基丙烯酸异癸酯，除此以外，与合成例2同样地进行反应。这样合成的碱溶性树脂的固体成分酸值为82㎎KOH/g，由GPC测定的重均分子量Mw为约8,472。

合成例9：碱溶性树脂(A-9)的合成

在具备搅拌机、温度计、回流冷凝管、滴液漏斗和氮气导入管的烧瓶中投入丙二醇单甲基醚乙酸酯120g、丙二醇单甲基醚80g、2,2'-偶氮二异丁腈2g、甲基丙烯酸异癸酯25g、丙烯酸12.5g、甲基丙烯酸缩水甘油酯25g、3,4-环氧环己基甲基(甲基)丙烯酸酯25g、乙烯基甲苯12.5g、正十二烷硫醇3g并进行氮气置换。

之后搅拌，将反应液的温度升至70℃并反应8小时。这样合成的碱溶性树脂的固体成分酸值为77㎎KOH/g，由GPC测定的重均分子量Mw为约8,310。

合成例10：碱溶性树脂(A-10)的合成

在具备搅拌机、温度计、回流冷凝管、滴液漏斗和氮气导入管的烧瓶中投入丙二醇单甲基醚乙酸酯120g、丙二醇单甲基醚80g、2,2'-偶氮二异丁腈2g、丙烯酸12.5g、甲基丙烯酸缩水甘油酯35g、乙烯基甲苯52.5g、正十二烷硫醇3g并进行氮气置换。

之后搅拌，将反应液的温度升至70℃并反应8小时。这样合成的碱溶性树脂的固体成分酸值为83㎎KOH/g，由GPC测定的重均分子量Mw为约8,246。

合成例11：碱溶性树脂(A-11)的合成

使用甲基丙烯酸甲酯来代替甲基丙烯酸异癸酯，除此以外，与合成例2同样地进行反应。这样合成的碱溶性树脂的固体成分酸值为83㎎KOH/g，由GPC测定的重均分子量Mw为约8,741。

合成例12：碱溶性树脂(A-12)的合成

使用甲基丙烯酸乙酯来代替甲基丙烯酸异癸酯，除此以外，与合成例2同样地进行反应。这样合成的碱溶性树脂的固体成分酸值为87㎎KOH/g，由GPC测定的重均分子量Mw为约7,794。

合成例13：碱溶性树脂(A-13)的合成

使用甲基丙烯酸己酯来代替甲基丙烯酸异癸酯，除此以外，与合成例2同样地进行反应。这样合成的碱溶性树脂的固体成分酸值为988㎎KOH/g，由GPC测定的重均分子量Mw为约8,127。

合成例14：碱溶性树脂(A-14)的合成

使用丙烯酸甲酯来代替甲基丙烯酸异癸酯，除此以外，与合成例2同样地进行反应。这样合成的碱溶性树脂的固体成分酸值为87㎎KOH/g，由GPC测定的重均分子量Mw为约8,343。

参照以下表1中记载的组成和重量份，制造实施例和比较例的固化性树脂组合物。

具体而言，作为碱溶性树脂(A)，分别使用上述合成例1～14中制造的A-1～A-14，作为多官能环氧低聚物(B)，使用EPICLON EXA-7241(DIC公司)，作为光聚合性不饱和化合物(C)，使用二季戊四醇六丙烯酸酯(KAYARAD DPHA：日本化药(株)制造)。

[表1]

1)碱溶性树脂(A)A-1～A-14：合成例1～14的碱溶性树脂A-1～A-141-1)碱溶性树脂的构成单元(a-1)：

-IDMA：甲基丙烯酸异癸酯(Isodecyl methacrylate，奥德里奇(Aldrich)公司)

-IBoMA：甲基丙烯酸异冰片酯(Isobornyl methacrylate，奥德里奇公司)

-IBMA：甲基丙烯酸异冰片酯(Isobutyl methacrylate，TCI公司)

-IOMA：甲基丙烯酸异辛酯(Isooctyl methacrylate，阿法埃莎(ALFA)公司)

-IDA：丙烯酸异癸酯(Isodecyl acrylate，TCI公司)

-IBoA：丙烯酸异冰片酯(Isobornyl acrylate，TCI公司)

-MMA：甲基丙烯酸甲酯(Methyl methacrylate，奥德里奇公司)

-EMA：甲基丙烯酸乙酯(Ethyl methacrylate，奥德里奇公司)

-HMA：甲基丙烯酸己酯(Hexyl methacrylate，奥德里奇公司)

-MA：丙烯酸甲酯(Methyl acrylate，奥德里奇公司)

1-2)碱溶性树脂的构成单元(a-2)：丙烯酸(TCI公司)

1-3)碱溶性树脂的构成单元(a-3)：甲基丙烯酸缩水甘油酯(奥德里奇公司)

1-4)碱溶性树脂的构成单元(a-4)：3,4-环氧环己基甲基丙烯酸酯(阿法埃莎公司)

1-5)碱溶性树脂的构成单元(a-5)：乙烯基甲苯(TCI公司)

2)A:B:C重量比＝碱溶性树脂(A):多官能环氧低聚物(B):光聚合性不饱和化合物(C)的重量比

将5×5cm的玻璃基板(Eagle 2000；康宁公司制造)用中性洗涤剂、水和乙醇依次清洗后干燥。在该玻璃基板上分别旋涂上述实施例和比较例中制造的固化性树脂组合物，然后利用加热板(Hot plate)在80℃前烘120秒。将上述前烘后的基板冷却至常温后，与石英玻璃制光掩模的间隔设为50μm，利用曝光机(MA6；Karl suss(株)制造)以30mJ/cm

(1)图案的显影性评价

利用光学显微镜来评价孔(Hole)图案中留有残渣的情况。

<评价基准>

无残渣：O

有残渣：X

(2)耐化学试剂性密合性评价

将图案在NMP水溶液中分别浸渍6分钟后，通过线条和间隙掩模图案的密合的最小面积进行评价。

<评价基准>

10：最小密合线条图案掩模宽度为10μm

20：最小密合线条图案掩模宽度为20μm

30：最小密合线条图案掩模宽度为30μm

40：最小密合线条图案掩模宽度为40μm

X：发生剥离

(3)膜收缩评价

评价图案在NMP水溶液中分别浸渍6分钟前、后的图案的厚度变化。

<评价基准>

◎：膜厚度变化小于1％

○：膜厚度变化为1％以上且小于2％

△：膜厚度变化为2％以上且小于5％

X：膜厚度变化为5％以上

[表2]

参照上述表2，可以确认到使用包含本发明的构成单元的碱溶性树脂的固化性树脂组合物的情况下，在显影性、密合性(耐化学试剂性)以及膜收缩评价中均显示出优异的性能。另一方面，没有使用本发明的碱溶性树脂的比较例1～6以及虽使用本发明的碱溶性树脂但不包含多官能环氧低聚物或光聚合性不饱和化合物的比较例7和8的情况下，在显影性、密合性(耐化学试剂性)以及膜收缩评价中显示出不佳的性能。