电压源与测量电路及其集成电路测试机

技术领域

本申请涉及集成电路领域，具体而言，涉及一种电压源与测量电路及其集成电路测试机。

背景技术

在集成电路自动化测试领域，通常采用集成电路自动测试机对被测芯片的电压等信息进行测量，然而对被测芯片进行测试时还需要为被测芯片提供电源，而目前的集成电路自动测试机适用性较弱，仅能够实现被测芯片的电压测量的功能无法为被测芯片提供电源。

发明内容

本申请实施例的目的在于提供一种电压源与测量电路及其集成电路测试机，用以解决目前集成电路自动测试机存在的适用性较低的问题。

第一方面，本发明提供一种电压源与测量电路，包括切换单元、电压源与测量单元以及放大单元；该切换单元，用于根据第一控制信号控制放大单元接收电压源与测量单元发送的第一电压信号；放大单元，用于将第一电压信号放大生成第一输出电压信号；电压源与测量单元，用于根据第一输出电压信号对第一电压信号的误差进行补偿；切换单元，还用于根据第二控制信号切换放大单元接收外部传输的第二电压信号；放大单元，还用于将第二电压信号放大生成第二输出电压信号；电压源与测量单元，还用于对第二输出电压信号进行测量。

上述设计的电压源与测量电路，切换单元可在第一控制信号下控制放大单元接收电压源与测量单元发送的第一电压信号并进行放大得到第一输出电压信号从而为外部提供电压；该切换单元可在第二控制信号下切换放大单元接收外部传输的第二电压信号并进行放大得到第二输出电压信号，第二输出电压信号传输给电压源与测量单元实现第二电压信号的测量，即本申请提供了一种电压源和测量电路结构并且可根据情况切换的电路，提高集成电路测试的适用性。

在第一方面的可选实施方式中，电压源与测量单元包括DPS电源子单元和电压转换子单元；DPS电源子单元，用于向电压转换子单元发送第三电压信号；电压转换子单元，用于将第三电压信号转换成第一电压信号，其中，第一电压信号为微伏电压信号。

上述设计的电压源与测量电路，电压转换子单元可将DPS电源子单元传输的第三电压信号转换成微伏级别的第一电压信号，从而实现微伏级别的电压输出，并且通过调节放大单元的放大倍数可将微伏级别的第二电压信号放大到毫伏级别及其以上，从而使得DPS电源子单元可对第二输出电压信号进行测量，实现微伏级别的电压测量，进而提高集成电路自动测试的电源提供精度以及测量精度。

在第一方面的可选实施方式中，DPS电源子单元的电压输出端与电压转换子单元的输入端电连接，电压转换子单元的输出端与切换单元的输入端电连接，切换单元的输出端与放大单元的输入端电连接，放大单元的输出端与DPS电源子单元的检测端电连接。

在第一方面的可选实施方式中，切换单元包括第一可控开关，第一可控开关设置于电压转换子单元的输出端与放大单元的输入端之间；第一可控开关，用于根据第一控制信号控制电压转换子单元的输出端与放大单元的输入端导通，以控制放大单元接收第一电压信号；第一可控开关，还用于根据第二控制信号切换放大单元接收外部的第二电压信号。

在第一方面的可选实施方式中，电压转换子单元包括第一放大器、第二放大器、第一电阻和第二电阻，第一电阻的第一端与DPS电源子单元的电压输出端电连接，第一电阻的第二端连接第二电阻后接地，第一放大器的第一引脚接地，第一放大器的第二引脚和第三引脚悬空，第一放大器的第四引脚与第一电阻的第二端电连接，第一放大器的第五引脚用于接收一负电压信号，第一放大器的第六引脚与第二放大器的输出端电连接，第一放大器的第七引脚通过第一可控开关与放大单元的第一输入端电连接，第一放大器的第八引脚用于接收一正电压信号；第二放大器的正相输入端与放大单元的第二输入端电连接，或接地，第二放大器的反相输入端与第二放大器的输出端电连接。

在第一方面的可选实施方式中，切换单元还包括第二可控开关，第二放大器的正相输入端通过第二可控开关接地，第二放大器的正相输入端与放大单元的第二输入端电连接；第二可控开关，用于根据第三控制信号控制第二放大器的正相输入端与放大单元的第二输入端电连接，以使第二放大器的正相输入端接收一固定电压；第二可控开关，还用于根据第四控制信号切换第二放大器的正相输入端接地。

在第一方面的可选实施方式中，放大单元包括第三放大器、第四放大器、第五放大器、第三电阻、第四电阻、第五电阻、第六电阻、第七电阻、第八电阻以及第九电阻；第三放大器的正相输入端与第一可控开关电连接，第三放大器的输出端与第五电阻的第一端电连接，并通过第八电阻和第九电阻接地，第三放大器的反相输入端与第五电阻的第二端电连接；第五电阻的第二端通过第四电阻与第三电阻的第一端连接，第三电阻的第二端与第四放大器的输出端电连接，第四放大器的反相输入端与第三电阻的第一端连接，第四放大器的正相输入端与第二放大器的正相输入端连接；第四放大器的输出端通过第六电阻与第五放大器的反相输入端连接，并通过第七电阻与第五放大器的输出端连接，第五放大器的正相输入端连接于第八电阻与第九电阻之间，第五放大器的输出端与DPS电源子单元的检测端电连接。

在第一方面的可选实施方式中，第二电阻和第四电阻均为可变电阻，放大单元的放大倍数等于电压转换子单元的分压比值。

在第一方面的可选实施方式中，DPS电源子单元，还用于判断第一输出电压信号与第三电压信号的差值是否在预设差值范围，若否，则调整第三电压信号，直至第一输出电压信号与第三电压信号的最初电压值的差值在预设差值范围为止，以对电压转换子单元的误差进行补偿。

第二方面，本发明提供一种集成电路测试机，该集成电路测试机包括第一方面中任一可选实施方式所述的电压源与测量电路。

上述设计的集成电路测试机，由于其包含第一方面中的电压源与测量电路，因此，集成电路测试机的切换单元可在第一控制信号下控制放大单元接收电压源与测量单元发送的第一电压信号并进行放大得到第一输出电压信号从而为外部提供电压；该切换单元可在第二控制信号下切换放大单元接收外部传输的第二电压信号并进行放大得到第二输出电压信号，第二输出电压信号传输给电压源与测量单元实现第二电压信号的测量，即本申请提供了一种电压源和测量电路结构并且可根据情况切换的电路，提高集成电路测试的适用性。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对本申请实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本申请实施例提供的电压源与测量电路的第一结构示意图；

图2为本申请实施例提供的电压源与测量电路的第二结构示意图；

图3为本申请实施例提供的电压转换子单元的第一结构示意图；

图4为本申请实施例提供的电压转换子单元的第二结构示意图；

图5为本申请实施例提供的切换单元的结构示意图；

图6为本申请实施例提供的放大单元的结构示意图；

图7为本申请实施例提供的电压源与测量电路的第三结构示意图。

图标：10-切换单元；20-电压源与测量单元；210-DPS电源子单元；FORCE-电压输出端；SENSE-检测端；220-电压转换子单元；30-放大单元；L1-第一放大器；L2-第二放大器；L3-第三放大器；L4-第四放大器；L5-第五放大器；R1-第一电阻；R2-第二电阻；R3-第三电阻；R4-第四电阻；R5-第五电阻；R6-第六电阻；R7-第七电阻；R8-第八电阻；R9-第九电阻；R10-第十电阻；A1-第一引脚；A2-第二引脚；A3-第三引脚；A4-第四引脚；A5-第五引脚；A6-第六引脚；A7-第七引脚；A8-第八引脚；K1-第一可控开关；K2-第二可控开关；C1-第一电容；C2-第二电容；C3-第三电容；C4-第四电容；C5-第五电容；C6-第六电容。

具体实施方式

下面将结合附图对本申请技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本申请的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本申请的保护范围。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同；本文中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本申请；本申请的说明书和权利要求书及上述附图说明中的术语“包括”和“具有”以及它们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。

在本申请实施例的描述中，技术术语“第一”“第二”等仅用于区别不同对象，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量、特定顺序或主次关系。在本申请实施例的描述中，“多个”的含义是两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。

在本申请实施例的描述中，术语“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。

在本申请实施例的描述中，术语“多个”指的是两个以上(包括两个)，同理，“多组”指的是两组以上(包括两组)，“多片”指的是两片以上(包括两片)。

在本申请实施例的描述中，技术术语“中心”“纵向”“横向”“长度”“宽度”“厚度”“上”“下”“前”“后”“左”“右”“竖直”“水平”“顶”“底”“内”“外”“顺时针”“逆时针”“轴向”“径向”“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请实施例的限制。

在本申请实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，技术术语“安装”“相连”“连接”“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；也可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请实施例中的具体含义。

在集成电路自动化测试领域，通常采用集成电路自动测试机对被测芯片的电压等信息进行测量。

本申请发明人发现，对被测芯片进行测试时还需要为被测芯片提供电源，而目前的集成电路自动测试机适用性较弱，仅能够实现被测芯片的电压测量的功能无法为被测芯片提供电源。

另外，在对自动测试领域，往往会涉及到微伏级别电压信号的提供与测量，例如，向被测芯片提供微伏级别的电压或测量芯片输出的微伏级别电压等，然而目前市面上的集成电路自动测试机的精度有限，一般都在毫伏以上，集成电路自动测试机与被测芯片之间过长的导线都可能会引入噪声或阻抗导致小信号的衰减，从而使得目前的集成电路自动测试机无法满足精度要求。

对于上述问题，本申请发明人设计一种电压源与测量电路及其集成电路测试机，该电压源与测量电路中的切换单元可在第一控制信号下控制放大单元接收电压源与测量单元发送的第一电压信号并进行放大得到第一输出电压信号从而为外部提供电压；该切换单元可在第二控制信号下切换放大单元接收外部传输的第二电压信号并进行放大得到第二输出电压信号，第二输出电压信号传输给电压源与测量单元实现第二电压信号的测量，即本申请提供了一种电压源和测量电路结构并且可根据情况切换的电路，提高适用性。

另外，本申请发明人设计的电压源与测量单元中还包括DPS电源子单元和电压转换子单元，电压转换子单元可将DPS电源子单元传输的第三电压信号转换成微伏级别的第一电压信号，从而实现微伏级别的电压输出，并且通过调节放大单元的放大倍数可将微伏级别的第二电压信号放大到毫伏级别及其以上，从而使得PDS电源子单元可对第二输出电压信号进行测量，实现微伏级别的电压测量，进而提高集成电路自动测试机中DPS电源子单元的电源提供精度以及测量精度。

基于上述思路，本申请提供一种电压源与测量电路，如图1所示，该电压源与测量电路包括切换单元10、电压源与测量单元20以及放大单元30，该电压源与测量单元20可与切换单元10电连接，切换单元10与放大单元30电连接，该放大单元30与电压源与测量单元20电连接。

上述设计的电压源与测量电路，在作为电压源提供电压信号的情况下，切换单元10根据第一控制信号控制放大单元30接收电压源与测量单元20发送的第一电压信号V1，放大单元30对第一电压信号V1进行放大生成第一输出电压信号OUT1，该第一输出电压信号OUT1可反馈给电压源与测量单元20，电压源与测量单元20根据第一输出电压信号OUT1对第一电压信号V1的误差进行补偿，从而补偿第一电压信号V1在传输过程中的偏差，使得电压源与测量电路作为电压源的情况下输出更加精准的电压信号。

在作为测量电路的情况下，切换单元10根据第二控制信号切换放大单元30接收外部传输的第二电压信号V2，放大单元30对第二电压信号V2进行放大生成第二输出电压信号OUT2，电压源与测量单元20接收放大单元30传输的第二输出电压信号OUT2，并对第二输出电压信号OUT2进行测量，从而实现外部传输的第二电压信号V2的测量。

上述设计的电压源与测量电路，切换单元可在第一控制信号下控制放大单元接收电压源与测量单元发送的第一电压信号并进行放大得到第一输出电压信号从而为外部提供电压；该切换单元可在第二控制信号下切换放大单元接收外部传输的第二电压信号并进行放大得到第二输出电压信号，第二输出电压信号传输给电压源与测量单元实现第二电压信号的测量，即本申请提供了一种电压源和测量电路结构并且可根据情况切换的电路，提高芯片测试的适用性。

在本实施例的可选实施方式中，如图2所示，该电压源与测量单元20可包括DPS电源子单元210和电压转换子单元220，该DPS电源子单元210可包括电压输出端FORCE和检测端SENSE，DPS电源子单元210的电压输出端FORCE与电压转换子单元220的输入端电连接，电压转换子单元220的输出端与切换单元10的输入端电连接，切换单元10的输出端与放大单元30的输入端电连接，放大单元30的输出端与DPS电源子单元的检测端SENSE电连接。其中，DPS电源子单元210可采用目前集成电路自动测试机中自带的DPS电源模块，其采用开尔文连接方式。

上述设计的电压源与测量电路，在作为电压源提供电压信号的情况下，DPS电源子单元210可向电压转换子单元220发送第三电压信号V3，该电压转换子单元220可将第三电压信号V3转换成第一电压信号V1，从而将转换的第一电压信号V1通过切换单元10传输给放大单元30进行放大。

其中，电压转换子单元220转换后的第一电压信号V1具体可为微伏电压信号，这样使得电压源与测量单元20可提供微伏级别的电压，进而提高电压源的电压输出的精度。另外，由于放大单元30需对第一电压信号V1和第二电压信号V2进行放大，在电压转换子单元220采用分压方式对电压转换实现微伏级别的电压信号输出的基础上，放大单元30的放大倍数可与电压转换子单元220的分压比值相等，这样使得放大单元30也可实现微伏级别的电压信号的放大，在此基础上，外部的第二电压信号V2即可为微伏级别的电压，使得本方案设计的电压源与测量电路可实现微伏级别的电压信号测量。

上述设计的电压源与测量电路，电压转换子单元220可将DPS电源子单元210传输的第三电压信号V3转换成微伏级别的第一电压信号V1，从而实现微伏级别的电压输出，并且通过调节放大单元30的放大倍数可将微伏级别的第二电压信号V2放大到毫伏级别及其以上，从而使得DPS电源子单元210可对第二输出电压信号OUT2进行测量，实现微伏级别的电压测量，进而提高集成电路自动测试的电源提供精度以及测量精度。

在本实施例的可选实施方式中，如图3所示，前文描述到电压转换子单元220可将第三电压信号V3转换为微伏级别的第一电压信号V1，在此基础上，如图3所示，该电压转换子单元220可包括第一放大器L1、第二放大器L2、第一电阻R1和第二电阻R2，第一电阻R1的第一端与DPS电源子单元210的电压输出端FORCE电连接，第一电阻R1的第二端连接第二电阻R2后接地，该第一放大器L1包括8个引脚，第一放大器L1的第一引脚A1(反相输入端)接地，第一放大器L1的第二引脚A2和第三引脚A3悬空，第一放大器L1的第四引脚A4(正相输入端)与第一电阻R1的第二端电连接，第一放大器L1的第五引脚A5用于接收一负电压信号-VEE，第一放大器L1的第六引脚A6与第二放大器L2的输出端电连接，第一放大器L1的第七引脚A7(输出端)通过切换单元10与放大单元30的第一输入端电连接，第一放大器L1的第八引脚A8用于接收一正电压信号+VEE；第二放大器L2的正相输入端与放大单元30的第二输入端电连接，或接地，第二放大器L2的反相输入端与第二放大器L2的输出端电连接。

上述设计的电压转换子单元220，第一电阻R1的第一端接收DPS电源子单元210的电压输出端FORCE传输的第三电压信号V3，第三电压信号V3通过第一电阻R1和第二电阻R2分压后通过第一放大器的第七引脚A7输出第一电压信号V1给放大单元30。

具体地，第一电压信号V1的电压值与第一电阻R1和第二电阻R2的比值以及第二放大器L2的正相输入端接收的电压信号有关，具体如下公式所示：

其中，VO2为第二放大器L2的正相输入端接收的电压信号，当第二放大器L2的正相输入端与放大单元30的第二输入端电连接的情况下，VO2为固定值；当第二放大器L2的正相输入端接地的情况下，VO2为0。

在上述基础上，本方案可通过设置第二电阻R2与第一电阻R1的比例，来调整电压转换比例，从而将第三电压信号V3转换为微伏级别的第一电压信号V1。

作为一种可能的实施方式，该第二电阻R2与第一电阻R1的比例可设置小于千分之一，这样可使得DPS电源子单元210传输的毫伏级别的电压转换为微伏级别的电压。另外，当第二放大器L2的正相输入端与放大单元30的第二输入端电连接，VO2为固定值的基础上，该VO2也可设置为微伏级别的电压。

进一步地，该第二电阻R2可为可变电阻，例如，第二电阻R2为滑动变阻器或其他形式的阻值可变电阻，这样使得第二电阻R2与第一电阻R1的比例可调，从而使得转换后的第一电压信号的大小可调，进而提高转换适用性和调节性。

进一步地，如图4所示，该第一放大器L1具体可采用AD8422型号的精密仪表放大器，第二放大器L2可采用型号为OPA2333型号的CMOS运算放大器，在此基础上，第二放大器L2还可包括第一引脚B1和第二引脚B2，该第一引脚B1与+VEE电连接，第二引脚B2接地，从而第二放大器L2提供电源，该电压转换子单元220还可包括第一电容C1、第二电容C2、第三电容C3、第四电容C4、第五电容C5以及第六电容C6，第一电容C1可连接在第一电阻R1的一端与地端之间，第二电容C2和第三电容C3均可连接在第八引脚A8与地端之间，第四电容C4和第五电容C5可连接在第五引脚A5与地端之间，第六电容C6可连接在第二放大器L2的第一引脚B1与地端之间，从而通过多个电容实现电路保护。

这里需要说明的是，第一放大器L1和第二放大器L2除了采用上文描述的型号以外，还可采用其他型号类型的放大器只需实现相应精度的电压放大即可，具体采用的放大器型号可根据实际应用场景进行适应性调整。

在本实施例的可选实施方式中，切换单元10可包括第一可控开关K1，第一可控开关K1设置在电压转换子单元220的输出端与放大单元30的第一输入端之间。

具体地，在电压转换子单元220为图3和图4结构基础上，如图5所示，该第一可控开关K1的输入端连接该电压转换子单元220中第一放大器L1的第七引脚A7。

上述设计的切换单元10，第一可控开关K1可根据第一控制信号控制电压转换子单元20的输出端，即第一放大器L1的第七引脚A7与放大单元30的第一输入端导通，从而控制放大单元30接收电压转换子单元220转换输出的第一电压信号V1。另外，第一可控开关K1还可根据第二控制信号切换放大单元30接收外部传输的第二电压信号V2。

具体地，本方案可设计第一可控开关K1接收第一控制信号时，第一可控开关K1闭合，从而使得电压转换子单元220的输出端与放大单元30的第一输入端导通；第一可控开关K1收第二控制信号时，第一可控开关K1断开，从而使得电压转换子单元220的输出端与放大单元30的第一输入端断开，从而接收外部传输的第二电压信号V2。

作为另一种可能的实施方式，前文描述到电压转换子单元220的第二放大器L2的正相输入端可与放大单元30的第二输入端电连接或接地，在此基础上，如图5所示，切换单元10还可包括第二可控开关K2，第二放大器L2的正相输入端通过第二可控开关K2接地，第二放大器L2的正相输入端还与放大单元30的第二输入端电连接。

上述设计的切换单元，第二可控开关K2根据第三控制信号控制第二放大器L2的正相输入端与放大单元30的第二输入端导通，使得第二放大器L2的正相输入端接收固定电压VO2，并使得放大单元30接收第一电压信号V1和固定电压VO2的差分电压；另外，第二可控开关K2还根据第四控制信号切换第二放大器L2的正相输入端接地，使得放大单元30接收单端的第一电压信号V1。

具体地，第二可控开关K2可在第三控制信号的控制下断开，使得第二放大器L2的正相输入端与放大单元30的第二输入端导通；第二可控开关K2可在第四控制信号的控制下闭合，使得第二放大器L2的正相输入端接地。

作为一种可能的实施方式，前文描述的第一可控开关K1和第二可控开关K2均可为继电器，当然，除了采用继电器以外，第一可控开关K1和第二可控开关K2可采用其他形式的可控开关，例如，三极管、可控硅等等，具体可根据实际应用场景进行适应性调整。

上述设计的切换单元通过简单的第一可控开关的设置即可实现电压源与测量电路之间的切换，通过简单的第二可控开关的设置即可实现单端电压与差分电压之间的切换，在实现切换功能基础上简化电路结构。

在本实施例的可选实施方式中，如图6所示，放大单元30包括第三放大器L3、第四放大器L4、第五放大器L5、第三电阻R3、第四电阻R4、第五电阻R5、第六电阻R6、第七电阻R7、第八电阻R8以及第九电阻R9；第三放大器L3的正相输入端与第一可控开关K1电连接，第三放大器L3的输出端与第五电阻R5的第一端电连接，并通过第八电阻R8和第九电阻R9接地，第三放大器L3的反相输入端与第五电阻R5的第二端电连接；第五电阻R5的第二端通过第四电阻R4与第三电阻R3的第一端连接，第三电阻R3的第二端与第四放大器L4的输出端电连接，第四放大器L4的反相输入端与第三电阻R3的第一端连接，第四放大器L4的正相输入端与第二放大器L2的正相输入端连接；第四放大器L4的输出端通过第六电阻R6与第五放大器L5的反相输入端连接，并通过第七电阻R7与第五放大器L5的输出端连接，第五放大器L5的正相输入端连接于第八电阻R8与第九电阻R9之间，第五放大器L5的输出端与DPS电源子单元210的检测端SENSE电连接。其中，第三放大器L3、第四放大器L4以及第五放大器L5均可采用型号为OPA2333型号的CMOS运算放大器，当然除了采用OPA2333型号的CMOS运算放大器以外，还可以根据实际应用场景选择目前已有的任一放大器型号。

上述设计的放大单元的电路结构可知，放大后的输出电压，即第一输出电压OUT1或第二输出电压信号OUT2分别为：

本方案可通过调节放大单元30的放大倍数等于电压转换子单元中的分压比值即可实现微伏级别的电压信号的放大，具体地，本方案可调节(R3+R4+R5)/R4＝R1/R2，从而实现微伏级别的电压信号的放大。

作为一种可能的实施方式，本方案设计的第四电阻R4也可为一可变电阻，例如，滑动变阻器或其他形式的阻值可变电阻，在此基础上，本方案可通过调节第四电阻R4的阻值，从而使得调节放大单元30的放大倍数等于电压转换子单元中的分压比值。

在本实施例的可选实施方式中，由于电压转换子单元220的电压漂移或其他器件因素会对电压转换子单元220的转换能力造成影响，使得转换后的第一电压信号V1存在误差，在此基础上，DPS电源子单元210可对第一电压信号V1的误差进行补偿，具体地，DPS电源子单元210的检测端SENSE接收放大单元30反馈的第一输出电压信号OUT1，判断第一输出电压信号OUT1与DPS电源子单元210发出的第三电压信号V3的差值是否在预设差值范围，若不在预设差值范围，则说明误差较大，DPS电源子单元210则不断调整发出的第三电压信号V3，直至反馈的第一输出电压信号OUT1与第三电压信号V3的最初电压值的差值在预设差值范围内为止，从而对电压转换子单元220的误差进行补偿。

作为一种可能的示例，假设DPS电源子单元210的电压输出端FORCE发出的第三电压信号的电压值为5V，在放大单元30的放大倍数等于电压转换子单元220的分压比值基础上，放大单元30反馈的第一输出电压信号OUT1理论上应该为5V，但由于误差原因，DPS电源子单元210的检测端SENSE检测到的第一输出电压信号OUT1为4.8V。

假设预设差值范围为0V，即需要第三电压信号V3与第一输出电压信号OUT1相等，而第一输出电压信号OUT1为4.8V，第三电压信号的电压值为5V，不相等DPS电源子单元210则提高第三电压信号的电压值，然后通过检测端SENSE检测第一输出电压信号OUT1的电压值，直到第一输出电压信号OUT1的电压值为第三电压信号的初始电压值即5V时停止调整，从而对电压转换子单元220的误差进行补偿。

具体地，如图7为本申请提供的电压源与测量电路的一种具体示例整体电路结构图，从图7中可知，该DPS电源子单元210还可包括第十电阻R10，从而对DPS电源子单元210进行保护。

本申请还提供一种集成电路测试机，该集成电路测试机包括前文描述的任一可选实施方式所述的电压源与测量电路。

上述设计的集成电路测试机，由于其包含第一方面中的电压源与测量电路，因此，集成电路测试机的切换单元可在第一控制信号下控制放大单元接收电压源与测量单元发送的第一电压信号并进行放大得到第一输出电压信号从而为外部提供电压；该切换单元可在第二控制信号下切换放大单元接收外部传输的第二电压信号并进行放大得到第二输出电压信号，第二输出电压信号传输给电压源与测量单元实现第二电压信号的测量，即本申请提供了一种电压源和测量电路结构并且可根据情况切换的电路，提高集成电路测试的适用性。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本申请的权利要求和说明书的范围当中。尤其是，只要不存在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本申请并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。