弹性波装置

技术领域

本发明涉及弹性波装置。

背景技术

以往，弹性波装置被广泛用于便携式电话机的滤波器等。在下述的专利文献1公开了弹性波装置的一个例子。在该弹性波装置中，在LiTaO

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2002-314366号公报

发明内容

发明要解决的课题

近年来，要求进一步改善弹性波装置的滤波器特性。然而，在像专利文献1记载的那样的弹性波装置中，难以充分抑制IMD(Inter Moulation Distortion，交调失真)。

本发明的目的在于，提供一种能够有效地抑制IMD的弹性波装置。

用于解决课题的技术方案

在本发明涉及的弹性波装置的某个广泛的方面，具备压电性基板和设置在所述压电性基板上的IDT电极，所述IDT电极具有分别包含主电极层的第1梳齿状电极以及第2梳齿状电极，所述第1梳齿状电极具有第1汇流条和一端与所述第1汇流条连接的多个第1电极指，所述第2梳齿状电极具有第2汇流条和一端与所述第2汇流条连接且与所述多个第1电极指相互交错对插的多个第2电极指，所述IDT电极具有由第1金属构成了所述主电极层的第1部分和由第2金属构成了所述主电极层的第2部分，所述多个第1电极指以及所述第2梳齿状电极分别具有作为隔着间隙相互对置的部分的第1对置部，所述多个第2电极指以及所述第1梳齿状电极分别具有作为隔着间隙相互对置的部分的第2对置部，所述多个第1电极指的所述第1对置部、所述第2梳齿状电极的所述第1对置部、所述多个第2电极指的所述第2对置部以及所述第1梳齿状电极的所述第2对置部中的至少任一对置部为所述第2部分，所述IDT电极中的所述第2部分以外的部分为所述第1部分，所述第2金属的密度比所述第1金属的密度高。

在本发明涉及的弹性波装置的另一个广泛的方面，具备压电性基板和设置在所述压电性基板上的IDT电极，所述IDT电极具有分别包含主电极层的第1梳齿状电极以及第2梳齿状电极，所述第1梳齿状电极具有第1汇流条和一端与所述第1汇流条连接的多个第1电极指，所述第2梳齿状电极具有第2汇流条和一端与所述第2汇流条连接且与所述多个第1电极指相互交错对插的多个第2电极指，所述IDT电极具有由第1金属构成了所述主电极层的第1部分和由第2金属构成了所述主电极层的第2部分，所述多个第1电极指以及所述第2梳齿状电极分别具有作为隔着间隙相互对置的部分的第1对置部，所述多个第2电极指以及所述第1梳齿状电极分别具有作为隔着间隙相互对置的部分的第2对置部，所述多个第1电极指的所述第1对置部、所述第2梳齿状电极的所述第1对置部、所述多个第2电极指的所述第2对置部以及所述第1梳齿状电极的所述第2对置部中的至少任一对置部为所述第2部分，所述IDT电极中的所述第2部分以外的部分为所述第1部分，所述第2金属的杨氏模量比所述第1金属的杨氏模量高。

发明效果

根据本发明，能够提供一种能够有效地抑制IMD的弹性波装置。

附图说明

图1是本发明的第1实施方式涉及的弹性波装置的俯视图。

图2是沿着图1中的I-I线的剖视图。

图3是本发明的第1实施方式的第1变形例涉及的弹性波装置的俯视图。

图4是本发明的第1实施方式的第2变形例涉及的弹性波装置的俯视图。

图5是本发明的第1实施方式的第3变形例涉及的弹性波装置的俯视图。

图6是本发明的第1实施方式的第4变形例涉及的弹性波装置的俯视图。

图7是本发明的第1实施方式的第5变形例涉及的弹性波装置的俯视图。

图8是本发明的第1实施方式的第6变形例涉及的弹性波装置的、相当于图2所示的部分的剖视图。

图9是本发明的第1实施方式的第7变形例涉及的弹性波装置的、相当于图2所示的部分的剖视图。

图10是本发明的第1实施方式的第8变形例涉及的弹性波装置的、相当于图2所示的部分的剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的具体的实施方式进行说明，由此明确本发明。

另外，需要指出的是，本说明书记载的各实施方式为例示性的，能够在不同的实施方式间进行结构的部分置换或者组合。

图1是本发明的第1实施方式涉及的弹性波装置的俯视图。图2是沿着图1中的I-I线的剖视图。在图1中，通过影线示出后述的第2部分。另外，在图1以外的各俯视图中也是同样的。

如图1所示，弹性波装置1具有压电性基板2。在本实施方式中，压电性基板2是仅由压电体层构成的压电基板。对于压电性基板2，能够使用适当的压电单晶、压电陶瓷。更具体地，作为压电性基板2的材料，例如，能够使用铌酸锂、钽酸锂、氧化锌、氮化铝、石英(SiO

在压电性基板2上设置有IDT电极3。通过对IDT电极3施加交流电压，从而激励弹性波。在压电性基板2上的IDT电极3的弹性波传播方向两侧设置有一对反射器4以及反射器5。像这样，本实施方式的弹性波装置1是弹性波谐振器。不过，本发明涉及的弹性波装置1也可以是包含弹性波谐振器的滤波器装置等。

IDT电极3具有第1梳齿状电极6以及第2梳齿状电极7。第1梳齿状电极6具有第1汇流条14和多个第1电极指16，多个第1电极指16的一端分别与第1汇流条14连接。第2梳齿状电极7具有第2汇流条15和多个第2电极指17，多个第2电极指17的一端分别与第2汇流条15连接。多个第1电极指16和多个第2电极指17彼此相互交错对插。多个第1电极指16隔着第1间隙G1与第2梳齿状电极7对置。多个第2电极指17隔着第2间隙G2与第1梳齿状电极6对置。

第1梳齿状电极6具有多个第1虚设电极指18，多个第1虚设电极指18的一端分别与第1汇流条14连接，并隔着第2间隙G2与多个第2电极指17对置。第2梳齿状电极7具有多个第2虚设电极指19，多个第2虚设电极指19的一端分别与第2汇流条15连接，并隔着第1间隙G1与多个第1电极指16对置。

在此，多个第1电极指16以及第2梳齿状电极7分别具有作为隔着第1间隙G1相互对置的部分的第1对置部。多个第1电极指16的第1对置部为多个第1电极指16的前端部。在本实施方式中，第2梳齿状电极7的第1对置部为多个第2虚设电极指19的前端部。

同样地，多个第2电极指17以及第1梳齿状电极6分别具有作为隔着第2间隙G2相互对置的部分的第2对置部。多个第2电极指17的第2对置部为多个第2电极指17的前端部。在本实施方式中，第1梳齿状电极6的第2对置部为多个第1虚设电极指18的前端部。另外，IDT电极3未必一定要具有第1虚设电极指18以及第2虚设电极指19。

第1梳齿状电极6以及第2梳齿状电极7分别具有主电极层。在本说明书中，所谓主电极层，是指占50重量％以上的电极层。如图2所示，IDT电极3具有由第1金属构成了主电极层8的第1部分A和由第2金属构成了主电极层9的第2部分B。更具体地，如图1所示，IDT电极3的第2部分B为多个第1电极指16、多个第2电极指17、多个第1虚设电极指18以及多个第2虚设电极指19各自的前端部。像这样，在本实施方式中，多个第1电极指16的第1对置部以及第2梳齿状电极7的第1对置部中的两者和多个第2电极指17的第2对置部以及第1梳齿状电极6的第2对置部中的两者为第2部分B。

另外，只要多个第1电极指16的第1对置部以及第2梳齿状电极7的第1对置部中的至少一者和多个第2电极指17的第2对置部以及第1梳齿状电极6的第2对置部中的至少一者为第2部分B即可。或者，只要多个第1电极指16的第1对置部、第2梳齿状电极7的第1对置部、多个第2电极指17的第2对置部以及第1梳齿状电极6的第2对置部中的至少任一对置部为第2部分B即可。

另一方面，IDT电极3中的第2部分B以外的部分为第1部分A。更具体地，在本实施方式中，多个第1电极指16、多个第2电极指17、多个第1虚设电极指18以及多个第2虚设电极指19各自的前端部以外的部分和第1汇流条14以及第2汇流条15为第1部分A。

可是，有时在IDT电极3的第1汇流条14上以及第2汇流条15上没置与其它元件等连接的布线电极的电极层。需要指出的是，该布线电极的电极层和本发明中的IDT电极3的第1汇流条14以及第2汇流条15是分开的。

在弹性波装置1中，第2金属的密度比第1金属的密度高，且第2金属的杨氏模量比第1金属的杨氏模量高。另外，第1金属以及第2金属的关系只要是第2金属的密度比第1金属的密度高的关系以及第2金属的杨氏模量比第1金属的杨氏模量高的关系中的至少一种关系即可。更具体地，例如，在第1金属为Al的情况下，作为第2金属，能够选择Ti、Cu、Mo、Cr、Ru、W、Pt、Ta、Co、Ni、Au或者Mn等中的任一种。不过，第1金属以及第2金属也可以是合金。

IDT电极3例如能够通过溅射法或者真空蒸镀法等形成。可以在形成了第1部分A之后形成第2部分B，也可以在形成了第2部分B之后形成第1部分A。

在本实施方式中，IDT电极3的第1部分A以及第2部分B分别由单层的金属层构成。反射器4以及反射器5也同样地由单层的金属层构成。另外，IDT电极3的第1部分A以及第2部分B和反射器4以及反射器5也可以由层叠了多个金属层的层叠金属膜构成。

本实施方式的特征在于，具有以下的结构。1)IDT电极3具有由第1金属构成了主电极层的第1部分A和由第2金属构成了主电极层的第2部分B。2)多个第1电极指16的第1对置部以及第2梳齿状电极7的第1对置部中的至少一者和多个第2电极指17的第2对置部以及第1梳齿状电极6的第2对置部中的至少一者为第2部分B。3)IDT电极3中的第2部分B以外的部分为第1部分A。4)第1金属以及第2金属的关系为第2金属的密度比第1金属的密度高的关系以及第2金属的杨氏模量比第1金属的杨氏模量高的关系中的至少一种关系。由此，能够有效地抑制IMD。以下对此进行说明。

IMD的信号中的二阶非线性信号主要在IDT电极3中的第1间隙G1以及第2间隙G2产生。在本实施方式中，IDT电极3自身具有由相互不同的金属构成的第1部分A以及第2部分B。第1部分A和第2部分B连续地形成并电连接。IDT电极3中的隔着上述各间隙对置的第1对置部以及第2对置部是由第1金属以及第2金属中的更重或者杨氏模量更高的第2金属构成了主电极层9的第2部分B。即，在IDT电极3中的与上述各间隙相接的区域中，较重或者杨氏模量较高的第2金属直接地配置在压电性基板2上。像这样，在与上述各间隙相接的区域中，通过将较重或者杨氏模量较高的第2金属配置在靠近压电性基板2的位置，从而能够有效地抑制上述各间隙中的失真，能够有效地抑制二阶非线性信号。因此，能够有效地抑制IMD。

像本实施方式那样，优选多个第1电极指16的第1对置部以及第2梳齿状电极7的第1对置部中的两者和多个第2电极指17的第2对置部以及第1梳齿状电极6的第2对置部中的两者为第2部分B。由此，能够更进一步抑制第1间隙G1以及第2间隙G2中的失真，能够更进一步抑制IMD。

参照下述的图3以及图4，示出第2部分的配置与第1实施方式不同的、第1实施方式的第1变形例以及第2变形例。更具体地，在第1变形例以及第2变形例中，多个第1电极指的第1对置部以及第2梳齿状电极的第1对置部中的一者和多个第2电极指的第2对置部以及第1梳齿状电极的第2对置部中的一者为第2部分。即使在第1变形例以及第2变形例中，也能够有效地抑制第1间隙以及第2间隙中的失真，能够有效地抑制IMD。

图3是第1实施方式的第1变形例涉及的弹性波装置的俯视图。图4是第1实施方式的第2变形例涉及的弹性波装置的俯视图。

如图3所示，在第1变形例中，第2部分B1为多个第1电极指16的前端部以及多个第2电极指17的前端部。第1部分A1为多个第1电极指16以及多个第2电极指17各自的前端部以外的部分和多个第1虚设电极指28、多个第2虚设电极指29、第1汇流条14以及第2汇流条15。不过，也可以是，多个第1电极指16的前端部以及多个第2电极指17的前端部中的至少一者为第2部分B1。

如图4所示，在第2变形例中，第2部分B2为多个第1虚设电极指18的前端部以及多个第2虚设电极指19的前端部。第1部分A2为多个第1虚设电极指18以及多个第2虚设电极指19各自的前端部以外的部分和多个第1电极指26、多个第2电极指27、第1汇流条14以及第2汇流条15。

如上所述，IDT电极也可以不具有第1虚设电极指以及第2虚设电极指。以下，示出不具有第1虚设电极指以及第2虚设电极指的、第1实施方式的第3变形例～第5变形例。即使在第3变形例～第5变形例中，也能够有效地抑制第1间隙以及第2间隙中的失真，能够有效地抑制IMD。

如图5所示，在第3变形例中，多个第1电极指16以及第2汇流条35隔着第1间隙G1对置。像这样，在本变形例中，第2梳齿状电极37的第1对置部为第2汇流条35的与各第1电极指16对置的部分。多个第1电极指16的第1对置部为多个第1电极指16的前端部。

同样地，多个第2电极指17以及第1汇流条34隔着第2间隙G2对置。像这样，在本变形例中，第1梳齿状电极36的第2对置部为第1汇流条34的与各第2电极指17对置的部分。多个第2电极指17的第2对置部为多个第2电极指17的前端部。即使在下述的第4变形例以及第5变形例中，各第1对置部以及各第2对置部也与本变形例相同。

在本变形例中，多个第1电极指16的第1对置部以及第2梳齿状电极37的第1对置部中的两者和多个第2电极指17的第2对置部以及第1梳齿状电极36的第2对置部中的两者为第2部分B3。另一方面，多个第1电极指16以及多个第2电极指17各自的前端部以外的部分为第1部分A3。进而，第1汇流条34的与各第2电极指17对置的部分以外的部分以及第2汇流条35的与各第1电极指16对置的部分以外的部分也为第1部分A3。

如图6所示，在第4变形例中，第2部分B4为多个第1电极指16的前端部以及多个第2电极指17的前端部。第1部分A4为多个第1电极指16以及多个第2电极指17各自的前端部以外的部分和第1汇流条14以及第2汇流条15。

如图7所示，在第5变形例中，第1汇流条34的与各第2电极指27对置的部分和第2汇流条35的与各第1电极指26对置的部分为第2部分B5。另一方面，多个第1电极指26以及多个第2电极指27为第1部分A5。进而，第1汇流条34的与各第2电极指27对置的部分以外的部分以及第2汇流条35的与各第1电极指26对置的部分以外的部分也为第1部分A5。

如图2所示，在第1实施方式中，IDT电极3由单层的金属层构成。另外，IDT电极3也可以具有主电极层以外的层。在图8所示的第1实施方式的第6变形例中，IDT电极43具有设置在第1部分A6的主电极层8以及第2部分B6的主电极层9与压电性基板2之间的密接层44。由此，能够更可靠地提高IDT电极43和压电性基板2的密接性。即使在本变形例中，在IDT电极3中的与各间隙相接的区域中，较重或者杨氏模量较高的第2金属也配置在靠近压电性基板2的位置，因此与第1实施方式同样地，能够有效地抑制第1间隙G1以及第2间隙中的失真，能够有效地抑制IMD。

如上所述，第2部分的主电极层由第2金属构成。在此，由第2金属构成的金属层也可以到达第1部分。在图9所示的第1实施方式的第7变形例中，由第2金属构成的金属层49从第2部分B到达第1部分A7的主电极层8上。到达第1部分A7的上述金属层49与第2部分B的主电极层9设置为一体。另外，也可以是，由第1金属构成的金属层从第1部分A7到达第2部分B的主电极层9上。

另一方面，在图10所示的第1实施方式的第8变形例中，由第2金属构成的金属层49从第2部分B到达第1部分A8的主电极层8与压电性基板2之间。到达第1部分A8的上述金属层49与第2部分B的主电极层9设置为一体。

即使在第7变形例以及第8变形例中，也与第1实施方式同样地，能够有效地抑制第1间隙G1以及第2间隙中的失真，能够有效地抑制IMD。

附图标记说明

1：弹性波装置；

2：压电性基板；

3：IDT电极；

4：反射器；

5：反射器；

6：第1梳齿状电极；

7：第2梳齿状电极；

8：主电极层；

9：主电极层；

14：第1汇流条；

15：第2汇流条；

16：第1电极指；

17：第2电极指；

18：第1虚设电极指；

19：第2虚设电极指；

26：第1电极指；

27：第2电极指；

28：第1虚设电极指；

29：第2虚设电极指；

34：第1汇流条；

35：第2汇流条；

36：第1梳齿状电极；

37：第2梳齿状电极；

43：IDT电极；

44：密接层；

49：金属层；

A、A1～A8：第1部分；

B、B1～B6：第2部分。