一种柔性显示面板及其制作方法

技术领域

本申请涉及显示技术领域，具体涉及一种柔性显示面板及其制作方法。

背景技术

柔性电子器件是通过在柔性衬底上制备TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶体管)背板以及有机发光二极管(AMOLED，Activematrix Organic Light Emitting Diode)，从而实现面板的可折叠或弯曲功能。

其中，柔性衬底分离技术是十分关键的一步，目前常用的剥离方法是激光剥离技术(LLO)，即采用一定形状的激光束透过位于柔性衬底背部的刚性基板(例如玻璃基板)后对整个界面材料进行扫描，进而使刚性基板从柔性衬底背部剥离。

如果柔性衬底与刚性基板的热膨胀系数有较大差别，在剥离时会产生层间应力，进而导致柔性衬底发生翘曲或薄膜peeling(剥离)等问题，从而使柔性衬底存在缺陷。同时，柔性衬底对氧气和湿气的透气性也是一个重要的参数，如果氧气和湿气渗透进面板，就会导致OLED器件性能和寿命衰减。

发明内容

本申请提供一种柔性显示面板及其制作方法，通过在柔性衬底的底部设置表面具有凸起结构的阻隔层，既可以减小刚性基板与柔性衬底的剥离难度，避免柔性衬底产生缺陷，还可以有效的阻隔水氧，避免对柔性显示面板的性能和寿命产生影响。

本申请提供一种柔性显示面板，包括柔性衬底、依次设置在所述柔性衬底上的阵列层和发光层、以及设置在所述柔性衬底远离所述阵列层一侧的第一阻隔层；

其中，所述第一阻隔层靠近所述阵列层的一侧具有多个凸起结构，所述多个凸起结构与所述柔性衬底贴合设置。

可选地，所述凸起结构在垂直于所述柔性衬底方向上的截面为锯齿状。

可选地，所述第一阻隔层的材料包括氮化硅、氮氧化硅和金属氧化物中的任意一种或多种。

可选地，所述柔性衬底覆盖所述第一阻隔层靠近所述阵列层一侧的表面以及所述第一阻隔层的侧面。

可选地，所述柔性显示面板还包括位于所述柔性衬底和所述阵列层之间的第二阻隔层；所述第二阻隔层覆盖所述柔性衬底靠近所述阵列层一侧的表面和所述柔性衬底的侧面。

可选地，所述第二阻隔层的材料包括金属氧化物。

本申请还提供一种柔性显示面板的制作方法，包括以下步骤：

提供刚性基板；

在所述刚性基板上形成第一阻隔层；其中，所述第一阻隔层远离所述刚性基板的表面具有多个凸起结构；

在所述第一阻隔层上形成柔性衬底；其中，所述柔性衬底与所述多个凸起结构贴合设置；

在所述柔性衬底上依次形成阵列层和发光层；以及

将所述刚性基板剥离掉。

可选地，所述在所述刚性基板上形成第一阻隔层，包括以下步骤：

在所述刚性基板上形成分离层；以及

在形成有所述分离层的所述刚性基板上形成第一阻隔层；其中，所述第一阻隔层覆盖所述分离层远离所述刚性基板一侧的表面以及所述分离层的侧面，且所述分离层与所述刚性基板之间的结合力大于所述分离层与所述第一阻隔层之间的结合力；

所述将所述刚性基板剥离掉，包括以下步骤：

将所述刚性基板和所述分离层剥离掉。

可选地，所述在所述第一阻隔层上形成柔性衬底，包括以下步骤：

在所述刚性基板上形成覆盖所述刚性基板和所述第一阻隔层的柔性衬底。

可选地，形成所述阵列层之前，还包括以下步骤：

在所述刚性基板上形成覆盖所述刚性基板和所述柔性衬底的第二阻隔层；其中，所述第二阻隔层的材料包括金属氧化物。

本申请提供的柔性显示面板及其制作方法，在柔性衬底的底部设置第一阻隔层，第一阻隔层具有与柔性衬底的底部贴合设置的多个凸起结构，增大了第一阻隔层与柔性衬底之间的结合力，且减小了柔性衬底与刚性基板之间的接触面积，使得刚性基板从柔性衬底的背面剥离时更容易，减小了剥离操作对柔性衬底的负面影响，避免柔性衬底产生缺陷；另外，第一阻隔层具有水氧阻隔作用，可以有效的阻隔柔性衬底底部的水氧，有利于提高柔性显示面板的性能以及增大柔性显示面板的寿命。

附图说明

下面结合附图，通过对本申请的具体实施方式详细描述，将使本申请的技术方案及其它有益效果显而易见。

图1为本申请实施例提供的一种柔性显示面板的结构示意图。

图2为本申请实施例提供的一种柔性显示面板的制作方法的流程框图。

图3为本申请实施例提供的一种柔性显示面板的制作方法的结构流程示意图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本申请的不同结构。为了简化本申请的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本申请。此外，本申请可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本申请提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。

如图1所示，本申请实施例提供了一种柔性显示面板1，柔性显示面板1包括柔性衬底2、依次设置在柔性衬底2上的阵列层3和发光层4、以及设置在柔性衬底2远离阵列层3一侧的第一阻隔层5；其中，第一阻隔层5靠近阵列层3的一侧具有多个凸起结构6，多个凸起结构6与柔性衬底2贴合设置。

具体的，柔性衬底2的材料包括聚酰亚胺，当然也可以为其它柔性材料，此处不做限定；柔性衬底2可以由单层膜层构成，也可以由多层膜层叠置构成，此处不做限制。

具体的，阵列层3包括多个呈阵列分布的TFT以及与TFT电连接的线路，用于驱动发光层4发光。

具体的，发光层4包括有机发光器件，例如OLED器件，当然还可以是LED器件或Micro-LED器件，此处不做限制。

具体的，第一阻隔层5的材料包括氮化硅、氮氧化硅和金属氧化物中的任意一种或多种；第一阻隔层5可以由单层膜层构成，也可以由多层膜层叠置构成，此处不做限制。

具体的，多个凸起结构6与柔性衬底2的底部贴合设置，增大了第一阻隔层5和柔性衬底2之间的结合力。多个凸起结构6的具体形状、大小和密度根据需要设定，此处不做限定。在一具体实施方式中，凸起结构6在垂直于柔性衬底2方向上的截面为锯齿状。可以理解的，凸起结构6属于第一阻隔层5的一部分，并不是两个独立的结构。

具体的，柔性衬底2可以仅位于第一阻隔层5靠近阵列层3一侧的表面，还可以覆盖整个第一阻隔层5，例如，柔性衬底2覆盖第一阻隔层5靠近阵列层3一侧的表面以及第一阻隔层5的侧面。

具体的，在制作柔性显示面板1时，第一阻隔层5远离柔性衬底2的一侧还设有刚性基板，当柔性衬底2上的各个结构制作完成后会对刚性基板进行剥离，故柔性显示面板1的成品中不存在刚性基板。第一阻隔层5上的多个凸起结构6一方面增大了第一阻隔层5与柔性衬底2之间的结合力，另一方面减小了柔性衬底2与刚性基板之间的接触面积，故使得刚性基板更容易剥离，可以有效的减小剥离操作对柔性衬底2的损伤。

在一具体实施方式中，柔性显示面板1还包括位于柔性衬底2和阵列层3之间的第二阻隔层7；第二阻隔层7覆盖柔性衬底2靠近阵列层3一侧的表面和柔性衬底2的侧面。

具体的，第二阻隔层7的材料包括金属氧化物，例如氧化铝；第二阻隔层7可以采用原子层沉积(ALD)技术形成，此时，第二阻隔层7由一层或多层致密的金属氧化物薄膜构成，可以有效的进一步阻挡水氧。

具体的，柔性显示面板1还包括依次覆盖阵列层3和发光层4的封装层8以及保护盖板9。

本申请实施例中，在柔性衬底2的底部设置第一阻隔层5，第一阻隔层5具有与柔性衬底2的底部贴合设置的多个凸起结构6，增大了第一阻隔层5与柔性衬底2之间的结合力，且减小了柔性衬底2与刚性基板之间的接触面积，使得刚性基板从柔性衬底2的背面剥离时更容易，减小了剥离操作对柔性衬底2的负面影响，避免柔性衬底2产生缺陷；另外，第一阻隔层5和第二阻隔层7具有水氧阻隔作用，可以有效的阻隔水氧，避免水氧进入面板内部影响柔性显示面板1的性能以及寿命。

如图2和图3所示，本申请实施例还提供了一种柔性显示面板的制作方法，制作方法具体包括步骤S201至S205。

S201：提供刚性基板。

具体的，刚性基板为透明基板，例如玻璃基板，当然不限于此。

S202：在刚性基板上形成第一阻隔层；其中，第一阻隔层远离刚性基板的表面具有多个凸起结构。

具体的，第一阻隔层的材料包括氮化硅、氮氧化硅和金属氧化物中的任意一种或多种；第一阻隔层可以由单层膜层构成，也可以由多层膜层叠置构成，此处不做限制。

具体的，多个凸起结构的具体形状、大小和密度根据需要设定，此处不做限定。如图3中的图(a)所示，在一具体实施方式中，凸起结构6在垂直于刚性基板10的方向上的截面为锯齿状。可以理解的，凸起结构6属于第一阻隔层5的一部分，并不是两个独立的结构。

如图3中的图(a)所示，在一具体实施方式中，步骤S202包括以下步骤：

在刚性基板10上形成分离层11；以及

在形成有分离层11的刚性基板10上形成第一阻隔层5；其中，第一阻隔层5覆盖分离层11远离刚性基板10一侧的表面以及分离层11的侧面，且分离层11与刚性基板10之间的结合力大于分离层11与第一阻隔层5之间的结合力。

可以理解的，第一阻隔层5覆盖在部分刚性基板10和分离层11上。

具体的，分离层11可以为双面胶材，具体材料不做限制；分离层11与刚性基板10之间的结合力大于分离层11与第一阻隔层5之间的结合力，可以在后续步骤中对刚性基板10剥离起到辅助作用。

S203：在第一阻隔层上形成柔性衬底；其中，柔性衬底与多个凸起结构贴合设置。

具体的，柔性衬底的材料包括聚酰亚胺，当然也可以为其它柔性材料，此处不做限定；柔性衬底可以由单层膜层构成，也可以由多层膜层叠置构成，此处不做限制。

具体的，多个凸起结构与柔性衬底的底部贴合设置，增大了第一阻隔层和柔性衬底之间的结合力。

如图3中的图(b)所示，在一具体实施方式中，步骤S203包括以下步骤：

在刚性基板10上形成覆盖刚性基板10和第一阻隔层5的柔性衬底2。

可以理解的，柔性衬底2覆盖第一阻隔层5远离刚性基板10一侧的表面以及第一阻隔层5的侧面，即柔性衬底2的底部边缘部分与刚性基板10接触。第一阻隔层5上的多个凸起结构6一方面增大了与柔性衬底2之间的结合力，另一方面减小了柔性衬底2与刚性基板10之间的接触面积，故使得刚性基板10更容易剥离，可以有效的减小剥离操作对柔性衬底2的损伤。

S204：在柔性衬底上依次形成阵列层和发光层。

具体的，阵列层包括多个呈阵列分布的TFT以及与TFT电连接的线路，用于驱动发光层发光；发光层包括OLED器件，当然还可以是LED器件或Micro-LED器件，此处不做限制。

如图3中的图(c)所示，在一具体实施方式中，形成阵列层之前，制作方法还包括以下步骤：

在刚性基板10上形成覆盖刚性基板10和柔性衬底2的第二阻隔层7；其中，第二阻隔层7的材料包括金属氧化物。

具体的，第二阻隔层7覆盖柔性衬底2靠近阵列层3一侧的表面和柔性衬底2的侧面；第二阻隔层7的材料包括金属氧化物，例如氧化铝；第二阻隔层7可以采用原子层沉积(ALD)技术形成，此时，第二阻隔层7由一层或多层致密的金属氧化物薄膜构成，可以有效的进一步阻挡水氧。

如图3中的图(d)和图(e)所示，在一具体实施方式中，形成发光层4之后，制作方法还包括以下步骤：

在第二阻隔层7上依次形成覆盖阵列层3和发光层4的封装层8以及保护盖板9。

S205：将刚性基板剥离掉。

具体的，可以通过激光剥离技术(LLO)对刚性基板进行剥离，当然不限于此。

具体的，如图3中的图(e)和(f)所示，当在第一阻隔层5和刚性基板10之间还设有分离层11时，分离层11会随着刚性基板10一起剥离掉，形成柔性显示面板1。

可以理解的，由于柔性衬底2和刚性基板10之间还设有第一阻隔层5和分离层11，使得柔性衬底2与刚性基板10之间的接触面积减小了，甚至不接触，因此，本申请实施例中，可以通过激光剥离与物理剥离相结合的方法对刚性基板10进行剥离。与示例性的单纯的采用激光剥离技术相比，本申请可以有效的减小剥离操作对柔性衬底2的损伤作用。

本申请实施例中，在柔性衬底2的底部设置第一阻隔层5，第一阻隔层5具有与柔性衬底2的底部贴合设置的多个凸起结构6，增大了第一阻隔层5与柔性衬底2之间的结合力，且减小了柔性衬底2与刚性基板10之间的接触面积，使得刚性基板10从柔性衬底2的背面剥离时更容易，减小了剥离操作对柔性衬底2的负面影响，避免柔性衬底2产生缺陷；另外，第一阻隔层5和第二阻隔层7具有水氧阻隔作用，可以有效的阻隔水氧，避免水氧进入面板内部影响柔性显示面板1的性能以及寿命。

在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见其他实施例的相关描述。

以上对本申请实施例所提供的一种柔性显示面板及其制作方法进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的技术方案及其核心思想；本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例的技术方案的范围。