一种基板清洗干燥装置

技术领域

本发明涉及芯片加工设备技术领域，具体涉及一种基板清洗干燥装置。

背景技术

半导体硅晶圆是制造半导体器件的基础性原材料。高纯度的半导体经过拉晶、切片等工序制备成为晶圆，晶圆经过一系列半导体制造工艺形成极微小的电路结构，再经减薄、切割、封装、测试成为芯片，广泛应用到各类电子设备中，其中基板减薄就是很重要的一环。

我们的芯片贴装到基板上，打线封装完成后，为了提高芯片的性能、散热等要求，需要对芯片表面的塑封材料实施减薄，完成这项工艺的就是基板研磨机，基板研磨机可对芯片表面的塑封进行打磨，但现有的基板研磨机不具备清洗干燥功能，没有与基板研磨机适配的清洗机构，还需要将研磨好的基板集中装载到料盒中再送去清洗结构中进行清洁，十分不便。

发明内容

本发明的目的在于提供一种基板清洗干燥装置，解决现有技术中研磨好的基板清洗不便的问题。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

一种基板清洗干燥装置，包括

上盖板，所述上盖板中部开设有避让口；

下盖板，设于所述上盖板下方，与所述上盖板之间通过支撑杆固定连接，所述下盖板上开设有排水孔；

挡水罩，设于所述上盖板和下盖板之间，且与所述下盖板之间密封连接；

喷水管，延伸至所述挡水罩内对基板进行清洗；

流道板，用于放置基板；

固定结构，设置所述流道板上，用于将基板固定在所述流道板上；

旋转升降台，用于驱动所述流道板升降，使所述流道板从所述避让口下降至所述挡水罩内，并使所述流道板在所述挡水罩内旋转。

本申请可用于对基板进行清洗和甩干，使基板干进干出，避免清洗的水流出挡水罩外影响其他装置的运行，使基板清洗干燥装置可安装在基板研磨机内与研磨装置匹配使用。

作为本发明进一步的方案：所述下盖板上表面呈台阶状，具有位于中部且凸起的定位部；挡水罩大体呈圆筒状，所述挡水罩底壁上开设有与所述定位部适配的对接孔。

作为本发明进一步的方案：所述挡水罩顶端设于内翻的挡水环。

作为本发明进一步的方案：所述挡水环的底面为内凹的弧面。

作为本发明进一步的方案：所述喷水管一侧还设有吹气管，所述吹气管延伸至所述挡水罩内用于对所述基板吹气。

作为本发明进一步的方案：所述旋转升降台包括第一升降气缸、转动电机、同步轮、连接板、花键轴、花键螺母以及轴承座，所述轴承座密封固接在所述下盖板的轴孔中，所述花键轴通过所述花键螺母穿设所述轴承座，且所述花键轴的一端固接在所述流道板的底部，所述花键轴的另一端通过轴承转动连接在所述连接板上，所述同步轮与花键轴间隙配合且通过对接套与所述轴承座的内轴套固接，所述转动电机固接在下盖板底部且通过皮带驱动所述同步轮，所述同步轮通过所述轴承座间接性带动所述花键轴转动；所述第一升降气缸固设在所述下盖板底部带动所述连接板和花键轴同步上下移动。

作为本发明进一步的方案：所述轴承座包括内轴套、外轴套以及设于所述内轴套和所述外轴套之间的第一轴承，所述内轴套顶端面设有第一台阶，所述外轴套顶端面设有第二台阶，所述第二台阶上设有第三台阶，所述第三台阶低于所述第一台阶，所述内轴套上设有内盖，所述内盖套设在所述第一台阶周壁上，所述内盖外边缘所述第二台阶上方，且所述第三台阶延伸至所述内盖底部开设的挡槽内；所述外轴套上设有外盖，所述外盖紧密固接在所述花键轴上，所述外盖外边缘具有向下翻折且环设在所述第二台阶外侧的折边部。

作为本发明进一步的方案：所述固定结构包括与所述流道板底部铰接的卡扣以及设于所述上盖板底部使所述卡扣张开的止挡件，所述卡扣与所述流道板之间设有用于使所述卡扣闭合的复位弹簧。

作为本发明进一步的方案：所述止挡件上套设有轴承。

作为本发明进一步的方案：所述流道板上设有下料流道，所述上盖板上设有与所述下料流道对接的对接流道。

本发明的有益效果：

1、本申请提供一种基板清洗干燥装置，可将基板固定在流道板上，通过旋转升降台带动流道板移至挡水罩内对基板进行清洗和甩干，使基板干进干出，避免清洗的水流出挡水罩外影响其他装置的运行，使基板清洗干燥装置可安装在基板研磨机内与研磨装置匹配使用。

2、本申请通过将同步轮与花键轴之间间隙配合，使同步轮通过对接套与花键螺母固接，通过同步轮带动花键螺母转动进而使花键螺母带动花键轴转动，避免花键轴的自转和升降之间相互干涉。

3、通过设置在上盖板底部位于避让口四周设置止挡件，在流道板底部铰接卡扣，在流道板与卡扣之间设有复位弹簧，使流道板在升降过程中，卡扣可根据升降高度自行调整开合幅度，将基板自动夹紧在流道板上。

附图说明

下面结合附图对本发明作进一步的说明。

图1是本发明整体的结构示意图；

图2是本发明整体结构剖面图；

图3是图2中A处放大图；

图4是本发明去除挡水罩时的结构示意图；

图5是本发明中固定结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-4所示，本发明为一种基板清洗干燥装置，包括上盖板1、下盖板2、挡水罩3、喷水管4、流道板5、固定结构6以及旋转升降台7。

上盖板1中部开设有避让口11。下盖板2设于上盖板1下方，与上盖板1之间通过支撑杆12固定连接。下盖板2上表面呈台阶状，具有位于中部且凸起的定位部21，定位部21上开设有排水孔22。

挡水罩3设于上盖板1和下盖板2之间，挡水罩3大体呈圆筒状，其底壁上开设有与定位部21适配的对接孔，安装挡水罩3时，将对接孔套设在定位部21上，使挡水罩3与下盖板2之间快速对准后通过螺栓固接。固接后的挡水罩3底壁与下盖板2贴合，且挡水罩3底壁与下盖板2之间设有密封圈，使挡水罩3与下盖板2之间密封连接，防止挡水罩3内的水从挡水罩3与下盖板2之间流出。进一步的，挡水罩3内底面高于定位部21上表面，便于挡水罩3流向定位部21从排水孔22排出。

挡水罩3顶端面与上盖板1之间具有间隔，挡水罩3顶端设于内翻的挡水环31，防止后续对基板甩干时，水从挡水罩3沿口飞出。进一步的，挡水环31的底面为内凹的弧面，飞溅到挡水环31上的水可沿着弧面再落入挡水罩3内。

喷水管4一端沿挡水罩3顶端与上盖板1之间的间隔延伸进挡水罩3内，喷水管4另一端设有便于与外界水源连接的水接头(未图示)。进一步的，喷水管4一侧还设有吹气管8，吹气管8一端延伸至挡水罩3内对基板进行吹气，另一端设有便于与外界气源连接的气接头(未图示)。

固定结构6设置在流道板5上，用于将基板固定在流道板5上。旋转升降台7驱动流道板5升降，使流道板5从避让口11下降至挡水罩3内，并使流道板5在挡水罩3内旋转。

请参阅图2和图5所示，本实施例中，固定结构6包括与流道板5底部铰接的卡扣62以及设于上盖板1底部使卡扣62张开的止挡件61，卡扣62与流道板5之间设有用于使卡扣62闭合的复位弹簧63。具体的，卡扣62主体呈Z字形，卡扣62通过连接轴52与流道板5底部的弹簧固定座51铰接，复位弹簧63的主体套设在连接轴52上，复位弹簧63的两自由端分别固定在卡扣62上和弹簧固定座51上。

进一步的，止挡件61上套设有轴承，卡扣62开合时，贴着轴承外圆周面升降，带动轴承滚动，减小止挡件61与卡扣62之间相对移动时的磨损。

请参阅图2-3所示，旋转升降台7包括第一升降气缸71、转动电机72、同步轮73、连接板74、花键轴75、花键螺母76以及轴承座77，轴承座77包括内轴套771、外轴套772以及设置内轴套771和外轴套772之间使两者可相对转动的第一轴承773，第一轴承773上下间隔设有两个，且两个第一轴承773之间设有轴承隔离圈774，使两第一轴承773之间保持固定间距。外轴套772密封固接在下盖板2中部的轴孔中，内轴套771套固在花键螺母76，花键轴75通过花键螺母76穿设内轴套771，且花键轴75的一端延伸出内轴套771顶端固接在流道板5的底部，花键轴75的另一端延伸出内轴套771底端通过轴承转动连接在连接板74上，同步轮73与花键轴75间隙配合且通过对接套78与内轴套771固接，其中，同步轮73套固在对接套78底部，而对接套78顶部套接在内轴套771底部，转动电机72被固接在下盖板2底部，转动电机72上设有驱动轮721，驱动轮721通过皮带(未图示)与同步轮73连接，转动电机72通过皮带驱动同步轮73，同步轮73通过对接套78带着内轴套771联动，进入内轴套771通过花键螺母76带着花键轴75联动，最终实现花键轴75带动流道板5旋转，即通过转动电机72驱动流道板5旋转。第一升降气缸71固接在下盖板2底部且第一升降气缸71的气缸杆与连接板74连接，第一升降气缸71通过驱动连接板74上下带动花键轴75同步上下移动，进而带动流道板5上下移动，可以理解的是，花键轴75上下移动时相对花键螺母76上下移动，不对内轴套771和同步轮73造成影响，使花键轴75的自转和升降互不干涉。

其中，内轴套771和外轴套772的顶端均延伸进挡水罩3内，且内轴套771顶端面设有第一台阶775，外轴套772顶端面设有第二台阶776，第二台阶776上设有第三台阶777，第三台阶777低于第一台阶775，且第三台阶777位于第一轴承773上方对第一轴承773进行止挡。内轴套771上设有内盖79，内盖79套设在第一台阶775周壁上跟随内轴套771同步转动，内盖79外边缘延伸至第二台阶776上方，第三台阶777延伸至内盖79底部开设的挡槽内，防止外界的水流入内轴套771和外轴套772之间的间隙。外轴套772上设有外盖80，外盖80密封套接在花键轴75上，使外盖80跟随花键轴75相对外轴套772转动，外盖80的外边缘延伸至内轴套771外边缘，且外盖80的外边缘具有向下翻折的折边部801，折边部801环设在第二台阶776外侧将第二台阶77罩住，进一步防止内轴套771和外轴套772之间进水。

本实施例中，流道板5初始位于避让口11上方(如图1)，此时，卡扣62与止挡件61抵触处于张开状态，复位弹簧63处于压缩状态(如图5)。搬运机械手会将研磨好的基板搬运至流道板5上后，第一升降气缸71带动流道板5下降，使流道板5带着物料基板移至挡水罩3内的预设位置。在流道板5下降的初始阶段，卡扣62贴着止挡件61上套设的轴承向下移动，使复位弹簧63逐渐复位驱使卡扣62逐渐闭合，直至卡扣62与止挡件61分离，卡扣62完全闭合将基板扣紧在流道板5上(如图2)。流道板5下降到预设位置后，喷水管4对着流道板5上的基板进行喷水清洗，此时，转动电机72可带动流道板5在挡水罩3内旋转，调整基板的清洗角度。清洗结束后，转动电机72加速驱动流道板5旋转，且吹气管8对基板进行吹气，使产生被快速干燥。

请参阅图4所示，流道板5上表面两侧边缘设有两个侧板51，使流道板5上方形成位于两个侧板51之间的下料流道52，上盖板1上设有与下料流道52对接的对接流道9，基板干燥后，第一升降气缸71将流道板5重新提升至避让口11上方，使下料流道52与对接流道9对接，便于基板沿着对接流道9流向下一工序。

以上对本发明的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本发明的较佳实施例，不能被认为用于限定本发明的实施范围。凡依本发明申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本发明的专利涵盖范围之内。