晶圆片同心规整装置

技术领域

本发明涉及一种晶圆片加工装置，特别涉及一种晶圆片同心规整装置。

背景技术

随着国内机械装备行业技术能力的提升，设备自动化成为企业发展必然趋势，特别是对现有设备进行技术改造升级，实现设备自动化要求，减少更换工装的时间，重复加工工装成本，降低操作人员的劳动强度，提高工作效率成为一个急需解决的问题。市场上的晶圆片尺寸2寸～12寸，传统的装夹定心方式是将工件放在同心圆底座上，通过底座上的加工好的阶梯圆与晶圆片外圈配合定位，这种定位方式为固定定心，即每一个晶圆片都靠同心阶梯圆定心，这样定心精度就受到工装的每一个阶梯圆同心度的影响；且因为需要取放，晶圆片外圈与阶梯圆内径间隙不宜过大或过小，间隙过大影响同心度，间隙过小晶圆片取放易碎不方便。由于外径规格较多，需要制作多个阶梯圆，造成同心圆底座较厚，需要精密加工的尺寸很多，需要很大的加工成本。另一种通过螺杆旋转拧紧正反螺母，使V型块夹紧晶圆片的办法，但螺纹连接有很大的反向间隙，容易出现定位不精确。

发明内容

本发明解决的技术问题是提供一种晶圆片同心规整装置，结构简单、操作方便、成本低廉，适宜推广应用。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种晶圆片同心规整装置，包括安装板、固定板和规整机构；所述安装板通过支撑轴安装在固定板上；所述安装板靠近固定板的一面上设置有直线导轨；所述直线导轨上设置有滑块；所述固定板底部设置有步进电机；所述安装板中心开设有圆孔，所述圆孔内设置有感应开关；所述安装板上还设置有限制规整机构的限位装置。

进一步的是：所述规整机构包括规整轴、链杆和转盘；所述规整轴底部连接有滑块连接件；所述滑块连接件固定连接在滑块上；所述链杆的一端通过长定位销与滑块连接件连接，另一端设置于转盘上。

进一步的是：所述转盘与步进电机的转轴连接。

进一步的是：所述安装板上沿着圆孔径向开设有多个条形通孔。

进一步的是：所述规整机构共有多组，每组规整机构的直线导轨与一个条形通孔长度方向平行。

进一步的是：所述规整轴穿过条形通孔后伸出安装板上表面。

进一步的是：所述限位装置包括分别设置于直线导轨首尾两端的外限位开关和内限位开关；还包括设置于滑块连接件上的感应片；所述滑块连接件沿直线导轨运动时会触发外限位开关和内限位开关。

本发明的有益效果是：本发明可使夹紧工件的规整轴同时向心移动，且移动距离完全相等，因而定位精度准确，实现工件的自动夹紧和定心。利用伸出的规整块夹紧，可根据不同的工件设计成不同长短。本装置采用步进电机驱动，代替人工劳作，大大提高了生产效率和加工质量，改善了劳动条件。

附图说明

图1为晶圆片同心规整装置结构示意图；

图2为晶圆片同心规整装置俯视结构示意图；

图3为晶圆片同心规整装置侧面结构示意图；

图4为规整装置结构示意图。

图中标记为：1、安装板；11、规整轴；12、直线导轨；13、滑块；14、滑块连接件；15、长定位销；17、链杆；18、感应开关；101、外限位开关；102、感应片；103、内限位开关；2、固定板；21、支撑轴；22、步进电机；23、转盘；3、产品。

具体实施方式

为了加深对本发明的理解，下面将结合附图和实施例对本发明做进一步详细描述，该实施例仅用于解释本发明，并不对本发明的保护范围构成限定。

实施例

如图1只图4所示，一种晶圆片同心规整机构，包括安装板1、固定板2和规整机构；所述安装板1通过支撑轴21安装在固定板2上；所述安装板1靠近固定板2的一面上设置有直线导轨12；所述直线导轨12上设置有滑块13；所述固定板2底部设置有步进电机22；所述安装板1中心开设有圆孔，所述圆孔内设置有感应开关18；所述安装板1上还设置有限制规整机构的限位装置。

所述规整机构包括规整轴11、链杆17和转盘23；所述规整轴11底部连接有滑块连接件14；所述滑块连接件14固定连接在滑块13上；所述链杆17的一端通过长定位销15与滑块连接件14连接，另一端设置于转盘23上。

所述转盘23与步进电机22的转轴连接。

所述安装板1上沿着圆孔径向开设有多个条形通孔。

所述规整机构共有多组，每组规整机构的直线导轨12与一个条形通孔长度方向平行。

所述规整轴11穿过条形通孔后伸出安装板1上表面。

所述限位装置包括分别设置于直线导轨12首尾两端的外限位开关101和内限位开关103；还包括设置于滑块连接件14上的感应片102；所述滑块连接件14沿直线导轨12运动时会触发外限位开关101和内限位开关103。

实际使用中，将产品3放置在安装板1上，步进电机22驱动转盘23转动，转盘23转动时拉紧链杆17，规整轴11在滑块13和直线导轨12的约束下沿着直线滑轨12向感应开关18所在的中心向心运动，多根规整轴11同步运动，实现将晶圆片加紧在中心的动作。

动作过程中感应开关18负责感应有无产品3，可用于提醒操作人员取放料；外限位开关101和内限位开关103用于检测规整轴11到达极限位置；实际应用中，外限位开关101和内限位开关103之间的限定距离略短于安装板1上开设的条形通孔长度，可避免规整轴11与条形通孔硬性接触，避免磨损。

本装置通过转盘23和链杆17将步进电机22转动的力转换为径向方向的力，带动多个规整轴11向心移动，且移动距离完全相等，可保证定位精度，实现产品的自动夹紧和定心。

上述实施例不应以任何方式限制本发明，凡采用等同替换或等效转换的方式获得的技术方案均落在本发明的保护范围内。