一种低温测试流道制冷方法及装置
文献发布时间：2024-04-18 20:02:18
技术领域
本发明涉及半导体和工业自动化技术领域，具体为一种低温测试流道制冷方法及装置。
背景技术
现有的一种低温测试流道制冷装置及方法是通过制冷系统将导热液并行输送至水平放置的预温区与测试区，实现对该区域的制冷；生产通过机械手将芯片产品依次放入低温预温区，经过一段时间预温后，机械手再将产品转移至低温测试区。该装置及方法存在以下不足；
制冷系统将导热液并行输送方式存在不同区域温差较大问题
芯片在低温区域转移搬运过程需要机械手运动空间较大，导致设备体积较大，成本较高。
芯片转移过程容易损伤压裂，造成二次伤害问题
另外一种生产测试所用的低温环境主要制冷方法是采用液氮制冷该装置及方法存在以下不足；
液氮制冷的低温测试装置设计制造成本较高；
制冷所需要的液氮是易消耗品，储存搬运管理成本较高；
生产车间液氮使用的安全风险问题；
为解决上述问题，本发明特提供一种低温测试流道制冷装置及方法以解决上述问题。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明提供了一种低温测试流道制冷装置及方法，解决了目前生产测试所用的低温环境主要制冷方法是采用液氮制冷，存在着液氮制冷的低温测试装置设计制造成本较高；制冷所需要的液氮是易消耗品，储存搬运管理成本较高和生产车间液氮使用的安全风险高的问题。
为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种低温测试流道制冷方法，通过制冷系统将导热液串行输送至垂直制冷放置的AB两组预温区流道与测试区流道，利用热管原理将导热液的温度充分传送AB两组预温区流道与测试区流道，实现温度一致性；
制冷装置是分别在垂直放置AB两组预温区流道与测试区流道表面布置芯片产品定向轨道，当产品定向轨道入口依次进入，利用产品自身重力作用，产品一颗挨着一颗进入预温区定向轨道进行低温预温，经过一段时间低温浸泡预温；
根据先进先出的原则，使每颗产品温度充分与环境温度一致，预温区定向轨道末端的分离机构将会释放一颗产品进入测试区定向轨道，产品在低温测试区轨道内进行低温测试。
优选的，所述制冷机供液输入管的端部安装有装置供液分流块，所述装置供液分流块外部分别连接有A组低温测试流道和B组低温测试流道，所述A组低温测试流道和B组低温测试流道的输出端连接有A组低温预温流道装置，所述A组低温预温流道装置的另一端连接有B组低温预温流道装置，所述B组低温预温流道装置的顶部安装有制冷机回液输出管。
优选的，所述A组测试流道上接口和A组测试流道下接口分别开设于A组低温测试流道的上下两端，所述B组测试流道上接口和B组测试流道下接口分别开设于B组低温测试流道的上下两端，所述A组低温预温流道装置和B组低温预温流道装置的底部分别安装有A组低温测试轨道装置和B组低温测试轨道装置，所述A组低温测试流道安装于A组低温测试轨道装置中，所述B组低温测试流道安装于B组低温测试轨道装置中。
优选的，所述装置供液分流块与A组测试流道下接口之间安装有A组测试流道供液管，所述装置供液分流块与B组测试流道下接口之间安装有B组测试流道供液管。
优选的，所述A组低温预温流道装置的底端外壁安装有A组预温流道供液管，所述A组预温流道供液管的另一端安装有A组流道供液转接块，所述A组流道供液转接块的外壁安装有A组测试流道回液管和B组测试流道回液管，所述A组测试流道回液管与A组测试流道上接口相连接，所述B组测试流道回液管与B组测试流道上接口相连接。
优选的，所述A组低温预温流道装置的顶部安装有A组预温流道回液管，所述B组低温预温流道装置的底部外表面安装有B组预温流道供液管，所述A组预温流道回液管与B组预温流道供液管之间安装有A组至B组供液输入管。
优选的，所述A组预温流道回液管与B组预温流道供液管的端部分别安装有A组流道回液转接块和B组流道供液转接块，所述A组至B组供液输入管的两端分别与A组流道回液转接块和B组流道供液转接块固定安装。
优选的，所述B组低温预温流道装置的顶端安装有B组预温流道回液管，所述B组预温流道回液管的端部安装有装置回液转接块，所述制冷机回液输出管安装在装置回液转接块的外表面。
优选的，所述A组预温流道上接口和A组预温流道下接口分别开设于A组低温预温流道装置的两端，所述A组预温流道供液管与A组预温流道下接口相连接，A组预温流道回液管和A组预温流道上接口相连接，所述B组预温流道上接口和B组预温流道下接口分别开设于B组低温预温流道装置的两端，所述B组预温流道供液管与B组预温流道下接口相连接，所述B组预温流道回液管与B组预温流道上接口相连接。
本发明公开了一种低温测试流道制冷装置及方法，其具备的有益效果如下：
该低温测试流道制冷装置及方法，制冷液通过制冷机供液输入管进入到该装置内部，然后通过装置供液分流块进行分流，一部分制冷液通过A组测试流道供液管进入到A组低温测试流道中，另一部分制冷液通过B组测试流道供液管进入到B组低温测试流道中，以此实现分流制冷，然后两组分流的制冷液分别通过A组测试流道回液管和B组测试流道回液管汇总至A组预温流道供液管中，然后从下端进入到A组低温预温流道装置内部，然后通过A组低温预温流道装置顶端的A组至B组供液输入管流至B组低温预温流道装置中，然后从B组低温预温流道装置顶端的制冷机回液输出管流出，最终回流至制冷机系统中，以此实现冷却液循环，从而解决了传统的生产测试所制造的低温环境采用液氮制冷所存在的设计制造成本高、存储运输管理成本高和安全性差的问题。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明低温测试流道制冷方法示意图；
图2为本发明低温测试流道制冷方法流程图；
图3为本发明低温测试流道制冷装置结构简图；
图4为本发明低温测试流道制冷装置整体结构示意图；
图5为本发明图4的A部分结构放大图；
图6为本发明A组低温预温流道装置和B组低温预温流道装置外表面结构示意图。
图中：1、制冷机供液输入管；2、装置供液分流块；3、A组测试流道供液管；4、A组低温测试轨道装置；5、A组低温测试流道；6、A组测试流道回液管；7、B组测试流道供液管；8、B组低温测试轨道装置；9、B组低温测试流道；10、B组测试流道回液管；11、A组预温流道供液管；12、B组预温流道供液管；13、A组流道供液转接块；14、B组流道供液转接块；15、A组低温预温流道装置；16、B组低温预温流道装置；17、A组至B组供液输入管；18、A组流道回液转接块；19、A组预温流道回液管；20、B组预温流道回液管；21、装置回液转接块；22、制冷机回液输出管。
实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本申请实施例通过提供一种低温测试流道制冷装置及方法，解决了目前生产测试所用的低温环境主要制冷方法是采用液氮制冷，存在着液氮制冷的低温测试装置设计制造成本较高；制冷所需要的液氮是易消耗品，储存搬运管理成本较高和生产车间液氮使用的安全风险高的问题。
为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案进行详细的说明。
本发明实施例公开一种低温测试流道制冷装置及方法。
根据附图1-6所示，该低温测试流道制方法，通过制冷系统将导热液串行输送至垂直制冷放置的AB两组预温区流道与测试区流道，利用热管原理将导热液的温度充分传送AB两组预温区流道与测试区流道，实现温度一致性；
制冷装置是分别在垂直放置AB两组预温区流道与测试区流道表面布置芯片产品定向轨道，当产品定向轨道入口依次进入，利用产品自身重力作用，产品一颗挨着一颗进入预温区定向轨道进行低温预温，经过一段时间低温浸泡预温；
根据先进先出的原则，使每颗产品温度充分与环境温度一致，预温区定向轨道末端的分离机构将会释放一颗产品进入测试区定向轨道，产品在低温测试区轨道内进行低温测；
制冷装置制冷操作包括以下步骤；
S1、制冷液分流导入测试，制冷液通过制冷机系统供液出口流出进入到低温测试流道装置的制冷液流道入口后进行分流，分流后的制冷液一部分通过A组测试流道下接口进入，然后通过A组测试流道上接口流出，另一部分制冷液通过B组测试流道下接口进入，然后通过B组测试流道上接口流出；
S2、制冷液汇合预温，从AB组两测试流道上接口流出的制冷液汇合进入到A组预温流道内部，通过A组预温流道下接口进入，然后通过A组预温流道上接口流出，再通过B组预温流道下接口进入，通过B组预温流道上接口流出，以此向后对AB组预温流道进行预温；
S3、制冷液回流，从B组预温流道上接口流出的制冷液通过低温测试流道装置的制冷液流道出口流出，然后通过制冷机系统回液入口回流至制冷机系统中实现制冷液循环。
制冷机供液输入管1的端部安装有装置供液分流块2，装置供液分流块2外部分别连接有A组低温测试流道5和B组低温测试流道9，A组低温测试流道5和B组低温测试流道9的输出端连接有A组低温预温流道装置15，A组低温预温流道装置15的另一端连接有B组低温预温流道装置16，B组低温预温流道装置16的顶部安装有制冷机回液输出管22。
A组测试流道上接口和A组测试流道下接口分别开设于A组低温测试流道5的上下两端，B组测试流道上接口和B组测试流道下接口分别开设于B组低温测试流道9的上下两端，A组低温预温流道装置15和B组低温预温流道装置16的底部分别安装有A组低温测试轨道装置4和B组低温测试轨道装置8，A组低温测试流道5安装于A组低温测试轨道装置4中，B组低温测试流道9安装于B组低温测试轨道装置8中。
装置供液分流块2与A组测试流道下接口之间安装有A组测试流道供液管3，装置供液分流块2与B组测试流道下接口之间安装有B组测试流道供液管7。
A组低温预温流道装置15的底端外壁安装有A组预温流道供液管11，A组预温流道供液管11的另一端安装有A组流道供液转接块13，A组流道供液转接块13的外壁安装有A组测试流道回液管6和B组测试流道回液管10，A组测试流道回液管6与A组测试流道上接口相连接，B组测试流道回液管10与B组测试流道上接口相连接。
A组低温预温流道装置15的顶部安装有A组预温流道回液管19，B组低温预温流道装置16的底部外表面安装有B组预温流道供液管12，A组预温流道回液管19与B组预温流道供液管12之间安装有A组至B组供液输入管17。
A组预温流道回液管19与B组预温流道供液管12的端部分别安装有A组流道回液转接块18和B组流道供液转接块14，A组至B组供液输入管17的两端分别与A组流道回液转接块18和B组流道供液转接块14固定安装。
B组低温预温流道装置16的顶端安装有B组预温流道回液管20，B组预温流道回液管20的端部安装有装置回液转接块21，制冷机回液输出管22安装在装置回液转接块21的外表面。
A组预温流道上接口和A组预温流道下接口分别开设于A组低温预温流道装置15的两端，A组预温流道供液管11与A组预温流道下接口相连接，A组预温流道回液管19和A组预温流道上接口相连接，B组预温流道上接口和B组预温流道下接口分别开设于B组低温预温流道装置16的两端，B组预温流道供液管12与B组预温流道下接口相连接，B组预温流道回液管20与B组预温流道上接口相连接。
工作原理；该装置在使用时，制冷液通过制冷机供液输入管1进入到该装置内部，然后通过装置供液分流块2进行分流，一部分制冷液通过A组测试流道供液管3进入到A组低温测试流道5中，另一部分制冷液通过B组测试流道供液管7进入到B组低温测试流道9中，以此实现分流制冷；
然后两组分流的制冷液分别通过A组测试流道回液管6和B组测试流道回液管10汇总至A组预温流道供液管11中，然后从下端进入到A组低温预温流道装置15内部，然后通过A组低温预温流道装置15顶端的A组至B组供液输入管17流至B组低温预温流道装置16中，然后从B组低温预温流道装置16顶端的制冷机回液输出管22流出；
最终回流至制冷机系统中，以此实现冷却液循环，从而解决了传统的生产测试所制造的低温环境采用液氮制冷所存在的设计制造成本高、存储运输管理成本高和安全性差的问题。
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。