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激光模组

文献发布时间:2023-06-19 12:21:13


激光模组

技术领域

本申请涉及半导体激光器技术领域,具体涉及一种激光模组。

背景技术

高功率半导体激光器具有体积小、重量轻、效率高、寿命长等优点,已广泛用于激光加工及熔覆等领域,成为新世纪发展快、成果多、学科渗透广、应用范围大的核心器件。

然而,由于合束光的偏振度通常在92%-95%之间,也就是说,合束光的光能量损失会在5%-8%之间,损失较大。又例如,若为波长合束,合束后的合束光为多波长,以将激光用于工件加工为例,由于工件的材质、工件的加工需要等特殊要求,往往被加工件只是对某一特定波段的波长的吸收作用较强,而对其他波段的波长不敏感,这样一来,波长合束后对于波长的利用率较低。空间合束通常需要考虑合束组之间的空间排布,如何在既满足高功率需求又可以输出高质量的合束激光成为本领域技术人员亟需解决的技术问题。

发明内容

本申请实施例的目的在于提供一种激光模组,能够输出高功率高质量的线光斑,且模组整体设计紧凑,尺寸较小。

本申请提供一种激光模组,该激光模组包括沿第一方向交替设置的第一合光组和第二合光组;第一合光组包括第一光源、第二光源以及间隔设置的第一条纹合束镜和反射镜,第一光源发出的激光束由第一条纹合束镜的一侧透过第一条纹合束镜的透射纹并由反射镜反射,第二光源发出的激光束在第一条纹合束镜的另一侧由第一条纹合束镜的反射纹和反射镜依次反射后与第一光源出射的激光束插缝合束;第二合光组包括第三光源,第三光源出射的激光束与第一合光组出射的激光束插空合束且平行出射;第一方向与第一合光组出射激光束的方向垂直,在插空合束后的激光束的出射方向设置有匀化镜组,匀化镜组用于将插空合束后的激光束匀化出射。该激光模组能够输出高质量的线光斑,且模组整体设计紧凑,尺寸较小。

可选地,第二合光组还包括第四光源和第二条纹合束镜,第三光源透过第二条纹合束镜入射匀化镜组,第四光源出射的激光束经第二条纹合束镜反射后与第三光源出射的激光束插缝合束后并与第一合光组出射的激光束插空合束。

可选地,第一合光组包括至少两组,且第二合光组包括至少一组;或者,第一合光组包括至少一组,且第二合光组包括至少两组,第一光源、第二光源、第三光源和第四光源出射的激光束空间合束后经匀化镜组在接收面形成线光斑。

可选地,第一光源、第二光源、第三光源和第四光源到匀化镜组的光程相等。

可选地,第一方向为出射激光束的快轴方向。

可选地,该激光模组还包括设置于匀化镜组的入光侧的慢轴成像组,用于对激光束的慢轴方向准直和汇聚。

可选地,慢轴成像组包括依次设置的一个第一负透镜和两个平凸正透镜,两个平凸正透镜的凸面相对。

可选地,在第一负透镜与平凸正透镜之间还设置有快轴聚焦组,用于对激光束的快轴方向压缩聚焦成像。

可选地,快轴聚焦组包括依次设置的平凸聚焦镜和平凹柱面镜。

可选地,该激光模组还包括镜头安装件,快轴聚焦组的平凹柱面镜、慢轴成像组的两个平凸正透镜以及匀化镜组依次固定设置于镜头安装件内,镜头安装件可拆卸的安装于激光模组的光路上。

可选地,在主光路上还设有转折镜,转折镜与主光路方向呈夹角设置,以改变经转折镜的激光束的方向。

本发明的有益效果包括:

本申请实施例提供了一种激光模组,该激光模组将第一光源发出的激光束入射至第一条纹合束镜的一侧,并经过第一条纹合束镜的透射纹透射后,再经过反射镜的反射;与此同时,使得第二光源发出的激光束入射至第一条纹合束镜的另一侧,并经过第一条纹合束镜的反射纹的反射后,再经过反射镜的反射,这样,可以通过第一条纹合束镜实现第一光源和第二光源发出的光束进行插缝合束出射;然后,将自第一合光组插缝合束后的激光束和第二合光组的第三光源出射的激光束进行插空合束。在第一合光组和第二合光组出射的激光束插空合束出射后,匀化镜组可以对其进行匀化,以实现最终出射的激光束可以匀化出射,从而得到均匀的光斑。本实施例提供的激光模组能够输出高质量的线光斑,且模组整体设计紧凑,尺寸较小,不会增大整体光学系统的尺寸,从而利于光学系统中其他元件的灵活布置。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案,下面将对本申请实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本申请的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本实施例提供的激光模组的结构示意图;

图2是本实施例提供的激光模组的快轴光路示意图;

图3是本实施例提供的激光模组的慢轴光路示意图;

图4是本实施例提供的快轴宽度和慢轴宽度为3mm×14mm时激光模组的快轴光路示意图;

图5是本实施例提供的快轴宽度和慢轴宽度为3mm×14mm时激光模组的慢轴光路示意图;

图6是本实施例提供的快轴宽度和慢轴宽度为3mm×14mm时激光模组的出射光斑示意图;

图7A是本实施例提供的快轴宽度和慢轴宽度为3mm×14mm时激光模组的快轴光路形成的光斑能量密度图之一;

图7B是本实施例提供的快轴宽度和慢轴宽度为3mm×14mm时激光模组的快轴光路形成的光斑能量密度图之二;

图8是本实施例提供的快轴宽度和慢轴宽度为3mm×14mm时激光模组的慢轴光路形成的光斑能量密度图;

图9是本实施例提供的快轴宽度和慢轴宽度为3mm×20mm时激光模组的快轴光路示意图;

图10是本实施例提供的快轴宽度和慢轴宽度为3mm×20mm时激光模组的慢轴光路示意图;

图11是本实施例提供的快轴宽度和慢轴宽度为3mm×20mm时激光模组的出射光斑示意图;

图12A是本实施例提供的快轴宽度和慢轴宽度为3mm×20mm时激光模组的快轴光路形成的光斑能量密度图之一;

图12B是本实施例提供的快轴宽度和慢轴宽度为3mm×20mm时激光模组的快轴光路形成的光斑能量密度图之二;

图13是本实施例提供的快轴宽度和慢轴宽度为3mm×20mm时激光模组的慢轴光路形成的光斑能量密度图;

图14是本实施例提供的快轴宽度和慢轴宽度为3mm×28mm时激光模组的快轴光路示意图;

图15是本实施例提供的快轴宽度和慢轴宽度为3mm×28mm时激光模组的慢轴光路示意图;

图16是本实施例提供的快轴宽度和慢轴宽度为3mm×28mm时激光模组的出射光斑示意图;

图17A是本实施例提供的快轴宽度和慢轴宽度为3mm×28mm时激光模组的快轴光路形成的光斑能量密度图之一;

图17B是本实施例提供的快轴宽度和慢轴宽度为3mm×28mm时激光模组的快轴光路形成的光斑能量密度图之二;

图18是本实施例提供的快轴宽度和慢轴宽度为3mm×28mm时激光模组的慢轴光路形成的光斑能量密度图。

图标:10-第一合光组;11-第一光源;12-第二光源;13-第一条纹合束镜;14-反射镜;20-第二合光组;21-第三光源;22-第四光源;23-第二条纹合束镜;50-慢轴成像组;51-第一负透镜;521-第一平凸正透镜;522-第二平凸正透镜;53-第二负透镜;60-快轴聚焦组;61-平凸聚焦镜;62-平凹柱面镜;70-匀化镜组。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

在本申请的描述中,需要说明的是,术语“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系,仅是为了便于描述本申请和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请的限制。此外,术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述,而不能理解为指示或暗示相对重要性。

还需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“设置”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

请参照图1至图3,本申请实施例提供一种激光模组,该激光模组包括沿第一方向交替设置的第一合光组10和第二合光组20,第一合光组10包括第一光源11、第二光源12以及间隔设置的第一条纹合束镜13和反射镜14,第一光源11发出的激光束由第一条纹合束镜13的一侧透过第一条纹合束镜13的透射纹并由反射镜14反射,第二光源12发出的激光束在第一条纹合束镜13的另一侧由第一条纹合束镜13的反射纹和反射镜14依次反射后与第一光源11出射的激光束插缝合束;第二合光组20包括第三光源21,第三光源21出射的激光束与第一合光组10出射的激光束插空合束且平行出射。

第一方向与第一合光组10出射激光束的方向垂直,在插空合束后的激光束的出射方向设置有匀化镜组70,匀化镜组70用于将插空合束后的激光束匀化出射。

在本实施例中,请参照图1,第一合光组10可以包括两组,第二合光组20可以包括一组,第二合光组20位于两第一合光组10之间。这样,激光模组可以实现将三组激光束进行插空合束。在其他实施例中,第二合光组20可以包括两组,第一合光组10可以包括一组,第一合光组10位于两第二合光组20之间。应理解,第一合光组10或者第二合光组20包括两组仅为示例,在其他的实施例中,第一合光组10或者第二合光组20也可以包括多组,例如三组或者四组等,本申请对第一合光组10和第二合光组20的数量不做限制,本领域技术人员可根据实际需求确定第一合光组10和第二合光组20的数量。

每一组第一合光组10均包括第一条纹合束镜13和反射镜14,其中,第一条纹合束镜13上设有反射纹和透射纹。其中,反射纹设于第一条纹合束镜13上,用于反射自第二光源12出射的激光束;透射纹也设于第一条纹合束镜13上,用于透射自第一光源11出射的激光束。反射纹和透射纹的分布方式本申请不做限制,本领域技术人员可根据需要设置,例如,可将透射纹和反射纹交错分布,也可以将透射纹和反射纹按区分布,当然这仅为示例。

还有,请结合参照图1和图3,为了使得自第一光源11和第二光源12出射的激光束能够顺利的经过第一条纹合束镜13进行反射或者透镜,并经过反射镜14进行反射,在本实施例中,上述每组第一合光组10的第一条纹合束镜13和反射镜14都是呈间隔设置的。

示例地,第一条纹合束镜13和反射镜14还可以在间隔设置的基础上呈平行设置。其中,第一条纹合束镜13和反射镜14与主光路之间的夹角可以为锐角。具体地,本申请对第一条纹合束镜13和反射镜14与主光路夹角的具体角度不做限制。例如,第一条纹合束镜13和反射镜14可以与主光路呈15°、30°、45°、60°以及75°等夹角设置,如图3所示。应理解,上述角度仅为本申请给出的几种示例。

如图3所示,第一合光组10还包括第一光源11和第二光源12。其中,第一光源11发射的激光束入射至第一条纹合束镜13的其中一侧,可透过第一条纹合束镜13的透射纹,进而入射至反射镜14,然后经过反射镜14的反射后与第二光源12出射的激光束进行合束;与此同时,第二光源12发射的激光束入射至第一条纹合束镜13的另一侧,并经过第一条纹合束镜13的反射纹的反射,进而入射至反射镜14,然后经过反射镜14的反射后与第一光源11出射的激光束进行插缝合束。

其中,第一光源11和第二光源12的出光方向可以相互垂直,也可以不垂直。

需要说明的是,当第一合光组10包括多组时(即大于或等于两组时),用于入射至不同第一合光组10的第一光源11可以采用同一个光源,或者不同的光源;用于入射至不同第一合光组10的第二光源12也可以采用同一个光源,或者不同的光源。同理,当第二合光组20包括多组时,用于入射至不同第二合光组20的第三光源21也可以采用同一个光源,或者是采用不同的光源。

当每组第一合光组10均采用不同的光源时,以激光模组包括两组第一合光组10为例,此时对应地,其中一组第一合光组10对应设有一组第一光源11和第二光源12,另一组第一合光组10也对应设有另一组第一光源11和第二光源12。

另外,示例地,在本实施例中,上述第一光源11和第二光源12可以为半导体激光堆栈光源。

上述匀化镜组70用于对经过第一合光组10插缝合束出射后的激光束与第二合光组的第三光源出射的激光束插空合束后,对出射的激光束进行匀化,从而使得光强度能够均匀分布,以得到均匀的光斑。其中,匀化镜组70的具体形式和结构本申请不做限定,只要能起到对合束光的匀化即可。

综上所述,本实施例提供了一种激光模组,该激光模组包括沿第一方向交替设置的第一合光组10和第二合光组20,第一合光组10包括第一光源11、第二光源12以及间隔设置的第一条纹合束镜13和反射镜14,第一光源11发出的激光束由第一条纹合束镜13的一侧透过第一条纹合束镜13的透射纹并由反射镜14反射,第二光源12发出的激光束在第一条纹合束镜13的另一侧由第一条纹合束镜13的反射纹和反射镜14依次反射后与第一光源11出射的激光束插缝合束;第二合光组20包括第三光源21,第三光源21出射的激光束与第一合光组10出射的激光束插空合束且平行出射。第一方向与第一合光组10出射激光束的方向垂直,在插空合束后的激光束的出射方向设置有匀化镜组70,匀化镜组70用于将插空合束后的激光束匀化出射。这样,可将第一光源11发出的激光束入射至第一条纹合束镜13的一侧,并经过第一条纹合束镜13的透射纹透射后,再经过反射镜14的反射;与此同时,使得第二光源12发出的激光束入射至第一条纹合束镜13的另一侧,并经过第一条纹合束镜13的反射纹的反射后,再经过反射镜14的反射,这样,可以通过第一条纹合束镜13实现第一光源11和第二光源12发出的光束进行插缝合束出射;然后,将自第一合光组10插缝合束后的激光束和第二合光组20的第三光源21出射的激光束进行插空合束。在第一合光组10和第二合光组20出射的激光束插空合束出射后,匀化镜组70可以对其进行匀化,以实现最终出射的激光束可以匀化出射,从而得到均匀的光斑。本实施例提供的激光模组能够输出高质量的线光斑,且模组整体设计紧凑,尺寸较小,不会增大整体光学系统的尺寸,从而利于光学系统中其他元件的灵活布置。

请参照图2和图3,可选地,上述第二合光组20还包括第四光源22和第二条纹合束镜23。第三光源21透过第二条纹合束镜23入射匀化镜组70,第四光源22出射的激光束经第二条纹合束镜23反射后与第三光源21出射的激光束插缝合束后并与第一合光组10出射的激光束插空合束。

其中,第三光源21和第四光源22的出光方向可以相互垂直,也可以不垂直,本申请不做限制。

需要说明的是,请参照图2,在本实施例中,上述第二条纹合束镜23位于相邻的两个第一合光组10之间,这样可以实现在相邻的两束合光束之间形成插缝光。

对应地,该第二条纹合束镜23用于对第三光源21和第四光源22发出的激光束进行合束,其中,在本实施例中,该第三光源21和第四光源22也为半导体激光堆栈光源。

其中,第二条纹合束镜23和第一条纹合束镜13同理,均包括透射纹和反射纹,这样,第三光源21发出的激光束可以透过第二条纹合束镜23的透射纹,并且第四光源22发出的激光束可以经过第二条纹合束镜23的反射纹的反射后进行合束。

在本实施例中,第二条纹合束镜23的镜面和第一条纹合束镜13的镜面可以垂直,这样,可以使得光程相互配合,从而尽可能地减少光程差,而且充分利用结构空间;并使得光源之间可以相互避让,也便于当光源是半导体激光叠阵时,热沉等结构能够便于设置。当然,第二条纹合束镜23的镜面与第一条纹合束镜13的镜面也可以呈平行或呈夹角设置。但需注意,无论第二条纹合束镜23采用何种设置方式,只要保证经过第二条纹合束镜23后出射的光束与第一合光组10出射的光束是平行合束即可。

在第三光源21和第四光源22出射的激光束经过第二条纹合束镜23的插缝合束后,可以与第一合光组10出射的激光束进行插空合束。

可选地,在本实施例中,第一合光组10包括至少两组,且第二合光组20包括至少一组;或者,第一合光组10包括至少一组,且第二合光组20包括至少两组。第一光源11、第二光源12、第三光源21和第四光源22出射的激光束空间合束后经匀化镜组70在接收面形成线光斑。

可以通过对各个透镜之间的距离进行调整,从而以得到不同需求的光斑。请参照图4和图5所示,可以对各个透镜之间的距离进行调整后,使得在接收面得到的光斑为快轴宽度和慢轴宽度为3mm×14mm的长条形线光斑,如图6所示。这时,在快轴上可以形成如图7A或图7B所示的光斑能量密度图;在慢轴上可形成如图8所示的光斑能量密度图。

其中,需要说明的是,图7A示出的是快轴方向的能量呈平顶分布时对应的示意图,图7B示出的是快轴方向的能量呈高斯分布时对应的示意图,具体需要呈平顶分布还是呈高斯分布的能量图,本申请可以通过对匀化镜组70(匀化镜组70包括快轴匀化镜组和慢轴匀化镜组,此处具体为匀化镜组70中的快轴匀化镜组)进行替换来实现。

请参照图9和图10所示,可以对各个透镜之间的距离进行调整后,使得在接收面得到的光斑为快轴宽度和慢轴宽度为3mm×20mm的长条形线光斑,如图11所示。这时,在快轴上可以形成如图12A或图12B所示的光斑能量密度图;在慢轴上可形成如图13所示的光斑能量密度图。

其中,图12A对应的是快轴方向的能量呈平顶分布时的示意图,图12B对应的是快轴方向的能量呈高斯分布时的示意图。与前文得到3mm×14mm的长条形线光斑同理,呈平顶分布或是呈高斯分布也是通过对匀化镜组70(具体为匀化镜组70中的快轴匀化镜组)进行替换来实现。

请参照图14和图15所示,可以对各个透镜之间的距离进行调整后,使得在接收面得到的光斑为快轴宽度和慢轴宽度为3mm×28mm的长条形线光斑,如图16所示。这时,在快轴上可以形成如图17A或图17B所示的光斑能量密度图;在慢轴上可形成如图18所示的光斑能量密度图。

其中,图17A对应的是快轴方向的能量呈平顶分布时的示意图,图17B对应的是快轴方向的能量呈高斯分布时的示意图。与前文得到3mm×14mm的长条形线光斑同理,呈平顶分布或是呈高斯分布也是通过对匀化镜组70中的快轴匀化镜组进行替换来实现。

应理解,上述不同的光斑仅为本申请的示例,不应当看作是对本申请所形成的光斑的限制。其中,不同的光斑对应具有特定的作用,本领域技术人员可根据不同的需求进行调整,以得到所需的光斑。

另外,需要注意的是,本申请的激光束在空间合束后经匀化镜组70在接收面形成的线光斑为等强线光斑。

可选地,在本实施例中,第一光源11和第二光源12的光程相等。为了获得高质量的线光斑,在本实施例中,上述第一光源11、第二光源12、第三光源21和第四光源22到匀化镜组70的光程均相等。

在本实施例中,多组第一合光组10是沿第一方向排布的,示例地,在本实施例中,可选地,第一方向为出射激光束的快轴方向。

请参照图2,进一步地,在本实施例中,该激光模组还包括设置于匀化镜组70的入光侧的慢轴成像组50,该慢轴成像组50用于对激光束的慢轴方向准直和汇聚。

其中,该慢轴成像组50包括依次设置的一个第一负透镜51和两个平凸正透镜,两个平凸正透镜的凸面相对。

需要说明的是,请参照图2所示,平凸正透镜包括两个,分别为第一平凸正透镜521和第二平凸正透镜522,且第二平凸正透镜522位于第一平凸正透镜521和匀化镜组70之间,且第一平凸正透镜521的凸面和第二平凸正透镜522的凸面呈相对设置。

可选地,该慢轴成像组50还可以包括第二负透镜53。其中,第二负透镜53位于第二平凸正透镜522与匀化镜组70之间。

在本实施例中,在第一负透镜51与平凸正透镜之间还设置有快轴聚焦组60,用于对激光束的快轴方向压缩聚焦成像。

其中,该快轴聚焦组60具体位于第一负透镜51与第一平凸正透镜521之间,用以在将扩束后的光束在快轴聚焦(慢轴成像组50先扩束再汇聚),从而缩小在接收面形成的光斑尺寸。

示例地,该快轴聚焦组60包括依次设置的平凸聚焦镜61和平凹柱面镜62。

其中,该平凸聚焦镜61的凸面背离平凹柱面镜62,且平凹柱面镜62的凹面背离平凸聚焦镜61。

由于现有技术中激光模组多为单一镜头,从而只能形成单一的光斑,其光斑不可调整,为此,本实施例提供的激光模组设置有镜头安装件,快轴聚焦组60的平凹柱面镜62、慢轴成像组50的两个平凸正透镜以及匀化镜组70依次固定设置于镜头安装件内,镜头安装件可拆卸的安装于激光模组的光路上。

这样,可以根据要形成的多种光斑形态需求预先调整快轴聚焦组60的平凹柱面镜62、慢轴成像组50的两个平凸正透镜以及匀化镜组70,并将调整好的上述光学元件对应安装固定至不同镜头安装件内。这样,便可以获得多个镜头,进而在使用时,可以根据所需的光斑需求直接选用合适的镜头并安装至激光模组的光路上即可,如此一来,可实现根据需要方便地调整光斑的形态。例如,可预先设置好可以形成快轴宽度和慢轴宽度为3mm×14mm、3mm×20mm以及3mm×28mm的光斑对应的镜头,当然,上述光斑形态仅为示例,本领域技术人员也可以根据需求预先设置好可形成其他形态的光斑的镜头,本申请在此不做限制。

可选地,在主光路上还可以设有转折镜(图未示),转折镜与主光路方向呈夹角设置,以改变经转折镜的激光束的方向。

示例地,上述转折镜可以为反射镜14。

其中,转折镜可根据需要设置在主光路上的任意位置,本申请实施例对此不做具体限定。例如,可以设置于匀化镜组70远离慢轴成像组50的一侧,这样,该激光模组对应的其他光学元件的设置位置还是如图1所示的位置;当然,上述转折镜还可以设置于其他位置,例如匀化镜组70靠近慢轴成像组50的一侧,这样,激光束方向在改变后,对应地,激光模组内的对应光学元件的位置也将发生适应性的改变(此时对应地匀化镜组70的位置会发生改变)。由于根据转折镜的设置位置对应调整其他光学元件的位置本领域技术人员可以根据本实施例的技术方案合理推导得到,因此,本申请不再详述。

应理解,上述转折镜的设置是根据是否需要改变激光束的方向而定的,因此,本领域技术人员可根据需求选择设置转折镜也可以选择不设置,在此不做限制。

还有,转折镜的设置角度也不做限定,可根据激光束的方向的偏转需求而定,例如需要将激光束转折90°时,则可以将转折镜呈45°设置于主光路上。

本申请实施例的另一方面,提供了一种光学系统。该光学系统包括上述的激光模组。

本实施例通过采用该光学系统,可以形成均匀且高质量的线光斑,该线光斑可以应用于激光医疗美容、激光工业加工、探测等技术领域。并且,由于该光学系统的激光模组的结构尺寸较小,所以还可以降低本光学系统的整体尺寸,从而实现更多的光学元件的灵活布置,进而适应不同的需求。

示例地,当将该光学系统应用于激光加工领域时,可以使用本光学系统的激光模组形成的线光斑作为“切割刀具”对材料进行激光切割加工,从而实现各种金属、非金属板材、复合材料等的切割。亦或者采用本光学系统的激光模组进行激光焊接、激光雕刻、镭射打标等;当将该光学系统应用于激光医疗美容领域时,可以利用该光学系统的激光模组产生的激光束作用于人体组织,以产生局部高热量,进而去除或者破坏目标组织,达到美容治疗的目的。

由于该光学系统包含的激光模组的结构和有益效果在前述实施例中已经进行了详细阐述与说明。故在此不再赘述。

以上所述仅为本申请的实施例而已,并不用于限制本申请的保护范围,对于本领域的技术人员来说,本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本申请的保护范围之内。

相关技术
  • 一种激光模组及具有该激光模组的激光准直仪
  • 一种激光模组及具有该激光模组的激光仪
技术分类

06120113267647