一种蒸镀设备

技术领域

本发明涉及蒸发镀膜的技术领域，尤其涉及一种蒸镀设备。

背景技术

目前，在OLED制作过程中，通常采用蒸镀源进行蒸镀，在蒸镀过程中，往往需要对蒸镀源盖体上的喷嘴的位置进行调节，以优化蒸镀在基板上的膜层厚度。然而现有的蒸镀设备的喷嘴位置固定，在需要调节喷嘴位置的情况下，需要更换蒸镀源的盖体，导致调节效率较低，调节难度较大且需要准备多种喷嘴位置的盖体，成本较高。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。

为此，本发明提供了一种蒸镀设备。

有鉴于此，根据本申请实施例提出了一种蒸镀设备，包括：

容纳部，用于容纳蒸镀材料；

连接部，设置于上述容纳部的一侧表面；

喷嘴，沿上述连接部的长度方向移动地设置于上述连接部，且上述喷嘴通过上述连接部连通于上述容纳部。

在一种可行的实施方式中，上述容纳部包括：

壳体，上述壳体形成有敞口的容纳腔；

盖体，盖设于上述敞口，上述连接部设置于上述盖体；

流通口，贯穿于上述盖体，上述喷嘴通过上述连接部连通于上述流通口。

在一种可行的实施方式中，上述喷嘴转动地设置于上述连接部，上述喷嘴的转动方向相交于上述长度方向。

在一种可行的实施方式中，上述喷嘴包括：

活动部，转动地设置于上述连接部；

喷口，上述喷口穿设于上述活动部；

第一固定件，用于将上述活动部固定于上述连接部。

在一种可行的实施方式中，沿上述活动部的转动方向开设有长条孔，上述连接部开设有固定孔；

在上述活动部转动至预设位置的情况下，上述第一固定件穿过上述长条孔和上述固定孔。

在一种可行的实施方式中，远离上述连接部的部分上述活动部可沿上述长度方向移动，且靠近上述连接部的部分上述活动部覆盖于上述流通口。

在一种可行的实施方式中，上述喷嘴设置有多个，多个上述喷嘴的活动部沿上述长度方向间隔排布，且每个上述活动部沿上述长度方向移动的距离小于或等于相邻的上述活动部的间距的一半。

在一种可行的实施方式中，上述活动部包括：

多个连接片，堆叠设置于上述连接部，且连接于上述喷口的上述连接片可相对于上述连接部转动；

相邻的上述连接片可沿上述长度方向错动；

第二固定件，用于固定多个上述连接片。

在一种可行的实施方式中，上述连接片沿上述长度方向开设有第一通孔，上述第二固定件可插入上述第一通孔。

在一种可行的实施方式中，上述连接片开设有第二通孔，在多个上述连接片均错动至最大距离的情况下，多个上述连接片的上述第二通孔相导通。

在一种可行的实施方式中，沿上述盖体厚度延伸方向，上述连接部的截面为第一圆弧形，上述活动部的截面为第二圆弧形，上述第一圆弧形的弧长大于上述第二圆弧形的弧长。

在一种可行的实施方式中，上述连接部设置有第一齿轮，上述活动部设置有第二齿轮，上述第一齿轮啮合于上述第二齿轮

在一种可行的实施方式中，上述盖体和上述连接部为一体化结构；和/或

上述喷口和上述活动部为一体化结构；和/或

上述喷口和上述活动部由耐高温刚性材料制成。

相比现有技术，本发明至少包括以下有益效果：本申请实施例提供的蒸镀设备设置有容纳部、连接部和喷嘴。其中，容纳部内形成有容纳腔，以放置容纳蒸镀材料，蒸镀材料在容纳腔内受热气化蒸发，连接部设置于容纳部的一侧表面，喷嘴通过连接部联通于容纳腔，容纳腔内蒸发的蒸镀材料可通过喷嘴喷出至待蒸镀基板上，以在基板上形成蒸镀膜层。且喷嘴可沿连接部的长度方向移动，通过移动喷嘴，以扩大喷嘴的喷涂覆盖范围。如此设置，无需如现有技术中设计多种喷嘴位置的蒸镀源盖体，节省设计及生产成本。并在调整喷嘴的位置时无需更换蒸镀源的盖体，提高调整效率，降低调节难度。

附图说明

通过阅读下文示例性实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出示例性实施方式的目的，而并不认为是对本申请的限制。而且在整个附图中，用相同的参考符号表示相同的部件。在附图中：

图1为本申请提供的一种实施例的蒸镀设备的示意性结构图；

图2为图1所示的蒸镀设备的一种工作状态的剖面示意图；

图3为图1所示的蒸镀设备的另一种工作状态的剖面示意图；

图4为本申请提供的一种实施例的喷嘴的示意性结构图；

图5为本申请提供的一种实施例的喷嘴和连接部的装配示意图。

其中，图1至图5中附图标记与部件名称之间的对应关系为：

110容纳部，120连接部，130喷嘴；

111壳体，112盖体，113流通口，131活动部，132喷口，133长条孔；

1311连接片，1312第二通孔。

具体实施方式

下面将参照附图更详细地描述本申请的示例性实施例。虽然附图中显示了本申请的示例性实施例，然而应当理解，可以以各种形式实现本申请而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本申请，并且能够将本申请的范围完整的传达给本领域的技术人员。

如图1至图5所示，根据本申请实施例提出了一种蒸镀设备，包括：容纳部110，用于容纳蒸镀材料；连接部120，设置于上述容纳部110的一侧表面；喷嘴130，沿上述连接部120的长度方向移动地设置于上述连接部120，且上述喷嘴130通过上述连接部120连通于上述容纳部110。

本申请实施例提供的蒸镀设备设置有容纳部110、连接部120和喷嘴130。其中，容纳部110内形成有容纳腔，以放置容纳蒸镀材料，蒸镀材料在容纳腔内受热气化蒸发，连接部120设置于容纳部110的一侧表面，喷嘴130通过连接部120联通于容纳腔，容纳腔内蒸发的蒸镀材料可通过喷嘴130喷出至待蒸镀基板上，以在基板上形成蒸镀膜层。且喷嘴130可沿连接部120的长度方向移动，通过移动喷嘴130，以扩大喷嘴130的喷涂覆盖范围。如此设置，无需如现有技术中设计多种喷嘴130位置的蒸镀源盖体112，节省设计及生产成本。并在调整喷嘴130的位置时无需更换蒸镀源的盖体112，提高调整效率，降低调节难度。

需要说明的是，在喷嘴130沿连接部120的长度方向移动时，喷嘴130始终和容纳部110保持连通，以保证容纳部110内的蒸镀材料可顺畅通过喷嘴130喷向待蒸镀基板上，避免在蒸镀作业过程中发生间断，影响蒸镀膜层的均匀性。

示例性的，喷嘴130可设置有多个，且多个喷嘴130可沿连接部120的长度方向设置，以降低每个喷嘴130的移动行程，对每个喷嘴130的移动控制更加精准且容易保证喷嘴130在移动时始终和容纳部110保持连通状态。进一步提高蒸镀膜层的均匀性。

示例性的，喷嘴130的移动速度可与待蒸镀基板的移动速度相配合，在待蒸镀基板移动速度较快的情况下，喷嘴130的移动速度随之增快，以避免喷出的蒸镀材料在基板上重叠面积过大，导致蒸镀膜层不均匀。在待蒸镀基板移动速度较慢的情况下，喷嘴130的移动速度随之减慢，避免喷在基板上的蒸镀膜层过薄，无法达到设计标准。

在一些示例中，如图1和图5所示，上述容纳部110包括：壳体111，上述壳体111形成有敞口的容纳腔；盖体112，盖设于上述敞口，上述连接部120设置于上述盖体112；流通口113，贯穿于上述盖体112，上述喷嘴130通过上述连接部120连通于上述流通口113。

可以理解的是，容纳部110设置有壳体111、盖体112和流通口113。其中，壳体111内部形成有敞口的容纳腔，以容纳蒸镀材料。盖体112可盖设于敞口，以此封闭容纳腔。且盖体112上设置有流通口113，流通口113贯穿盖体112并连通于容纳腔。如此设置，将蒸镀材料在容纳腔内加热到一定温度后，蒸镀材料蒸发形成气态，同时可向容纳腔内通入载气，载气可选用惰性气体，避免和蒸镀材料在高温环境下发生反应影响蒸镀材料的性质及蒸发。且载气在容纳腔内流动可使蒸发为气态的蒸镀材料在整个容纳腔内分布均匀，降低蒸镀材料在每个喷嘴130处的喷出速率差，提高蒸镀涂层的均匀性。

可以理解的是，连接部120连接于盖体112，且流通口113可贯穿于连接部120，以此使得喷嘴130可通过连接部120连通于流通口113，气态的蒸镀材料可通过流通口113流动至喷嘴130处并从喷嘴130喷出。

在一些示例中，如图5所示，上述喷嘴130转动地设置于上述连接部120，上述喷嘴130的转动方向相交于上述长度方向。

可以理解的是，喷嘴130可转动地设置于连接部120，且喷嘴130的转动方向相交于连接部120的长度方向。示例性的，喷嘴130可沿容纳部110的宽度方向摆动。喷嘴130的转动可改变气态蒸镀材料从喷嘴130处喷射的方向，从而扩大喷嘴130在其转动方向上的能够覆盖待蒸镀基板的范围，从而降低基板上与喷嘴130对应区域的蒸镀膜层厚度差异，减少蒸镀膜层的重叠面积，提高蒸镀膜层的均匀性。

可以理解的是，喷嘴130的转动周期和待蒸镀基板的移动速度相配合，在待蒸镀基板移动速度较快的情况下，喷嘴130的转动速度随之增快，以避免喷出的蒸镀材料在基板上重叠面积过大，导致蒸镀膜层不均匀。在待蒸镀基板移动速度较慢的情况下，喷嘴130的转动速度随之减慢，以避免基板上的蒸镀膜层厚度过薄，达不到设计标准。

可以理解的是，蒸镀设备还可设置有控制器，控制器连接于喷嘴130，可控制喷嘴130的转动速度、转动角度以及移动速度。以保证喷嘴130喷出的气态蒸镀材料能够均匀覆盖基板，提高蒸镀膜层的均匀性，进而提高以基板装配的显示设备的光学均匀性和整体显示性能。在喷嘴130设置有多个的情况下，控制器分别连接于每个喷嘴130，以针对性地单独控制每个喷嘴130的转动速度、转动角度以及移动速度。

在一些示例中，如图4所示，上述喷嘴130包括：活动部131，转动地设置于上述连接部120；喷口132，上述喷口132穿设于上述活动部131；第一固定件，用于将上述活动部131固定于上述连接部120。

可以理解的是，喷嘴130设置有活动部131、喷口132和第一固定件。其中，喷口132穿设于活动部131并连通于连接部120，且活动部131可转动地设置于连接部120，转动活动部131可带动喷口132转动。在调整好喷口132的角度后可通过第一固定件将活动部131固定于连接部120，以使喷口132可保持在固定角度喷出气态蒸镀材料，提高喷涂稳定性。在喷口132在此角度喷涂至基板上的蒸镀膜层厚度达到预设厚度后，可解除第一固定件对活动部131的固定，以调整活动部131使得喷口132对准基板上的待喷涂区域。由于第一固定部的固定作用使得喷口132在喷涂时位置固定，从而减少更换喷涂位置后产生喷涂重叠区域，进一步保证蒸镀膜层的均匀性。

示例性的，喷口132的截面形状为圆形、矩形或其他图形均可。并且在喷口132的截面形状为圆形时，喷口132沿竖直方向的截面可呈喇叭状，喷口132远离活动部131的一端直接大于喷口132靠近活动部131的一端的直径，以增大喷口132喷出的蒸镀材料可覆盖面积。

在一些示例中，如图4所示，沿上述活动部131的转动方向开设有长条孔133，上述连接部120开设有固定孔；在上述活动部131转动至预设位置的情况下，上述第一固定件穿过上述长条孔133和上述固定孔。

可以理解的是，第一固定件可选用螺栓。在沿活动部131的转动方向上可开设有长条孔133，长条孔133为通孔，且连接部120靠近于活动部131的一侧表面开设有固定孔，固定孔为螺纹孔且长条孔133和固定孔的位置相对应。在调整活动部131转动至预设位置的情况下，可将螺栓穿过长条孔133后旋拧入固定孔中，以固定活动部131。需要说明的是，固定孔仅开设于连接部120靠近于活动部131的一侧表面，固定孔不为通孔，防止容纳部110中的气态蒸镀材料通过流通口113及固定孔散逸，保证喷涂稳定性。

可以理解的是，通过设置长条孔133可限制活动部131的转动范围，为了保证第一固定件能够固定活动部131，活动部131的转动范围不能超过长条孔133的长度尺寸。

可以理解的是，长条孔133可开设有多个，且多个长条孔133以活动部131长度方向的中线对称设置，同时固定孔的位置以及数量和长条孔133相对应，如此设置保证第一固定件对活动部131的受力均匀，提高固定稳定性。

在一些示例中，如图2和图3所示，远离上述连接部120的部分上述活动部131可沿上述长度方向移动，且靠近上述连接部120的部分上述活动部131覆盖于上述流通口113。

可以理解的是，为了保证喷口132始终能够连通于流通口113以喷出气态蒸镀材料。将活动部131靠近于连接部120的部分始终覆盖于流通口113，且活动部131远离于连接部120的部分可沿连接部120的长度方向移动。如此设置，在移动喷口132时，仅改变活动部131的流体腔道，使得喷口132既能始终和容纳部110保持连通，保证喷口132喷出气态蒸镀材料的稳定性和可靠性，从而保证蒸镀膜层的均匀性。

在一些示例中，如图1所示，上述喷嘴130设置有多个，多个上述喷嘴130的活动部131沿上述长度方向间隔排布，且每个上述活动部131沿上述长度方向移动的距离小于或等于相邻的上述活动部131的间距的一半。

可以理解的是，可同时设置多个喷嘴130，且每个喷嘴130均可转动和移动，以覆盖更大的喷涂面积。并且多个喷嘴130可单独控制转动角度以及移动位置，以更灵活地对基板喷覆气态蒸镀材料，以使蒸镀膜层更加均匀。具体的，多个喷嘴130的活动部131沿连接部120的长度方向间隔排布。在喷口132固定的情况下，相邻的两个喷口132之间的区域形成的蒸镀膜层厚度相对较薄，导致蒸镀膜层的均匀性较差。而多个喷嘴130均可沿连接部120的长度方向移动并可沿与该长度方向相交的方向转动，使得相邻的两个喷口132之间的区域也能被蒸镀材料覆盖，进而减轻基板上形成的蒸镀膜层厚度不均匀的现象，提高蒸镀膜层厚度的整体均匀性。

可以理解的是，相邻喷嘴130在连接部120长度方向的间隔距离不能设置过小，以避免在移动两个喷嘴130时，两个喷嘴130发生碰撞，影响每个喷嘴130的喷涂稳定性，导致喷覆在基板上的蒸镀膜层厚度不均匀。因此，将每个活动部131沿连接部120的长度方向移动的距离小于或等于相邻的活动部131的间距的一半，保证每个喷嘴130可移动的同时，保证喷覆在基板上的蒸镀膜层厚度的均匀性。

可以理解的是，在对基板蒸镀的过程中，通常会采用两个蒸镀源分别蒸镀不同材料进行掺杂蒸镀，而两种材料掺杂的均匀性则会极大的影响以该基板装配的显示设备的显示效果，通过调整多个喷口的角度及移动位置，以保证两种材料掺杂蒸镀在基板上形成的蒸镀膜层的均匀性，从而提高显示设备的光学均匀性和整体显示性能。

在一些示例中，如图2和图3所示，上述活动部131包括：多个连接片1311，堆叠设置于上述连接部120，且连接于上述喷口132的上述连接片1311可相对于上述连接部120转动；相邻的上述连接片1311可沿上述长度方向错动；第二固定件，用于固定多个上述连接片1311。

可以理解的是，活动部131可设置有多个连接片1311，多个连接片1311堆叠于连接部120，且至少存在一个连接片1311连接于喷口132。相邻的连接片1311可沿连接部120的长度方向错动，以调整多个连接片1311沿长度方向的位置，进而通过调整连接片1311以调整喷口132沿长度方向的移动距离。通过多个连接片1311的设置，使得活动部131的活动更加灵活，调整精度更好。并且靠近于连接部120的连接片1311固定于连接部120，以保证在调节活动部131的位置时，活动部131内形成的腔道始终和流通口113连通，提高稳定性。

可以理解的是，至少连接于喷口132的连接片1311可相对于连接部120转动，从而使得喷口132可转动，且转动方向与连接部120的长度方向相交。使得通过多个连接片1311的设置可使得喷口132可沿连接部120长度方向移动的同时可进行转动，从而保证喷覆在基板上的蒸镀膜层厚度的均匀性。

可以理解的是，活动部131还设置有第二固定件，在多个连接片1311交错调整至预设位置后，通过第二固定件将多个连接片1311固定于当前位置，以保证喷口132在连接部120长度方向上的位置固定，保证喷出气态蒸镀材料稳定。从而减少更换喷涂位置后产生喷涂重叠区域，进一步保证蒸镀膜层的均匀性。

示例性的，在从靠近连接部120至远离连接部120的方向，多个连接片1311的宽度尺寸依次减小，以保证多个连接部120交错顺畅，避免发生干涉，提高可靠性。

在一些示例中，上述连接片1311沿上述长度方向开设有第一通孔，上述第二固定件可插入上述第一通孔。

可以理解的是，第二固定件可选用螺栓，每个连接片1311沿连接部120的长度方向开设有第一通孔，第一通孔可为螺纹孔，通过将螺栓旋拧入多个连接片1311的第一通孔内，以固定多个连接片1311，操作简单且效率较高。

在一些示例中，上述连接片1311开设有第二通孔1312，在多个上述连接片1311均错动至最大距离的情况下，多个上述连接片1311的上述第二通孔1312相导通。

可以理解的是，每个连接片1311均开设有第二通孔1312，第二通孔1312可位于连接片1311的中心位置，多个连接片1311叠放在一起构成活动部131时，多个连接片1311的第二通孔1312可形成腔道，腔道分别连通于流通口113和喷口132，以使容纳腔内的气态蒸镀材料通过喷口132喷向基板。且在多个连接片1311均错动至最大错动距离的情况下，多个连接片1311的第二通孔1312仍然相导通，以保证仍能通过喷口132喷出气态蒸镀材料。进一步的，在多个连接片1311均错动至最大错动距离的情况下，腔道的径向尺寸仍然未发生改变，以保证从喷口132喷出的气态蒸镀材料的流量不变，从而保证蒸镀膜层的均匀性。

在一些示例中，如图1至图5所示，沿上述盖体112厚度延伸方向，上述连接部120的截面为第一圆弧形，上述活动部131的截面为第二圆弧形，上述第一圆弧形的弧长大于上述第二圆弧形的弧长。

可以理解的是，连接部120可选用弧形连接部120，具体的，连接部120在沿盖体112的厚度延伸方向上的截面为第一圆弧形，且活动部131的形状与连接部120的形状相匹配，活动部131的在沿盖体112的厚度延伸方向上的截面为第二圆弧形，且第二圆弧形可抵接于第一圆弧形，并沿第一圆弧形的型面滑动，从而使得活动部131相对于连接部120转动，进而可调整喷口132喷出的气态蒸镀材料的角度，保证在基板上形成的蒸镀膜层的厚度均匀。

需要说明的是，第二圆弧形在第一圆弧形上转动的范围为第一圆弧形和第二圆弧形的弧长差，因此，将第一圆弧形的弧长设置为大于第二圆弧形的弧长。以保证活动部131可顺畅地在连接部120上转动，并保证可转动一定的角度，覆盖更大的喷覆面积。

示例性的，喷口132位于活动部131的中心位置，喷口132的最大转动角度小于或等于60°。避免喷口132转动角度过大，导致喷口132在转动过程中喷出的蒸镀材料在基板上形成环状区域，难以保证喷口132位于中心位置时对应的基板对应区域的蒸镀效果。

在一些示例中，上述连接部120设置有第一齿轮，上述活动部131设置有第二齿轮，上述第一齿轮啮合于上述第二齿轮。

可以理解的是，连接部120上可设置有第一齿轮，并且活动部131可设置有第二齿轮，且第一齿轮和第二齿轮相互啮合，通过转动第一齿轮可带动第二齿轮转动，从而使得活动部131可相对于连接部120转动，以调整喷口132喷出气态蒸镀材料的角度。并且在调整喷口132至预设角度后，可通过固定件卡在第一齿轮的齿根处，以停止第一齿轮的转动并固定第一齿轮的位置。进而将喷口132固定于当前角度，直至喷口132喷出的气体蒸镀材料在基板上对应区域形成预设厚度的蒸镀膜层。提高喷口132在喷涂时位置固定，从而减少更换喷涂位置后产生喷涂重叠区域，进一步保证蒸镀膜层的均匀性。

在一些示例中，上述盖体112和上述连接部120为一体化结构；和/或上述喷口132和上述活动部131为一体化结构；和/或上述喷口132和上述活动部131由耐高温刚性材料制成。

可以理解的是，连接部120和盖体112可由一体成型加工工艺制成，在一体成型后，可加工流通口113，流通口113贯穿于盖体112和连接部120。以增强盖体112和连接部120的结构强度，减少组装工序。喷口132和活动部131可由一体成型加工工艺制成，且喷口132穿设于活动部131，以在活动部131连接于连接部120的情况下，流通口113可与喷口132相导通。且喷口132和活动部131由耐高温刚性材料制成，避免高温气态蒸镀材料对喷口132和活动部131造成影响，保证喷出气态蒸镀材料的稳定性，并且避免喷口132和活动部131在高温影响下发生形变，导致喷出的气态蒸镀材料的流量发生改变，影响形成的蒸镀膜层的均匀性。示例性的，喷口132和活动部131可采用耐高温不锈钢或钛合金等材料制成。

在本发明中，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述的目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；术语“多个”则指两个或两个以上，除非另有明确的限定。术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；“相连”可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或单元必须具有特定的方向、以特定的方位构造和操作，因此，不能理解为对本发明的限制。

在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。