工作台模块以及转换套件自动更换装置

技术领域

本发明涉及一种工作台模块以及转换套件自动更换装置。

背景技术

封装制造系统可依次执行以下工艺等制造半导体封装，工艺包括：切割工艺，将由多个封装形成的条带切割成单独封装；洗涤工艺，洗涤在切割工艺上切割的封装；干燥工艺，干燥在洗涤工艺上洗涤的封装；封装检查工艺，检查经干燥的封装中是否存在不良；以及卸载工艺，根据检查结果分类出不良检查合格的封装和不合格的封装。

这种封装制造系统，通常包括用于放置条带或封装的工作台模块，其中，根据制造商或产品的特性而封装的的尺寸会不同，因此根据封装的单独尺寸，需要更换工作台的上板。以往，当封装的尺寸变更时，工作人员需要手动更换放置封装的工作台模块的上板。因此，根据工作人员的熟练度而更换速度、更换时间需要更长时间，从而具有工作收率下降或更换工作的完成度也不可靠的问题。

本发明的背景技术公开于韩国授权专利第10-0920934号公报中。

发明内容

本发明是为了解决所述现有技术问题而提出的，其目的在于，提供一种可以自动替换工作台模块的上板的转换套件自动更换系统、工作台模块及转换套件自动更换装置。

然而，本发明的实施例所要完成的技术问题不限于上述技术问题，还可以存在其他的技术问题。

作为用于达成所述技术问题的技术手段，根据本发明的第一方面的转换套件自动更换系统，可以包括：封装切割装置，将条带切割成封装；干燥装置，对封装进行干燥；视觉台，安置有封装；以及拾取装置，吸附封装并在所述封装切割装置、所述干燥装置以及所述视觉台之间进行传送，所述拾取装置在所述封装切割装置、所述干燥装置、所述视觉台以及所述拾取装置可以配置或者去除吸附封装的转换套件。

另外，在根据本发明的一实现例的转换套件自动更换系统中，所述拾取装置可以包括：第一拾取模块，将条带传送到所述封装切割装置；第二拾取模块，将封装从所述封装切割装置传送到所述干燥装置；以及第三拾取模块，将封装从所述干燥装置传送到所述视觉台，所述第一至第三拾取模块各自去除相对于所述封装切割装置、所述干燥装置或者所述视觉台预先配置的转换套件，或者配置新的转换套件。

另外，在根据本发明的一实现例的转换套件自动更换系统中，可以是所述第二拾取模块在所述封装切割装置与所述干燥装置之间传送转换套件，所述第三拾取模块在所述干燥装置与所述视觉台之间传送转换套件。

另外，在根据本发明的一实现例的转换套件自动更换系统中，还包括准备所述转换套件的装卸装置，所述第一拾取模块从所述装卸装置提供得到所述转换套件，从而可以相对于所述封装切割装置进行放置，所述第二拾取模块拾取相对于所述封装切割装置放置的所述转换套件，从而可以相对于所述干燥装置进行放置，所述第三拾取模块拾取相对于所述干燥装置放置的所述转换套件，从而可以相对于所述视觉台进行放置。

另外，在根据本发明的一实现例的转换套件自动更换系统中，所述第三拾取模块在将转换套件相对于所述视觉台进行放置之后，进一步拾取相对于所述干燥装置放置的转换套件，所述第二拾取模块在将转换套件相对于所述干燥装置进行放置之后，进一步拾取相对于所述封装切割装置放置的转换套件。

另外，在根据本发明的一实现例的转换套件自动更换系统中，所述第一拾取模块可以拾取相对于所述封装切割装置放置的所述转换套件传送到所述装卸装置，所述第二拾取模块可以拾取相对于所述干燥装置放置的所述转换套件，并相对于所述封装切割装置进行放置，所述第三拾取模块可以拾取相对于所述视觉台放置的所述转换套件，并相对于所述干燥装置进行放置。

另外，在根据本发明的一实现例的转换套件自动更换系统中，所述视觉台、所述干燥装置、所述第三拾取模块以及所述第一拾取模块的转换套件和所述封装切割装置的转换套件可以彼此为不同类型。

另外，在根据本发明的一实现例的转换套件自动更换系统中，所述封装切割装置、所述干燥装置、所述视觉台以及所述拾取装置各自可以包括：转换套件；以及负压传递板结构，吸附所述转换套件，相连通负压发生器和所述转换套件的多个真空孔。

另外，在根据本发明的一实现例的转换套件自动更换系统中，可以是当所述负压传递板对所述转换套件进行真空吸附时，所述转换套件被固定在所述负压传递板上，当所述负压传递板解除对所述转换套件的真空吸附时，可从所述负压传递板去除所述转换套件。

另外，在根据本发明的一实现例的转换套件自动更换系统中，所述负压传递板结构可以包括：产品凹陷部，与形成有所述转换套件的多个所述真空孔的部分相对的部分凹陷，以向所述真空孔传递由所述负压发生器产生的负压作用以及负压的解除；以及套件凹陷部，与所述转换套件的边缘部分的至少一部分相对的部分凹陷，以完成对所述转换套件的真空吸附。

另外，在根据本发明的一实现例的转换套件自动更换系统中，所述套件凹陷部可以具有朝所述工作台板结构的长度方向延长而形成的长孔形状的截面。

另外，在根据本发明的一实现例的转换套件自动更换系统中，可以是所述负压传递板结构包括突出的突起，在所述转换套件形成有供所述突起的至少一部分插入的孔。

根据本发明的第二方面的工作台模块，包括：转换套件，朝Z轴方向形成有多个真空孔；以及工作台用负压传递板结构，在Z轴方向的另一面上配置有所述转换套件，从而相连通负压发生器和所述真空孔，所述工作台用负压传递板结构可以真空吸附所述转换套件，当所述工作台用负压传递板结构对所述转换套件进行真空吸附时，所述转换套件被固定在所述工作台用负压传递板结构上，当所述工作台用负压传递板结构解除对所述转换套件的真空吸附时，可以从所述工作台用负压传递板结构去除所述转换套件。

另外，在根据本发明的一实现例的工作台模块中，所述工作台用负压传递板结构可以包括：工作台用产品凹陷部，与形成有所述转换套件的多个所述真空孔的部分相对的部分朝Z轴方向一侧凹陷，以向所述真空孔传递由所述负压发生器产生的负压作用以及负压的解除；以及工作台用套件凹陷部，与所述转换套件的边缘部分的至少一部分相对的部分朝Z轴方向一侧凹陷，以完成对所述转换套件的真空吸附。

另外，在根据本发明的一实现例的工作台模块中，所述套件凹陷部可以具有朝所述转换套件的长度方向延长而形成的长孔形状的截面。

另外，在根据本发明的一实现例的工作台模块中，可以是所述工作台用负压传递板结构包括朝Z轴方向另一侧突出的突起，在所述转换套件形成有供所述突起的至少一部分插入的孔。

根据本发明的第三方面的转换套件自动更换装置，包括：根据本发明的第一方面的工作台模块；以及拾取模块，可以从所述工作台用负压传递板结构分离相对于所述工作台用负压传递板结构预先配置的转换套件，或者相对于所述工作台用负压传递板结构可以放置新的转换套件。

另外，在根据本发明的一实现例的转换套件自动更换装置中，所述拾取模块包括在Z轴方向一侧安装有所述转换套件的拾取器用负压传递板结构，所述拾取器用负压传递板结构可以真空吸附所述转换套件。

另外，在根据本发明的一实现例的转换套件自动更换装置中，所述拾取器用负压传递板结构可以包括：拾取器用产品凹陷部，与形成有所述转换套件的多个所述真空孔的部分相对的部分朝Z轴方向另一侧凹陷，以向所述真空孔传递由所述负压发生器产生的负压作用以及负压的解除；以及拾取器用套件凹陷部，与所述转换套件的边缘部分相对的部分朝Z轴方向另一侧凹陷，以完成对所述转换套件的吸附。

另外，在根据本发明的一实现例的转换套件自动更换装置中，所述拾取器用套件凹陷部可以具有朝所述转换套件的长度方向延长而形成的长孔形状的截面。

另外，在根据本发明的一实现例的转换套件自动更换装置中，可以是所述拾取器用负压传递板结构包括朝Z轴方向一侧突出的突起，在所述工作台用负压传递板结构形成有供所述突起的至少一部分插入的孔。

另外，在根据本发明的一实现例的转换套件自动更换装置中，可以是所述转换套件还包括一对突出部，所述一对突出部从所述转换套件的两侧面各自朝外侧突出，从而朝所述转换套件的长度方向延长而形成，所述拾取器用负压传递板结构还包括一对耦合部，所述一对耦合部从所述拾取器用负压传递板结构的两侧面各自朝Z轴方向一侧突出，以供插入结合所述一对突出部。

另外，在根据本发明的一实现例的转换套件自动更换装置中，所述拾取模块还包括转换套件，当为所述拾取模块的转换套件未安装到所述拾取器用负压传递板结构上的状态时，可以分离相对于所述工作台用负压传递板结构预先配置的转换套件，或者放置新的转换套件。

根据本发明的第四方面的转换套件自动更换系统，可以包括：封装切割装置，将条带切割成封装；干燥装置，对封装进行干燥；视觉台，放置有封装；以及拾取部，配置在所述封装切割装置、所述干燥装置以及所述视觉台的Z轴另一侧，在所述封装切割装置、所述干燥装置以及所述视觉台之间传送封装，所述封装切割装置、所述干燥装置、所述视觉台以及所述拾取部各自包括吸附封装的吸附模块，所述吸附模块包括可以夹持朝Z轴方向形成有多个真空孔的转换套件的夹具，所述拾取部在所述封装切割装置、所述干燥装置、所述视觉台以及所述拾取部配置或者去除所述转换套件。

另外，在根据本发明的一实现例的转换套件自动更换系统中，所述吸附模块可以包括：所述转换套件；负压传递板结构，在朝Z轴方向的一面上配置所述转换套件，相相连通负压发生器和所述转换套件的真空孔；所述夹具，位于所述负压传递板结构的Z轴方向一侧，在基础状态时，可以夹持所述转换套件；以及突出部，突出位于所述负压传递板结构的Z轴方向一面，将相邻吸附模块的相邻夹具引导成外侧移动状态，所述相邻吸附模块朝Z轴方向相邻以与所述吸附模块相对。

另外，在根据本发明的一实现例的转换套件自动更换系统中，所述拾取部可以设置为其吸附模块与所述封装切割装置、所述干燥装置以及所述视觉台各自的吸附模块相对。

另外，在根据本发明的一实现例的转换套件自动更换系统中，所述夹具可以包括：夹具单元，至少一部分朝所述负压传递板结构的Z轴方向一面突出设置，形成有朝向配置有所述转换套件的部分向内侧突出的突起；铰链单元，可以使所述夹具单元以所述负压传递板结构的长度方向为轴进行旋转；以及弹性部件，朝所述内侧向所述夹具单元提供外力。

另外，在根据本发明的一实现例的转换套件自动更换系统中，所述拾取部可以包括：第一拾取装置，在准备有所述转换套件的装卸装置与所述封装切割装置之间传送所述转换套件；第二拾取装置，在所述封装切割装置与所述干燥装置之间传送所述转换套件；以及第三拾取装置，在所述干燥装置与所述视觉台之间传送所述转换套件，所述第一至第三拾取装置各自去除相对于所述封装切割装置、所述干燥装置或者所述视觉台预先配置的转换套件，或者配置新的转换套件。

另外，在根据本发明的一实现例的转换套件自动更换系统中，所述第一拾取装置的夹具还可以包括气缸，所述气缸使所述铰链单元旋转以使所述夹具单元旋转。

另外，在根据本发明的一实现例的转换套件自动更换系统中，在所述第二以及第三拾取装置的夹具的夹具单元的突起的内侧部可以形成有导向槽以引导所述相邻吸附模块向所述突出部的内侧的进入。

根据本发明的第五方面的吸附模块，可以包括：转换套件，朝Z轴方向形成有多个真空孔；负压传递板结构，在朝Z轴方向的一面上配置有所述转换套件，相连通负压发生器和所述转换套件的真空孔；夹具，至少一部分朝所述负压传递板结构的Z轴方向一侧突出设置，在基础状态时，可以夹持所述转换套件；以及突出部，至少一部分朝所述负压传递板结构的Z轴一侧突出设置，将相邻吸附模块的相邻夹具引导成外侧移动状态，所述相邻吸附模块朝Z轴方向相邻以与所述吸附模块相对。

在根据本发明的一实现例的吸附模块中，所述夹具可以包括：夹具单元，至少一部分朝所述负压传递板结构的Z轴方向一面突出设置，形成有朝向配置有所述转换套件的部分向内侧突出的突起；铰链单元，可以使所述夹具单元以所述负压传递板结构的长度方向为轴进行旋转；以及弹性部件，朝所述内侧向所述夹具单元提供外力。

在根据本发明的一实现例的吸附模块中，可以在所述转换套件的外面形成有可卡止耦合所述夹具单元的突起的凹陷部，所述夹具单元形成有凹陷部以在所述基础状态时完成对所述转换套件的夹持。

在根据本发明的一实现例的吸附模块中，可以在所述夹具单元的突起的内侧部形成有导向槽以引导所述相邻吸附模块向所述突出部的内侧的进入。

在根据本发明的一实现例的吸附模块中，可以是所述夹具单元形成在与所述相邻吸附模块的突出部相对应的位置，所述吸附模块和所述相邻吸附模块朝Z轴方向接近时，所述相邻吸附模块的突出部进入到所述导向槽而受到朝外侧的外力，成为外侧移动状态，所述弹性部件可被朝所述外侧的外力压缩。

在根据本发明的一实现例的吸附模块中，所述突出部可以具有楔形。

在根据本发明的一实现例的吸附模块中，所述夹具单元在成为所述外侧移动状态时，可以解除对所述转换套件的夹持。

在根据本发明的一实现例的吸附模块中，所述负压传递板结构可以真空吸附所述转换套件。

根据本发明的第六方面的拾取装置，可以包括根据本发明的第五方面的吸附模块。

根据本发明的第七方面的工作台部，可以包括根据本发明的第五方面的吸附模块。

根据本发明的第八发明的吸附模块，可以包括：转换套件，朝Z轴方向形成有多个真空孔；负压传递板结构，在朝Z轴方向的一面上配置有所述转换套件，相连通负压发生器和所述转换套件的真空孔；夹具，位于所述负压传递板结构的Z轴方向一面，在基础状态时，可以夹持所述转换套件；以及突出部，突出位于所述负压传递板结构的Z轴方向一面，将相邻吸附模块的相邻夹具引导成外侧移动状态，所述相邻吸附模块朝Z轴方向相邻以与所述吸附模块相对，所述夹具包括引导所述外侧移动状态的气缸。

在根据本发明的一实现例的吸附模块中，所述夹具可以包括：夹具单元，从所述负压传递板结构的Z轴方向一面突出设置，形成有朝向配置有所述转换套件的部分向内侧突出的突起；铰链单元，可以使所述夹具单元以所述负压传递板结构的长度方向为轴进行旋转；以及弹性部件，朝所述内侧向所述夹具单元提供外力，所述气缸可以使所述铰链单元旋转以使所述夹具单元旋转。

在根据本发明的一实现例的吸附模块中，可以在所述转换套件的外面形成有可卡止耦合所述夹具单元的突起的凹陷部，所述夹具单元可以卡止耦合于所述凹陷部以在所述基础状态时完成对所述转换套件的夹持。

在根据本发明的一实现例的吸附模块中，可以是所述突出部形成在与所述相邻夹具相对应的位置，所述吸附模块和所述相邻吸附模块朝Z轴方向接近时，所述突出部进入到所述相邻夹具单元的导向槽而向所述相邻夹具单元作用朝外侧的外力。

在根据本发明的一实现例的吸附模块中，所述突出部可以具有楔形。

在根据本发明的一实现例的吸附模块中，可以是所述夹具单元通过所述气缸施加的外力而进行旋转，并朝外侧移动而成为所述外侧移动状态，所述弹性部件通过所述夹具单元朝外侧的移动产生的朝外侧的外力而被压缩。

在根据本发明的一实现例的吸附模块中，所述夹具单元在所述外侧移动状态时，可以解除对所述转换套件的夹持。

在根据本发明的一实现例的吸附模块中，可以在所述夹具单元形成有可容纳所述相邻吸附模块的所述突出部的容纳部。

在根据本发明的一实现例的吸附模块中，所述负压传递板结构可以真空吸附所述转换套件。

根据本发明的第九方面的拾取装置，可以包括根据本发明的第八方面的吸附模块。

上述问题解决手段仅是示例，不应解释为限制本发明的意图。除了上述示例性的实施例之外，在附图以及发明的具体实施方式中还可以存在实施例。

发明效果

根据上述本发明的问题解决手段，由于转换套件可以通过负压传递板结构的真空吸附而被安装在负压传递板结构上，因此，可以通过是否设置真空吸附的形成，自动完成转换套件和负压传递板板结构的固定以及固定的解除，由此，若自动解除固定，则拾取模块真空吸附转换套件而从负压传递板结构进行分离并传送，从而，可以自动去除预先配置的转换套件，当拾取模块传送新的转换套件进行放置时，负压传递板结构进行真空吸附而可以自动固定位置，因此，可以完成新的转换套件的自动配置以及固定。

另外，第一拾取模块、第二拾取模块及第三拾取模块以接力式传送转换套件，从而可以以视觉台、第三拾取模块、干燥装置、第二拾取模块以及封装切割装置的顺序安装转换套件，因此即便视觉台、第三拾取模块、干燥装置、第二拾取模块和封装切割装置的转换套件为彼此不同的类型，也可以有效地放置转换套件。

另外，在转换套件和负压传递板结构通过真空吸附而被相互固定的情况下，真空吸附由于意外问题而被中断时，转换套件和负压传递板结构的固定被解除而转换套件可能会从负压传递板结构分离，根据上述本发明的问题解决手段，由于在拾取模块具备耦合部，因此，也可以通过耦合部物理性地固定转换套件和负压传递板结构，从而，即便在真空吸附被中断的情况下，也可以防止转换套件从负压传递板结构分离，防止转换套件破损的问题。

另外，通过自动更换转换套件，转换套件的替换速度得以提高，并可以提高封装制造装置的整体收率，可以提高转换套件替换工作的完成度。

另外，在转换套件和负压传递板结构通过真空吸附而被相互固定的情况下，真空吸附由于意外问题而被中断时，转换套件和负压传递板结构的固定被解除而转换套件可能会从负压传递板结构分离，根据上述本发明的问题解决手段，夹具物理性地夹持转换套件，并与气缸或相邻吸附模块向Z轴方向接近时，通过相邻吸附模块的突出部而解除由夹具的夹持，从而，即便在真空吸附被中断的情况下，也可以防止转换套件从负压传递板结构意外脱落，必要时，可容易解除夹持，从而可以去除转换套件。

另外，根据上述本发明的问题解决手段，由于转换套件被夹具夹持后固定在负压传递板结构上，因此，可以防止向转换套件的真空孔的内部供应吹气(air blowing)时，转换套件在负压传递板结构上发生掀动或脱离或移动的问题。

另外，由于转换套件被夹具物理性地夹持，因此，即便转换套件的尺寸变小、或转换套件被真空吸附的部分(边框部分)变小或转换套件的尺寸被最小化为尽量与条带的尺寸相同，也可以增加转换套件对负压传递板结构的结合力。

附图说明

图1是根据本发明的第一实施例的转换套件自动更换系统的概略立体图。

图2是从与图1不同的角度观看并示出的根据本发明的第一实施例的转换套件自动更换系统的概略立体图。

图3是根据本发明的第一实施例的转换套件自动更换系统的工作台模块的概略立体图。

图4是示出部分截面图的根据本发明的第一实施例的转换套件自动更换系统的工作台模块的概略主视图。

图5是根据本发明的第一实施例的转换套件自动更换系统的负压传递板结构的概略立体图。

图6是根据本发明的第一实施例的转换套件自动更换系统的拾取模块的概略立体图。

图7是从与图6不同的角度观看并示出的根据本发明的第一实施例的转换套件自动更换系统的拾取模块的概略立体图。

图8是未安装转换套件的根据本发明的第一实施例的转换套件自动更换系统的拾取模块的概略立体图。

图9是示出部分截面图的根据本发明的第一实施例的转换套件自动更换系统的拾取模块的概略主视图。

图10是根据本发明的第一实施例的转换套件自动更换系统的干燥装置的翻转模块的工作台模块的概略主视图。

图11是适用于根据本发明的第二实施例的转换套件自动更换系统的封装切割装置、干燥装置及视觉台的、根据本发明的第一实施例的吸附模块的概略立体图。

图12a是适用于根据本发明的第二实施例的转换套件自动更换系统的封装切割装置、干燥装置及视觉台的、根据本发明的第一实施例的吸附模块的概略主视图，示出部分截面图。

图12b是图12a的部分放大图。

图12c是图12a的部分放大图。

图12d是为了说明适用于根据本发明的第二实施例的转换套件自动更换系统的封装切割装置、干燥装置及视觉台的、根据本发明的第一实施例的吸附模块的夹具单元以及弹性部件而去除产品的一部分并示出的概略立体图。

图13是适用于根据本发明的第二实施例的转换套件自动更换系统的封装切割装置、干燥装置及视觉台的、未安装转换套件的根据本发明的第一实施例的吸附模块的负压传递板结构的概略立体图。

图14是根据本发明的第二实施例的转换套件自动更换系统的第二拾取装置(或者第三拾取装置)的概略立体图。

图15是从与图14不同的角度观看并示出的根据本发明的第二实施例的转换套件自动更换系统的第二拾取装置(或者第三拾取装置)的概略立体图。

图16是未安装转换套件的根据本发明的第二实施例的转换套件自动更换系统的第二拾取装置(或者第三拾取装置)的概略立体图。

图17是根据本发明的第二实施例的转换套件自动更换系统的第一拾取装置的概略立体图。

图18是从与图17不同的角度观看并示出的根据本发明的第二实施例的转换套件自动更换系统的第一拾取装置的概略立体图。

图19是未安装转换套件的根据本发明的第二实施例的转换套件自动更换系统的第一拾取装置的概略立体图。

图20是示出部分截面图的根据本发明的第二实施例的转换套件自动更换系统的第一拾取装置的概略主视图。

具体实施方式

以下参考附图详细说明本发明的实施例以供本发明所属技术领域中具有通常知识的人可以容易实施。然而，本发明可以由多种不同的形态实现，不限于在此说明的实施例。另外，为了明确说明本发明，附图中省略了与说明无关的部分，在整个说明书中，对于类似部分赋予了类似的附图标记。

在整个本发明的说明书中，当涉及到某一部分与其他部分“连接”时，其不仅包括“直接连接”的情况，还包括在中间夹着其他元件“电连接”的情况。

在整个本发明的说明书中，当涉及到某一部分位于其他部件“之上”、“上部”、“上端”、“之下”、“下部”、“下端”时，其不仅包括某一部件与其他部件相接的情况，还包括在两个部件之间还存在其他部件的情况。

在整个本发明的说明书中，当涉及到某一部分“包括”某种构成要素时，在没有特别相反的记载的情况下，其是指还可以包括其他构成要素而不是排除其他构成要素。

本发明涉及一种转换套件自动更换系统、工作台模块和转换套件自动更换装置。

首先，说明根据本发明的第一实施例的转换套件自动更换系统(以下，称为“本第一系统”)。

作为参考，在本发明中，拾取模块是包括第一至第三拾取模块41、42、43中的一个以上的概念，负压传递板结构112a、112b可以为包括工作台模块11的工作台用负压传递板结构112a以及拾取模块41的拾取器用负压传递板结构112b中的一个以上的概念，产品凹陷部可以为包括工作台用产品凹陷部1121a及拾取器用产品凹陷部1121b中的一个以上的概念，套件凹陷部可以为包括工作台用套件凹陷部1122a和拾取器用套件凹陷部1122b中的一个以上的概念。参照图1及图2，本第一系统包括将条带切割成封装的封装切割装置1。封装切割装置1可以包括工作台模块11，被传送到封装切割装置1的工作台模块11的条带可以被刀片(未图示)切割成单独封装。

另外，参照图1及图2，本第一系统包括用于干燥封装的干燥装置2。由封装切割装置1切割的封装被传送到干燥装置2进行洗涤，可以在洗涤后进行干燥。所述干燥装置2可以包括装载模块21以及翻转模块22。

另外，参照图1及图2，本第一系统包括供安置封装的视觉台3。在干燥装置2经干燥的封装可以在检查之前被安置在视觉台3上。

另外，参照图1及图2，本第一系统包括拾取器装置4，所述拾取器装置吸附条带或封装并在封装切割装置1、干燥装置2以及视觉台3之间进行传送。参照图1，拾取器装置4可以包括第一拾取模块41、第二拾取模块42以及第三拾取模块43。第一拾取模块41可以将条带传送至封装切割装置1，第二拾取模块42可以将封装从封装切割装置1传送至干燥装置2，第三拾取模块43可以将封装从干燥装置2传送至视觉台3。

封装切割装置1、干燥装置2、视觉台3以及拾取器装置4各自可以包括：转换套件111；以及负压传递板结构112a、112b，用于安装转换套件111。下面对其进行详细描述。

参照图1及图2，封装切割装置1、干燥装置2及视觉台3可以包括工作台模块11。例如，可以是封装切割装置1包括2个工作台模块11，干燥装置2包括2个工作台模块11，视觉台3包括2个工作台模块11。在工作台模块11可以放置条带或封装。例如，可以在封装切割装置1的工作台模块11放置条带，可以在干燥装置2及视觉台3的工作台模块11放置封装。更加具体地，第一拾取模块41可以从装卸装置5提供得到条带并放置在封装切割装置1的工作台模块11上，条带可以以被放置在切割装置1的工作台模块11上的状态被刀片切割，通过切割形成的多个封装可以通过第二拾取模块41传送并装载在干燥装置2的工作台模块11上(可以在传送过程中进行洗涤工艺)，经干燥的封装可以被第三拾取模块43真空夹持而被放置在视觉台3的工作台模块11上。

一起参照图3及图4，工作台模块11可以包括向Z轴方向形成有多个真空孔1111的转换套件111。放置在工作台模块11上的条带或封装可以被放置在转换套件111上。例如，转换套件111可以包括第一板111a1及第二板111a2，真空孔1111可以包括：第一管部11111，朝Z轴方向贯穿第一板111a1而形成；以及第二管部11112，从第一管部11111延长，向Z轴方向贯穿第二板111a2而形成。作为参考，在本发明的说明中，参照图4，与本发明的转换套件111的Z轴方向一侧及Z轴方向另一侧有关的方向设置可以是，以转换套件111的第一板111a1和第二板111a2之间为准，将朝向第一板111a1的方向设为Z轴方向另一侧，将朝向第二板111a2的方向设为Z轴方向一侧。由此，转换套件111的Z轴方向一面可以是指形成有第二管部11112的一面，转换套件111的Z轴方向另一面可以是指形成有第一管部11111的一面(夹持条带或封装时，与条带或封装接触的一面)。

另外，参照图3至图5，工作台模块11可以包括负压传递板结构112a(以下，工作台模块11的负压传递板结构112a被称为“工作台用负压传递板结构112a”)，工作台用负压传递板结构112a可以吸附转换套件111，相连通负压发生器和转换套件111的多个真空孔1111。

另外，一起参照图3及图4，在工作台用负压传递板结构112a的Z轴方向的另一面上可以配置有转换套件111，工作台用负压传递板结构112a可以相连通位于工作台用负压传递板结构112a的下侧(Z轴方向上的一侧)的负压发生器(未图示)和真空孔1111。例如，一起参考图4及图5，工作台用负压传递板结构112a可以包括工作台用产品凹陷部1121a，所述工作台用产品凹陷部1121a是转换套件111的形成有多个真空孔1111的部分朝Z轴方向一侧凹陷形成。工作台用产品凹陷部1121a可以向真空孔1111传递由负压发生器产生的负压作用及负压的解除。具体地，虽未具体图示，工作台用负压传递板结构112a可以包括相连通工作台用产品凹陷部1121a和负压发生器的连通口，当负压发生器吸入气体(产生负压)时，工作台用产品凹陷部1121a内的气体流入到负压发生器侧，由此，真空孔1111内的气体通过工作台用产品凹陷部1121a而流入到负压发生器侧，由此，在真空孔1111内形成负压而可以吸附被放置在转换套件111上的封装或条带。另外，若负压发生器解除负压的产生(停止)，则通过工作台用负压传递板结构112a与负压发生器连通的真空孔1111内的负压的产生被中断，从而，可以中断真空孔1111的吸附。

另外，一起参照图4及图5，工作台用负压传递板结构112a可以包括工作台用套件凹陷部1122a，所述工作台用套件凹陷部1122a是与转换套件111的边缘部分的至少一部分相对的部分朝Z轴方向一侧凹陷，从而完成对转换套件111的真空吸附。虽未详细图示，工作台用负压传递板结构112a可以包括相连通工作台用套件凹陷部1122a和负压发生器的连通口。当负压发生器产生负压时，工作台用套件凹陷部1122a内的气体流入负压发生器侧而在工作台用套件凹陷部1122a内形成负压，从而工作台用套件凹陷部1122a可以成为能够吸附转换套件111的边缘部分的下面的状态。另外，若负压发生器中断负压的产生(解除)，则工作台用套件凹陷部1122a内的负压的产生被解除，可以中断吸附。

由此，当工作台用负压传递板结构112a真空吸附转换套件111时，转换套件111可以固定在工作台用负压传递板结构112a上。另外，当工作台用负压传递板结构112a对转换套件111的真空吸附被解除时，转换套件111可以成为可以从工作台用负压传递板结构去除的状态。

工作台用套件凹陷部1122a可以具有向转换套件111的长度方向(图5的X轴方向)延长而形成的长孔形状的截面。

另外，参照图6及图7，第一至第三拾取模块41、42、43各自可以包括安装有转换套件111的负压传递板结构(下面，第一至第三拾取模块41、42、43的负压传递板结构被称为“拾取器用负压传递板结构112b”)。通过拾取器用负压传递板结构112b真空吸附转换套件111，转换套件111可以被安装在拾取器用负压传递板结构112b上。由此，可以在拾取器用负压传递板结构112b的Z轴方向一侧(图7的下侧)安装转换套件111。

具体地，参照图8，拾取器用负压传递板结构112b可以包括拾取器用产品凹陷部1121b，所述拾取器用产品凹陷部1121b是与转换套件111的形成有多个真空孔1111的部分相对的部分的至少一部分朝Z轴方向另一侧凹陷，以向真空孔1111传递由负压发生器产生的负压作用和负压的解除。虽未详细图示，拾取器用负压传递板结构112b可以包括相连通拾取器用产品凹陷部1121b和负压发生器的连通口。由此，转换套件111安装在拾取器用负压传递板结构112b上以使转换套件111的Z轴方向一面与拾取器用负压传递板结构112b的Z轴方向一面相对(正式安装)，则转换套件111可以通过拾取器用负压传递板结构112b的拾取器用产品凹陷部1121b和真空孔1111的作用而真空吸附封装。与连通口、拾取器用产品凹陷部1121b等有关的内容与上述工作台用负压传递板结构112a中观察的内容相对应，因此，省略详细说明。另外，作为参考，向拾取模块提供要安装在拾取器用负压传递板结构112b上的转换套件111时，拾取模块可以提供得到配置为使转换套件111的Z轴方向一面朝向Z轴方向另一面的状态的转换套件111，从而将转换套件111正式安装成转换套件111的Z轴方向一面与拾取器用负压传递板结构112b的Z轴方向一面相对，并利用拾取器用套件凹陷部1122b真空吸附转换套件111。根据本发明的一实施例，安装于拾取模块的转换套件111可以以转换套件111的Z轴方向的一面朝向上侧的方式容纳在匣盒中，并从匣盒中取出。

另外，拾取器用负压传递板结构112b可以包括拾取器用套件凹陷部1122b，所述拾取器用套件凹陷部1122b是与转换套件111的边缘部分相对的部分朝Z轴方向另一侧凹陷，从而完成对转换套件111的吸附。另外，拾取器用负压传递板结构112b可以包括相连通拾取器用套件凹陷部1122b和负压发生器的连通口。所述连通口和拾取器用套件凹陷部1122b的作用等与在所述工作台用负压传递板结构112a中观察的内容相对应，因此省略详细说明。

如上所述，在拾取器用负压传递板结构112b对转换套件111进行真空吸附时，转换套件111可以固定在拾取器用负压传递板结构112b上。另外，当拾取器用负压传递板结构112b对转换套件111的真空吸附被解除时，转换套件111可以成为可以被从拾取器负压传递板结构去除的状态。

作为参考，转换套件111被安装在拾取器用负压传递板结构112b上以使拾取器用负压传递板结构112b的Z轴一面与转换套件111的Z轴一面相对时(正式安装的情况)，拾取模块可能处于能够夹持半导体或条带的状态。另外，当为转换套件111未安装在拾取器用负压传递板结构112b上的状态时，拾取器用负压传递板结构112b可以处于能够传送转换套件111的状态，此时，拾取器用负压传递板结构112b可以使转换套件111安装在拾取器用负压传递板结构112b上以使拾取器用负压传递板结构112b的Z轴一面与转换套件111的Z轴另一面相对(临时安装的状态)，并传送转换套件111。

拾取器用套件凹陷部1122b可以具有朝转换套件111的长度方向上延长而形成的长孔形状的截面。

在本第一系统中，拾取器装置4可以在封装切割装置1、干燥装置2、视觉台3以及拾取器装置4配置或者去除吸附封装的转换套件111。具体地，当为转换套件111未安装在各个负压传递板结构112a上的状态时，第一至第三拾取模块41、42、43各自可以吸附转换套件111并进行传送。另外，此处的吸附转换套件111并进行传送可以是指，第一至第三拾取模块41、42、43各自去除相对于封装切割装置1、干燥装置2或者视觉台3预先配置的转换套件111，或者配置新的转换套件111。

具体地，可以是第二拾取模块42在封装切割装置1与干燥装置2之间传送转换套件111，第三拾取模块43在干燥装置2与视觉台3之间传送转换套件111。

另外，当为转换套件111未正式安装在拾取器用负压传递板112a上的状态(安装有转换套件111以使转换套件111的Z轴一面与拾取器用负压传送板112a的Z轴一面相对的状态)时，拾取模块(第一至第三拾取模块41、42、43中的一个以上)可以传送转换套件111。

以下，首先说明拾取器装置4在封装切割装置1、干燥装置2以及视觉台3各自的工作台模块11的负压传递板结构(工作台用负压传递板结构112b)配置转换套件111的情况。

在对工作台模块11的工作台用负压传递板结构112b配置转换套件111之前，工作台模块11可以是在工作台用负压传递板结构112b预先配置的预先配置转换套件111被去除的状态。在后面说明预先配置转换套件111的去除。

例如，参考图1，本第一系统可以包括已准备转换套件111的装卸装置5，第一拾取模块41可以从装卸装置5提供得到转换套件111，并相对于封装切割装置1进行放置。更加详细地，从装卸装置5通过夹持器(未图示)取出需要安装的转换套件111，第一拾取模块41使被取出位于导轨(未示出)上的转换套件111下降并真空吸附。根据本发明的一实施例，可以在装卸装置5设置有容纳多个转换套件111的转换套件匣盒。转换套件匣盒可分为容纳有安装用转换套件的匣盒、容纳有回收的转换套件的匣盒来使用。另外，可以按照转换套件的种类进行区分或按照封装尺寸区分各个转换套件，由此在匣盒容纳多个转换套件。

另外，第二拾取模块42可以拾取相对于封装切割装置1放置的转换套件111并相对于干燥装置2进行放置。另外，在将转换套件111相对于干燥装置2放置之后，第二拾取模块42可以进一步拾取相对于封装切割装置1放置的转换套件111。另外，第三拾取模块43可以拾取相对于干燥装置2放置的转换套件111并相对于视觉台3进行放置。另外，在将转换套件111相对于视觉台3放置之后，第三拾取模块43可以进一步拾取相对于干燥装置2放置的转换套件111。

更加具体地，参考图1，例如，假设需要在视觉台3上放置2个转换套件111，需要在第三拾取模块43上放置1个转换套件111，需要在干燥装置2上放置2个转换套件111，需要在第二拾取模块42放置1个转换套件111，需要在封装切割装置1放置2个转换套件111的情况。第一拾取模块41可以从装卸装置5提供得到转换套件111，并向封装切割装置1的工作台模块11(2个封装切割装置1的工作台模块11中空的地方)每次一个依次放置8(2+1+2+1+2)次转换套件111，第一拾取模块41第一次放置在封装切割装置1上的转换套件111可以被第二拾取模块拾取并放置在干燥装置2的工作台模块11上，第三拾取模块43可以拾取所述第一个转换套件111并放置在视觉台3的工作台模块11上。在完成所述第一个转换套件111的传送工作期间，还可以进行对第二个转换套件111的传送工作，第一拾取模块41可以在传送第一个转换套件111之后传送第二个转换套件111，通过第一拾取模块41被传送到封装切割装置1的工作台模块11上的第二个转换套件111可以是通过结束第一个转换套件111的传送的第二拾取模块42而被放置在干燥装置42的工作台模块11上，然后，结束第一个转换套件111的传送的第三拾取模块43可以将第二个转换套件111放置在视觉台3的其他工作台模块11上。如上所述，可以持续进行对8个转换套件111的传送，在该过程中，将转换套件111放置在视觉台3的工作台模块11上的过程结束，则第三拾取模块43可以将第三个转换套件111正式安装在自己的拾取器用负压传递板结构112b上。此时，如上所述，通过拾取模块进行转换套件111的正式安装时，拾取模块正式安装转换套件111以使转换套件111的Z轴方向一面与拾取器用负压传递板结构112b的Z轴方向一面相对，因此，将要安装在第三拾取模块43的拾取器用负压传递板结构112b上的第三个转换套件111与第一个、第二个、后述的第四个、第五个、第七个以及第八个转换套件111不同，以配置为Z轴方向一面朝向Z轴方向另一面(上侧)的状态传送到封装切割装置1，从而可以经第二拾取模块42而被放置在干燥装置2上。另外，第四个转换套件111被第一拾取模块41传送至封装切割装置1的工作台模块11之后，可以被第二拾取模块42放置在干燥装置1的2个工作台模块11中的一个上，第五个转换套件111被第一拾取模块41传送到封装切割装置1的工作台模块11之后，可以被第二拾取模块42放置在2个工作台模块11中的剩余一个上，由此可以完成对干燥装置2的转换套件111的放置。然后，传送到封装切割装置1的工作台模块11的第六个转换套件111可以被安装在第二拾取模块42的拾取器用负压传递板结构112b上。如上所述，通过拾取模块正式安装转换套件111时，拾取模块正式安装转换套件111以使转换套件111的Z轴方向一面与拾取器用负压传递板结构112b的Z轴方向一面相对，因此，将要正式安装在第二拾取模块42的拾取器用负压传递板结构112b上的第六个转换套件111与上述第一个、第二个、第四个、第五个、后述的第七个以及第八个转换套件111不同，可以以配置为Z轴方向一面朝向Z轴方向另一侧的状态放置在封装切割装置1上。然后，第七个转换套件111以及第八个转换套件111各自可以被第一拾取模块41放置在封装切割装置1的工作台模块11中的一个上，通过如上所述过程，可以完成转换套件111的自动配置。

另外，预先配置转换套件111的去除可以包括以下过程。

首先，第一拾取模块41可以拾取相对于封装切割装置1放置的转换套件111并传送到装卸装置5，第二拾取模块42可以拾取相对于干燥装置2放置的转换套件111，并相对于封装切割装置1进行放置，第三拾取模块43可以拾取相对于视觉台3放置的转换套件111，并相对于封装切割装置1进行放置。

具体地，第一拾取模块41可以拾取封装切割装置1的工作台模块11的转换套件111并传送到装卸装置5。更加具体地，第一拾取模块41可以拾取封装切割装置1的工作台模块11的转换套件111并放置在导轨(未示出)上，并通过夹持器(未图示)推入到用于回收位于装卸装置5上的转换套件的匣盒中进行回收。由此，当封装切割装置1的至少一个工作台模块11的转换套件111被去除时，第二拾取模块42可以将正式安装在工作台用负压传递板结构112b上的转换套件111放置在转换套件111被去除的封装切割装置1的工作台模块11上，接着第一拾取模块41可以拾取第二拾取模块42放置在封装切割装置1的工作台模块11上的转换套件111并传送到装卸装置5，第二拾取模块42去除其转换套件111之后，可以每次一个依次拾取干燥装置2的工作台模块11的转换套件111并放置在转换套件111被去除的封装切割装置1的工作台模块11上，第一拾取模块41可以将第二拾取模块42放置的转换套件111每次一个依次传送至装卸装置5，当干燥装置3的至少一个工作台模块11的转换套件111被去除时，第三拾取模块43可以将正式安装在工作台用负压传递板结构112b上的转换套件111放置在转换套件111被去除的干燥装置2的工作台模块11上，可以每次一个依次拾取视觉台3的工作台模块11的转换套件111并放置在转换套件111被去除的干燥装置2的工作台模块11上，第二拾取模块42向封装切割装置1的工作台模块11每次一个依次传送第三拾取模块43放置的转换套件111。通过如上所述过程，可以实现转换套件111的自动去除。

根据本发明的一实施例，视觉台3、干燥装置2、第三拾取模块43以及第二拾取模块42各自的转换套件111与封装切割装置1的转换套件111可能是彼此不同的类型。这是因为视觉台3、干燥装置2、第三拾取模块43以及第二拾取模块42各自的转换套件111是真空夹持被独立切割的多个封装，而封装切割装置1的转换套件111是夹持被切割分离成封装之前的条带。因此，封装切割装置1的转换套件111为了将条带切割成多个封装，可以在每个封装位置之间具有辅助线(切割槽)。因此，有必要将结合在封装切割装置1的转换套件111与结合在视觉台3、干燥装置2、第三拾取模块43以及第二拾取模块42的转换套件111区分识别，先传送结合在视觉台3、干燥装置2、第三拾取模块43以及第二拾取模块42的转换套件111之后，最后传送结合在封装切割装置1的转换套件111。

当传送封装切割装置1、干燥装置2以及视觉台3装置的转换套件111而不是安装在拾取模块上的转换套件111时，拾取模块可以夹持转换套件111进行传送以使转换套件111的Z轴另一面与拾取模块的拾取器用负压传递板结构112b的Z轴一面相对。

另外，在去除预先配置转换套件111时，可以是在吸入工作台模块11的转换套件111的工作台用套件凹陷部1122a解除真空吸附，吸入拾取模块的转换套件111的拾取器用套件凹陷部1122b可以进行真空吸附以吸附转换套件111用于传送转换套件111。

另外，拾取模块41、42、43可以包括转换套件111。由此，当处于拾取模块41、42、43的转换套件111未安装在拾取器用负压传递板结构112b上的状态时(换句而言，没有处于转换套件111正式安装在拾取器用负压传递板结构112b上的状态时)，拾取模块41、42、43可以分离相对于工作台用负压传递板结构112b预先配置的转换套件111，或者放置新的转换套件111。

另外，参照图5以及图8，负压传递板结构112a、112b可以包括突出的突起1123。例如，参照图5，工作台用负压传递板结构112a可以包括向Z轴方向另一侧突出的突起1123，参照图8，拾取器用负压传递板结构112a可以包括向Z轴方向一侧突出的突起1123。另外，参照图3，可以在转换套件111形成供插入突起1123的至少一部分的孔1112。通过突起1123和孔1112的结合，转换套件111可以在负压传递板结构112a、112b上具有正位置并被夹持乃至放置(配置)。

另外，参照图7和图8，拾取器用负压传递板结构112b可以包括朝Z轴方向一侧突出的突起1126。

另外，参照图3，工作台用负压传递板结构112a可以包括供插入所述突起1126的至少一部分的孔1116。由此，当拾取模块41、42、43相对于工作台模块11配置转换套件111时，或者拾取模块41、42、43将多个封装装载于设置在工作台模块11上的转换套件111上时，拾取模块41、42、43的拾取器用负压传递板结构112b可以相对于工作台用负压传递板结构112a配置在正位置，将转换套件111放置在工作台用负压传递板结构112a上，将多个封装准确放置在设置于工作台模块11上的转换套件111上。

此外，参照图4以及图9，转换套件111可以包括一对突出部1115，所述一对突出部从转换套件111的两侧面各自朝外侧突出而朝转换套件111的长度方向(图4中的X轴方向)延长而形成。另外，参考图8以及图9，拾取器用负压传递板结构112b可以包括一对耦合部1125，所述耦合部从拾取器用负压传递板结构112b的两侧面各自朝Z轴方向一侧突出，以供插入结合一对突出部1115。

耦合部1125可以包括Z轴方向上的一侧朝向外侧的一侧部件11251以及从一侧部件11251朝外侧弯曲延长的另一侧部件11252，具有朝Z轴方向以“之”字型延长的形状。由此，一对耦合部1125的一侧部件11251之间的距离可以朝Z轴方向另一侧变窄，所述一侧部件11251的Z轴方向另一侧末端之间的间隔相比转换套件111的形成有突出部1115的部分的幅度窄，一对耦合部1125的另一侧部件11252之间的间隔可以朝向Z轴方向另一侧逐渐增加。由此，当拾取模块拾取转换套件111时，拾取模块可以朝Z轴移动(下降移动)直到拾取器用负压传递板结构112b的Z轴一面与转换套件111的一面接触，从而吸附转换套件111，在该过程中，转换套件111可以通过一对耦合部1125的一侧部件11251之间，可以进入到一对一侧部件11251的Z轴方向的另一侧末端。由此，突出部1115和耦合部1125摩擦接触，转换套件111可以物理性地安装于拾取器用负压传递板结构112b上。

另外，在放置转换套件111时，拾取模块可以将其夹持的转换套件111放置到工作台模块11的工作台用负压传递板结构112a上，此时，工作台用负压传递板结构112a可以通过工作台用套件凹陷部1122a进行真空吸附，从而向转换套件111施加向下侧方向的外力，同时拾取模块可以向上侧方向移动，在该过程中，转换套件111的突出部1115可以从拾取器用负压传递板结构112b的耦合部1125脱落。

如上所述，通过转换套件111的突出部1115和拾取器用负压传递板结构112b的耦合部1125的耦合，即便拾取器用负压传递板结构112b的转换套件111的真空吸附被中断(例如，由于负压发生器的停止等)，转换套件111也可以不从拾取器用负压传递板结构112b分离，而保持安装在拾取器用负压传递板结构112b上的状态。

根据本发明的一实施例，如图8所示，耦合部1125可以是交错配置，这是为了即便转换套件111通过工作台用负压传递板结构112a的真空吸附而容易从拾取器用负压传递板结构112b脱落，并且拾取器用负压传递板结构112b的转换套件111的真空吸附被中断(例如，由于负压发生器的停止等)，转换套件111也可以不从拾取器用负压传递板结构112b分离而稳定保持安装在拾取器用负压传递板结构112b上的状态。

另外，参照图10，所述耦合部1125可以设置在干燥装置2的翻转模块22的工作台模块11的工作台用负压传递板结构112a中，这是因为翻转模块22的工作台模块11以X轴为旋转轴进行旋转。即，转换套件111通过真空吸附而被固定在翻转模块22的工作台用负压传递板结构112a上，当在翻转模块22的工作台模块11被旋转180°的状态下真空吸附被中断时，转换套件111会从翻转模块22的工作台用负压传递板结构112a脱落，因此考虑到该点，也可以在翻转模块22的工作台模块11的工作台用负压传递板结构112a设置耦合部1125。翻转模块22的工作台模块11的工作台用负压传递板结构112a的耦合部1125的结构以及作用与拾取模块的耦合部1125的结构以及功能类似，因此，省略详细说明。

如上所述，在本第一系统中，通过负压传递板结构112a、112b的真空吸附而使转换套件111安装在负压传递板结构112a、112b上以自动完成转换套件111的替换，可以通过调整是否形成真空吸附来自动形成转换套件111和负压传递板结构112a、112b的可脱落状态，当解除真空吸附而形成可脱落状态时，可以利用拾取模块真空吸附转换套件111进行去除，拾取模块可以放置转换套件111，当在负压传递板结构112a、112b上放置有新的转换套件111时，可以重新开始真空吸附，从而将转换套件111自动地固定安装在负压传递板结构112a、112b上。

另外，在本第一系统中，通过拾取模块以及翻转模块22的工作台模块11包括耦合部1125，从而即便真空吸附由于意外问题而被中断，也能防止转换套件111从拾取模块以及翻转模块22的工作台模块11意外脱落。

另外，根据本发明的一实施例，可以在转换套件111标记有识别信息以识别与转换套件111有关的信息(例如，根据封装尺寸的转换套件111的封装安置部的尺寸信息、适合各个工作台模块的转换套件111的种类)，可以在第一拾取模块41具备扫描所述识别信息的传感器，第一拾取模块41可以是通过传感器的扫描判断出从装卸装置5取出的转换套件111为合理的转换套件111，则拾取所述转换套件111，如果是不合理的转换套件111，则停止拾取。

另外，转换套件111可以拾取从装卸装置5取出并安置在导轨(未图示)上的转换套件111，转换套件111以从正位置错开的角度放置在导轨上时，第一拾取模块41可以进行旋转，夹取以错开的角度配置的转换套件111，从而传送转换套件111以具有正位置。

以下说明应用在上述本第一系统中的根据本发明的一实施例的工作台模块(以下称为“本工作台模块”)11。然而，在对本工作台模块11进行说明时，对于与上述本第一系统中说明的结构相同或类似的结构，使用相同的附图标记，重复的说明将被简化或省略。

本工作台模块11可以包括转换套件111，所述转换套件朝Z轴方向形成有多个真空孔1111。

另外，本工作台模块11包括工作台用负压传递板结构112a，所述工作台用负压传递板结构在朝Z轴方向的另一面上配置有转换套件111，从而相连通负压发生器(未图示)和真空孔1111。

工作台用负压传递板结构112a可以真空吸附转换套件111。由此，当工作台用负压传递板结构112a对转换套件111进行真空吸附时，转换套件111被固定在工作台用负压传递板结构112a上。另外，当工作台用负压传递板结构112a对转换套件111的真空吸附被解除时，转换套件111成为可以被从工作台用负压传递板结构112a去除的状态。

工作台用负压传送板结构112a可以包括工作台用产品凹陷部1121a，其是与转换套件111的形成有多个真空孔1111的部分相对的部分朝Z轴方向一侧凹陷而成。工作台用产品凹陷部1121a可以向真空孔1111传递由负压发生器产生的负压作用以及负压的解除。

另外，工作台用负压传递板结构112a可以包括工作台用套件凹陷部1122a，其是与转换套件111的边缘部分的至少一部分相对的部分朝Z轴方向一侧凹陷，从而完成对转换套件111的真空吸附。

工作台用套件凹陷部1122可以具有朝转换套件111的长度方向延长的长孔形状的截面。

工作台用负压传递板结构112a可以包括朝Z轴方向另一侧突出的突起1123，拾取器用负压传递板结构112b可以包括朝Z轴方向一侧突出的突起1123，可以在转换套件111形成供插入所述突起1123的至少一部分的孔1112。

另外，以下说明包括上述本工作台模块11，并且应用到本第一系统中的根据本发明的一实施例的转换套件自动更换装置(以下称为“本装置”)。然而，在对本装置的说明中，对于与上述内容中说明的结构相同或类似的结构，使用相同的附图标记，并且重复的说明将被简化或省略。

本装置包括本工作台模块11。

另外，本装置包括拾取模块，所述拾取模块从工作台用负压传递板结构112a分离相对于工作台用负压传递板结构112a预先配置的转换套件111，或者相对于工作台用负压传递板结构112a放置新的转换套件111。

拾取模块可以包括在Z轴方向一侧安装有转换套件11的拾取器用负压传递板结构112b。拾取器用负压传送板结构112b可以真空吸附转换套件111。

拾取器用负压传递板结构112b可以包括拾取器用产品凹陷部1121b，所述拾取器用产品凹陷部是与转换套件111的形成有多个真空孔1111的部分相对的部分的至少一部分朝Z轴方向另一侧凹陷，以向真空孔1111传递由负压发生器产生的负压作用以及负压的解除。

另外，拾取器用负压传递板结构112b可以包括拾取器用套件凹陷部1122b，所述拾取器用套件凹陷部是与转换套件111的边缘部分相对的部分朝Z轴方向另一侧凹陷，从而完成对转换套件111的吸附。

拾取器用套件凹陷部1122b可以具有朝转换套件111的长度方向延长而形成的长孔形状的截面。

另外，拾取器用负压传递板结构112b可以包括朝Z轴方向一侧突出的突起1126，工作台用负压传递板结构112a可以包括插入有所述突起1126的至少一部分的孔1116。

另外，转换套件111可以包括一对突出部1115，所述一对突出部从转换套件111的两侧面各自向外侧突出而朝转换套件111的长度方向延长而形成。另外，拾取器用负压传递板结构112b可以包括一对耦合部1125，所述一对耦合部从拾取器用负压传递板结构112b的两侧面各自朝Z轴方向一侧突出，以供插入结合一对突出部1115。

另外，拾取模块41、42、43可以包括转换套件111。由此，拾取模块41、42、43的转换套件111未安装在拾取器用负压传递板结构112b上的状态时(换句而言，没有处于转换套件111正式安装在拾取器用负压传递板结构112b上的状态时)，拾取模块41、42、43可以分离相对于工作台用负压传递板结构112b预先配置的转换套件111，或者放置新的转换套件111。

以下说明根据本发明的第二实施例的转换套件自动更换系统、根据本发明的第一实施例的吸附模块以及根据本发明的第二实施例的吸附模块。

作为参考，在以下说明中，对于与方向或位置相关的术语(Z轴一侧、Z轴一面、Z轴另一侧、Z轴另一面等)参考图12a的话，以转换套件9111的第一板9111a1和第二板9111a2之间为准，将朝向第一板9111a1的方向设定为Z轴方向一侧，将朝向第二板9111a2的方向设定为Z轴方向另一侧，Z轴一面(Z轴方向一面)可以是如上设定的朝向Z轴方向一侧的面，Z轴另一面(Z轴方向另一面)可以是如上设定的朝向Z轴方向另一侧的面，可以根据本发明的实施例的使用、配置等，本发明的实施例可以配置为Z轴一侧朝向上侧或下侧。另外，在与本发明的实施例有关的说明中，与方向或位置相关的术语中的上侧以及下侧是以图中所示的各个构成的配置状态为准进行的设定。例如，观察图11至图20时，可以是整体上12点钟方向为上侧，整体上6点钟方向为下侧。

首先，说明根据本发明的第二实施例的转换套件自动更换系统(以下称为“本第二系统”)。然而，在本第二系统的说明中，对于与上述内容和后述的本第一吸附模块以及本第二吸附模块中描述的内容重复的说明，进行简化或者省略。

参照图1和图2，本第二系统包括将条带切割成封装的封装切割装置1。封装切割装置1可以包括吸附模块911。本第二系统的封装切割装置1的吸附模块911可以与上述本第一系统的封装切割装置1的工作台模块11相同、类似或相对应。由此，如上所述，传送到封装切割装置1的吸附模块911的条带可被刀片(未图示)切割成独立的封装。例如，条带可以安置在吸附模块911上，可以以安置状态进行切割。

另外，参照图1和图2，本第二系统包括干燥封装的干燥装置2。干燥装置2可以与本第一系统的干燥装置2相同、类似或相对应，因此省略详细说明。

另外，参照图1和图2，本第二系统包括安置有封装的视觉台3。本第二系统的视觉台3可以与上述本第一系统的视觉台3相同、类似或相对应，因此省略详细说明。

另外，参照图1和图2，本第二系统包括拾取部4，所述拾取部吸附条带或封装并在封装切割装置1、干燥装置2以及视觉台3之间进行传送。此外，参照图1，拾取部4可包括第一拾取装置41、第二拾取装置42以及第三拾取装置43。拾取部4配置在封装切割装置1、干燥装置2以及视觉台3的z轴另一侧。其可以表示第一拾取装置41、第二拾取装置42以及第三拾取装置43设置在封装切割装置1、干燥装置2以及视觉台3的z轴的另一侧。

作为参考，本第二系统的拾取部4可以与本第一系统的拾取装置4相同、类似或相对应，本第二系统的第一拾取装置41、第二拾取装置42以及第三拾取装置43各自可以与本第一系统的第一至第三拾取模块41、42、43各自相同、类似或者相对应。

由此，为了与上述本第一系统的第一拾取模块41、第二拾取模块42以及第三拾取模块43各自相对应，在本第二系统中，第一拾取装置41可以向封装切割装置1传送由装卸装置(未图示)供应得到的条带，第二拾取装置42可以将封装从封装切割装置1传送至干燥装置2，第三拾取装置43可以将封装从干燥装置2传送到视觉台3。

封装切割装置1、干燥装置2、视觉台3以及拾取部4各自包括吸附封装的吸附模块911。另外，吸附模块911可以包括转换套件9111以及安装有转换套件9111的负压传递板结构9112。作为参考，封装切割装置1、干燥装置2以及视觉台3各自的吸附模块911可以与上述本第一系统的工作台模块11相同、类似或相对应，拾取部4的吸附模块911可以与上述本第一系统的包括拾取器用负压传递板结构9112b和转换套件9111的构成相同、类似或相对应。因此，省略对封装切割装置1、干燥装置2以及视觉台3各自的吸附模块911的数量、作用等的详细描述。

一起参照图11以及图12a，吸附模块911可以包括转换套件9111，所述转换套件朝Z轴方向形成有多个真空孔91111。放置在吸附模块911上的条带或封装可以放置在转换套件9111上。例如，一起参考图12a以及12b，转换套件9111可以包括第一板9111a1和第二板9111a2，真空孔91111可以包括：第一管部911111，朝Z轴方向贯穿第一板9111a1而形成；以及第二管部911112，从第一管部911111延长，朝Z轴方向贯穿第二板9111a2而形成。

此外，参照图11至图13，吸附模块911可以包括负压传递板结构9112。负压传递板结构9112可以吸附转换套件9111，相连通负压发生器(未图示，例如位于负压传递板结构9112的z轴另一侧)和转换套件9111的多个真空孔91111。

另外，一起参照图11至图13，可以在负压传递板结构9112的Z轴方向的一面上配置转换套件9111，负压传递板结构9112可以相连通负压发生器(未图示)和真空孔91111。另外，参考图12a以及图12b，负压传递板结构9112可以包括形成负压或者解除负压的形成的产品吸附连接部91121、911281以及套件吸附部91122以完成对产品以及转换套件9111的吸附。例如，一起参考图12b以及图13，负压传递板结构9112可以包括产品吸附连接部91121、911281，所述产品吸附连接部91121、911281形成在与转换套件9111的形成有多个真空孔91111的部分相对的部分，从而相连通负压发生器和真空孔91111。产品吸附连接部91121、911281可以向真空孔91111传递由负压发生器产生的负压作用以及负压的解除。具体地，虽未图示，负压传递板结构9112可以包括相连通产品吸附连接部91121、911281和负压发生器的连通口，负压发生器吸入气体(产生负压)，则产品吸附连接部91121、911281内的气体流入到负压发生器侧，由此，真空孔91111内的气体通过产品吸附连接部91121、911281流入到负压发生器侧，由此，在真空孔91111内形成负压，从而可以吸附放置在转换套件9111上的封装或条带。另外，当负压发生器解除(停止)负压的产生时，通过负压传递板结构9112与负压发生器连通的真空孔91111内的负压的产生被中断，可以中断真空孔91111的吸附。

另外，一起参考图12b以及图13，负压传递板结构9112可以包括套件吸附部91122，所述套件吸附部是与转换套件9111的边缘部分的至少一部分相对的部分朝Z轴方向另一侧凹陷，从而完成对转换套件9111的真空吸附。封装切割装置1、干燥装置2以及视觉台3各自的吸附模块911的负压传递板结构9112为与上述本第一系统的工作台用负压传递板结构112a相同、类似或相对应的结构，因此省略对套件吸附部91122的具体说明。

另外，负压传递板结构9112可以包括主体部91128以及配置在主体部91128的z轴一面上的边缘部91129，可以在主体部91128形成有吸附凹陷部911281，所述吸附凹陷部是与形成有多个真空孔91111的部分相对应的部分朝z轴另一侧凹陷，并与负压发生器相连通。另外，可以是在边缘部91129以朝z轴方向贯穿的穿孔形态形成有套件吸附部91122，在位于主体部91128的套件吸附部91122的z轴另一侧形成有相连通负压发生器和套件吸附部91122的连通口(未图示)。由此，可以通过由连通口连通的负压发生器而在套件吸附部91122内部形成负压或者解除负压的形成。另外，可以在边缘部91129形成有连通吸附凹陷部911281和转换套件9111的多个真空孔91111的连接空间91121。由此，真空孔91111可以通过连接空间91121以及吸附凹陷部911281而与负压发生器连通，从而形成负压或解除负压的形成。

另外，吸附模块911可以配置为z轴一面朝向下侧或z轴一面朝向上侧。例如，参考图1，可以是封装切割装置1、干燥装置2以及视觉台3的吸附模块911配置为z轴一面朝向上侧，拾取部4的第一至第三拾取装置41、42、43各自的吸附模块911(与包括上述本第一系统的拾取器用负压传送板结构112b和转换套件9111的结构相同、类似或相对应)配置为z轴一面朝向下侧。

由此，虽然后述，参照图11至图12d，在封装切割装置1、干燥装置2以及视觉台3中，转换套件9111可以配置为正式安装时，其z轴一面朝向上侧。另外，参照图15，在第二拾取装置42以及第三拾取装置43中，转换套件9111可以配置为正式安装时，其z轴一面朝向下侧。另外，参照图18，在第一拾取装置41中，转换套件9111可以配置为正式安装时，其z轴一面朝向下侧。

另外，当负压传递板结构911对转换套件9111进行真空吸附时，转换套件9111可以安装(位置固定)在负压传递板结构9112上。另外，当负压传递板结构9112对转换套件9111的真空吸附被解除时，转换套件9111可以成为可从负压传递板结构去除的状态。

另外，转换套件9111可以安装在负压传递板结构9112上以使其z轴一面朝向负压传递板结构9112(临时安装状态)。或者，转换套件9111可以安装在负压传递板结构9112上以使其z轴另一面朝向负压传递板结构9112(正式安装状态)。此时，当为转换套件9111正式安装在负压传递板结构9112上的状态时，吸附模块911可以吸附半导体或条带。例如，当转换套件9111被正式安装在第一至第三拾取装置41、42、43的负压传递板结构9112上时，第一至第三拾取装置41、42、43可以处于能够夹持半导体或条带的状态。另外，当转换套件9111被正式安装在封装切割装置1、干燥装置2以及视觉台3的负压传递板结构9112上时，封装切割装置1、干燥装置2以及视觉台3的吸附模块911可以具有能够吸附其上放置的封装或条带的状态。

另外，当为转换套件9111临时安装在负压传递板结构9112上的状态时，吸附模块911(负压传递板结构9112)可以传送转换套件9111。以下详细描述转换套件9111的传送。

在本系统中，拾取部4在封装切割装置1、干燥装置2、视觉台3以及拾取部4配置吸附封装的转换套件9111或者进行去除。具体地，当为转换套件9111未正式安装在各个负压传送板结构9112上的状态时，第一至第三拾取装置41、42、43各自可以吸附转换套件9111进行传送。其中，吸附转换套件9111进行传送可以是指，第一至第三拾取装置41、42、43各自去除相对于封装切割装置1、干燥装置2或视觉台3预先配置的转换套件9111，或者配置新的转换套件9111。

具体地，可以是第一拾取装置41在装卸装置与封装切割装置1之间传送转换套件9111，第二拾取装置42在封装切割装置1与干燥装置2之间传送转换套件9111，第三拾取装置43在干燥装置2与视觉台3之间传送转换套件9111。

另外，当转换套件9111未正式安装在负压传递板9112上时，拾取装置(第一至第三拾取装置41、42、43中的一个以上)可以传送转换套件9111。

拾取部4向封装切割装置1、干燥装置2以及视觉台3各自的吸附模块911的负压传递板结构(负压传递板结构9112)配置转换套件9111与上述本第一系统的拾取装置4向封装切割装置1、干燥装置2以及视觉台3各自的工作台模块11的负压传递板结构(工作台用负压传递板结构112b)配置转换套件111相同、类似或者相对应，因此省略详细说明。

然而，作为参考，第一拾取装置41安装的第九个转换套件9111可以准备为z轴方向一面朝向下侧，换句而言，z轴另一面朝向上侧。

另外，如上所述，转换套件9111可以准备在转换套件匣盒中，此时，可以是依次准备第一至第九个转换套件9111以能够依次拾取，当按照顺序准备好时，可以是第一个、第二个、第四个、第五个、第七个以及第八个转换套件9111准备为Z轴一面朝向上侧，第三个、第六个、第九个转换套件9111准备为Z轴一面朝向下侧。

另外，还可以进行预先配置转换套件9111的去除，其与上述本第一系统的预先配置转换套件111的去除过程相同、类似或相对应，因此省略详细说明。

另外，根据本发明的一实施例，视觉台3、干燥装置2、第三拾取装置43以及第二拾取装置42各自的转换套件9111与封装切割装置1的转换套件9111可以是彼此不同的类型。这是因为视觉台3、干燥装置2、第三拾取装置43以及第二拾取装置42各自的转换套件9111真空夹持独立切割的多个封装，而封装切割装置1的转换套件9111夹持被切割为封装之前的条带。针对此，在与本第一系统相关的内容中进行了说明，因此省略详细描述。

当传送封装切割装置1、干燥装置2以及视觉台3装置的转换套件9111而不是安装在拾取装置上的转换套件9111时，拾取装置可以夹持转换套件9111进行传送以使转换套件9111的Z轴一面朝向拾取装置的负压传递板结构9112。

另外，去除预先配置转换套件9111时，可以是在配置有转换套件9111的负压传递板结构9112的套件吸附部91122解除真空吸附，在拾取需要去除的转换套件9111的拾取装置的负压传递板结构9112的套件吸附部91122中作用真空，从而可以进行真空吸附。

另外，第一至第三拾取装置41、42、43可以包括转换套件9111。由此，当为第一至第三拾取装置41、42、43的转换套件9111未安装在第一至第三拾取装置41、42、43的负压传递板结构9112上的状态时(换句而言，转换套件9111未正式安装在负压传递板结构9112上的状态时)，第一至第三拾取装置41、42、43可以分离相对于封装切割装置1、干燥装置2以及视觉台3的负压传递板结构9112预先配置的转换套件9111，或者放置新的转换套件9111。

另外，参照图11至图13、图15以及图16，吸附模块911包括能够夹持转换套件9111的夹具9113。具体地，夹具9113设置在负压传递板结构9112的z轴方向一侧(一面)，从而在基础状态时，可以夹持转换套件9111。其中，夹具9113的基础状态(或夹具单元91131的基础状态)可以是如图12c所示，是指夹具单元91131朝Z轴方向直立的状态。另外，虽然在后面详细描述，夹具单元91131可以具有外侧移动状态，虽未图示，外侧移动状态是指，参考图12c，可以是指在图12c中图示的夹具单元91131的直立状态下，夹具单元91131的z轴方向一侧部朝外侧移动，夹具单元91131以铰链91132为中心旋转的状态。

具体地，参考图12c，夹具9113可以包括夹具单元91131，所述夹具单元至少一部分朝负压传递板结构9112的z轴方向一面突出设置，形成有朝向配置有转换套件9111的部分向内侧突出的突起911319。夹具单元91131可以具有钩形。另外，可以在转换套件9111的外面上形成用于耦合夹具单元91131的突起911319的凹陷部91119。夹具单元91131的突起911319卡止耦合在凹陷部91119，从而夹具单元91131可以夹持转换套件9111。

另外，参照图12c，夹具9113可以包括铰链单元91132，所述铰链单元使夹具单元91131能够以负压传递板结构9112的长度方向为轴进行旋转。夹具单元91131可以通过所述铰链单元91132进行旋转，由此，夹具单元91131的朝向z轴方向的端部可以从夹持转换套件9111的状态朝外侧移动以远离转换套件9111。由此，可以从夹具单元91131的可夹持状态切换成解除夹持的状态。

另外，参照图12c以及图12d，夹具9113可以包括弹性部件91133，所述弹性部件朝内侧(朝向转换套件9111的方向)向夹具单元9113提供外力。弹性部件91133可以以在夹具单元9113的外面(面向朝向转换套件9111的方向的相反方向(外侧)的一面)上压缩的状态进行配置，从而可以弹性移动。由此，当夹具单元91131旋转预定角度时，弹性部件91133向夹具单元91131提供弹性恢复力，从而可以向夹具单元91131作用朝内侧的外力。

即，参照图12c，夹具单元91131在基础状态时，突起911319可以卡止耦合在凹陷部91119，从而可以夹持转换套件9111，向夹具单元91131作用朝外侧方向的外力，则夹具单元91131通过铰链单元91132进行旋转，夹具单元91131的朝向z轴方向一侧的部分(即，形成突起911319的部分)向外侧移动，从而具有外侧移动状态，在所述外侧移动状态时，可以解除对转换套件9111的卡止耦合，从而可以具有夹持解除状态。另外，当夹具单元91131向外侧移动时，位于夹具单元91131的外面上的弹性部件91133被朝外侧方向压缩，因此通过弹性部件91133而可以向夹具单元91131作用朝内侧的外力，由此，当对夹具单元91131的向外侧的外力成为由弹性部件91133的朝内侧的外力以下时，夹具单元91131可以恢复到基础状态。

作为参考，参照图12c以及12d，可以在夹具单元91131的外面形成容纳有弹性部件91133的至少一部分的容纳凹陷部911311。由此，弹性部件91133可以稳定地移动。

一方面，对夹具单元91131的朝外侧的外力作用可以如下完成。

参照图11至图13、图15以及图16，吸附模块911可以包括突出部9114，所述突出部在负压传递板结构9112的z轴方向一面突出设置，将相邻吸附模块911的相邻夹具9113引导为外侧移动状态，所述相邻吸附模块911朝z轴方向相邻以与吸附模块911相对。

首先，说明相邻夹具9113。第一拾取装置41、第二拾取装置42以及第三拾取装置43中的至少一个的吸附模块911可以与封装切割装置1、干燥装置2以及视觉台3中的至少一个的吸附模块911朝z轴方向彼此相对相邻。例如，第一拾取装置41可以朝z轴方向相邻配置以使其吸附模块911的一面与封装切割装置1的吸附模块911的一面相对，该情况下，第一拾取装置41的吸附模块911和封装切割装置1的吸附模块911各自可以成为彼此的相邻吸附模块911。另外，第二拾取装置42可以朝z轴方向相邻配置以使其吸附模块911的一面与封装切割装置1的吸附模块911的一面相对，该情况下，第二拾取装置42的吸附模块911和封装切割装置1的吸附模块911各自可以成为彼此的相邻吸附模块911。另外，第二拾取装置42可以朝z轴方向相邻配置以使其吸附模块911的一面与干燥装置2的吸附模块911的一面相对，该情况下，第二拾取装置42的吸附模块911和干燥装置2的吸附模块911各自可以成为彼此的相邻吸附模块911。另外，第三拾取装置43可以朝z轴方向相邻配置以使其吸附模块911的一面与干燥装置2的吸附模块911的一面相对，该情况下，第三拾取装置43的吸附模块911和干燥装置2的吸附模块911各自可以成为彼此的相邻吸附模块911。另外，第三拾取装置43可以朝z轴方向相邻配置以使其吸附模块911的一面与视觉台3的吸附模块911的一面相对，该情况下，第三拾取装置43的吸附模块911和视觉台3的吸附模块911各自可以成为彼此的相邻吸附模块911。

由此，拾取部4可以设置为其吸附模块911与封装切割设备1、干燥装置2以及视觉台3各自的吸附模块911相对，其可以是指第一拾取器41、第二拾取器42以及第三拾取器43中的至少一个的吸附模块911与封装切割装置1、干燥装置2以及视觉台3各自的吸附模块911中的至少一个可以朝如上所述z轴方向相邻配置。

另外，突出部9114可以形成在与相邻夹具9113的夹具单元91131朝z轴方向对应的位置。其可以是指，当吸附模块911和相邻吸附模块911朝z轴方向相对时，突出部9114形成为与相邻吸附模块911的夹具单元91131相对。由此，吸附模块911和相邻吸附模块911彼此可以具有相同或对应的结构，然而当吸附模块911和相邻吸附模块911朝Z轴彼此相对时，吸附模块的突出部91114和夹具单元91131可以与相邻吸附模块的突出部9114和夹具单元91131错开形成以使吸附模块911的突出部91114与相邻吸附模块911的夹具单元91131相对，吸附模块911的夹具单元91131与相邻吸附模块911的突出部9114相对。作为参考，如上所述，第一至第三拾取装置41、42、43的吸附模块911可以与封装切割装置1、干燥装置2以及视觉台3的吸附模块911各自可以成为彼此的相邻吸附模块911。

另外，参考图13以及图16，可以在夹具单元91131的突起911319的内侧部形成有导向槽911312用于引导相邻吸附模块911向突出部9114的内侧进入。另外，突出部9114可以具有楔形。由此，当吸附模块911和相邻吸附模块911在彼此相对的状态下朝z轴方向接近时，可以是相邻吸附模块911的突出部911进入导向槽911312，突出部9114进入相邻吸附模块911的夹具单元91131的导向槽911312，由此，随着吸附模块911和相邻吸附模块911通过上升以及下降而彼此接近，相邻吸附模块911的突出部911向吸附模块911的夹具单元91131的内侧的进入量增大，由此通过相邻吸附模块911的突出部9114与吸附模块911的导向槽911312的内面倾斜面的接触而夹具单元91131朝外侧移动，随着吸附模块911的突出部9114朝吸附模块911的夹具单元91131的内侧的进入量增加，通过吸附模块911的突出部9114与相邻吸附模块911的导向槽911312的内面倾斜面的接触而相邻吸附模块911的夹具单元91131也可以朝外侧移动。由此，吸附模块911的夹具9113以及相邻吸附模块911的夹具9113可以成为解除夹持的状态。

由此，第二以及第三拾取装置42、43为了从封装切割装置1、干燥装置2以及视觉台3的负压传递板结构9112配置或者去除转换套件9111而与封装切割装置1、干燥装置2以及视觉台3接触时，第二以及第三拾取装置42、43、封装切割装置1、干燥装置2以及视觉台3的夹具单元91131成为外侧移动状态，因此可以配置以及去除转换套件9111。

或者，根据本发明的另一实施例，参照图20，可以通过气缸9116进行夹具单元91131的向外侧状态的移动。具体地，参见图20，可以在夹具单元91131的z轴另一侧形成向内侧延长的延长部911318，可以在延长部911318的z轴另一侧上具备气缸9116。气缸9116可朝z轴方向驱动，当气缸9116朝z轴一侧移动而向延长部911318施加朝z轴一侧的外力时，延长部911318的至少一部分朝z轴一侧移动，夹具单元91131旋转，从而可以转换为外侧移动状态。

由此，当第一拾取装置41从装卸装置或封装切割装置1拾取转换套件9111时，夹具单元91131成为外侧移动状态，因此转换套件9111可以进行真空吸附，当第一拾取装置41向装卸装置放置转换套件9111时，通过气缸解除第一拾取装置41的夹具9113对转换套件9111的夹持，从而可以完成转换套件9111的放置，当第一拾取装置41向封装切割装置1放置转换套件9111时，通过气缸解除第一拾取装置41的夹具9113对转换套件9111的夹持，通过第一拾取装置41的突出部9114而封装切割装置1的夹具9113被转换成外侧移动状态，由此可以在封装切割装置1放置转换套件9111。

为了从封装切割装置1、干燥装置2以及视觉台3的负压传递板结构9112放置或去除转换套件9111而与封装切割装置1、干燥装置2以及视觉台3接近时，第二以及第三拾取装置42、43、封装切割装置1、干燥装置2以及视觉台3的夹具单元91131成为外侧移动状态，因此可以配置以及去除转换套件9111。

另外，例如，在封装切割装置1、干燥装置2、视觉台3、第二拾取器42以及第三拾取器43的吸附模块911中，可以通过相邻吸附模块911的突出部91114引导夹具单元91131的外侧移动状态。另外，在第一拾取装置41的吸附模块911中，夹具单元91131可以通过气缸9116而被引导为外侧移动状态。其是因为，第一拾取装置41可以从装卸装置拾取转换套件9111，然而在从装卸装置取出转换套件9111并进行安置的导轨(未图示)上难以形成突出部9114。

另外，参照图12以及图16，负压传递板结构9112可以包括朝Z轴方向一侧突出的多个第一突起91123。另外，比较图12和图16时，第一至第三拾取装置41、42、43的负压传递板结构9112的第一突起91123和封装切割装置1、干燥装置2以及视觉台3的负压传递板结构9112的第一突起91123可以彼此形成在不同的位置。例如，第一突起91123可以形成在第一至第三拾取装置41、42、43、封装切割装置1、干燥装置2以及视觉台3各自的负压传递板结构9112上以使连接第一至第三拾取装置41、42、43的负压传递板结构9112的一对第一突起91123的线和连接封装切割装置1、干燥装置2以及视觉台3的负压传递板结构9112的一对第一突起91123的线相互错开。另外，参照图11以及图15，可以在转换套件9111形成供插入第一突起91123的至少一部分的多个孔91112。所述孔91112可以形成在与第一至第三拾取装置41、42、43的负压传递板结构911的一对第一突起91123以及封装切割装置1、干燥装置2以及视觉台3的负压传递板结构9112的一对第一突起91123各自相对应的位置。由此，孔91112可以形成为4个，第一至第三拾取装置41、42、43的负压传递板结构9112为了向封装切割装置1、干燥装置2以及视觉台3的负压传递板结构9112放置或者拾取转换套件9111而接近时，两对第一突起91123可以各自插入到4个孔91112中。可以通过第一突起91123和孔91112的嵌合，转换套件9111可以在负压传递板结构9112具有正位置并被夹持乃至放置(配置)。另外，作为参考，孔91112可以形成为朝z轴方向上贯穿的形态，或者可以以从转换套件9111的外侧向内侧凹陷的凹槽形态形成在边缘。

另外，参照图15以及图18，第一至第三拾取装置41、42、43的负压传递板结构9112可以包括朝Z轴方向一侧突出的第二突起91126。另外，参考图11以及图13，封装切割装置1、干燥装置2以及视觉台3的负压传递板结构911可以包括供插入第二突起91126的至少一部分的孔91116。由此，当第一至第三拾取装置41、42、43相对于吸附模块911配置转换套件9111时，或者当第一至第三拾取装置41、42、43将多个封装装载在封装切割装置1、干燥装置2以及视觉台3的转换套件9111上时，第一至第三拾取装置41、42、43的负压传递板结构9112可以通过第二突起91126和孔91116的插入而被引导至正位置并进行配置，可以将转换套件9111放置在封装切割装置1、干燥装置2以及视觉台3的负压传递板结构9112上，或者将多个封装准确放置在封装切割装置1、干燥装置2以及视觉台3的转换套件9111上。

如上所述，在本第二系统中，转换套件9111通过负压传递板结构9112的真空吸附而被安装在负压传递板结构9112上以自动进行转换套件9111的替换，可以通过调整是否形成真空吸附来自动形成转换套件9111和负压传递板结构911的可脱落状态，当解除真空吸附而成为可脱落状态时，可以通过拾取装置真空吸附转换套件9111进行去除，拾取装置可以放置转换套件9111，在负压传递板结构9112上放置有新的转换套件9111时，可以重新进行真空吸附，从而在负压传递板结构9112上自动固定安装转换套件9111。

另外，第二系统的吸附模块911包括夹具9113，所述夹具物理性地夹持转换套件9111，并与相邻吸附模块911朝Z轴方向接近时，通过相邻吸附模块911的突出部9114而解除夹持，从而提高负压传递板结构9112和转换套件9111的结合力，当相对于负压传递板结构9112配置或去除转换套件9111时，可以解除转换套件9111的夹持，从而可以去除转换套件9111。由此，即使真空吸附由于意外问题而被中断，也可以防止转换套件9111从负压传递板结构9112意外脱落。

另外，在没有被夹具9113夹持的情况下，当向真空孔内部供应吹气时，会发生转换套件9111在负压传递板结构9112上掀动或移动的问题，根据本第一吸附模块，由于转换套件9111被夹具9113夹持而被固定在负压传递板结构9112上，因此可以防止上述问题的发生。

另外，根据本发明的一实施例，可以在转换套件9111标记有识别信息以识别与转换套件9111有关的信息(例如，根据封装尺寸的转换套件9111的封装安置部的尺寸信息、适合各个工作台模块的转换套件9111的种类)，可以在第一拾取模块41具备扫描所述识别信息的传感器，可以是第一拾取模块41通过传感器的扫描判断出从装卸装置取出的转换套件9111为合理的转换套件9111，则拾取所述转换套件9111，如果是不合理的转换套件9111，则停止拾取。

另外，如上所述，转换套件9111可以拾取从装卸装置取出并安置在导轨(未图示)上的转换套件9111，当转换套件9111以从正位置错开的角度放置在导轨上时，第一拾取模块41可以进行旋转，夹取以错开的角度配置的转换套件9111，从而传送转换套件9111以具有正位置。

以下说明应用在上述本第二系统中的根据本发明的一实施例的吸附模块(以下称为“本第一吸附模块”)。然而，在对本第一吸附模块的说明中，对于与上述本第二系统以及后述的第二吸附模块中说明的结构相同或类似的结构，使用相同的附图标记，重复的说明将被简化或省略。

本第一吸附模块911包括转换套件9111，所述转换套件朝Z轴方向形成有多个真空孔91111。

另外，第一吸附模块911包括负压传递板结构9112。负压传递板结构9112在Z轴方向的一面上配置有转换套件9111，连通负压发生器和转换套件9111的真空孔91111。

另外，本第一吸附模块911包括夹具9113。夹具9113的至少一部分朝负压传递板结构9112的Z轴方向一侧突出设置，从而在基础状态时，可以夹持转换套件9111。

另外，本第一吸附模块911包括突出部9114。突出部9114的至少一部分朝负压传递板结构9112的Z轴一侧突出设置，将相邻吸附模块911的相邻夹具9113引导为外侧移动状态。其中，相邻吸附模块911可以是指朝Z轴相邻的吸附模块911以与吸附模块911相对。另外，突出部9114可以形成在与相邻吸附模块9114的夹具单元91131对应的位置。

另外，夹具9113可以包括夹具单元91131，所述夹具单元至少一部分从负压传递板结构9112的z轴方向一面突出设置，形成有朝向配置有转换套件9111的部分向内突出的突起911319。

另外，夹具9113可以包括铰链单元91132，所述使夹具单元91131可以以负压传递板结构9112的长度方向为轴进行旋转。

另外，夹具9113可以包括弹性部件91133，所述弹性部件朝向内侧(朝向转换套件9111的方向)向夹具单元9113提供外力。

另外，可以在转换套件9111的外面形成可卡止耦合有夹具单元91131的突起9111319的凹陷部91119。凹陷部91119可以在转换套件9111的外面(朝向外侧的一面)形成为朝向内侧凹陷。另外，凹陷部91119可以为长孔形状。另外，可以在凹陷部91119的外侧部形成有朝Z轴方向突出的突部以能够卡止耦合夹具单元91131的突起911319。夹具单元91131的突起911319可以与突部卡止耦合。夹具单元91131可以卡止耦合在凹陷部91119以在基础状态下夹持转换套件9111。

另外，可以在夹具单元91131的突起911319的内侧部形成导向槽911312用于引导相邻吸附模块911向突出部9114的内侧进入。另外，突出部9114可以具有楔形。

由此，当吸附模块911和相邻吸附模块911在彼此相对的状态下朝z轴方向接近时，可以是相邻吸附模块911的突出部9114进入导向槽911312，突出部9114进入相邻吸附模块911的夹具单元91131的导向槽911312，由此，随着吸附模块911和相邻吸附模块911彼此接近，相邻吸附模块911的突出部9114向吸附模块911的夹具单元91131的内侧的进入量增大，由此夹具单元91131朝外侧移动，随着吸附模块911的突出部9114朝相邻吸附模块911的夹具单元91131的内侧的进入量增加，相邻吸附模块911的夹具单元91131也可以朝外侧移动。由此，吸附模块911的夹具9113以及相邻吸附模块911的夹具9113可以成为解除夹持的状态。另外，夹具单元91131朝外侧移动时，位于夹具单元91131的外面上的弹性部件91133因朝外侧的外力而可以被压缩，因弹性部件91133的弹性恢复力而可以向夹具单元91131作用朝内侧的外力，由此，当对于夹具单元91131的朝外侧的外力成为由弹性部件91133的朝内侧的外力以下时，夹具单元91131可以因弹性部件91133施加的外力而恢复到原位成为基础状态。

另外，在本第一吸附模块911中，负压传递板结构9112可以真空吸附转换套件9111。

如上所述，本第一吸附模块通过负压传递板结构9112的真空吸附而使转换套件9111安装在负压传递板结构9112上以自动完成转换套件9111的替换，可以调整是否形成真空吸附来自动形成转换套件9111和负压传递板结构9112的可脱落状态，当解除真空吸附而成为可脱落状态时，可以通过拾取装置真空吸附转换套件9111进行去除，拾取装置可以放置转换套件9111，当在负压传递板结构9112上放置有新的转换套件9111时，重新进行真空吸附，从而可以在负压传递板结构9112上自动固定安装转换套件9111。

另外，本第一吸附模块包括夹具9113，所述夹具物理性地夹持转换套件9111，并与相邻吸附模块911朝Z轴方向接近时，通过相邻吸附模块911的突出部9114而解除夹持，从而提高负压传递板结构9112和转换套件9111的结合力，当相对于负压传递板结构9112配置或去除转换套件9111时，可以解除转换套件9111的夹持，从而可以去除转换套件9111。由此，即使真空吸附由于意外问题而被中断，也可以防止转换套件911从负压传递板结构9112意外脱落。

另外，在没有被夹具9113夹持的情况下，当向真空孔内部供应吹气时，会发生转换套件9111在负压传递板结构9112上掀动或移动的问题，根据本第一吸附模块，由于转换套件9111被夹具9113夹持而固定在负压传递板结构9112上，因此可以防止上述问题的发生。

如上所述本第一吸附模块911可以应用为根据本发明的一实施例的转换套件自动更换系统的第二拾取装置42、第三拾取装置43、封装切割装置1、干燥装置2以及视觉台3的吸附模块911。

另外，本发明提供一种包括上述根据本发明的第一实施例的吸附模块911的根据本发明的一实施例的拾取装置。根据本发明的一实施例的拾取装置可以应用为根据本发明的一实施例的转换套件自动更换系统的第二拾取装置42以及第三拾取装置43。针对此，在上面进行了说明，因此省略详细描述。

另外，本发明包括根据本发明的一实施例的工作台部，所述工作台部包括上述根据本发明的第一实施例的吸附模块911。根据本发明的一实施例的工作台部可以应用为本发明的第一或第二系统的封装切割装置1、干燥装置2以及视觉台3。针对此，在上面进行了说明，因此省略详细描述。

以下说明应用在上述本系统中的根据本发明的第二实施例的吸附模块(以下称为“本第二吸附模块”)。然而，在对本第二吸附模块的说明中，对于与上述本第二系统以及本第一吸附模块中说明的结构相同或类似的结构，使用相同的附图标记，重复的说明将被简化或省略。

本第二吸附模块911包括转换套件9111，所述转换套件朝Z轴方向形成有多个真空孔91111。

另外，本第二吸附模块911包括负压传递板结构9112。负压传递板结构9112在Z轴方向的一面上配置有转换套件9111，连通负压发生器和转换套件9111的真空孔91111。

另外，本第二吸附模块911包括夹具9113。夹具9113的至少一部分朝负压传递板结构9112的Z轴方向一侧突出设置，从而在基础状态时，可以夹持转换套件9111。

另外，本第二吸附模块911包括突出部9114。突出部9114的至少一部分朝负压传递板结构9112的Z轴一侧突出设置，将相邻吸附模块911的相邻夹具9111引导为外侧移动状态。其中，相邻吸附模块911可以是指朝Z轴相邻的吸附模块911以与吸附模块911相对。突出部9114可以具有楔形。

由此，当吸附模块911和相邻吸附模块911在彼此相对的状态下朝z轴方向接近时，可以是相邻吸附模块911的突出部9114进入导向槽911312，突出部9114进入相邻吸附模块911的夹具单元91131的导向槽911312，由此，随着吸附模块911和相邻吸附模块911彼此接近，吸附模块911的突出部9114向相邻吸附模块911的夹具单元91131的内侧的进入量增大，由此相邻吸附模块911的夹具单元91131也可以朝外侧移动。由此，相邻吸附模块911的夹具9113可以成为解除夹持的状态。

另外，夹具9113可以包括夹具单元91131，所述夹具单元至少一部分从负压传递板结构9112的z轴方向一面突出设置，形成有朝向配置有转换套件9111的部分向内突出的突起911319。

另外，可以在转换套件9111的外面形成可卡止耦合有夹具单元91131的突起9111319的凹陷部91119。凹陷部91119可以在转换套件9111的外面(朝向外侧的一面)形成为朝向内侧凹陷。另外，凹陷部91119可以为长孔形状。另外，可以在凹陷部91119的外侧部形成有朝Z轴方向突出的突部以能够卡止耦合夹具单元91131的突起911319。夹具单元91131的突起911319可以与突部卡止耦合。夹具单元91131可以卡止耦合在凹陷部91119以在基础状态下夹持转换套件9111。

另外，夹具9113可以包括铰链单元91132，所述铰链单元使夹具单元91131可以以负压传递板结构9112的长度方向为轴进行旋转。通过夹具单元91131的旋转，夹具9113可以具有外侧移动状态或基础状态。

另外，在本第二吸附模块911中，夹具9113可以包括引导外侧移动状态的气缸9116。具体地，可以在夹具单元91131的z轴另一侧形成向内侧延长的延长部，可以在延长部的z轴另一侧上具备气缸9116。气缸9116可朝z轴方向驱动，当气缸9116朝z轴一侧移动而向延长部施加朝z轴一侧的外力时，延长部的至少一部分朝z轴一侧移动，夹具单元91131旋转，从而可以转换为外侧移动状态。

另外，夹具9113可以包括弹性部件91133，所述弹性部件朝向内侧(朝向转换套件9111的方向)向夹具单元9113提供外力。夹具单元91131朝外侧移动时，位于夹具单元91131的外面上的弹性部件91133因朝外侧的外力而可以被压缩，因弹性部件91133的弹性恢复力而可以向夹具单元91131作用朝内侧的外力，由此，当对于夹具单元91131的朝外侧的外力成为由弹性部件91133的朝内侧的外力以下时，夹具单元91131可以因弹性部件91133施加的外力而恢复到原位成为基础状态。

即，夹具单元91131可以通过气缸9116施加的外力进行旋转，朝向Z轴方向一侧的端部朝外侧移动而成为外侧移动状态，此时，弹性部件91133因夹具单元91131朝外侧的移动而得到朝外侧的外力，从而可以被压缩，可以向夹具单元91131施加朝内侧的外力。另外，当对于夹具单元91131的朝外侧的外力成为由弹性部件91133的朝内侧的外力以下时，夹具单元91131可以因弹性部件91133施加的外力而恢复到原位成为基础状态。

一方面，突出部9114可以形成在与相邻吸附模块911的夹具单元91131相对应的位置。另外，夹具单元91131可以形成在与相邻吸附模块911的突出部相对应的位置。由此，本第二吸附模块911和相邻吸附模块911朝Z轴方向接近时，突出部9114可以朝夹具单元(相邻吸附模块911的夹具单元91131)的内侧进入，向相邻夹具单元91131施加朝外侧的外力。更加具体地，突出部9114可以通过相邻夹具单元91131的导向槽而朝相邻夹具单元91131的内侧进入，向相邻夹具单元91131施加外力，张开相邻夹具单元91131的朝Z轴方向的端部和转换套件9111之间，从而使相邻夹具单元91131转换为外侧移动状态。

一方面，如上所述，在本第二吸附模块911中，可以通过气缸9116进行夹具单元91131向外侧移动状态的转换，因此，可以在夹具单元91131形成有可以容纳突出部9114的容纳部911315以便本第二吸附模块911和相邻吸附模块911朝Z轴方向接近时，夹具单元91131和相邻吸附模块911的突出部9114不发生干涉。由此，即便本第二吸附模块911和相邻吸附模块911朝Z轴方向接近，夹具单元91131也不会通过相邻吸附模块911的突出部9114而转换成外侧移动状态。

另外，在本第二吸附模块911中，负压传递板结构9112可以真空吸附转换套件9111。

如上所述，本第二吸附模块通过负压传递板结构9112的真空吸附而使转换套件9111安装在负压传递板结构9112上以自动完成转换套件9111的替换，可以调整是否形成真空吸附来自动形成转换套件9111和负压传递板结构9112的可脱落状态，当解除真空吸附而成为可脱落状态时，可以通过拾取装置真空吸附转换套件9111进行去除，拾取装置可以放置转换套件9111，当在负压传递板结构9112上放置有新的转换套件9111时，重新开始真空吸附，从而可以在负压传递板结构9112上自动固定安装转换套件9111。

另外，本第二吸附模块包括夹具9113，所述夹具物理性地夹持转换套件9111，并与相邻吸附模块911朝Z轴方向接近时，通过相邻吸附模块911的突出部9114而解除夹持，从而提高负压传递板结构9112和转换套件9111的结合力，当相对于负压传递板结构9112配置或去除转换套件9111时，可以解除转换套件9111的夹持，从而可以去除转换套件9111。由此，即使真空吸附由于意外问题而被中断，也可以防止转换套件911从负压传递板结构9112意外脱落。

另外，在没有被夹具9113夹持的情况下，当向真空孔内部供应吹气时，会发生转换套件9111在负压传递板结构9112上掀动或移动的问题，根据本第一吸附模块，由于转换套件9111被夹具9113夹持而被固定在负压传递板结构9112上，因此可以防止上述问题的发生。

另外，本发明提供一种包括上述根据本发明的第二实施例的吸附模块911的根据本发明的一实施例的拾取装置。根据本发明的一实施例的拾取装置可以应用为根据本发明的一实施例的转换套件自动更换系统的第一拾取装置41。针对此，在上面进行了说明，因此省略详细描述。

上述本发明的说明是用于示例，本发明所属技术领域中具有通常知识的人应理解可以在不改变本发明的技术思想或者必要特征的前提下容易变形为其他具体形态。因此，应理解以上描述的实施例在所有面上属于示例而不用于限定。例如，作为单一型说明的各个构成要素也可以被分散实施，与此相同地，分散说明的构成要素也可以以结合形态实施。

本发明的范围是相比所述具体实施方式，应由权利要求范围而定，应解释权利要求范围的含义以及范围、以及由其均等概念导出的所有变更或者变形形态包含在本发明的范围内。