一种可调非平衡矩形平面磁控溅射阴极

技术领域

本发明涉及溅射阴极技术领域，尤其涉及一种矩形平面磁控溅射阴极。

背景技术

镀膜是在表面镀上非常薄的薄膜，使其具有耐磨、润滑、导电、光学、装饰等功能。随着人们对产品的追求越来越高，越来越多的物品表面都会镀膜，镀膜最普遍的做法就是通过镀膜机镀膜，而使用较多的就是溅射类镀膜，可以简单的理解为利用离子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，最终沉积在基片表面，最后形成薄膜。

根据专利号CN209974874U，名为一种高靶材利用率的矩形磁控溅射阴极，其核心部件为磁钢组和磁轭组成的磁路模块，该磁路结构使得磁场提供更多的与靶材平行的磁场分量，能够对靶面进行更大面积的刻蚀，提升了靶材利用率，避免频繁更换靶材，降低开真空室的次数，既可以保证生产的连续性，提高工作效率，也可以改善产品的洁净度；此外，通过水路进行降温，可以有效的避免靶材被熔化。

但是该设备无法自由移动靶材，当靶面刻蚀不均时，无法调节位置，使得靶材利用率非常低，大概在20％，这样就导致大量的材料浪费，并且无法控制靶材刻蚀的程度，操作空间十分有限。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种矩形平面磁控溅射阴极。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：一种矩形平面磁控溅射阴极，包括框体，所述框体内底部固定安装有伸缩装置，所述伸缩装置上端固定安装有动力装置，所述动力装置两侧均固定安装有一个储料装置，所述储料装置远离动力装置的一端固定安装有伸缩杆，所述伸缩杆远离储料装置的一端固定安装有T形杆，所述框体侧壁开设有滑槽，所述T形杆位于滑槽内部且与滑槽侧壁滑动连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述动力装置包括动力箱，所述动力箱内底部固定安装有固定板，所述固定板上表面固定安装有多个二号卡齿，所述二号卡齿啮合连接有齿轮，所述齿轮侧壁活动连接有动力组件。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述动力组件包括活动杆，所述活动杆侧壁固定安装有一号连接杆，所述一号连接杆端部固定连接有一号气缸，所述一号气缸远离一号连接杆的一端与动力箱内侧壁固定连接，所述动力箱侧壁活动连接有移动组件。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述移动组件包括活动柱，所述活动柱贯穿动力箱侧壁，所述活动柱下端固定安装有多个一号卡齿，多个所述一号卡齿与齿轮啮合连接，所述活动柱外表面活动套设有橡胶圈，所橡胶圈位于动力箱的内部，且所述橡胶圈与动力箱内侧壁固定连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述储料装置包括连接板，所述连接板上端固定安装有目标靶材，所述连接板底部固定安装有多个轮杆，所述轮杆外表面活动套设有轮子。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述伸缩装置包括受力板，所述受力板侧壁固定安装有两个挡板，所述挡板下端固定安装有二号连接杆，所述二号连接杆远离受力板的一端固定安装有二号气缸，所述二号气缸外表面固定套设有防水箱，所述二号气缸远离二号连接杆的一端与框体的内侧壁固定连接，所述受力板的底端固定安装有两个弹簧，所述弹簧远离受力板的一端与框体内侧壁固定连接。

本发明具有如下有益效果：

1、与现有技术相比，该矩形平面磁控溅射阴极，通过设置动力装与储料装置，可以随时改变靶材的水平位置，减少靶材刻蚀不均的情况，提高靶材利用率，减少靶材的浪费。

2、与现有技术相比，该矩形平面磁控溅射阴极，通过设置伸缩装置，能改变靶材与阳极的位置远近，控制靶材刻蚀的程度，给日常使用带来了极大的便捷。

附图说明

图1为本发明提出的一种矩形平面磁控溅射阴极的整体结构示意图；

图2为本发明提出的一种矩形平面磁控溅射阴极的动力装置示意图；

图3为本发明提出的一种矩形平面磁控溅射阴极的储料装置示意图；

图4为本发明提出的一种矩形平面磁控溅射阴极的伸缩装置示意图。

图例说明：

1、框体；2、动力装置；3、储料装置；4、伸缩装置；5、T形杆；6、滑槽；7、伸缩杆；21、动力箱；22、一号卡齿；23、橡胶圈；24、齿轮；25、二号卡齿；26、活动杆；27、固定板；28、一号连接杆；29、一号气缸；210、活动柱；31、连接板；32、目标靶材；33、轮子；34、轮杆；41、受力板；42、挡板；43、二号连接杆；44、弹簧；45、二号气缸；46、防水箱。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

参照图1-4，本发明提供的一种矩形平面磁控溅射阴极：包括框体1，框体1内底部固定安装有伸缩装置4，伸缩装置4上端固定安装有动力装置2，动力装置2两侧均固定安装有一个储料装置3，储料装置3远离动力装置2的一端固定安装有伸缩杆7，伸缩杆7远离储料装置3的一端固定安装有T形杆5，框体1侧壁开设有滑槽6，T形杆5位于滑槽6内部且与滑槽6侧壁滑动连接。

动力装置2包括动力箱21，动力箱21内底部固定安装有固定板27，固定板27上表面固定安装有多个二号卡齿25，二号卡齿25啮合连接有齿轮24，齿轮24侧壁活动连接有动力组件，齿轮24与二号卡齿25啮合连接，通过齿轮24转动，使得固定板27移动。

动力组件包括活动杆26，活动杆26侧壁固定安装有一号连接杆28，一号连接杆28端部固定连接有一号气缸29，一号气缸29远离一号连接杆28的一端与动力箱21内侧壁固定连接，动力箱21侧壁活动连接有移动组件，活动杆26起到固定齿轮24的作用。

移动组件包括活动柱210，活动柱210贯穿动力箱21侧壁，活动柱210下端固定安装有多个一号卡齿22，多个一号卡齿22与齿轮24啮合连接，活动柱210外表面活动套设有橡胶圈23，橡胶圈23位于动力箱21的内部，且橡胶圈23与动力箱21内侧壁固定连接，橡胶圈23起到防水的作用。

储料装置3包括连接板31，连接板31上端固定安装有目标靶材32，连接板31底部固定安装有多个轮杆34，轮杆34外表面活动套设有轮子33，轮子33起到减少储料装置3与受力板41摩擦力的作用。

伸缩装置4包括受力板41，受力板41侧壁固定安装有两个挡板42，挡板42下端固定安装有二号连接杆43，二号连接杆43远离受力板41的一端固定安装有二号气缸45，二号气缸45外表面固定套设有防水箱46，二号气缸45远离二号连接杆43的一端与框体1的内侧壁固定连接，受力板41的底端固定安装有两个弹簧44，弹簧44远离受力板41的一端与框体1内侧壁固定连接，受力板41起到支撑作用。

工作原理：通过设置伸缩装置4带动动力装置2与储料装置3上下移动，储料装置3通过T形杆5在框体1侧壁的滑槽6内滑动，使得储料装置3可以上下移动，通过动力装置2使得储料装置3可以水平往返滑动，启动一号气缸29，使得一号连接杆28水平往返运动，带动齿轮24转动，由于一号卡齿22与齿轮24啮合连接，使得活动柱210随着齿轮24水平往复运动，最后带动两个储料装置3在水平位置上做往返运动，通过设置轮子33与轮杆34使得储料装置3的滑动摩擦力减少，移动过程更加流畅。

最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。