一种改进型真空镀膜机

技术领域

本发明涉及镀膜设备技术领域，具体涉及一种改进型真空镀膜机。

背景技术

现有的真空镀膜机包括具有一开口的箱体和盖设于箱体上的箱盖，且为了增加箱盖和箱体之间的密封性能，而现有的真空镀膜机的箱盖和箱体之间的密封圈，往往是通过简单的增加常规的O型密封圈来实现密封效果，这种常规的O型密封圈密封效果较差，而且长时间在高温状态使用时，O型密封圈容易损坏，使得箱盖和箱体之间得不到密封效果，导致箱体无法获得较好的真空度，从而影响了镀膜质量，导致镀膜质量不稳定，实用性差。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种结构设计合理、使用方便、箱盖和箱体之间密封性能好、使用寿命长且实用性好的改进型真空镀膜机。

为实现上述目的，本发明提供了如下技术方案：一种改进型真空镀膜机，包括箱体，所述箱体内设置有真空镀膜室，箱体的顶部设有箱盖，所述箱体位于真空镀膜室的上开口位置设置有一个下密封斜面，所述箱体的上端面从内至外依次设置有第一环形凹槽和第二环形凹槽，所述箱盖的下端面上焊接有硬质合金加强块，所述硬质合金加强块的下端面一体设置有硬密封凸块，该硬密封凸块对准下密封斜面位置设置有上密封斜面，所述第一环形凹槽内设置有唇形密封圈，第二环形凹槽内设置有O型密封圈，当箱盖盖合时，所述硬密封凸块的上密封斜面与真空镀膜室的上开口位置的下密封斜面之间构成硬密封；所述唇形密封圈和O型密封圈的上端均与硬质合金加强块的下端面之间构成软密封。

本发明进一步设置为：所述箱盖的上端面正上方位置设置有若干个气缸升降装置，每个气缸升降装置的活塞杆朝下设置，且每个气缸升降装置的活塞杆下端焊接有一块连接板，所述连接板与箱盖的上端面通过螺钉连接固定。

本发明还进一步设置为：所述气缸升降装置后端固定设置有定位机架，所述箱盖的侧面上一体设置有定位凸块，所述定位凸块中部竖向设置有定位通孔，所述定位通孔内穿设有一根导向杆，所述导向杆上端与定位机架焊接固定。

本发明还进一步设置为：所述硬质合金加强块的下端面中部位置焊接有铝散热层，所述铝散热层的下端面上可拆卸设置有电加热装置。

本发明还进一步设置为：所述真空镀膜室的底部设置有废料收集槽，所述废料收集槽上端固定设置有钢丝定位网。

本发明还进一步设置为：所述真空镀膜室内还设置有电弧蒸发装置和温度传感器，箱体的外侧面上固定设置有控制装置，所述电加热装置、电弧蒸发装置和温度传感器分别通过导线与控制装置构成电连接。

本发明的优点是：与现有技术相比，本发明结构设置更加合理，当箱盖盖合时，硬密封凸块的上密封斜面与真空镀膜室上开口位置的下密封斜面之间构成硬密封；唇形密封圈和O型密封圈上端均与硬质合金加强块的下端面之间构成软密封；采用软硬结合的密封结构，密封性能更好，提高了箱体和箱盖之间的密封效果，保证箱体获得较好的真空度，从而保证了镀膜质量。

另外，箱盖的下端面上焊接有硬质合金加强块，且硬密封凸块也是硬质合金材质，不易变形、耐高温、不会轻易损坏，不用经常维修。结构设计合理、使用方便、箱盖和箱体之间密封性能好、使用寿命长且实用性好。

下面结合说明书附图和具体实施例对本发明作进一步说明。

附图说明

图1为本发明实施例的结构示意图；

图2为图1中I部的放大示意图；

图3为本发明实施例箱盖的剖视示意图；

图4为本发明实施例箱体的剖视示意图。

具体实施方式

在本实施例的描述中，需要说明的是，如出现术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”、“前”、“后”等，其所指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此，不能理解为对本发明的限制。此外，如出现术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

参见图1、图2、图3和图4，本发明公开的一种改进型真空镀膜机，包括箱体1，所述箱体1内设置有真空镀膜室11，箱体1的顶部设有箱盖2，所述箱体1位于真空镀膜室11的上开口位置设置有一个下密封斜面111，所述箱体1的上端面从内至外依次设置有第一环形凹槽12和第二环形凹槽13，所述箱盖2的下端面上焊接有硬质合金加强块3，所述硬质合金加强块3的下端面一体设置有硬密封凸块31，该硬密封凸块31对准下密封斜面111位置设置有上密封斜面311，所述第一环形凹槽12内设置有唇形密封圈4，第二环形凹槽13内设置有O型密封圈5，当箱盖2盖合时，所述硬密封凸块31的上密封斜面311与真空镀膜室11的上开口位置的下密封斜面111之间构成硬密封；所述唇形密封圈4和O型密封圈5的上端均与硬质合金加强块3的下端面之间构成软密封。

所述箱盖2的上端面正上方位置设置有若干个气缸升降装置6，每个气缸升降装置6的活塞杆朝下设置，且每个气缸升降装置6的活塞杆下端焊接有一块连接板61，所述连接板61与箱盖2的上端面通过螺钉连接固定。作为优选的，本实施例对称设置2个气缸升降装置6，且2个气缸升降装置6的活塞杆同时升降，方便箱盖2打开和盖合，使用方便。

所述气缸升降装置6后端固定设置有定位机架7，所述箱盖2的侧面上一体设置有定位凸块21，所述定位凸块21中部竖向设置有定位通孔211，所述定位通孔211内穿设有一根导向杆8，所述导向杆8上端与定位机架7焊接固定。作为优选的，所述气缸升降装置6后端均与定位机架7通过螺栓连接固定。

所述硬质合金加强块3的下端面中部位置焊接有铝散热层9，所述铝散热层9的下端面上可拆卸设置有电加热装置10。作为优选的，所述电加热装置10与铝散热层9的下端面通过螺钉连接固定。

所述真空镀膜室11的底部设置有废料收集槽14，所述废料收集槽14上端固定设置有钢丝定位网15。

所述真空镀膜室11内还设置有电弧蒸发装置16和温度传感器17，箱体1的外侧面上固定设置有控制装置18，所述电加热装置10、电弧蒸发装置16和温度传感器17分别通过导线与控制装置18构成电连接。作为优选的，温度传感器17用于检测真空镀膜室11内的温度，然后将信号传递给控制装置18，控制装置18控制电加热装置10工作；控制装置18还控制电弧蒸发装置16工作。控制装置18与箱体1的外侧面焊接固定或通过螺栓连接固定。

实际应用时，当箱盖盖合时，硬密封凸块的上密封斜面与真空镀膜室上开口位置的下密封斜面之间构成硬密封；唇形密封圈和O型密封圈上端均与硬质合金加强块的下端面之间构成软密封；采用软硬结合的密封结构，密封性能更好，提高了箱体和箱盖之间的密封效果，保证箱体获得较好的真空度，从而保证了镀膜质量。

另外，箱盖的下端面上焊接有硬质合金加强块，且硬密封凸块也是硬质合金材质，不易变形、耐高温、不会轻易损坏，不用经常维修。结构设计合理、使用方便、箱盖和箱体之间密封性能好、使用寿命长且实用性好。

上述实施例对本发明的具体描述，只用于对本发明进行进一步说明，不能理解为对本发明保护范围的限定，本领域的技术工程师根据上述发明的内容对本发明作出一些非本质的改进和调整均落入本发明的保护范围之内。