MES生产系统的控制方法与设备

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，特别是涉及MES生产系统的控制方法与设备。

背景技术

目前，所有半导体工厂FAB(洁净室)后段区域作业人员如需使用MES生产系统对产品WIP(在制品)、机台等信息做处理，都需要在FAB(洁净室)固定区域的工作桌电脑上登陆相关MES系统分别进行操作，如图1所示。

如此，洁净室后段区域作业人员每次要使用MES生产系统时，需要特别走到对应位置的电脑登陆MES各个子系统的操作界面分别进行操作，花费时间较多、工作流程也比较繁琐，影响工作效率的提升。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供MES生产系统的控制方法与设备，用于解决现有技术中半导体后段区域作业人员在使用MES生产系统时受地域限制的技术问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种MES生产系统的控制方法，应用于中间服务器；所述方法包括：接收由移动设备发送的资料数据及与所述资料数据相关联的标识信息；将所述标识信息转换为MES生产系统格式的参数命令，并将所述资料数据转换为 MES生产系统格式的各参数值；将所述参数命令及各所述参数值组合生成命令消息，并对应发送至所述MES生产系统的芯片过账模块、芯片分批模块、芯片合批模块或芯片资料收集模块，以控制所述MES生产系统对所述命令消息进行处理。

于本发明一实施例中，所述方法还包括：接收由所述MES生产系统返回的处理结果，并将所述处理结果提供至所述移动设备进行显示。

于本发明一实施例中，所述方法还包括：根据各用户账号所设的机台区域，为各所述用户账号设置操作权限，以向各所述用户账号提供对应机台的交互界面。

于本发明一实施例中，所述中间服务器中设有多个应用服务，每个所述应用服务用于将一种所述标识信息所对应的资料数据转换为MES生产系统格式的各参数值，并将所述标识信息转换为MES生产系统格式的参数命令，以生成命令消息，发送至所述MES生产系统。

于本发明一实施例中，所述方法还包括：令各所述应用服务分别定期地检测是否有来自移动设备的资料数据及其标识信息；当一所述应用服务的检测结果为否时，令该应用服务进入休眠状态。

于本发明一实施例中，所述方法还包括：令各所述应用服务对应地接收由所述MES生产系统返回的根据各所述命令消息生成的各处理结果；将各所述处理结果提供至所述移动设备进行显示。

于本发明一实施例中，所述芯片资料收集模块用于收集芯片电性测试数据、翘曲度测试数据及奇偶分批数据中的至少一种。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种MES生产系统的控制方法，应用于移动设备；所述方法包括：获取资料数据；将所述资料数据及与所述资料数据相关联的标识信息发送至中间服务器，以供所述中间服务器根据所述资料数据及所述标识信息控制所述 MES生产系统的芯片过账模块、芯片分批模块、芯片合批模块或芯片资料收集模块进行相应处理；接收由所述中间服务器提供的所述MES生产系统的处理结果，并进行展示。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种MES生产系统的控制设备，包括：通信单元，用于接收由移动设备发送的资料数据及与所述资料数据相关联的标识信息；将命令消息对应发送至所述MES生产系统的芯片过账模块、芯片分批模块、芯片合批模块或芯片资料收集模块，以控制所述MES生产系统对所述命令消息进行处理；存储单元，存储所述资料数据及与所述资料数据相关联的标识信息；处理单元，用于将所述标识信息转换为MES生产系统格式的参数命令，并将所述资料数据转换为MES生产系统格式的各参数值；将所述参数命令及各所述参数值组合生成命令消息。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种半导体工厂后段区域作业的信息管理系统，包括所述的MES生产系统的控制设备。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种计算机可读存储介质，其中存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器加载执行时，实现所述的MES生产系统的控制方法。

如上所述，本发明的MES生产系统的控制方法与设备，接收由移动设备发送的资料数据及与所述资料数据相关联的标识信息；将所述标识信息转换为MES生产系统格式的参数命令，并将所述资料数据转换为MES生产系统格式的各参数值；将所述参数命令及各所述参数值组合生成命令消息，并对应发送至所述MES生产系统的芯片过账模块、芯片分批模块、芯片合批模块或芯片资料收集模块，以控制所述MES生产系统对所述命令消息进行处理。本发明在不对现有MES生产系统架构做出改变的情况下，使得半导体后段区域的作业人员无需进入洁净室，通过智能手机、平板电脑等移动设备即可与MES生产系统进行交互，从而通过移动设备进行后段生产区域的移动作业。

附图说明

图1显示为现有技术中半导体工厂后段区域作业的信息管理系统的架构示意图。

图2显示为本发明一实施例的半导体工厂后段区域作业的信息管理系统的架构示意图。

图3显示为本发明一实施例的中间服务器执行的MES生产系统的控制方法的流程图。

图4显示为本发明一实施例的移动设备执行的MES生产系统的控制方法的流程图。

图5～图10显示为本发明的电性测试示例的移动设备交互界面的示意图。

图11～图13显示为本发明的数据收集和奇偶分批功能示例的移动设备交互界面示意图。

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。

需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本发明的基本构想，遂图式中仅显示与本发明中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

鉴于现有技术中，半导体后段区域的作业人员如需使用MES生产系统就需进入洁净室，花费时间较多、工作流程繁琐的情况，本发明提出不对现有MES生产系统架构做出改变，即可通过智能手机、平板电脑等移动设备与MES生产系统进行交互的技术方案，从而让作业人员通过移动设备就能进行后段生产区域的移动作业，从而提高工作效率。

图2显示为本发明的半导体工厂后段区域作业的信息管理系统于一实施例的架构示意图。本实施例在现有架构的基础上添加一中间服务器，搭载有MES生产系统数据库和至少一个应用服务AP Server。该中间服务器一方面与现有MES生产系统服务器通信连接，一方面与各工作人员的移动设备(如智能手机、平板电脑、PDA等)通信连接(如内网WIFI)。

具体地，本实施例的中间服务器至少包括通信单元、存储单元、处理单元。通信单元用于实现中间服务器与外部设备的通信连接及信息传输，存储单元用于存储计算机程序及传输数据的存储，处理单元用于加载计算机程序以实现下文介绍的MES生产系统的控制方法。

较佳的，本实施例的中间服务器采用基于C#语言搭建的至少一个WEB服务器，主要实施过程如下：

1)搭建IIS(Internet Information Services)WEB服务器

安装IIS配置组件，ASP.NET/Internet Explorer/ISAPI扩展/ISAPI筛选器；

2)发布Web Services网站到IIS

将实现与数据库通讯的WEB Services发布到IIS WEB服务器；

3)移动设备与WEB Services通讯

移动设备通过访问网站的方式与WEB Services实现通讯。

如图3所示，上述WEB服务器用于执行以下步骤，以实现对MES生产系统的控制：

S31：接收由移动设备发送的资料数据及与所述资料数据相关联的标识信息；

所述资料数据包括在制品信息、机台信息等。较佳的，在制品信息以二维码的形式设于在制品表面，机台信息以二维码的形式设于机台表面，作业人员可利用移动设备扫描二维码来获取相应的在制品信息、机台信息。

移动设备具体以表的形式向WEB服务器传送资料数据，不同的操作功能信息在写入 WEB服务器的MES生产系统数据库的表中时，还对应一标识信息，具体包括一个固定分类名字及一个固定标记，此固定标记用于表示此次的资料数据需要进行何种处理。标记所表示的处理包括但不限于：在制品进机台做账(WIP job in)、在制品出机台(WIP job out)、在制品分合批、在制品数据收集、处理异常产品(Hold Lot)、机台状态切换等。

S32：将所述标识信息转换为MES生产系统格式的参数命令，并将所述资料数据转换为 MES生产系统格式的各参数值；

具体地，WEB服务器的应用服务AP Server具有多个，每个应用服务用于处理一种标识信息所对应的资料数据，例如：有处理在制品进机台做账(WIP job in)的应用服务、有处理在制品出机台(WIP job out)的应用服务、有处理在制品分合批的应用服务、有处理在制品数据收集的应用服务、有处理处理异常产品(Hold Lot)的应用服务、有处理机台状态切换的应用服务等。每个应用服务专职处理各自的事务且对应自己的独立数据表，以保证各个应用服务的独立性和稳定性。WEB服务器根据标识信息中的固定标记，将接收的资料数据分配至与该固定标记对应的应用服务进行处理。

一个固定分类名字会一一对应到MES生产系统的其中一项功能。应用服务在接收资料数据后，根据其关联的固定分类名字对应到MES生产系统标准制式的参数命令，并把资料数据中所包含的各项数据对应地赋值到MES生产系统标准制式的参数中。

S33：将所述参数命令及各所述参数值组合生成命令消息，并对应发送至所述MES生产系统的芯片过账模块、芯片分批模块、芯片合批模块或芯片资料收集模块，以控制所述MES生产系统对所述命令消息进行处理。

应用服务将步骤S32生成的参数命令和各参数值进行组合，生成MES生产系统标准制式的命令消息，传送给MES生产系统对应的功能模块，从而控制MES生产系统对所述命令消息进行处理。例如：前述处理在制品进机台做账(WIP job in)的应用服务将生成的命令消息发送至MES生产系统的芯片过账模块，以由芯片过账模块处理该命令消息；前述处理处理在制品分批的应用服务将生成的命令消息发送至MES生产系统的芯片分批模块，以由芯片分批模块处理该命令消息；前述处理处理在制品合批的应用服务将生成的命令消息发送至 MES生产系统的芯片合批模块，以由芯片分批模块处理该命令消息；前述处理在制品数据收集的应用服务将生成的命令消息发送至MES生产系统的芯片资料收集模块，以由芯片资料收集模块处理该命令消息。需要说明的是，芯片过账模块、芯片分批模块、芯片合批模块、芯片资料收集模块为MES生产系统中的现有模块，如芯片资料收集模块用于收集芯片电性测试数据、翘曲度测试数据、芯片奇偶分批数据等，于此不再展开介绍。

在一实施例中，进一步地，所述方法还包括步骤：接收由所述MES生产系统返回的处理结果，并将所述处理结果提供至所述移动设备进行显示。例如：若一项处理结果正常，对应该处理结果的应用服务会将一完成标记写到对应的数据表的此笔资料的栏位上；若一项处理结果出现错误，含有报警提示，对应该处理结果的应用服务会同时将报警信息显示在移动设备交互界面的相应栏位中。

在一实施例中，进一步地，所述方法还包括步骤：令各所述应用服务分别定期地检测是否有来自移动设备的资料数据及其标识信息；当一所述应用服务的检测结果为否时，令该应用服务进入休眠状态。具体而言，每个应用服务都设有检查周期，以循环地检查是否有资料数据及其标识信息从移动设备传送而来。若一应用服务没有检查到资料数据及其标识信息， WEB服务器会让该应用服务休眠几秒(如2秒)，若一直没有检查到就会一直休眠，从而最大限度释放应用服务的资源。

在一实施例中，若现有MES生产系统有两套相同的MES生产系统服务器互为备份，则 WEB服务器中的每个应用服务也设有两套，同时与两套MES生产系统服务器通信连接，互为备份，从而避免应用服务的负载过重而造成WEB服务器宕机。

在一实施例中，WEB服务器根据半导体后段各个机台Group区域的特性和作业人员所属的区域，对移动设备需要显示的交互界面的内容加以区别：

1)权限卡控

作业人员只能通过移动设备对用户账号所设机台区域中的机台进行相关的功能操作；

2)界面显示卡控

根据机台group不同的特性向移动设备提供不同的界面进行显示。例如：部分虚拟站点无实际机台站点，WEB服务器仅提供一个WIP查询功能，作业人员在移动设备的查询界面输入虚拟机台ID后，WEB服务器会将对应此机台站点的WIP查询出来，通过移动设备进行展示，作业人员可以根据实际情况在移动设备上批量勾选对应的在制品批次(WIP LOT)，由WEB服务器控制MES生产系统自动完成在制品批次的Job in和Job out操作，不再需作业人员自己进入做账Job in和job out界面去操作。

实现上述各方法实施例的全部或部分步骤可以通过计算机程序相关的硬件来完成。基于这样的理解，本发明还提供一种计算机程序产品，包括一个或多个计算机指令。所述计算机指令可以存储在计算机可读存储介质中。所述计算机可读存储介质可以是计算机能够存储的任何可用介质或者是包含一个或多个可用介质集成的服务器、数据中心等数据存储设备。所述可用介质可以是磁性介质(如：软盘、硬盘、磁带)、光介质(如：DVD)、或者半导体介质 (如：固态硬盘Solid State Disk(SSD))等。

图4展示了图2中的移动设备所执行的MES生产系统的控制方法，包括以下步骤：

S41：获取资料数据；

所述资料数据包括在制品信息、机台信息等。较佳的，在制品信息以二维码的形式设于在制品表面，机台信息以二维码的形式设于机台表面，作业人员可利用移动设备扫描二维码来获取相应的在制品信息、机台信息。

S42：将所述资料数据及与所述资料数据相关联的标识信息发送至中间服务器，以供所述中间服务器根据所述资料数据及所述标识信息控制所述MES生产系统的芯片过账模块、芯片分批模块、芯片合批模块或芯片资料收集模块进行相应处理；

S43：接收由所述中间服务器提供的所述MES生产系统的处理结果，并进行展示。

实现上述各方法实施例的全部或部分步骤可以通过计算机程序相关的硬件来完成。基于这样的理解，本发明还提供一种计算机程序产品，包括一个或多个计算机指令。所述计算机指令可以存储在计算机可读存储介质中。所述计算机可读存储介质可以是计算机能够存储的任何可用介质或者是包含一个或多个可用介质集成的服务器、数据中心等数据存储设备。所述可用介质可以是磁性介质(如：软盘、硬盘、磁带)、光介质(如：DVD)、或者半导体介质 (如：固态硬盘Solid State Disk(SSD))等。

具体地，移动设备上搭载有与前述中间服务器通信连接的客户端，作业人员在客户端的登陆界面中输入用户账号和正确的密码，成功登陆后即可在界面上看到权限范围内的操作功能。如图5的所示，主菜单按照实际机台的分布位置，显示区域的机台分布图，并用指定颜色来区分显示每个机台当前所处的状态。

以下将以电性测试(WAT ATV Group)为例进行详细说明，ATV Group的相关功能包括：

1、ATV Group机台派工

以ATVT05为例，现在此机台图标显示为黄色表示正处于空闲(Idle)状态，用户点击此机台图标，会自动链接到如图6所示的派工界面。图6显示为“ATVT05”被自动填充至搜索栏中所展示的查询结果，包括该机台依次要执行的三个加工任务的相关信息。在实际应用中，工作人员还可选择“扫码”按键，扫描某个机台表面的二维码，以将该机台的ID填充至搜索栏中进行搜索。

2、移动设备扫描取货比对

如图7所示，作业人员将其中一批在制品PGA03462.1派工预定后，到货架上找到此批实物，扫描该批在制品表面的二维码后，中间服务器会将该二维码的ID与派工预定的PGA03462.1是否一致。

3、移动设备JOB IN(LOT在制品进机台跑)功能

如图8所示，在取货比对一致后，自动跳转到job in功能界面，自动带出刚才派工的批次ID和机台ID，提示作业人员该批可以在此机台做跑货作业。另外，作业人员也可单独进入job in界面通过扫描二维码的方式输入机台ID和批次ID。

4、移动设备JOB OUT(LOT在制品跑完出来)功能

如图9所示，该批在制品跑完后要出机台(job out)，作业人员可以点击图9中方框所示图标进入如图10所示的JOB OUT功能界面进行相对应的操作。

以下将以移动设备数据收集(A2W翘曲度测试)和APS Group(奇偶分批功能)为例进行详细说明，包括：

1、A2W Group机台派工

与前述电性测试示例相似，不在展开介绍。

2、移动设备扫描取货比对

与前述电性测试示例相似，不在展开介绍。

3、移动设备job in功能

A2W是翘曲度测试的数据收集站点，作业人员位于机台A2W01做账后(job in)移动设备显示如图11所示的数据收集功能的界面。

4、移动设备数据收集功能和自动job out功能

完成数据收集后，移动设备显示如图12所示界面，此时显示job out动作(出A2W01机台站点)已经完成。

5、移动设备显示APS Group分批功能画面

图13显示为下一个站点(奇偶分批站点)的分批功能界面，提示用户进行分批SPLIT 操作。

需要说明的是，图5～图13的交互界面仅用作示例，本领域技术人员基于本发明的思想所做出的适应性改变都应被视为本发明的保护范围。

综上所述，本发明的半导体工厂后段区域MES生产系统的控制方法与设备，在不对现有MES生产系统架构做出改变的情况下，使得作业人员无需进入洁净室，通过智能手机、平板电脑等移动设备即可与MES生产系统进行交互，从而通过移动设备进行后段生产区域的移动作业。所以，本发明有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。