一种显示面板的激光刻蚀装置及其激光刻蚀方法

技术领域

本发明涉及显示装置制造技术领域，更具体地说，涉及一种显示面板的激光刻蚀装置及其激光刻蚀方法。

背景技术

为了平衡更高的屏占比和前置拍摄功能，将摄像组件等放置在显示屏幕的下方，即屏下摄像组件方案，屏下摄像组件方案中通常采用激光刻蚀阴极层的工艺来去除显示面板的阴极层材料。激光阴极刻蚀工艺前通常需要进行上料后的转运工艺，工件如何实现有效上料后中转是需要解决的技术问题。因此，有必要研究一种显示面板的激光刻蚀装置及其激光刻蚀方法来应对现有技术的不足，以解决上述一个或多个问题。

发明内容

(1)技术方案

一方面，本发明提供一种显示面板的激光刻蚀装置，包括：第一刻蚀单元、第二刻蚀单元、搬运单元；搬运单元用于接收吸附显示面板，并将显示面板移动第一刻蚀单元、第二刻蚀单元下方；第一刻蚀单元、第二刻蚀单元，用于对显示面板进行阴极刻蚀。

进一步地，搬运单元包括搬运部、移动部、摆动部，移动部连接搬运部，移动部带动搬运部移动，摆动部连接移动部，移动部带动摆动部摆动。

进一步地，搬运部包括吸附部件、移动部件和支撑部件，吸附附件设有多个通孔，移动部件通过支撑部件连接吸附部件，吸附部件用于吸附显示面板。

进一步地，吸附部件背面开设有接纳槽，显示面板进入吸附部件背面的接纳槽后，吸附部件对显示面板进行吸附。

进一步地，还包括安装架，安装架上设有导轨，移动部件包括承载件、滑动件，承载件连接支撑件，承载件连接滑动件，滑动件在导轨上移动。

进一步地，还包括安装架，安装架上设有齿条，移动部包括箱体、动力件、移动件，箱体连接移动件，动力件驱动移动件转动，移动件两侧在齿条上移动。

进一步地，还包括腔体，第一刻蚀单元固定在腔体上，所述第一刻蚀单元包括第一激光器、第一振镜、第一相机，第一激光器发出的激光经过第一振镜、搬运单元刻蚀显示面板。

进一步地，还包括腔体，第二刻蚀单元相对于腔体移动，所述第二刻蚀单元包括第二激光器、第二振镜、第二相机，第二激光器发出的激光经过第二振镜、搬运单元刻蚀显示面板。

一方面，本发明还提供一种显示面板的激光刻蚀方法，采用上述任一所述的激光刻蚀装置，包括以下步骤：

S100：搬运单元接纳吸附显示面板；

S200：显示面板移动第一刻蚀单元、第二刻蚀单元下方；

S300：第一刻蚀单元和/或第二刻蚀单元对显示面板进行阴极刻蚀。

进一步地，步骤S100包括以下步骤：

步骤S101：搬运部移动到显示面板的上方；

步骤S102：显示面板进入吸附部件背面的接纳槽；

步骤S103：吸附部件吸附显示面板；

和/或，步骤S300包括以下步骤：

步骤S301：根据显示面板信息，适应性调整第一刻蚀单元和/或第二刻蚀单元；

步骤S302：对显示面板进行阴极刻蚀。

(2)有益效果

采用本发明提供的技术方案，与现有技术相比，具有如下有益效果：

(1)本发明提供第一刻蚀单元、第二刻蚀单元的整体性综合设计，这是本发明重要的发明点之一，第一刻蚀单元和第二刻蚀单元的间距可相对调整，第一相机、第二相机能够检测显示面板的信息，也能够根据显示面板的信息，更灵活调整多个第一振镜、第二振镜的位置以匹配显示面板的加工需要，实现显示面板多处阴极材料的去除；

(2)本发明提供了搬运单元，提出了显示面板背面吸附搬运的方案，这是现有技术未记载公开的，这是本发明重要的发明点之一，吸附部件背面接纳槽的设计、摆动部的设计，提高了显示面板的定位精度、移动过程中稳定性、位置精度和不影响激光刻蚀加工的同时实现了动力件的电力提供，这些都是现有技术无法比拟的，提高了后续显示面板的加工准确率和加工效率。

(3)本发明提供了显示面板阴极刻蚀的方法，提出了搬运单元首先移动到显示面板上方，通过升降顶升方式使得显示面板进入吸附部件背面的接纳槽，然后再对显示面板进行吸附，第一刻蚀单元、第二刻蚀单元的第一激光器、第二激光器分别经过第一振镜、第二振镜、吸附部件上通孔以对显示面板的阴极同时进行加工刻蚀的整体工艺，这些是现有技术未记载公开的，这些同样是本发明重要的发明点之一，对柔性的显示面板的阴极进行加工，提供了全新的工艺解决方案，能够应对显示面板高度方向变形量带来的误差，加工效果比现有技术更加优异。

附图说明

图1为本发明的激光刻蚀装置的结构示意图。

图2为本发明的激光刻蚀装置的俯视示意图(去掉腔体)。

图3为本发明的激光刻蚀装置的俯视示意图(去掉腔体)。

图4为本发明的搬运单元的结构示意图。

图5为本发明的搬运单元的正视图。

图6为本发明的搬运单元的侧视图。

具体实施方式

为进一步了解本发明的内容，结合附图和实施例对本发明作详细描述。

本说明书附图所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本发明可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本发明所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”等用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本发明可实施的范畴。

为了更好的理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明实施例进行详细描述。在本发明实施例中使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本发明。在本发明实施例和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。“第一”、“第二”、“第三”和“第四”仅是为了区别做出的指代描述。还应当理解，本文中使用的术语“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系，多个包括一个、两个、两个以上。应当明确，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

图1-图6所示，本发明提供了一种激光刻蚀装置，包括：第一刻蚀单元100、第二刻蚀单元200、搬运单元300、腔体Q，第一刻蚀单元100固定安装在腔体Q上，第二刻蚀单元200相对于腔体Q移动，搬运单元300用于接收吸附显示面板，并移动第一刻蚀单元100、第二刻蚀单元200下方，第一刻蚀单元100、第二刻蚀单元200用于对显示面板进行阴极刻蚀，其表明了第一刻蚀单元100和/或第二刻蚀单元200用于对显示面板进行阴极刻蚀。

第一刻蚀单元100包括第一激光器、多个第一振镜、多个第一相机，第二刻蚀单元200包括第二激光器、多个第二振镜、第二相机，第一激光器发出的激光经过第一振镜、搬运单元刻蚀显示面板的阴极，同时第二激光器发出的激光经过第二振镜、搬运单元刻蚀显示面板的阴极，进而单独或同时完成显示面板阴极的刻蚀，第一相机、第二相机用于激光刻蚀中显示面板的定位，能够更灵活地检测显示面板的信息，能够应对显示面板高度方向(下沉)变形量带来的误差。

搬运单元300包括搬运部310、移动部320、摆动部330、安装架340，搬运单元300位于腔体Q内，安装架340设有多个，安装架340上安装有搬运部310、移动部320，例如图中两个安装架340上安装有搬运部310、移动部320。移动部320连接搬运部310，移动部320带动搬运部310移动，摆动部330连接移动部320，移动部320带动摆动部330摆动。

搬运部310包括吸附部件311、移动部件312和支撑部件313，吸附附件311设有多个通孔3111，第一激光器、第二激光器发出的激光均能够穿过通孔，移动部件312通过支撑部件313连接吸附部件311，吸附部件311用于吸附显示面板。

吸附部件311背面开设有接纳槽，接纳槽的形状与显示面板的形状匹配，例如接纳槽呈矩形形状。搬运显示面板时，搬运部310移动到显示面板的上方，显示面板进入吸附部件311背面的接纳槽，吸附部件311对显示面板进行吸附，搬运部310移动，进而对显示面板进行搬运。支撑部件313为可调式支撑部件，能够调节吸附部件311的高度。

移动部件312移动安装在安装架340上，移动部件312设有多个，示例性的，两个移动部件312分别移动安装在安装架340上，两个移动部件312通过连接件连接，例如连接板，这样能够提高两个移动部件312在安装架340上移动的稳定性。移动部件312包括承载件3121、滑动件3122，安装架340上设有导轨3123，承载件3121连接支撑部件313，承载件3121连接滑动件3122，滑动件3122设有多个，滑动件3122在导轨3123上移动，导轨3123设有多个，示例性的，滑动件3122共设有两个，导轨3123共设有两个，两个滑动件3122均连接承载件3121，两个滑动件3122分别在导轨3123上移动，进而使得吸附部件311相对于安装架340移动。

移动部320包括箱体321、动力件322、移动件323，动力件322驱动移动件转动323，安装架340上设有齿条324，箱体两侧321连接移动件323，移动件323在齿条324上移动，具体来说，移动件323采用滚轮，滚轮在齿条324上滚动，移动件323设有多个，齿条324设有多个，多个移动件323在多个齿条324上移动，具体来说，移动件323共有两个，齿条324共有两个，两个移动件323分别在齿条324上移动，两个齿条324分别安装在安装架340上。移动部320移动，带动移动部件312移动，也带动了吸附部件311移动。

摆动部330包括第一安装部331、第一摆臂332、第二摆臂333、第二安装部334，第一安装部331位于腔体Q内，第一安装部331连接在腔体Q上，第一安装部331连接第一摆臂332，第一摆臂332连接第二摆臂333，第二摆臂333连接第二安装部334，第二安装部334连接箱体321。摆动部330形成有通道，通道贯通第一安装部331、第一摆臂332、第二摆臂333、第二安装部，线束穿过第一安装部331、第一摆臂332、第二摆臂333、第二安装部334以连接动力件322，进而能够用于给动力件322提供电力传输。

当移动部320移动时，箱体321在安装架340上移动，第一摆臂332、第二摆臂333会同步跟随着箱体321移动，因摆动部330自身具有一定质量，其会具有一定的惯性，摆动部330的设置能够提高移动部移动的稳定性，进而使得移动部的精度更高。同时，因腔体处于真空作业环境，箱体的动力件需要电力提供才能够工作，线束通过摆动部与腔体的真空作业环境阻隔，以保证了电力的来源，防止线束直接工作在真空作业环境下，影响后续显示面板的激光刻蚀加工。

搬运显示面板时，动力件322驱动移动件323在安装架340上的齿条324上移动，因承载件3121连接箱体321，移动件323带动箱体321和承载件3121移动，承载件3121通过滑动件3122在导轨3123上移动，以实现吸附部件311移动，并使得吸附部件311移动到显示面板的上方，显示面板进入吸附部件311背面的接纳槽，吸附部件311对显示面板进行吸附，动力件322再次驱动移动件323在安装架340上的齿条324上移动，移动件323带动箱体321和承载件3121移动，承载件3121通过滑动件3122在导轨3123上移动，带动吸附附件311移动，吸附部件311移动带动显示面板移动到第一刻蚀单元100、第二刻蚀单元200下方，第一刻蚀单元100、第二刻蚀单元200用于对显示面板进行阴极刻蚀，第一激光器发出的激光经过第一振镜、吸附部件的通孔刻蚀显示面板，同时第二激光器发出的激光经过第二振镜、吸附部件的通孔刻蚀显示面板，以单独或同时完成显示面板阴极的刻蚀。

本发明还提供了一种显示面板阴极激光刻蚀的方法，其采用上述任一的激光刻蚀装置，包括以下步骤：

S100：搬运单元300接纳吸附显示面板；

具体来说，步骤S100包括以下步骤：

步骤S101：搬运部310移动到显示面板的上方。具体来说，动力件322驱动移动件323在安装架340上的齿条324上移动，承载件3121连接箱体321，移动件323带动箱体321和承载件3121移动，承载件3121通过滑动件3122在导轨3123上移动，以带动吸附部件311移动到显示面板的上方；

步骤S102：显示面板进入吸附部件311背面的接纳槽。具体来说，显示面板被升降装置顶升进入吸附部件311背面的接纳槽；

步骤S103：吸附部件311吸附显示面板。

S200：显示面板移动第一刻蚀单元100、第二刻蚀单元200下方；

具体来说，步骤S200包括以下步骤：

步骤S201：动力件322再次驱动移动件323在安装架340上的齿条324上移动，承载件3121通过滑动件3122在导轨3123上移动，带动吸附附件311移动。

步骤S202：吸附附件311移动带动显示面板移动，显示面板移动至第一刻蚀单元100、第二刻蚀单元200下方。

S300：第一刻蚀单元100和/或第二刻蚀单元200对显示面板进行阴极刻蚀。

具体来说，步骤S300包括以下步骤：

步骤S301：根据显示面板信息，适应性调整第一刻蚀单元100和/或第二刻蚀单元200。具体来说，第一相机获取显示面板上的标记信息，第二相机获取显示面板上的标记信息，第一刻蚀单元100调整第一振镜的位置和/或第二刻蚀单元200调整第二振镜的位置。

步骤S302：对显示面板进行阴极刻蚀。具体来说，第一激光器发出的激光经过第一振镜、搬运单元刻蚀显示面板，和/或第二激光器发出的激光经过第二振镜、搬运单元刻蚀显示面板，进而单独同时完成显示面板阴极的多处刻蚀。具体来说，第一刻蚀单元100、第二刻蚀单元200用于对显示面板进行阴极刻蚀，第一激光器发出的激光经过第一振镜、吸附部件的通孔刻蚀显示面板，和/或第二激光器发出的激光经过第二振镜、吸附部件的通孔刻蚀显示面板，以单独或同时完成显示面板阴极的刻蚀。

本发明的激光刻蚀方法，通过背面吸附搬运的方法吸附搬运显示面板，能够更精确的对显示面板进行定位，提高了显示面板的定位精度，第二刻蚀单元是移动的，第一振镜、第一相机、第二振镜、第二相机是可调整位置的，提高了显示面板阴极刻蚀的加工准确率和效率，提高了显示面板阴极刻蚀的效率和可靠性。

进一步地，现有技术中的具有与本申请中公开的各种操作、方法、流程中的步骤、措施、方案也可以被交替、更改、重排、分解、组合或删除。

本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例方法中的全部或部分流程，是可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成，所述的计算机程序可存储于一非易失性计算机可读取存储介质中，该计算机程序在执行时，可包括如上述各方法的实施例的流程。其中，本公开实施例所提供的各实施例中所使用的对存储器、数据库或其它介质的任何引用，均可包括非易失性和易失性存储器中的至少一种。非易失性存储器可包括只读存储器(Read-Only Memory，ROM)、磁带、软盘、闪存、光存储器、高密度嵌入式非易失性存储器、阻变存储器(ReRAM)、磁变存储器(Magnetoresistive Random Access Memory，MRAM)、铁电存储器(Ferroelectric Random Access Memory，FRAM)、相变存储器(Phase Change Memory，PCM)、石墨烯存储器等。易失性存储器可包括随机存取存储器(Random Access Memory，RAM)或外部高速缓冲存储器等。作为说明而非局限，RAM可以是多种形式，比如静态随机存取存储器(Static Random Access Memory，SRAM)或动态随机存取存储器(Dynamic RandomAccess Memory，DRAM)等。本公开实施例所提供的各实施例中所涉及的数据库可包括关系型数据库和非关系型数据库中至少一种。非关系型数据库可包括基于区块链的分布式数据库等，不限于此。本公开实施例所提供的各实施例中所涉及的处理器可为通用处理器、中央处理器、图形处理器、数字信号处理器、可编程逻辑器、基于量子计算的数据处理逻辑器等，不限于此。

以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

本技术领域技术人员可以理解，本申请中已经讨论过的各种操作、方法、流程中的步骤、措施、方案可以被交替、更改、组合或删除。进一步地，具有本申请中已经讨论过的各种操作、方法、流程中的其他步骤、措施、方案也可以被交替、更改、重排、分解、组合或删除。

进一步地，现有技术中的具有与本申请中公开的各种操作、方法、流程中的步骤、措施、方案也可以被交替、更改、重排、分解、组合或删除。

以上所述实施例仅表达了本公开实施例的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本公开实施例专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本公开实施例构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本公开实施例的保护范围。因此，本公开实施例的保护范围应以所附权利要求为准。

以上所述仅是本申请的部分实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。