元件安装装置

技术领域

本说明书公开元件安装装置。

背景技术

以往，作为元件安装装置，提出了在将通过负压而在吸嘴的吸附口处吸附的元件向基板安装的装置中检测空气路径的连接状态、元件吸附的有无等的元件安装装置。例如，在专利文献1的装置中，在空气的供给路径设置有检测路径内的空气压的空气状态检测装置，判定空气状态检测装置的检测值是否为预定的阈值以下，在检测值不为预定的阈值以下的情况下判断为空气路径连接不良，在检测值为预定的阈值以下的情况下判断为连接良好。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2017/203626号

发明内容

发明所要解决的课题

可考虑如上述的元件安装装置那样基于空气状态检测装置的检测值来判定是否吸附了元件。但是，在使用吸附口比较小径的吸嘴的情况下，与使用大径的吸嘴的情况相比，正常吸附时与泄漏时的压力差变小，有时几乎不产生压力差。因而，会变得难以基于压力的检测值来合适地判定是否吸附了元件。

本公开的主要目的在于使得在使用小径的吸嘴时能够合适地判定是否吸附了元件。

用于解决课题的手段

本公开为了达成上述的主要目的而采用了以下的手段。

本公开的元件安装装置以能够装卸的方式安装吸附元件的吸附口的尺寸不同的多种吸嘴，其主旨在于，具备：吸嘴用流路，能够将来自负压源的负压向所述吸嘴的所述吸附口供给；压力传感器，检测所述吸嘴用流路中的压力；判定部，基于所述压力传感器的检测值来判定是否吸附了元件；及流量变更部，根据所述吸附口的尺寸来变更从所述吸嘴用流路向所述吸附口供给的负压的流量。

本公开的元件安装装置根据吸附口的尺寸来变更从吸嘴用流路向吸附口供给的负压的流量。由此，在利用比较小径的吸嘴来吸附元件的情况下，通过抑制负压的流量，能够使正常吸附时与泄漏时的压力差明显化。因此，能够使得在使用小径的吸嘴时能够合适地判定是否吸附了元件。

附图说明

图1是示出元件安装装置10的结构的概略的立体图。

图2是示出元件安装装置10的电连接关系的框图。

图3是示出供给压力的主要的结构的框图。

图4是示出压力供给装置70的结构的概略的结构图。

图5是在吸嘴保持部51作为吸附元件的吸嘴而保持大径吸嘴52L的情况下将负压供给至吸附口52a的情况的说明图。

图6是在吸嘴保持部51作为吸附元件的吸嘴而保持小径吸嘴52S的情况下将负压供给至吸附口52a的情况的说明图。

图7是示出元件吸附时和空气泄漏时的负压的变化的情形的说明图。

具体实施方式

接着，使用附图来说明本公开的实施方式。图1是示出元件安装装置10的结构的概略的立体图。图2是示出元件安装装置10的电连接关系的框图。需要说明的是，在本实施方式中，图1的左右方向是X轴方向，前后方向是Y轴方向，上下方向是Z轴方向。

如图1所示，元件安装装置10具备元件供给装置20、基板搬运装置30、移动装置40、头单元50、零件相机62、标记相机64、吸嘴储料器66、压力供给装置70(参照图2)及控制装置90(参照图2)。元件供给装置20是设置于元件安装装置10的基台12的前部且具备例如在带以预定间隔收容有元件的带盘22的带式供料器，通过未图示的电动机的驱动，将带从带盘22拉出，将元件向供给位置供给。基板搬运装置30具备例如在前后方向(Y轴方向)上空出间隔地设置于基台12上且在左右方向上架设的1对传送带32，通过未图示的电动机的驱动来驱动传送带32，从而将基板S从图1的左侧向右侧搬运。移动装置40具备沿着Y轴方向设置的导轨46、沿着导轨46移动的Y轴滑动件48、沿着X轴方向设置于Y轴滑动件48的导轨42及沿着导轨42移动的X轴滑动件44。在X轴滑动件44安装有头单元50。移动装置40通过使X轴滑动件44和Y轴滑动件48移动而使头单元50在XY方向上移动。

头单元50例如构成为在轴心线上安装1个吸嘴52的单吸嘴头，具备R轴致动器54和Z轴致动器56(参照图2)。头单元50通过R轴致动器54的驱动而使吸嘴52绕着头单元50的轴心线旋转。另外，头单元50通过Z轴致动器56的驱动而使Z轴滑动件57(参照图2)在Z轴方向上升降。Z轴滑动件57在其下端设置有保持吸嘴52的吸嘴保持部51(参照图2)，通过Z轴致动器56的驱动而使吸嘴52在Z轴方向上升降。吸嘴52通过负压而向吸嘴前端吸附元件，通过正压而解除元件的吸附。吸嘴52由吸嘴保持部51保持为负压。压力供给装置70向吸嘴保持部51、吸嘴52供给负压、正压，其详情后述。

零件相机62设置于元件供给装置20与基板搬运装置30之间。零件相机62的拍摄范围是其上方，零件相机62从下方拍摄吸附于吸嘴52的元件等对象物而生成拍摄图像。

标记相机64设置于X轴滑动件44的下表面。标记相机64从上方拍摄对象物而生成拍摄图像。作为标记相机64的对象物，可举出在从元件供给装置20的带式供料器供给的元件、基板S上标注的标记、吸嘴储料器66内的吸嘴52的标记等。

吸嘴储料器66构成为能够将尺寸、形状不同的多种吸嘴52收容于各收容部。储存于吸嘴储料器66的吸嘴52能够向头单元50自动更换。另外，作业者能够在元件安装装置10的工作停止期间，取出储存于吸嘴储料器66内的吸嘴52中的安装处理不需要的种类的吸嘴52，收容安装处理需要的种类的吸嘴52。

如图2所示，控制装置90构成为以CPU91为中心的微处理器，除了CPU91之外，还具备ROM92、HDD93、RAM94、输入输出接口(I/F)95等。它们经由总线96而连接。控制装置90以基于从未图示的管理装置等取得的基板S的生产作业来进行元件的安装处理的方式控制元件安装装置10。生产作业是确定了在元件安装装置10中将哪个元件以哪个顺序向基板S安装和将这样安装了元件的基板S制作几张等的数据。另外，控制装置90使安装于头单元50的吸嘴52自动更换为适合于元件的安装的尺寸(直径)、形状的吸嘴52，取得所安装的吸嘴52的尺寸、形状的信息。

另外，控制装置90将来自零件相机62、标记相机64的图像信号等经由输入输出接口95而输入。需要说明的是，在X轴滑动件44、Y轴滑动件48、Z轴滑动件57分别设置有未图示的位置传感器，控制装置90也将来自这些位置传感器的位置信息输入。另外，控制装置90将向元件供给装置20、基板搬运装置30、使X轴滑动件44移动的X轴致动器45、使Y轴滑动件48移动的Y轴致动器49、使Z轴滑动件57移动的Z轴致动器56、压力供给装置70的驱动信号等经由输入输出接口95而输出。

以下是用于向吸嘴保持部51、吸嘴52供给负压、正压的压力供给装置70的说明。图3是示出供给压力的主要的结构的框图。图4是示出压力供给装置70的结构的概略的结构图。在本实施方式中，如图3所示，构成为：来自作为负压源71A的真空泵的负压经由切换阀81而从比较大流量的流路(大流量流路74)向吸嘴52供给，并且经由切换阀83而从比较小流量的流路(小流量流路75)向吸嘴52供给。构成为：通过大流量的负压及小流量的负压的至少一方向吸嘴52供给，吸嘴52吸附元件。需要说明的是，作为负压源71A的真空泵是元件安装装置10具备的装置。另外，构成为：通过来自作为正压源71B的工场空气的正压经由切换阀84而向喷射器88供给且利用该正压而由喷射器88生成的负压向吸嘴保持部51供给，吸嘴保持部51吸附吸嘴52。

在此，如图4所示，吸嘴52利用筒状的轴部的前端(下端)的吸附口52a来吸附元件，以从轴部的上端向径向突出的方式形成有凸缘部52b。另外，吸嘴保持部51设置于Z轴滑动件57的下端，形成有将中心部上下贯通的中心孔51a、设置于保持吸嘴52的下表面(保持面)的环状的凹部51b及以从上表面连通至凹部51b的底面的方式上下贯通的连通孔51c。吸嘴保持部51的凹部51b通过由安装的吸嘴52的凸缘部52b的上表面覆盖而形成负压室。通过向该负压室(凹部51b内)经由连通孔51c供给负压，吸嘴保持部51能够吸附并保持吸嘴52。另外，通过经由吸嘴保持部51的中心孔51a和轴部的中心孔而向吸附口52a供给负压，吸嘴52能够利用吸附口52a来吸附并保持元件。需要说明的是，虽然图示省略，但在凹部51b的底面的一部分埋设有永久磁铁。另外，在吸嘴52的凸缘部52b的上表面(被保持面)中的与凹部51b的永久磁铁相向的位置埋设有金属板。因而，吸嘴52由基于负压的吸引力和磁铁的吸引力保持于吸嘴保持部51。

压力供给装置70具备供正压或负压的空气流动的多个流路、切换各流路的连通状态的多个切换阀81～87、喷射器88及减压阀89。压力供给装置70作为主要的流路而具备负压流路72、正压流路73、大流量流路74、小流量流路75、联络流路76、喷射器流路77、吸嘴保持流路78及减压流路79。另外，除此之外，压力供给装置70还具备检测大流量流路74及小流量流路75的压力(负压)的压力传感器74a和检测吸嘴保持流路78的压力(负压)的压力传感器78a，将检测到的压力向控制装置90输出。在本实施方式中，压力供给装置70(多个切换阀81～87、喷射器88及减压阀89)设置于头单元50的头主体50a内，分别基于来自控制装置90的驱动信号而工作。另外，流路的一部分、例如大流量流路74、小流量流路75及吸嘴保持流路78的一部分构成为通过Z轴滑动件57而向吸嘴保持部51、吸嘴52供给压力。

负压流路72是与负压源71A连通的流路。正压流路73是与正压源71B连通的流路。大流量流路74是与吸嘴保持部51的中心孔51a连通且经由中心孔51a而向吸嘴52的吸附口52a供给大流量的负压的流路。小流量流路75是与大流量流路74(吸嘴保持部51的中心孔51a)连通且将比大流量流路74小流量的负压向吸嘴52的吸附口52a供给的流路。大流量流路74和小流量流路75作为供给用于供吸嘴52吸附元件的负压的元件吸附用的负压供给流路发挥功能。小流量流路75构成为比大流量流路74小径的流路，例如为大流量流路74的1/3～1/2左右的内径。喷射器流路77是供给向喷射器88流通的正压的流路。吸嘴保持流路78是与吸嘴保持部51的连通孔51c连通且将由喷射器88生成的负压经由连通孔51c而向凹部51b内供给的流路。即，作为供给用于供吸嘴保持部51保持(吸附)吸嘴52的负压的吸嘴保持用的负压供给流路发挥功能。减压流路79是供将正压流路73的正压利用减压阀89减压后的空气流动的流路。

切换阀81对将负压流路72与大流量流路74连通且将大流量流路74与联络流路76切断的状态和将负压流路72与大流量流路74切断且将大流量流路74与联络流路76连通的状态进行切换。通过切换阀81切换成将负压流路72与大流量流路74连通的状态，能够向大流量流路74供给来自负压源71A的负压且向吸嘴52的吸附口52a供给负压。切换阀82对将联络流路76向大气开放的状态和将联络流路76与大气切断的状态进行切换。通过切换阀81切换成将大流量流路74与联络流路76连通的状态且切换阀82切换成将联络流路76向大气开放的状态，能够向大流量流路74供给大气压且向吸嘴52的吸附口52a供给大气压。

切换阀83对将负压流路72与小流量流路75连通的状态和将负压流路72与小流量流路75切断的状态进行切换。通过切换阀83切换成将负压流路72与小流量流路75连通的状态，能够向小流量流路75供给来自负压源71A的负压且向吸嘴52的吸附口52a供给负压。需要说明的是，如后所述，小流量流路75连接于切换阀85、86。因而，为了利用小流量流路75向吸嘴52供给负压，需要切换阀85、86切换成将小流量流路75与其他的流路的连接切断的状态。

切换阀84对将喷射器流路77与正压流路73连通的状态和将喷射器流路77向大气开放的状态进行切换。喷射器88通过以使从喷射器流路77供给的正压的空气高速流通的方式工作，从而吸引吸嘴保持流路78内的空气。由此，能够向吸嘴保持流路78供给负压且经由吸嘴保持部51的连通孔51c而向凹部51b内供给负压。

切换阀85对将减压流路79与小流量流路75连通的状态和将减压流路79与小流量流路75切断的状态进行切换。切换阀86对将正压流路73与小流量流路75连通的状态和将正压流路73与小流量流路75切断的状态进行切换。需要说明的是，如上所述，在切换阀83切换成将负压流路72与小流量流路75连通的状态的情况下，切换阀85被切换成将减压流路79与小流量流路75切断的状态，切换阀86被切换成将正压流路73与小流量流路75切断的状态。通过切换阀83切换成将负压流路72与小流量流路75切断的状态、切换阀85切换成将减压流路79与小流量流路75连通的状态、切换阀86切换成将正压流路73与小流量流路75切断的状态，从小流量流路75向吸嘴52的吸附口52a供给减压后的正压。由此，能够将吸嘴52吸附着的元件的吸附解除而使元件向基板S安装。另外，通过切换阀83切换成将负压流路72与小流量流路75切断的状态、切换阀85切换成将减压流路79与小流量流路75切断的状态、切换阀86切换成将正压流路73与小流量流路75连通的状态，能够从小流量流路75向吸嘴52的吸附口52a供给正压源71B的正压。由此，能够向吸嘴52供给比较高压的正压而使吸嘴52的堵塞等消除。

切换阀87对将正压流路73与吸嘴保持流路78连通的状态和将正压流路73与吸嘴保持流路78切断的状态进行切换。通过切换阀87切换成将正压流路73与吸嘴保持流路78连通的状态，能够向吸嘴保持流路78供给正压且经由吸嘴保持部51的连通孔51c而向凹部51b内供给正压。由此，能够使吸嘴保持部51吸附着的吸嘴52的吸附解除。

在这样构成的本实施方式的压力供给装置70中，将利用从正压源71B经过了正压流路73的正压而由喷射器88产生的负压从吸嘴保持流路78向吸嘴保持部51供给来保持吸嘴52。另外，压力供给装置70将由负压源71A(负压泵)产生的负压经过负压流路72而从大流量流路74及小流量流路75的至少一方向吸嘴52供给来保持元件。在此，在利用吸嘴52吸附了元件的情况下，若吸附口52a和元件紧贴，则空气的泄漏不会成为问题。但是，实际上，在因元件的形状、上表面的状态而吸附口52a不容易紧贴的情况下，容易产生空气的泄漏。例如，在LED元件等上表面的形状为半球状的元件中，因吸附位置而与球面的间隙变大，因此容易泄漏。另外，在开关元件等在上表面设置操作部的元件中，若吸附口52a来到操作部与其周围的台阶，则容易泄漏。并且，在将吸嘴52的吸附和元件的吸附所使用的负压的产生源和供给流路共用的结构的情况下，由元件吸附引起的空气的泄漏的影响会波及到吸嘴52的吸附而导致吸附力(保持力)下降，吸嘴52可能会落下。在本实施方式的压力供给装置70中，由于将吸嘴52的吸附和元件的吸附所使用的负压的产生源及供给流路分别分开构成，所以能够防止泄漏的影响波及到吸嘴52的吸附。

另外，如上所述，在元件的吸附(保持)中，因元件种类而存在空气泄漏的可能性，为了一边容许泄漏一边合适地保持元件，需要负压的稳定供给。在此，喷射器88一般来说是比真空泵紧凑的结构且廉价，但产生的负压的稳定度是真空泵较高。因而，为了使喷射器88与真空泵同等地供给需要的负压流量，需要体格大的喷射器88，向头单元50(头主体50a)的搭载变得困难。另外，由于向喷射器88供给的正压流量增加，所以元件安装装置10的消耗流量会增加。因此，在本实施方式的压力供给装置70中，通过将来自真空泵的负压使用于元件的吸附，能够一边防止这些问题产生一边稳定地进行元件的吸附。因而，即使是容易产生泄漏的元件，也能够使吸附中的元件的姿势稳定而使元件合适地安装。

另一方面，相对于元件的保持，在吸嘴52的保持中，由头单元50的吸嘴保持部51(凹部51b)和吸嘴52的凸缘部52b的上表面形成的负压室成为密闭状态，因此几乎不会泄漏。因而，能够以小流量实现吸嘴52的保持，与将喷射器88使用于元件的保持的情况相比，能够选择小的喷射器88。在本实施方式的压力供给装置70中，由于对吸嘴52的吸附(保持)使用由喷射器88产生的负压，所以与对元件的吸附和吸嘴52的吸附分别设置真空泵的情况相比，能够谋求装置的紧凑化和成本降低。而且，由于喷射器88设置于头单元50的头主体50a，所以与设置于例如元件安装装置10的基台12等头主体50a以外的结构相比，能够防止吸嘴保持流路78变长。因而，能够使负压从喷射器88经由吸嘴保持流路78而向吸嘴保持部51合适地作用，因此能够使吸嘴52的吸附稳定。需要说明的是，对于吸嘴52(凸缘部52b)的吸附，也使用磁铁的吸引力。综上，即使是由喷射器88产生的负压，也不会在吸嘴52的吸附上产生问题。

而且，压力供给装置70作为元件吸附用的负压的供给流路而具有大流量流路74和小流量流路75这2个。在此，图5是在吸嘴保持部51作为吸附元件的吸嘴而保持大径吸嘴52L的情况下将负压供给至吸附口52a的情况的说明图。在此，大径吸嘴52L的吸附口52a的尺寸(开口直径)即

在此，图7是示出元件吸附时和空气泄漏时的负压的变化的情形的说明图。在图7中，使纵轴为负压，使横轴为元件吸附时(无空气泄漏)和空气泄漏时，若利用吸嘴52正常地吸附着元件，则负压向负侧变大而低于阈值Pref，若产生了空气泄漏，则负压超过阈值Pref。如图所示，在从大流量流路74和小流量流路75向大径吸嘴52L供给“大流量+小流量”的负压的情况下(单点划线)，在空气泄漏时负压超过阈值Pref。因而，控制装置90能够基于压力传感器74a的检测值来判定吸附的异常。即，由于空气泄漏时的压力(负压)变化大，所以能够合适地检测是否吸附了元件。另一方面，与本实施方式不同，在从大流量流路74和小流量流路75向小径吸嘴52S供给“大流量+小流量”的负压的情况下(虚线)，在空气泄漏时负压仍低于阈值Pref。因而，控制装置90无法基于压力传感器74a的检测值来判定吸附的异常。即，由于空气泄漏时的压力变化小，所以无法合适地检测是否吸附了元件。因此，在本实施方式中，通过从小流量流路75向小径吸嘴52S供给“小流量”的负压(实线)，使得在空气泄漏时负压超过阈值Pref。由此，控制装置90能够基于压力传感器74a的检测值来判定吸附的异常。即，能够增大空气泄漏时的压力变化而合适地检测是否吸附了元件。需要说明的是，在使用大径吸嘴52L的情况下，通过从大流量流路74和小流量流路75这2个供给流路供给负压，能够提前到达需要的负压而使元件的吸附可靠且快速地进行。

在此，写明本实施方式的构成要素与本公开的构成要素的对应关系。本实施方式的大流量流路74及小流量流路75相当于本公开的吸嘴用流路，压力传感器74a相当于压力传感器，控制装置90相当于判定部，切换阀81、83和控制装置90相当于流量变更部。另外，大流量流路74相当于第一流路，小流量流路75相当于第二流路。

以上说明的实施方式的元件安装装置10在利用吸附口52a小于预定尺寸(预定直径)的小径吸嘴52S来吸附元件的情况下，与利用吸附口52a为预定尺寸以上的大径吸嘴52L来吸附元件的情况相比，使小的流量的负压向吸附口52a供给。由此，在利用小径吸嘴52S来吸附元件的情况下，通过抑制负压的流量，能够使正常吸附时与泄漏时的压力差明显化，因此能够使得在使用小径吸嘴52S时能够合适地检测是否吸附了元件。

另外，作为元件吸附用的负压供给流路(吸嘴用流路)而具备大流量流路74和小流量流路75，通过利用切换阀81、83切换大流量流路74和小流量流路75的负压供给的有无(负压供给状态)来变更向吸嘴52供给的负压的流量。因而，能够使在使用小径吸嘴52S时能够合适地检测元件的有无的结构为比较简易的结构。

另外，在利用大径吸嘴52L来吸附元件的情况下，由于从大流量流路74和小流量流路75的双方供给负压，所以即使在为了能够合适地检测元件的有无而划分为2个流路的情况下，也能够使大流量的负压快速到达需要的负压。因而，能够将大径吸嘴52L处的元件的吸附快速且稳定地进行。

需要说明的是，本公开丝毫不限定于上述的实施方式，当然是只要属于本公开的技术范围则能够以各种方案来实施。

例如，在上述的实施方式中，在利用预定尺寸以上的吸嘴52来吸附元件的情况下从大流量流路74和小流量流路75的双方的流路供给负压，但不限于此，也可以仅从大流量流路74供给负压。

在上述的实施方式中，具备大流量流路74和小流量流路75，通过切换大流量流路74和小流量流路75的负压供给的有无而两级地变更负压的流量，但不限于此，也可以是根据吸嘴52的吸附口52a的尺寸而能够三级以上的多级地变更。此时，也可以设置供给相同的流量的多个流路，利用开放的切换阀的数量来变更向吸嘴52的吸附口52a供给的负压的流量。另外，例如也可以通过变更作为负压源71A的真空泵的转速等真空泵的驱动状态来变更负压的流量。即，控制装置90在利用小径吸嘴52S来吸附元件的情况下，将真空泵以低转速驱动而供给小流量的负压，在利用大径吸嘴52L来吸附元件的情况下，将真空泵以高转速驱动而供给大流量的负压即可。或者，控制装置90也可以通过根据吸嘴52的吸附口52a的尺寸而无级地变更真空泵的转速等来无级地变更负压的流量。即使这样，也能够与实施方式同样地使得在使用小径的吸嘴时能够合适地检测是否吸附了元件。另外，在通过变更真空泵的驱动状态来变更负压的流量的情况下，也可以是作为元件吸附用的负压供给流路(吸嘴用流路)而具备1个流路的结构。

在实施方式中，将来自正压流路73的正压共用于元件的吸附解除及吸嘴52的吸附解除和喷射器88的负压的产生，但不限于此。也可以设置分别分开供给使用于元件的吸附解除、吸嘴52的吸附解除的正压和使用于喷射器88的负压的产生的正压的流路。

在实施方式中，头单元50具备(收容)压力供给装置70，但不限于此，也可以是压力供给装置70的结构的一部分(切换阀81～87、喷射器88、减压阀89的一部分)收容于X轴滑动件44、Y轴滑动件48、元件安装装置10的基台12内等。不过，为了喷射器88使负压更可靠地作用，优选如实施方式那样设置。

在实施方式中，将利用来自正压流路73的正压而由喷射器88产生的负压使用于吸嘴52的吸附，但不限于此，也可以将由真空泵产生的负压使用于吸嘴52的吸附。需要说明的是，为了防止元件吸附时的泄漏的影响，优选与元件吸附用相独立地具备吸嘴吸附用的真空泵。

在实施方式中，元件安装装置10具备1台作为负压源71A的真空泵，但不限于此，也可以具备2台真空泵。例如，作为负压源71A，也可以具备连接于向切换阀81的负压流路72的负压泵和连接于向切换阀83的负压流路的负压泵这2台。在这样的情况下，向切换阀81的负压流路72和向切换阀83的负压流路可以互相连接，也可以互相独立。

在此，本公开的元件安装装置也可以如以下这样构成。例如，在本公开的元件安装装置中，也可以是，作为所述吸嘴用流路，具备第一流路和流路直径比所述第一流路小的第二流路，在所述吸附口的尺寸为预定尺寸以上的情况下，所述流量变更部以至少从所述第一流路供给大流量的负压的方式进行变更，在所述吸附口的尺寸小于所述预定尺寸的情况下，所述流量变更部以切断来自所述第一流路的负压的供给且从所述第二流路供给小流量的负压的方式进行变更。这样一来，能够使在使用小径的吸嘴时能够合适地检测元件的有无的结构为比较简易的结构。

在本公开的元件安装装置中，也可以是，在所述吸附口的尺寸为所述预定尺寸以上的情况下，所述流量变更部以从所述第一流路和所述第二流路供给大流量的负压的方式进行变更。这样一来，即使为了能够合适地检测元件的有无而划分为2个流路，也能够使大流量的负压快速到达需要的负压。

工业实用性

本公开能够利用于元件安装装置的制造产业等。

附图标记说明

10：元件安装装置12：基台20：元件供给装置22：带盘30：基板搬运装置32：传送带40：移动装置42、46：导轨44：X轴滑动件45：X轴致动器48：Y轴滑动件49：Y轴致动器50：头单元50a：头主体51：吸嘴保持部51a：中心孔51b：凹部51c：连通孔52：吸嘴52L：大径吸嘴52S：小径吸嘴52a：吸附口52b：凸缘部54：R轴致动器56：Z轴致动器57：Z轴滑动件62：零件相机64：标记相机66：吸嘴储料器70：压力供给装置71A：负压源71B：正压源72：负压流路73：正压流路74：大流量流路74a、78a：压力传感器75：小流量流路76：联络流路77：喷射器流路78：吸嘴保持流路79：减压流路81～87：切换阀88：喷射器89：减压阀90：控制装置91：CPU 92：ROM93：HDD 94：RAM 95：输入输出接口96：总线S：基板