一种掩膜版及其生产工艺

技术领域

本发明涉及掩膜版技术领域，特别涉及一种掩膜版及其生产工艺。

背景技术

相关技术中，OLED(有机发光二极管)显示装置具有全固态、主动发光、响应速度快、高对比度、无视角限制及可实现柔性显示等诸多优点，是二十世纪中期发展起来的一种新型显示技术，被广泛应用于人们的日常生产、生活中。OLED显示装置将成为下一代最理想的平面显示装置，其优越性能和巨大的市场潜力，吸引全世界众多厂家和科研机构投入到OLED显示装置的生产和研发中。蒸镀技术是已有OLED器件制备中普遍使用的制备有机薄膜的工艺手段，其具有沉积速度快，成膜均一性好等优点。

现有技术中，大多掩膜版的蒸镀孔为垂直设置，导致蒸镀气流不能有效的导流，造成蒸镀效果不佳。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种掩膜版及其生产工艺，以解决上述问题。

有鉴于此，本发明提供一种掩膜版及其生产工艺，包括：

板体；

若干进气槽组，设置于板体的顶端，且若干进气槽组沿着板体的长度方向间隔设置，所述进气槽组包括若干沿着板体宽度方向间隔设置的进气槽；

以及若干蒸镀孔，分别设置于板体的底端并且连通于进气槽的槽底；

其中，所述进气槽和蒸镀孔均为球弧状，且进气槽与蒸镀孔连通部分的开口均小于另一端开口，所述进气槽的顶端开口大于蒸汽孔的底端开口。

通过采用上述技术方案，通过若干进气槽与若干蒸镀孔的配合，能够实现一次性蒸镀多个，通过进气槽和蒸镀孔均为球弧状的设置，能够为蒸镀气流进行导向，从而使蒸镀气体能够有规律地运动，提高了蒸镀均匀性和规整性。

在上述技术方案中，进一步的包括如下步骤：

S1：首先使用切割装置切割出板体；

S2：使用曝光系统对板体需要加工的位置进行黄光显影；

S2：化学蚀刻装置进行对板体进行夹持，首先对板体最外侧的进气槽组进行蚀刻，然后将多组进气槽组进行加工，最后将板体进行清洗卸下；

S3：将板体的反面安装于化学蚀刻装置的上，首先对板体最外侧与进气槽对应蒸镀孔进行加工，然后将若干个蒸镀孔加工出，最后将板体进行清洗卸下。

本技术方案中，通过S1的设置，能够得到需要大小的板体，通过S2的设置，能够在化学蚀刻时对进气槽和蒸馏孔加工的更加准确，并且可根据不同厚度的板体进行不同的曝光率，从而对进气槽和蒸馏孔的加工更加准确，通过S2的设置，能够使得进气槽组得到加工，通过S3的设置，能够使得蒸镀孔得到加工从而完成整体加工。

在上述技术方案中，进一步的所述化学蚀刻装置包括：

载架，设置于地面上；

清洗台，设置于载架的侧壁上，且清洗台顶端设有清洗槽；

水平移动结构，设置于载架内；

浓度调节机构，设置于载架内的地面上；

喷淋机构，固定端设置于水平移动结构上，输入端贯穿水平移动结构连接于浓度调节机构的输出端上，输出端贯穿至载架的上方；

以及空间移动机构，设置于载架和清洗台的顶端，且空间移动机构的输出端上设有用于夹持板体的卡盘；

其中，所述载架顶端设有供喷淋机构移动的直孔，所述浓度调节机构内设有用于化学蚀刻的化学液，所述清洗槽内设有用于清洗化学液的清洗液。

本技术方案中，通过浓度调节机构的设置，能够放置不同浓度的化学液，使得喷淋机构喷出的化学液可以根据板体的厚度来更改需要输出浓度的化学液，从而改善板体的内部应力，从而使板体加工出的进气槽和蒸镀孔更加准确，通过水平移动结构的设置，能够使得喷淋机构移动到板体相应的位置进行化学蚀刻，通过空间移动机构的设置，能够使得卡盘得到相应位置的移动，通过清洗槽内设置清洗液，能够使得化学蚀刻完成后得到清洗。

在上述技术方案中，进一步的所述水平移动结构包括：

两个螺纹杆，间隔转动连接于载架内壁上；

移动板，螺纹连接于两个螺纹杆上；

以及两个驱动电机，固定端设置于载架背离清洗台的一侧，输出端均贯穿载架分别与螺纹杆连接；

其中，所述喷淋机构固定端设置于移动板顶端。

本技术方案中，通过驱动电机的设置，能够使得螺纹杆进行转动，通过带动移动板进行水平移动。

在上述技术方案中，进一步的所述浓度调节机构包括：

第一浓度箱，设置于地面上且位于载架内；

冲洗箱，设置于第一浓度箱顶端；

第二浓度箱，设置于冲洗箱顶端；

第一箱抽取管，一端位于第二浓度箱上方，另一端从第二浓度箱顶端贯穿至第一浓度箱内；

第二箱抽取管，套置于第一箱抽取管的外部，且第二箱抽取管的一端位于第二浓度箱上方，另一端从第二浓度箱顶端贯穿至冲洗箱内；

第三箱抽取管，套置于第二箱抽取管的外部，且第三箱抽取管的一端位于第二浓度箱上方，另一端贯穿至第二浓度箱内；

控制抽取结构，输入端设置于第一箱抽取管、第二箱抽取管及第三箱抽取管上；

以及软管，一端连接于控制抽取结构的输出端上，另一端贯穿移动板与喷淋机构输入端连接；

其中，所述第一箱抽取管、第二箱抽取管及第三箱抽取管为同心轴设置，所述控制抽取结构用于控制第一箱抽取管、第二箱抽取管及第三箱抽取管工作情况。

本技术方案中，通过第一浓度箱的设置和第二浓度箱的设置，能够放置不同浓度的化学蚀刻用的化学液，通过冲洗箱的设置，能够放置清洗液，通过第一箱抽取管的设置，能够抽取第一浓度箱内的化学液，通过第二箱抽取管的设置，能够抽取清洗液，通过第三箱抽取管的设置，能够对第二浓度箱内的化学液抽取，通过控制抽取结构的设置，能够控制第一箱抽取管、第二箱抽取管及第三箱抽取管抽取情况，从而达到软管得到不同浓度的化学液输入或清洗。

在上述技术方案中，进一步的所述控制抽取结构包括：

固定管，一端内壁连接于第三箱抽取管的顶端外侧壁上，另一端背离第三想抽取管延伸；

第一控制管，一端螺纹连接于固定管内壁上并且底端抵触于第三箱抽取管顶端，另一端延伸出固定管；

第二控制管，一端螺纹连接于第一控制管内壁上并且底端抵触于第二箱抽取管顶端，另一端延伸出固定管；

主流柱，一端螺纹连接于第二控制管内壁上并且底端抵触于第一箱抽取管顶端，另一端延伸出第二控制管；

主流槽，设置于主流柱顶端；

第一通道，一端开口设置于主流柱底端并且抵触于第一箱抽取管的顶端，另一端连接于主流槽内；

第二通道，一端开口设置于第一控制管底端并且不抵触于第三抽取管顶端，另一端依次贯穿第一控制管内壁、第二控制管、主流柱及连通于主流槽内；

第三通道，一端开口设置于第二控制管底端并且抵触于第二抽取管顶端，另一端连通于第二控制管内壁，

以及第四通道，一端设置于主流柱外侧壁上，另一端连通于主流槽内，

其中，所述主流槽的顶端开口于软管连接，当所述第二控制管转动上升时，所述第三通道与第四通道连通，当所述第一控制管与固定管完全螺纹连接时，所述第三箱抽取管顶端开口被密封，当所述第二控制管与第一控制管完全螺纹连接时，所述第二箱抽取管顶端开口被密封，当所述主流柱与第二控制管完全螺纹连接时，所述第一箱抽取管顶端开口被密封。

本技术方案中，初始状态下抽液泵启动时，只有第二通道是处于开启状态，此时抽液泵通过第三箱抽取管抽取第二浓度箱内的化学液，当只转动第二控制管上升使第三通道与第四通道连通时时，此时第二通道断开，此时抽液泵通过第二箱抽取管抽取冲洗箱内的冲洗液，进行对整体内残留的化学液清洗，当只转动主流柱上升时，第一通道打开，此时抽液泵通过第一箱抽取管抽取第一浓度箱内的化学液，当第一控制管、第二控制管及主流柱上升相同距离时，第一通道打开和第二通道打开，此时抽液泵同时抽取第一浓度箱和第二浓度箱内的化学液，能够将不同浓度的化学液中和，从而达到中间浓度的化学液，通过三种不同浓度的化学液抽取，能够使得根据不同厚度的板体使用不同浓度的化学液，从而减少板体自身的应力，达到蚀刻的准确性。

在上述技术方案中，进一步的所述喷淋机构包括：

抽液泵，固定端设置于移动板顶端，输入端与软管连接；

支撑管，一端连接于抽液泵的输出端上，另一端贯穿直孔位于载架上方；

收液结构，套置于支撑管的外侧壁上，且收液结构位于载架的上方

分流管，中部外侧壁连接于支撑管背离抽液泵的一端，且分流管与支撑管呈T字型设置；

若干出流管，一端分别间隔设置于分流管顶端，另一端背离分流管连接；

以及若干改径结构，分别设置于出流管背离分流管的一端；

其中，所述改径结构用于更改出流管流出的直径，所述收液结构用于收取掉落的化学液。

本技术方案中，通过抽液泵的设置，能够将抽取的化学液或清洗液输送至支撑管内，然后通过分流管传输至若干出流管上，最终通过改径结构进行改径喷出，从而达到化学蚀刻，通过收液结构的设置，能够将喷出的液体收集。

在上述技术方案中，进一步的所述收液结构包括：

收液盆，底端套置于支撑管的外侧壁上并且位于载架的上方；

出液孔，设置于收液盆的底端侧壁上；

以及出液管，连接于出液孔上；

其中，所述出流管位于收液盆内。

本技术方案中，通过收液盆的设置，能够收集化学蚀刻流下的废液，通过出液孔的设置，能够将废液流入出液管内，通过出液管的设置，能够将废液排出。

在上述技术方案中，进一步的所述改径结构包括：

转动电机，设置于出液管的外侧壁上；

转动板，连接于转动电机的输出端上，且转动板底端与出液管顶端平齐；

以及若干改径块，环向设置于转动板的外侧壁上；

其中，若干所述改径块上分别设有不同直径的喷液孔。

本技术方案中，通过转动电机的设置，能够使得转动板进行转动，从而使得不同的改径块移动至出液管的顶端，达到不同直径的喷液孔出化学液，使得不同板体厚度的时候进行不同直径的化学液喷淋，从而达到进气槽和蒸镀孔能够准确的加工防止内应力过大而不准确加工。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明具体实施方式掩膜版结构示意图；

图2为本发明具体实施方式掩膜版剖视图；

图3为本发明具体实施方式化学蚀刻装置剖视图；

图4为本发明具体实施方式图3中A处放大图；

图5为本发明具体实施方式图3中B处放大图。

附图标记：1、板体；2、进气槽；3、蒸镀孔；4、载架；5、清洗台；6、清洗槽；7、卡盘；8、直孔；9、螺纹杆；10、移动板；11、驱动电机；12、第一浓度箱；13、冲洗箱；14、第二浓度箱；15、第一箱抽取管；16、第二箱抽取管；17、第三箱抽取管；18、软管；19、固定管；20、第一控制管；21、第二控制管；22、主流柱；23、主流槽；24、第一通道；25、第二通道；26、第三通道；27、第四通道；28、抽液泵；29、支撑管；30、分流管；31、出流管；32、收液盆；33、出液孔；34、出液管；35、转动电机；36、转动板；37、改径块；38、喷液孔。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚地描述，显然，所描述的实施例是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，需要说明的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。为了便于描述，附图中所示出的各个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。

需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便本申请的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施，且“第一”、“第二”等所区分的对象通常为一类，并不限定对象的个数，例如第一对象可以是一个，也可以是多个。此外，说明书以及权利要求中“和/或”表示所连接对象的至少其中之一，字符“/”，一般表示前后关联对象是一种掩膜版及其生产工艺“或”的关系。

需要说明的是，在本申请的描述中，术语方位词如“前、后、上、下、左、右”、“横向、竖向、垂直、水平”和“顶、底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，在未作相反说明的情况下，这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请保护范围的限制；方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。

需要说明的是，在本申请中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者装置中还存在另外的相同要素。此外，需要指出的是，本申请实施方式中的方法和装置的范围不限按示出或讨论的顺序来执行功能，还可包括根据所涉及的功能按基本同时的方式或按相反的顺序来执行功能，例如，可以按不同于所描述的次序来执行所描述的方法，并且还可以添加、省去、或组合各种步骤。另外，参照某些示例所描述的特征可在其他示例中被组合。

实施例1：

本实施例提供了一种掩膜版及其生产工艺，包括：

板体1；

若干进气槽2组，设置于板体1的顶端，且若干进气槽2组沿着板体1的长度方向间隔设置，所述进气槽2组包括若干沿着板体1宽度方向间隔设置的进气槽2；

以及若干蒸镀孔3，分别设置于板体1的底端并且连通于进气槽2的槽底；

其中，所述进气槽2和蒸镀孔3均为球弧状，且进气槽2与蒸镀孔3连通部分的开口均小于另一端开口，所述进气槽2的顶端开口大于蒸汽孔的底端开口；

通过若干进气槽2与若干蒸镀孔3的配合，能够实现一次性蒸镀多个，通过进气槽2和蒸镀孔3均为球弧状的设置，能够为蒸镀气流进行导向，从而使蒸镀气体能够有规律地运动，提高了蒸镀均匀性和规整性。

实施例2：

本实施例中，除了包括前述实施例的结构特征，进一步的包括如下步骤：

S1：首先使用切割装置切割出板体1；

S2：使用曝光系统对板体1需要加工的位置进行黄光显影；

S2：化学蚀刻装置进行对板体1进行夹持，首先对板体1最外侧的进气槽2组进行蚀刻，然后将多组进气槽2组进行加工，最后将板体1进行清洗卸下；

S3：将板体1的反面安装于化学蚀刻装置的上，首先对板体1最外侧与进气槽2对应蒸镀孔3进行加工，然后将若干个蒸镀孔3加工出，最后将板体1进行清洗卸下；

通过S1的设置，能够得到需要大小的板体1，通过S2的设置，能够在化学蚀刻时对进气槽2和蒸馏孔加工的更加准确，并且可根据不同厚度的板体1进行不同的曝光率，从而对进气槽2和蒸馏孔的加工更加准确，通过S2的设置，能够使得进气槽2组得到加工，通过S3的设置，能够使得蒸镀孔3得到加工从而完成整体加工。

实施例3：

本实施例中，除了包括前述实施例的结构特征，进一步的所述化学蚀刻装置包括：

载架4，设置于地面上；

清洗台5，设置于载架4的侧壁上，且清洗台5顶端设有清洗槽6；

水平移动结构，设置于载架4内；

浓度调节机构，设置于载架4内的地面上；

喷淋机构，固定端设置于水平移动结构上，输入端贯穿水平移动结构连接于浓度调节机构的输出端上，输出端贯穿至载架4的上方；

以及空间移动机构，设置于载架4和清洗台5的顶端，且空间移动机构的输出端上设有用于夹持板体1的卡盘7；

其中，所述载架4顶端设有供喷淋机构移动的直孔8，所述浓度调节机构内设有用于化学蚀刻的化学液，所述清洗槽6内设有用于清洗化学液的清洗液；

通过浓度调节机构的设置，能够放置不同浓度的化学液，使得喷淋机构喷出的化学液可以根据板体1的厚度来更改需要输出浓度的化学液，从而改善板体1的内部应力，从而使板体1加工出的进气槽2和蒸镀孔3更加准确，通过水平移动结构的设置，能够使得喷淋机构移动到板体1相应的位置进行化学蚀刻，通过空间移动机构的设置，能够使得卡盘7得到相应位置的移动，通过清洗槽6内设置清洗液，能够使得化学蚀刻完成后得到清洗。

实施例4：

本实施例中，除了包括前述实施例的结构特征，进一步的所述水平移动结构包括：

两个螺纹杆9，间隔转动连接于载架4内壁上；

移动板10，螺纹连接于两个螺纹杆9上；

以及两个驱动电机11，固定端设置于载架4背离清洗台5的一侧，输出端均贯穿载架4分别与螺纹杆9连接；

其中，所述喷淋机构固定端设置于移动板10顶端；

通过驱动电机11的设置，能够使得螺纹杆9进行转动，通过带动移动板10进行水平移动。

实施例5：

本实施例中，除了包括前述实施例的结构特征，进一步的所述浓度调节机构包括：

第一浓度箱12，设置于地面上且位于载架4内；

冲洗箱13，设置于第一浓度箱12顶端；

第二浓度箱14，设置于冲洗箱13顶端；

第一箱抽取管15，一端位于第二浓度箱14上方，另一端从第二浓度箱14顶端贯穿至第一浓度箱12内；

第二箱抽取管16，套置于第一箱抽取管15的外部，且第二箱抽取管16的一端位于第二浓度箱14上方，另一端从第二浓度箱14顶端贯穿至冲洗箱13内；

第三箱抽取管17，套置于第二箱抽取管16的外部，且第三箱抽取管17的一端位于第二浓度箱14上方，另一端贯穿至第二浓度箱14内；

控制抽取结构，输入端设置于第一箱抽取管15、第二箱抽取管16及第三箱抽取管17上；

以及软管18，一端连接于控制抽取结构的输出端上，另一端贯穿移动板10与喷淋机构输入端连接；

其中，所述第一箱抽取管15、第二箱抽取管16及第三箱抽取管17为同心轴设置，所述控制抽取结构用于控制第一箱抽取管15、第二箱抽取管16及第三箱抽取管17工作情况；

通过第一浓度箱12的设置和第二浓度箱14的设置，能够放置不同浓度的化学蚀刻用的化学液，通过冲洗箱13的设置，能够放置清洗液，通过第一箱抽取管15的设置，能够抽取第一浓度箱12内的化学液，通过第二箱抽取管16的设置，能够抽取清洗液，通过第三箱抽取管17的设置，能够对第二浓度箱14内的化学液抽取，通过控制抽取结构的设置，能够控制第一箱抽取管15、第二箱抽取管16及第三箱抽取管17抽取情况，从而达到软管18得到不同浓度的化学液输入或清洗。

实施例6：

本实施例中，除了包括前述实施例的结构特征，进一步的所述控制抽取结构包括：

固定管19，一端内壁连接于第三箱抽取管17的顶端外侧壁上，另一端背离第三想抽取管延伸；

第一控制管20，一端螺纹连接于固定管19内壁上并且底端抵触于第三箱抽取管17顶端，另一端延伸出固定管19；

第二控制管21，一端螺纹连接于第一控制管20内壁上并且底端抵触于第二箱抽取管16顶端，另一端延伸出固定管19；

主流柱22，一端螺纹连接于第二控制管21内壁上并且底端抵触于第一箱抽取管15顶端，另一端延伸出第二控制管21；

主流槽23，设置于主流柱22顶端；

第一通道24，一端开口设置于主流柱22底端并且抵触于第一箱抽取管15的顶端，另一端连接于主流槽23内；

第二通道25，一端开口设置于第一控制管20底端并且不抵触于第三抽取管顶端，另一端依次贯穿第一控制管20内壁、第二控制管21、主流柱22及连通于主流槽23内；

第三通道26，一端开口设置于第二控制管21底端并且抵触于第二抽取管顶端，另一端连通于第二控制管21内壁，

以及第四通道27，一端设置于主流柱22外侧壁上，另一端连通于主流槽23内，

其中，所述主流槽23的顶端开口于软管18连接，当所述第二控制管21转动上升时，所述第三通道26与第四通道27连通，当所述第一控制管20与固定管19完全螺纹连接时，所述第三箱抽取管17顶端开口被密封，当所述第二控制管21与第一控制管20完全螺纹连接时，所述第二箱抽取管16顶端开口被密封，当所述主流柱22与第二控制管21完全螺纹连接时，所述第一箱抽取管15顶端开口被密封；

初始状态下抽液泵28启动时，只有第二通道25是处于开启状态，此时抽液泵28通过第三箱抽取管17抽取第二浓度箱14内的化学液，当只转动第二控制管21上升使第三通道26与第四通道27连通时时，此时第二通道25断开，此时抽液泵28通过第二箱抽取管16抽取冲洗箱13内的冲洗液，进行对整体内残留的化学液清洗，当只转动主流柱22上升时，第一通道24打开，此时抽液泵28通过第一箱抽取管15抽取第一浓度箱12内的化学液，当第一控制管20、第二控制管21及主流柱22上升相同距离时，第一通道24打开和第二通道25打开，此时抽液泵28同时抽取第一浓度箱12和第二浓度箱14内的化学液，能够将不同浓度的化学液中和，从而达到中间浓度的化学液，通过三种不同浓度的化学液抽取，能够使得根据不同厚度的板体1使用不同浓度的化学液，从而减少板体1自身的应力，达到蚀刻的准确性。

实施例7：

本实施例中，除了包括前述实施例的结构特征，进一步的所述喷淋机构包括：

抽液泵28，固定端设置于移动板10顶端，输入端与软管18连接；

支撑管29，一端连接于抽液泵28的输出端上，另一端贯穿直孔8位于载架4上方；

收液结构，套置于支撑管29的外侧壁上，且收液结构位于载架4的上方

分流管30，中部外侧壁连接于支撑管29背离抽液泵28的一端，且分流管30与支撑管29呈T字型设置；

若干出流管31，一端分别间隔设置于分流管30顶端，另一端背离分流管30连接；

以及若干改径结构，分别设置于出流管31背离分流管30的一端；

其中，所述改径结构用于更改出流管31流出的直径，所述收液结构用于收取掉落的化学液；

通过抽液泵28的设置，能够通过调节抽液泵28的抽取速率来控制出化学液的速率来改变侵蚀的应力，还能够将抽取的化学液或清洗液输送至支撑管29内，然后通过分流管30传输至若干出流管31上，最终通过改径结构进行改径喷出，从而达到化学蚀刻，通过收液结构的设置，能够将喷出的液体收集。

实施例8：

本实施例中，除了包括前述实施例的结构特征，进一步的所述收液结构包括：

收液盆32，底端套置于支撑管29的外侧壁上并且位于载架4的上方；

出液孔33，设置于收液盆32的底端侧壁上；

以及出液管34，连接于出液孔33上；

其中，所述出流管31位于收液盆32内；

通过收液盆32的设置，能够收集化学蚀刻流下的废液，通过出液孔33的设置，能够将废液流入出液管34内，通过出液管34的设置，能够将废液排出。

实施例9：

本实施例中，除了包括前述实施例的结构特征，进一步的所述改径结构包括：

转动电机35，设置于出液管34的外侧壁上；

转动板36，连接于转动电机35的输出端上，且转动板36底端与出液管34顶端平齐；

以及若干改径块37，环向设置于转动板36的外侧壁上；

其中，若干所述改径块37上分别设有不同直径的喷液孔38；

通过转动电机35的设置，能够使得转动板36进行转动，从而使得不同的改径块37移动至出液管34的顶端，达到不同直径的喷液孔38出化学液，使得不同板体1厚度的时候进行不同直径的化学液喷淋，从而达到进气槽2和蒸镀孔3能够准确的加工防止内应力过大而不准确加工。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。