滚动部件和滚动轴承

技术领域

本发明涉及滚动部件和滚动轴承。更具体而言，本发明涉及用于氢利用设备的滚动部件和滚动轴承。

背景技术

专利文献1(日本特许第3990212号公报)中记载了轴承部件。专利文献1中记载的滚动部件是JIS标准中规定的高碳铬轴承钢SUJ2制的。专利文献1中记载的轴承部件通过进行渗氮处理、淬火和回火而形成。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特许第3990212号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

但是，专利文献1中记载的滚动部件在用于氢利用设备的情况下、即在暴露于氢气的环境中时，有可能由于氢脆而在接触面上发生早期剥离。此外，专利文献1中记载的滚动部件有可能耐压痕形成性能不足。

本发明是鉴于如上所述的现有技术的问题点而完成的。更具体而言，本发明提供一种能够抑制由于氢从表面侵入而导致的氢脆发生，并且耐压痕形成性能得到改善的用于氢利用设备的滚动部件。

解决技术问题所采用的技术方案

本发明的滚动部件具有表面并且是钢制的。其具备距表面的深度到20μm为止的区域即表层部。滚动部件用于氢利用设备。钢含有0.70质量％以上且1.10质量％以下的碳、0.15质量％以上且0.35质量％以下的硅、0.30质量％以上且0.60质量％以下的锰、和1.30质量％以上且1.60质量％以下的铬。表层部的钢中析出有以铬或钒为主成分的析出物。距表面的距离为50μm的位置处的压缩残余应力在80MPa以上。

在上述滚动部件中，钢还可以含有0.01质量％以上且0.50质量％以下的钒和0.01质量％以上且0.5质量％以上的钼。

在上述滚动构件中，钢可以含有0.90质量％以上且1.10质量％以下的碳、0.20质量％以上且0.30质量％以下的硅、0.40质量％以上且0.50质量％以下的锰、1.40质量％以上且1.60质量％以下的铬、0.10质量％以上且0.30质量％以下的钼、和0.20质量％以上且0.30质量％以下的钒，并且残余部分由铁和不可避免的杂质构成。

在上述滚动部件中，析出物的最大粒径可以在2.0μm以下。在上述滚动部件中，析出物的平均面积率在1.0％以上。在上述滚动部件中，距表面的距离为50μm的位置处的钢的硬度可以在64HRC以上。在上述滚动部件中，距表面的距离为50μm的位置处的钢中的残留奥氏体量可以小于25体积％。

在上述滚动部件中，表层部的钢中的氮浓度可以在0.2质量％以上。在上述滚动部件中，表层部的钢中的上位面积率为50％时的马氏体块状晶粒的平均粒径在1.5μm以下。

本发明的滚动轴承具备内圈、外圈和滚动体。内圈、外圈和滚动体中的至少一者是上述的滚动部件。滚动轴承用于氢利用设备。

发明效果

根据本发明的滚动部件和滚动轴承，能够抑制由于氢从表面侵入而导致的氢脆发生，并且能够改善耐压痕形成性能。

附图的简要说明

图1是滚动轴承100的剖视图。

图2是球阀200的放大剖视图。

图3是氢气循环泵300的剖视图。

图4是示出滚动轴承100的制造方法的工序图。

图5是示出滚动轴承100的制造方法的变形例的工序图。

图6是样品1的滚道面附近的截面的EBSD相图。

图7是样品2的滚道面附近的截面的EBSD相图。

图8是样品3的滚道面附近的截面的EBSD相图。

图9是样品4的滚道面附近的截面的EBSD相图。

图10是示出样品1～4的距滚道面的深度到20μm为止的区域的钢中的马氏体块状晶粒的平均粒径的图。

图11是滚动轴承100A的剖视图。

图12是滚动轴承100B的剖视图。

图13是示出滚动轴承100B的制造方法的工序图。

图14是示出样品5的内圈和外圈的表层部的碳和氮的含量的分布图。

图15是样品5的内圈和外圈的表层部的代表性的剖面FE-SEM图像。

具体实施方式

参照附图对于本发明的实施方式进行详细说明。在以下附图中，对相同或相应部分标以相同参照符号，重复说明不再赘述。

(第一实施方式)

对第一实施方式的滚动轴承进行说明。将第一实施方式的滚动轴承记为滚动轴承100。

<滚动轴承100的构成>

以下说明滚动轴承100的构成。

滚动轴承100例如是深沟球轴承。但是，滚动轴承100并不限定于此。滚动轴承100也可以是例如角接触球轴承、圆柱滚子轴承、圆锥滚子轴承或自动调心滚子轴承。

滚动轴承100用于氢利用设备。氢利用设备例如为用于氢气站的球阀或压缩机。其中，压缩机的方式没有特别限定。例如，压缩机可以是往复式(recipro式)、旋转式(screw式)、离心式或轴流式中的任一种。氢利用设备可以是用于燃料电池汽车的高压氢气减压阀或氢气循环泵。滚动轴承100可以是在暴露于氢气的应用中使用的滚动轴承。

图1是滚动轴承100的剖视图。如图1所示，滚动轴承100具有中心轴A。图1中示出与中心轴A平行、并且通过中心轴A的截面。滚动轴承100具有内圈10、外圈20、多个滚动体30和保持器40。内圈10和外圈20是环状的。滚动体30是滚珠(球状)。

以沿中心轴A的方向为轴向。以通过中心轴A且与中心轴A正交的方向为径向。以沿着以中心轴A为中心的圆周的方向为周向。

内圈10具有第一端面10a、第二端面10b、内周面10c和外周面10d。第一端面10a、第二端面10b、内周面10c和外周面10d构成内圈10的表面。第一端面10a和第二端面10b是内圈10在轴向上的端面。第二端面10b是与第一端面10a相反的面。

内周面10c沿着周向延伸。内周面10c朝向中心轴A侧。虽然没有图示，但内圈10在内周面10c处与轴嵌合。内周面10c在轴向上的一端与第一端面10a相连，在轴向上的另一端与第二端面10b相连。

外周面10d沿着周向延伸。外周面10d朝向与中心轴A相反一侧。即、外周面10d是在径向上与内周面10c相反的面。外周面10d在轴向上的一端与第一端面10a相连，在轴向上的另一端与第二端面10b相连。

外周面10d具有滚道面10da。滚道面10da是外周面10d的与滚动体30接触的部分。滚道面10da沿着周向延伸。滚道面10da位于外周面10d在轴向上的中央部。在剖视图中，滚道面10da是朝向内周面10c侧凹陷的局部圆弧形。

外圈20具有第一端面20a、第二端面20b、内周面20c和外周面20d。第一端面20a、第二端面20b、内周面20c和外周面20d构成外圈20的表面。外圈20以内周面20c与外周面10d隔开间隔地相向的状态配置在内圈10的径向外侧。

第一端面20a和第二端面20b是外圈20在轴向上的端面。第二端面20b是与第一端面20a相反的面。

内周面20c沿着周向延伸。内周面20c朝向中心轴A侧。内周面20c在轴向上的一端与第一端面20a相连，在轴向上的另一端与第二端面20b相连。

内周面20c具有滚道面20ca。滚道面20ca是内周面20c的与滚动体30接触的部分。滚道面20ca沿着周向延伸。滚道面20ca位于内周面20c在轴向上的中央部。在剖面视角下，滚道面20ca是朝向外周面20d侧凹陷的局部圆弧形。

外周面20d沿着周向延伸。外周面20d朝向与中心轴A相反一侧。即、外周面20d是在径向上与内周面20c相反的面。虽然没有图示，但外圈20在外周面20d处与壳体嵌合。外周面20d在轴向上的一端与第一端面20a相连，在轴向上的另一端与第二端面20b相连。

滚动体30配置在外周面10d与内周面20c之间，更具体而言，配置在滚道面10da与滚道面20ca之间。多个滚动体30沿着周向排列。滚动体30具有表面30a。保持器40保持多个滚动体30。保持器40以使相邻两个滚动体30之间的周向上的距离在一定范围内的方式保持多个滚动体30。

内圈10、外圈20和滚动体30是钢制的。更具体而言，内圈10、外圈20和滚动体30由表1所示的组成(记为“第一组成”)的钢形成。

[表1]

单位：质量％

碳影响淬火后的滚动部件(内圈10、外圈20和滚动体30)表面的钢的硬度。钢中的碳的含量小于0.70质量％的情况下，在滚动部件的表面难以确保足够的硬度。钢中的碳的含量小于0.70质量％的情况下，需要通过渗碳处理等补充滚动部件表面的碳含量，成为生产效率下降和制造成本增加的主要原因。另一方面，钢中的碳的含量大于1.10质量％的情况下，有可能发生淬火时的裂纹(淬火裂纹)。因此，第一组成的钢中将碳的含量设为0.70质量％以上且1.10质量％以下。

添加硅是为了确保炼钢时的脱氧和渗氮处理前的加工性。钢中的硅的含量小于0.15质量％的情况下，耐回火软化性不足。其结果是，由于淬火后的回火或滚动轴承100使用时的温度升高，滚动部件表面的硬度可能降低。此外，在该情况下，加工滚动部件时的加工性变得不足。

钢中的硅含量超过0.35质量％的情况下，钢变得太硬，加工滚动部件时的加工性反而降低。此外，该情况下，导致钢的材料成本升高。因此，第一组成的钢中将硅的含量设为0.15质量％以上且0.35质量％以下。

添加锰是为了确保钢的淬火性和硬度。钢中的锰的含量小于0.30质量％的情况下，难以确保钢的淬火性。钢中的锰含量超过0.60质量％的情况下，导致作为杂质的锰系非金属夹杂物增加。因此，第一组成的钢中将锰的含量设为0.30质量％以上且0.60质量％以下。

添加铬是为了确保钢的淬火性以及随着渗氮处理而形成微细的析出物(氮化物、碳氮化物)。钢中的铬的含量小于1.30质量％的情况下，难以确保钢的淬火性并且难以充分形成微细的析出物。钢中的铬的含量超过1.60质量％的情况下，会导致钢的材料成本升高。因此，第一组成的钢中将铬的含量设为1.30质量％以上且1.60质量％以下。

添加钼是为了确保钢的淬火性以及随着渗氮处理而形成微细的析出物。钼对碳具有强亲和性，因此在渗氮处理时在钢中作为未固溶碳化物而析出。该钼的未固溶碳化物在淬火时成为析出核，因此钼可增加淬火后的析出物的量。

钢中的钼的含量小于0.01质量％的情况下，难以确保钢的淬火性并且难以充分形成微细的析出物。钢中的钼的含量超过0.50质量％的情况下，会导致钢的材料成本升高。因此，第一组成的钢中将钼含量设为0.01质量％以上且0.50质量％以下。

添加钒是为了确保钢的淬火性以及随着渗氮处理而形成微细的析出物。钢中的钒的含量小于0.01质量％的情况下，难以确保钢的淬火性并且难以充分形成微细的析出物。钢中的钒的含量超过0.50质量％的情况下，会导致钢的材料成本升高。因此，第一组成的钢中将钒含量设为0.01质量％以上且0.50质量％以下。

内圈10、外圈20和滚动体30也可以由表2所示的组成(记为“第二组成”)的钢形成。内圈10、外圈20和滚动体30还可以由表3所示的组成(记为“第三组成”)的钢形成。在内圈10、外圈20和滚动体30由第一组成或第二组成的钢形成的情况下，析出物更微细地分散在下述的表层部50的钢中。另外，内圈10、外圈20和滚动体30不需要全部由第一组成、第二组成或者第三组成的钢形成，只要内圈10、外圈20和滚动体30中的至少任一者由第一组成、第二组成或者第三组成的钢形成即可。

[表2]

单位：质量％

[表3]

单位：质量％

如图1所示，内圈10、外圈20和滚动体30具有表层部50。在内圈10中，距内圈10表面的深度到20μm为止的区域是表层部50。在外圈20中，距外圈20表面的深度到20μm为止的区域是表层部50。在滚动体30中，距表面的深度到20μm为止的区域是表层部50。表层部50通过渗氮处理而形成。另外，在内圈10中，表层部50至少形成在滚道面10da上即可，在外圈20中，表层部50形成在滚道面20ca上即可。

表层部50的钢中析出有析出物。析出物以铬或钒为主成分。析出物是以铬或钒为主成分的氮化物。析出物也可以是以铬或钒为主成分的碳氮化物。析出物还可以是上述氮化物和碳氮化物的混合物。

此外，表层部50不需要形成在内圈10、外圈20和滚动体30的所有表面上，只要形成在内圈10、外圈20和滚动体30的至少一个表面上即可。

以铬(钒)为主成分的氮化物是铬(钒)的氮化物、或该氮化物中的铬(钒)的一部分位点被铬(钒)以外的合金元素取代的氮化物。以铬(钒)为主成分的碳氮化物是铬(钒)的碳化物中的碳的一部分位点被氮取代的碳氮化物。以铬(钒)为主成分的碳氮化物的铬(钒)的位点也可以被铬(钒)以外的合金元素取代。

距内圈10表面的深度为50μm的位置、距外圈20表面的深度为50μm的位置以及距滚动体30表面(表面30a)的深度为50μm的位置处的压缩残余应力在80MPa以上。距内圈10表面的深度为50μm的位置处以及距外圈20表面的深度为50μm的位置处的压缩残余应力例如在周向上进行测定。上述残余压缩应力通过X射线衍射法来测定。

析出物的最大粒径优选在2.0μm以下。析出物的平均面积率优选在1.0％以上。在析出物的最大粒径在2.0μm以下且析出物的平均面积率在1.0％以上的情况下，由于析出物微细分撒，因此内圈10的表面、外圈20的表面和滚动体30的表面的耐磨耗性得到改善。析出物的最大粒径更优选在1.0μm以下。析出物的平均面积率更优选在2.0％以上。

析出物的平均面积率通过使用场发射扫描电子显微镜(FE-SEM：Field EmissionScanning Electron Microscope)以5000倍的倍率取得表层部50的剖面图像并且将该剖面图像二值化、对二值化的该剖面图像进行图像处理来算出。在三个以上的视野中获取表层部50的剖面图像，平均面积率是从这些多个剖面图像中获得的析出物的面积率的平均值。

各个析出物的粒径通过使用与上述相同的方法取得各个析出物的面积、并且将该面积除以π而得的值的平方根再乘以2而得到。然后，将所得的析出物的粒径中最大的一个作为析出物的粒径的最大值。

表层部50的钢中的氮浓度优选在0.2质量％以上。表层部50的钢中的氮浓度可利用电子探针微量分析仪(EPMA：Electron Probe Micro Analyzer)来测定。另外，表层部50的钢中的氮浓度例如在0.5质量％以下。

距内圈10表面的深度为50μm的位置、距外圈20表面的深度为50μm的位置以及距滚动体30表面(表面30a)的深度为50μm的位置处的钢的硬度优选在64HRC以上。

距内圈10表面的深度为50μm的位置、距外圈20表面的深度为50μm的位置以及距滚动体30表面(表面30a)的深度为50μm的位置处的钢的硬度通过JIS标准(JIS Z 2245:2016)中规定的洛氏硬度试验方法来测定。

表层部50的钢具有马氏体块状晶粒。相邻的两个马氏体块状晶粒在晶界处晶体取向差在15°以上。这一点从另一角度来说，即使存在晶体取向有偏差的部位，在晶体取向差小于15°的情况下，该部位也不会被视为马氏体块状晶粒的晶界。马氏体块状晶粒的晶界由EBSD(Electron Back Scattered Diffraction：电子背向散射衍射)法来确定。

表层部50的钢中，上位面积率为50％时的马氏体块状晶粒的平均粒径优选在1.5μm以下。表层部50的钢中，在马氏体块状晶粒被微细化至上位面积率50％时的平均粒径达到1.5μm以下的情况下，由于表层部50的高韧性化，可改善内圈10、外圈20和滚动体30的表面附近的抗剪切性。

上位面积率为50％时的马氏体块状晶粒的平均粒径通过以下的方法来测定。第一，在包含表层部50的截面中进行截面观察。此时，通过EBSD法确定观察视野中所包含的马氏体块状晶粒。该观察视野是以1500倍的倍率观察的区域。第二，根据由EBSD法得到的晶体取向数据，分析观察视野中所包含的马氏体块状晶粒的各自面积。

第三，将观察视野所包含的马氏体块状晶粒的各自面积按照面积从大到小的顺序进行累加。该累加进行至达到观察视野所包含的马氏体块状晶粒的合计面积的50％。对于成为上述累加对象的各马氏体块状晶粒计算出圆当量径。该圆当量径是将马氏体块状晶粒的面积除以π/4而得的值的平方根。成为上述累加对象的马氏体块状晶粒的圆当量径的平均值即被视为上位面积率为50％时的马氏体块状晶粒的平均粒径。

距内圈10表面的深度为50μm的位置、距外圈20表面的深度为50μm的位置以及距滚动体30表面(表面30a)的深度为50μm的位置处的钢中的残留奥氏体量优选小于25体积％。在该情况下，由于残留奥氏体的分解而导致的内圈10、外圈20和滚动体30的尺寸的经时变化得到抑制。距内圈10表面的深度为50μm的位置、距外圈20表面的深度为50μm的位置以及距滚动体30表面(表面30a)的深度为50μm的位置处的钢中的残留奥氏体量更优选小于20体积％。

距内圈10表面的深度为50μm的位置、距外圈20表面的深度为50μm的位置以及距滚动体30表面(表面30a)的深度为50μm的位置处的钢中的残留奥氏体量通过X射线衍射法来测定。更具体而言，距内圈10表面的深度为50μm的位置、距外圈20表面的深度为50μm的位置以及距滚动体30表面(表面30a)的深度为50μm的位置处的钢中的残留奥氏体量通过使用理学株式会社制的MSF-3M来测定。

在上文中，对第一实施方式的滚动构件是滚动轴承的构成要素的情况进行了说明，但是第一实施方式的滚动构件也可以是滑动轴承。

<第一实施方式的滚动构件的应用例>

第一实施方式的滚动构件被用在球阀200中。图2是球阀200的放大剖视图。如图2所示，球阀200具有阀体210、阀座保持器220、球230、阀杆231和阀杆232以及滑动轴承240。

阀座保持器220配置在阀体210的内部。阀座保持器220形成有内部空间220a、流路220b和流路220c。流路220b和流路220c与内部空间220a连接。球230配置在内部空间220a中。内部空间220a的壁面在密封部220aa处与球230的表面接触。

阀杆231和阀杆232分别连接至球230的上端和下端。通过阀杆231和阀杆232绕着中心轴旋转，从而流路220b和流路220c通过球230中所形成的贯通孔(未示出)连接。阀杆231和阀杆232穿过阀体210和阀座保持器220中所形成的贯通孔。另外，氢气在流路220b、流路220c和球230中所形成的通孔中流过。

滑动轴承240为筒状并且在外周面处安装在阀体210上。滑动轴承240以可旋转的方式轴支承阀杆231和阀杆232。滑动轴承240是第一实施方式的滚动构件。这一点从另一角度来说，滑动轴承240是由第一组成、第二组成或第三组成的钢制成的，并且在接触面上形成有表层部50。

<第一实施方式的滚动轴承的应用例>

图3是氢气循环泵300的剖视图。氢气循环泵300具有：电机壳体310、泵壳体320、旋转轴331和旋转332、电机定子341和电机转子342、齿轮351和齿轮352、转子361和转子362、滚动轴承371、滚动轴承372、滚动轴承373、滚动轴承374、滚动轴承375和滚动轴承376。

电机壳体310安装在泵壳体320上。旋转轴331的一端侧配置在电机壳体310内，旋转轴331的另一端侧配置在泵壳体320内。旋转轴331的一端和另一端分别由配置在电机壳体310内的滚动轴承371和配置在泵壳体320内的滚动轴承372可旋转地轴支承。旋转轴331在一端和另一端之间由配置在泵壳体320内的滚动轴承373和滚动轴承374可旋转地轴支承。

旋转轴332配置在泵壳体320内。旋转轴332的一端由配置在泵壳体320内的滚动轴承375可旋转地轴支承。旋转轴332在远离一端的位置处由配置在泵壳体320内的滚动轴承376可旋转地轴支承。

电机定子341配置在电机壳体310内。电机转子342以与电机定子341相对的方式安装在旋转轴331上。旋转轴331通过电机定子341和电机转子342而旋转。在旋转轴331和旋转轴332上分别安装有齿轮351和齿轮352。旋转轴331的旋转通过齿轮351和齿轮352传递到旋转轴332。另外，齿轮351位于滚动轴承373和滚动轴承374之间，齿轮352位于滚动轴承375和滚动轴承376之间。

在泵壳体320内形成有泵室320a。在泵室320a内配置有转子361和转子362。转子361和转子362分别安装在旋转轴331和旋转轴332上。通过转子361随着旋转轴331的旋转而旋转并且转子362随着旋转轴332的旋转而旋转，从而氢气被吸入泵室320a内并且氢气从泵室320a被排出。

滚动轴承371、滚动轴承372、滚动轴承373和滚动轴承375是深沟球轴承。滚动轴承374和滚动轴承375是双列角接触球轴承。滚动轴承371、滚动轴承372、滚动轴承373、滚动轴承374、滚动轴承375和滚动轴承376是第一实施方式的滚动轴承。即，在滚动轴承371、滚动轴承372、滚动轴承373、滚动轴承374、滚动轴承375和滚动轴承376中，滚道构件和滚动体是由第一组成、第二组成或第三组成的钢制成的，在接触面形成有表层部50。

图4是示出滚动轴承100的制造方法的工序图。如图4所示，滚动轴承100的制造方法具有准备工序S1、渗氮处理工序S2、第一淬火工序S3、第一回火工序S4、第二淬火工序S5、第二回火工序S6、后处理工序S7和组装工序S8。另外，滚动轴承100的制造方法也可以不具有第一回火工序S4和第二淬火工序S5。

在准备工序S1中，准备加工对象构件。作为加工对象构件，在想要形成内圈10和外圈20的情况下准备环状的构件，在想要形成滚动体30的情况下准备球状的构件。该加工对象构件由第一组成或第二组成的钢形成。

在渗氮处理工序S2中对加工对象构件的表面进行渗氮处理。该渗氮处理通过在包含成为氮源的气体(例如氨气)的气氛气体中将加工对象构件在A

在第一回火工序S4中，对加工对象构件进行回火。该回火通过将加工对象构件在A

在第二淬火工序S5中，对加工对象构件进行淬火。该淬火通过将加工对象构件在A

在第二回火工序S6中，对加工对象构件进行回火。该回火通过将加工对象构件在低于A

在后处理工序S7中，对加工对象构件进行精整加工(磨削·研磨)和清洗。藉此，形成内圈10、外圈20和滚动体30。在组装工序S8中，内圈10、外圈20和滚动体30与保持器40被组装在一起。通过以上所述，制造图1所示结构的滚动轴承100。

第二淬火工序S5中的保持温度低于渗氮处理工序S2和第一淬火工序S3中的保持温度。渗氮处理工序S2和第一淬火工序S3中的保持温度例如为850℃。第二淬火工序S5中的保持温度例如为810℃。第一回火工序S4和第二回火工序S6中的保持温度和保持时间例如分别为180℃和2小时。

图5是示出滚动轴承100的制造方法的变形例的工序图。如图5所示，滚动轴承100的制造方法也可以不具有第一回火工序S4，并且可以具有零下处理工序S9来代替第二淬火工序S5。在零下处理工序S9中，通过将加工对象构件冷却至例如-100℃以上且室温以下的温度来进行。

<滚动轴承100的效果>

以下说明滚动轴承100的效果。

在滚动轴承100中，由于内圈10、外圈20和滚动体30由第一组成、第二组成或第三组成的钢形成，因此在通过渗氮处理而形成的表层部50的钢中析出微细的析出物。由于表层部50中的微细的析出物的附近成为氢的捕获位点，因此侵入表层部50的氢量减少。所以，滚动轴承100中不易发生由氢脆引起的早期剥离损伤。

在滚动轴承100中，距内圈10表面的深度为50μm的位置、距外圈20表面的深度为50μm的位置以及距滚动体30表面(表面30a)的深度为50μm的位置处的压缩残余应力在80MPa以上。藉由该压缩残余应力，可抑制在内圈10的表面、外圈20的表面和滚动体30的表面(表面30a)上形成压痕，并且还可抑制以压痕为起点的裂纹扩展。这样，藉由滚动轴承100，能够抑制由于氢从表面侵入而导致的氢脆发生，并且能够改善耐压痕形成性能。

<实施例>

作为滚道圈的样品，准备了样品1～样品4。样品1和样品2由表4所示组成的钢形成，样品3和样品4由表5所示组成的钢形成。表4所示的钢的组成对应于第一组成(第二组成)，表5所示的钢的组成对应于JIS标准中规定的SUJ2的组成(第三组成)。

[表4]

单位：质量％

[表5]

单位：质量％

对样品1进行渗氮工序S2、第一淬火工序S3、零下处理工序S9和第二回火工序S6。对样品2进行渗氮工序S2、第一淬火工序S3、第一回火工序S4、第二淬火工序S5和第二回火工序S6。对样品3进行渗氮工序S2、第一淬火工序S3和第二回火工序S6。对样品4进行第一淬火工序S3和第一回火工序S4。

如表6所示，在样品1～样品3中，滚道面附近(距滚道面的深度为50μm的位置处)的周向上的压缩残余应力在80MPa以上。另一方面，在样品4中，滚道面附近(距滚道面的深度为50μm的位置处)的周向上的压缩残余应力在30MPa以下。样品1～样品3中的滚道面的耐压痕形成性能优于样品4。由该比较可知，通过使滚道面附近的压缩残余应力在80MPa以上，滚道面的耐压痕形成性能得到改善。

如表6所示，在样品1和样品2中，距滚道面的深度到20μm为止的区域的钢中的氮浓度为0.2质量％以上且0.5质量％以下。在样品3中，距滚道面的深度到20μm为止的区域的钢中的氮浓度为0.3质量％以上且0.5质量％以下。在样品4中，距滚道面的深度到20μm为止的区域的钢中不含氮。

如表6所示，在样品1～样品3中，在距滚道面的深度到20μm为止的区域中，析出有以铬或钒为主成分的析出物以微细(最大粒径在2.0μm以下)且高密度(平均面积率在1.0％以上)的方式。在样品4中，在距滚道面的深度到20μm为止的区域中没有析出以铬或钒为主成分的析出物。

如表6所示，在样品1～样品2中，以铬或钒为主成分的析出物以特别微细且高密度(最大粒径在1.0μm以下且平均面积率在2.0％以上)的方式分散在距滚道面的深度到20μm为止的区域中。与此同时，在样品1和样品2中，距滚道面的深度到50μm为止的位置处的钢的硬度在64HRC以上，并且滚道面的耐压痕形成性能特别好。

如表6所示，在样品1中，距滚道面的深度为50μm的位置处的钢中的残留奥氏体量小于20体积％，在样品2中，距滚道面的深度为50μm的位置处的钢中的残留奥氏体量小于25体积％。在样品3中，距滚道面的深度为50μm的位置处的钢中的残留奥氏体量超过25体积％，在样品4中，距滚道面的深度为50μm的位置处的钢中的残留奥氏体量小于20体积％。由此可知，在样品1和样品2中，滚道面附近的钢中的残留奥氏体量小于20体积％或小于25体积％，由此抑制了由于残留奥氏体的分解而导致的尺寸的经时变化。

[表6]

图6是样品1的滚道面附近的截面的EBSD相图。图7是样品2的滚道面附近的截面的EBSD相图。图8是样品3的滚道面附近的截面的EBSD相图。图9是样品4的滚道面附近的截面的EBSD相图。在图6至图9中，马氏体块状晶粒由白色区域表示。

图10是示出样品1～样品4的距滚道面的深度到20μm为止的区域的钢中的马氏体块状晶粒的平均粒径的图。图10的纵轴是距滚道面的深度到20μm为止的区域的钢中的马氏体块状晶粒的平均粒径(单位：μm)。如图10和表7所示，在样品1和样品2中，距滚道面的深度到20μm为止的区域的钢中的上位面积率为50％时的马氏体块状晶粒的平均粒径在1.5μm以下。

另一方面，在样品3中，距滚道面的深度到20μm为止的区域的钢中的上位面积率为50％时的马氏体块状晶粒的平均粒径超过1.5μm。由此可知，在样品1和样品2中，在距滚道面的深度到20μm为止的区域中，以铬或钒为主成分的析出物以微细且高密度的方式在钢中析出，其结果是马氏体块状晶粒微细化，滚道面附近的抗剪切性得到改善，进而滚道面的耐久性得到改善。

[表7]

<氢侵入特性>

通过以下的方法评价了样品1～样品4的氢侵入表层部的氢侵入特性。在该评价中，首先，通过将上述的使用前的样品1～样品4从室温加热至400℃来测定使用前的样品1～样品4的氢释放量。其次，通过将在氢气环境下使用50小时后的样品1～样品4从室温加热至400°来测定在氢气环境下使用50小时后的样品1～样品4的滚道构件的氢释放量。

如表8所示，在样品4中，使用前后的氢释放量之比(即，使用后的氢释放量除以使用前的氢释放量所得的值)在3.0以上。而在样品1和样品2中，使用前后的氢释放量之比在0.9以上且1.2以下的范围内。在样品3中，使用前后的氢释放量之比在1.3以上且2.0以下的范围内。

[表8]

如上所述，在样品1～样品3中，在距滚道面的深度到20μm为止的区域中析出有以铬或钒为主成分的析出物，而在样品4中，在距滚道面的深度到20μm为止的区域中没有析出以铬或钒为主成分的析出物。由该比较可知，通过在表层部50析出以铬或钒为主成分的析出物，其周围成为氢的捕获位点，即、可抑制氢侵入表层部50并可抑制由氢脆引起的早期剥离。

(第二实施方式)

对第二实施方式的滚动轴承进行说明。将第二实施方式的滚动轴承记为滚动轴承100A。这里，主要对与滚动轴承100不同的点进行说明，重复说明不再赘述。

<滚动轴承100A的构成>

图11是滚动轴承100A的剖视图。如图11所示，滚动轴承100A具有内圈10、外圈20、多个滚动体30和保持器40。在滚动轴承100A中，在内圈10、外圈20和滚动体30的表面上形成有表层部50。内圈10、外圈20和滚动体30由第一组成或第二组成的钢形成。滚动轴承100A的构成在这些点上与滚动轴承100的构成相同。

在滚动轴承100A中，距内圈10的表面、外圈20的表面以及滚动体30的表面(表面30a)的深度为50μm的位置处的钢的硬度优选在65.5HRC以上。

在滚动轴承100A中，表层部50的钢优选上位面积率为50％时的马氏体块状晶粒的平均粒径在1.3μm以下。在表层部50的钢中，上位面积率为30％时的马氏体块状晶粒的平均粒径优选在1.6μm以下。滚动轴承100A的构成在这些点上与滚动轴承100的构成不同。另外，上位面积率为50％时的马氏体块状晶粒的平均粒径通过以下的方法测定。

第一，在包含表层部50的截面中进行截面观察。此时，通过EBSD法确定观察视野中所包含的马氏体块状晶粒。该观察视野是以1300倍的倍率观察的区域。第二，根据由EBSD法得到的晶体取向数据，分析观察视野中所包含的马氏体块状晶粒的各自面积。

第三，将观察视野所包含的马氏体块状晶粒的各自面积按照面积从大到小的顺序进行累加。该累进行至达到观察视野所包含的马氏体块状晶粒的合计面积的30％。对于成为上述累加对象的各马氏体块状晶粒计算出圆当量径。该圆当量径是将马氏体块状晶粒的面积除以π/4而得的值的平方根。成为上述累加对象的马氏体块状晶粒的圆当量径的平均值即被视为上位面积率为30％时的马氏体块状晶粒的平均粒径。

如上所述，第二实施方式中公开了以下构成。

<附记1>

一种滚动部件，其为具有表面的钢制的滚动部件，

其具备距上述表面的深度到20μm为止的区域即表层部，

上述滚动部件用于氢利用设备，

上述钢含有0.70质量％以上且1.10质量％以下的碳、0.15质量％以上且0.35质量％以下的硅、0.30质量％以上且0.60质量％以下的锰、1.30质量％以上且1.60质量％以下的铬、0.01质量％以上且0.50质量％以下的钼、和0.01质量％以上且0.50质量％以下的钒，并且残余部分由铁和不可避免的杂质构成，

上述表层部的上述钢中的氮浓度在0.2质量％以上，

上述表层部的上述钢中析出有以铬或钒为主成分的析出物，

距上述表面的距离为50μm的位置处的上述钢的硬度在64HRC以上，

距上述表面的距离为50μm的位置处的上述钢中的残留奥氏体量小于20体积％。

<附记2>

一种滚动部件，其为具有表面的钢制的滚动部件，

其具备距上述表面的深度到20μm为止的区域即表层部，

上述滚动部件用于氢利用设备，

上述钢含有0.70质量％以上且1.10质量％以下的碳、0.15质量％以上且0.35质量％以下的硅、0.30质量％以上且0.60质量％以下的锰、1.30质量％以上且1.60质量％以下的铬、0.01质量％以上且0.50质量％以下的钼、和0.01质量％以上且0.50质量％以下的钒，并且残余部分由铁和不可避免的杂质构成，

上述表层部的上述钢中的氮浓度在0.2质量％以上，

上述表层部的上述钢中析出有以铬或钒为主成分的析出物，

上述表层部的上述钢中的上位面积率为50％时的马氏体块状晶粒的平均粒径在1.3μm以下，

距上述表面的距离为50μm的位置处的上述钢的硬度在64HRC以上，

距上述表面的距离为50μm的位置处的上述钢中的残留奥氏体量小于25体积％。

<附记3>

如附记1或附记2所述的滚动部件，其中上述钢含有0.90质量％以上且1.10质量％以下的碳、0.20质量％以上且0.30质量％以下的硅、0.40质量％以上且0.50质量％以下的锰、1.40质量％以上且1.60质量％以下的铬、0.20质量％以上且0.30质量％以下的钼、和0.20质量％以上且0.30质量％以下的钒，并且残余部分由铁和不可避免的杂质构成。

<附记4>

如附记1～附记3中任一项所述的滚动部件，其中，上述析出物的最大粒径在1.0μm以下。

<附记5>

如附记1～附记4中任一项所述的滚动部件，其中，上述析出物的平均面积率在2.0％以上。

<附记6>

如附记1～附记5中任一项所述的滚动部件，其中，距上述表面的距离为50μm的位置处的上述钢的硬度在65.5HRC以上。

<附记7>

一种滚动轴承，其具备内圈、外圈和滚动体，

上述滚动轴承用于氢利用设备，

上述内圈、上述外圈和上述滚动体中的至少一者是附记1～附记2中的任一项所述的滚动部件。

<滚动轴承100A的效果>

在滚动轴承100A中，由于内圈10、外圈20和滚动体30由第一组成或第二组成的钢形成，因此在表层部50的钢中析出微细的析出物。藉此，能够确保内圈10的表面、外圈20的表面和滚动体30的表面的钢的硬度(更具体而言，可以使距内圈10表面的深度为50μm的位置、距外圈20表面的深度为50μm的位置以及距滚动体30表面的深度为50μm的位置处的钢的硬度在64HRC以上)，并且能够抑制这些析出物成为应力集中源(成为裂纹产生的起点)。

在滚动轴承100A中，在表层部50的钢中析出微细的析出物，确保了内圈10的表面、外圈20的表面以及滚动体30的表面的钢的硬度，因此可抑制内圈的表面、外圈20的表面以及滚动体30的表面上形成金属新生面。因此，在滚动轴承100A中，在内圈10、外圈20和滚动体30的表面上不易产生氢。

在滚动轴承100A中，表层部50的钢中析出的微细析出物的附近成为氢的捕获位点，因此氢侵入表层部50的氢侵入量减少。所以，在滚动轴承100A中不易发生由氢脆引起的早期剥离损伤。在滚动轴承100A中，距内圈10表面的深度为50μm的位置、距外圈20表面的深度为50μm的位置以及距滚动体30表面的深度为50μm的位置处的钢中的残留奥氏体量小于20体积％(或小于25体积％)，因此能够抑制由于残留奥氏体随使用时的温度升高而分解造成的内圈10、外圈20和滚动体30的尺寸变化。

在表层部50的钢中，在马氏体块状晶粒被微细化至上位面积率50％时的平均粒径达到1.3μm以下的情况下，由于表层部50的高韧性化，可改善内圈10、外圈20和滚动体30的表面附近的抗剪切性。因此，在该情况下，能进一步改善滚动轴承100A的耐久性。

(第三实施方式)

对第三实施方式的滚动轴承进行说明。将第三实施方式的滚动轴承记为滚动轴承100B。这里，主要对与滚动轴承100不同的点进行说明，重复说明不再赘述。

<滚动轴承100B的效果>

滚动轴承100B例如是单向平面座圈型推力球轴承。但是，滚动轴承100B并不限定于此。滚动轴承100B也可以是例如深沟球轴承、角接触球轴承、圆柱滚子轴承、圆锥滚子轴承或自动调心滚子轴承。滚动轴承100B用于氢利用设备。

图12是滚动轴承100B的剖视图。如图12所示，滚动轴承100B具有中心轴A1。图1中示出沿中心轴A1的剖面中的滚动轴承100B的剖视图。滚动轴承100B具有滚道构件(滚道圈或垫圈)和滚动体。滚动轴承100B中，滚道构件是内圈(轴承轴圈)10和外圈(轴承座圈)20，滚动体是滚珠80。滚动轴承100B还具有保持器90。

内圈60具有环状(圆环状)的形状。内圈60具有第一面60a、第二面60b、内周面60c和外周面60d。

第一面60a和第二面60b构成沿中心轴A1的方向(本实施方式中记为“轴向”)上的端面。第二面60b是第一面60a在轴向上的相对面。第一面60a具有滚道面60aa。第一面60a在滚道面60aa处朝向第二面60b侧凹陷。剖面视角下，滚道面60aa具有局部圆弧形。滚道面60aa是与滚珠80接触的面，其构成内圈60的接触面。

内周面60c是朝向中心轴A1侧的面。内周面60c在轴向上的一端与第一面60a相连，在轴向上的另一端与第二面60b相连。

外周面60d是朝向与中心轴A1相反一侧的面。即、外周面60d是在与中心轴A1正交的方向(本实施方式中记为“径向”)上与内周面60c相反的面。外周面60d在轴向上的一端与第一面60a相连，在轴向上的另一端与第二面60b相连。

外圈70具有圆环状的形状。外圈70具有第一面70a、第二面70b、内周面70c和外周面70d。

第一面70a和第二面70b构成轴向上的端面。外圈70以第一面70a与第一面60a相向的方式配置。第二面70b是第一面70a在轴向上的相对面。第一面70a具有滚道面70aa。第一面70a在滚道面70aa处朝向第二面70b侧凹陷。剖面视角下，滚道面70aa具有局部圆弧形。滚道面70aa是与滚珠80接触的面，其构成外圈70的接触面。

内周面70c是朝向中心轴A1侧的面。内周面70c在轴向上的一端与第一面70a相连，在轴向上的另一端与第二面70b相连。

外周面70d是朝向与中心轴A1相反一侧的面。即、外周面70d是在与中心轴A1正交的方向上与内周面70c相反的面。外周面70d在轴向上的一端与第一面70a相连，在轴向上的另一端与第二面70b相连。

滚珠80具有球状的形状。滚珠80的数量为多个。滚珠80配置在第一面60a和第一面70a之间。更具体而言，滚珠80配置在滚道面60aa和滚道面70aa之间。滚珠80在其表面与滚道面60aa和滚道面70aa接触。即、滚珠80的表面是接触面。

保持器90保持滚珠80。保持器90在沿着以中心轴A1为中心的圆周的方向(本实施方式中记为“周向”)上以相邻的两个滚珠80的间隔在一定范围内的方式保持滚珠80。

内圈60、外圈70和滚珠80由第一组成的钢形成。内圈60、外圈70和滚珠80也可以由第二组成的钢形成。对构成内圈60、外圈70和滚珠80的钢进行了淬火。内圈60、外圈70和滚珠80中的至少一者由第一组成(第二组成)的钢形成即可。内圈60、外圈70和滚珠80在其表面上具有表层部50。表层部50是距内圈60、外圈70以及滚珠80的表面的深度到20μm为止的区域。表层部50只要至少形成于内圈60、外圈70和滚珠80的接触面即可。表层部50只要形成于内圈60、外圈70和滚珠80中的至少一者即可。

在滚动轴承100B中，在与接触面正交的剖面视角下，在表层部50中，每100μm

在滚动轴承100B中，在与接触面正交的剖面视角下，表层部50中的析出物的面积率的合计优选在1％以上且10％以下。在与接触面正交的剖面视角下，表层部50中的析出物的面积率的合计优选为2％以上且7％以下。

在滚动轴承100B中，表层部50中的氮的含量优选为0.2质量％以上且0.8质量％以下。表层部50中的氮的含量更优选为0.3质量％以上且0.5质量％以下。但是，只要能够使表面层50中每100μm

析出物的面积率通过使用FE-SEM以5000倍的倍率取得表层部50的剖面图像并且将该剖面图像二值化、对二值化的该剖面图像进行图像处理来算出。另外，表层部50的剖面图像在3个以上的视野中取得，面积率取这些多个剖面图像的平均值。各个析出物的粒径通过使用与上述相同的方法取得各个析出物的面积、并且将该面积除以π而得的值的平方根再乘以2而得到。

在滚动轴承100B中，构成内圈60、外圈70和滚珠80的钢中的残留奥氏体的体积率在距接触面的深度为50μm的位置处优选为20％以上且40％以下。构成内圈60、外圈70和滚珠80的钢中的残留奥氏体的体积比在距接触面的深度为50μm的位置处更优选为25％以上且35％以下。藉此，能够改善异物混入环境下的接触面的耐久性，并且能够抑制由残留奥氏体的分解引起的经年变化。

在滚动轴承100B中，距内圈60、外圈70和滚珠80的接触面的深度为50μm的位置处的硬度优选为653Hv以上且800Hv以下。另外，在抑制由润滑油分解所产生的氢引起的氢脆时，提高接触面附近的硬度并使接触面不易产生金属新生面对于抑制氢产生是有效的，但在无论是否产生金属新生面都存在氢的环境下，距内圈60、外圈70和滚珠80的接触面的深度为50μm的位置处的硬度也可以不在653Hv以上且800Hv以下。

距内圈60、外圈70和滚珠80的接触面的深度为50μm的位置处的硬度通过JIS标准(JIS Z 2244:2009)中规定的维氏硬度试验法来测定。其中，测定时的载荷采用300gf。

在滚动轴承100B中，表层部50的钢中，比较面积率(上位面积率)为30％时的马氏体块状晶粒的平均粒径优选在2.0μm以下。表层部50的钢中，比较面积率为50％时的马氏体块状晶粒的平均粒径更优选在1.5μm以下。藉此，表层部50变得高韧性，并且可以改善接触面(更具体是滚道面60aa、滚道面70aa和滚珠80的表面)的抗剪切性。

如上所述，第三实施方式中公开了以下构成。

<附记1>

一种滚动构件，其为具有接触面的进行了淬火的钢制的滚动构件，

上述滚动构件用于氢利用设备，

上述滚动构件具备距上述接触面的深度到20μm为止的区域即表层部，

上述钢含有0.70质量％以上且1.10质量％以下的碳、0.15质量％以上且0.35质量％以下的硅、0.30质量％以上且0.60质量％以下的锰、1.30质量％以上且1.60质量％以下的铬、0.01质量％以上且0.50质量％以下的钼、和0.01质量％以上且0.50质量％以下的钒，并且残余部分由铁和不可避免的杂质构成，

在与上述接触面正交的剖面视角下，上述表层部中在每100μm

<附记2>

如附记1所述的滚动部件，其中上述钢含有0.90质量％以上且1.10质量％以下的碳、0.20质量％以上且0.30质量％以下的硅、0.40质量％以上且0.50质量％以下的锰、1.40质量％以上且1.60质量％以下的铬、0.20质量％以上且0.30质量％以下的钼、和0.20质量％以上且0.30质量％以下的钒，并且残余部分由铁和不可避免的杂质构成。

<附记3>

如附记1或附记2所述的滚动构件，其中，上述表层部中的氮的含量为0.3质量％以上且0.5质量％以下。

<附记4>

如附记1～附记3中任一项所述的滚动构件，其中，在与上述接触面正交的剖面视角下，上述表层部中在每100μm

<附记5>

如附记1～附记4中任一项所述的滚动构件，其中，距上述接触面的深度为50μm的位置处的残留奥氏体量的体积率为20％以上且40％以下。

<附记6>

如附记1～附记5中任一项所述的滚动构件，其中，距上述接触面的深度为50μm的位置处的残留奥氏体量的体积率为25％以上且35％以下。

<附记7>

如附记1～附记6中任一项所述的滚动构件，其中，距上述接触面的深度为50μm的位置处的硬度为653Hv以上且800Hv以下。

＜附记8＞

一种滚动轴承，其具备滚道构件和与上述滚道构件接触地配置的滚动体，

上述滚动轴承用于氢利用设备，

上述滚道构件和上述滚动体中的至少一者是附记1～附记7中的任一项所述的滚动构件。

<滚动轴承100B的制造方法>

图13是示出滚动轴承100B的制造方法的工序图。如图13所示，滚动轴承100B的制造方法具有准备工序S10、热处理工序S11、精整工序S12和组装工序S13。热处理工序S11在准备工序S10之后进行。精整工序S12在热处理工序S11之后进行。组装工序S13在精整工序S12之后进行。

在准备工序S10中，准备供于热处理工序S11和精整工序S12的加工对象构件。作为该加工对象构件，在想要形成内圈60和外圈70的情况下准备环状的构件，在想要形成滚珠80的情况下准备球状的构件。该加工对象构件由第一组成或第二组成的钢形成。

热处理工序S11具有加热工序S111、冷却工序S112和回火工序S113。在加热工序S111中，将加工对象构件在A

在精整工序S12中，对加工对象构件进行精整加工(磨削·研磨)和清洗。藉此，准备内圈60、外圈70和滚珠80。在组装工序S13中，内圈60、外圈70和滚珠80与保持器90被组装在一起。通过以上所述，制造图1所示结构的滚动轴承100B。

<滚动轴承100B的效果>

在滚动轴承100B中，由于内圈60、外圈70和滚珠80由第一组成或第二组成的钢形成，因此通过进行热处理工序S11(渗氮处理)，在表层部11析出微细的析出物。由于表层部50的微细析出物的附近成为氢的捕获位点，因此氢侵入表层部50的氢侵入量减少。所以，滚动轴承100B中不易发生由氢脆引起的早期剥离损伤。

<实施例>

作为滚动轴承的样品，准备了样品5和样品6。样品5和样品6是内径30mm、外径47mm和宽11mm的JIS标准51106型号的单向推力球轴承。

样品5的内圈和外圈由表9所示的组成的钢形成。表9所示的组成在第一组成和第二组成的范围内。样品6的内圈和外圈由表10所示的组成的钢形成。表10所示的组成在JIS标准规定的SUJ2的组成范围内，但在第一组成和第二组成的范围外。另外，样品5和样品6的滚珠由不锈钢(SUS440C)形成。

[表9]

单位：质量％

[表10]

单位：质量％

对样品5的内圈和外圈进行了热处理工序S11。对样品6的内圈和外圈没有进行热处理工序S11。更具体而言，对样品6的内圈和外圈进行了淬火和回火，但是没有进行渗氮处理。

图14是示出样品5的内圈和外圈的表层部的碳和氮的含量的分布图。图14中，横轴是距表面的距离(单位为mm)，纵轴是碳和氮的含量(单位为质量％)。

如图14和表11所示，由于对样品5的内圈和外圈进行了热处理工序S11(渗氮处理)，因此样品5的内圈和外圈的表层部包含氮。另一方面，如表11所示，由于对样品6的内圈和外圈没有进行热处理工序S11(渗氮处理)，因此样品6的内圈和外圈的表层部不含氮。

如表11所示，在样品5的内圈和外圈的表层部中，析出物的面积率的合计为2.2％以上且7.0％以下。在样品6的内圈和外圈的表层部中，析出物的面积率的合计为0.07％以上且0.24％以下。

如表11所示，在样品5的内圈和外圈的表层部中，析出物的数量在每100μm

[表11]

图15是样品5的内圈和外圈的表层部的代表性的剖面FE-SEM图像。如图15所示，在样品5的内圈和外圈的表层部中，析出物被微细化(几乎所有析出物的粒径均在0.5μm以下)。而如图6所示，在样品6的内圈和外圈的表层部中，析出物没有被微细化(几乎所有析出物的粒径均大于0.5μm)。

通过以下的方法评价了样品5和样品6的滚道构件(内圈和外圈)的氢侵入表层部的氢侵入特性。在该评价中，首先，通过将上述的使用前的样品5和样品6的滚道构件从室温加热至400℃来测定使用前的样品5和样品6的滚道构件的氢释放量。其次，通过将在氢气环境下使用50小时后的样品5和样品6的滚道构件从室温加热至400°来测定在氢气环境下使用50小时后的样品5和样品6的滚道构件的氢释放量。

在样品6中，使用前后的氢释放量之比(即，使用后的氢释放量除以使用前的氢释放量所得的值)为3.2。而在样品5中，使用前后的氢释放量之比为0.9。通过该比较，在实验上明确可知通过在接触面形成表层部50可抑制氢侵入表层部50，并可抑制由氢脆引起的早期剥离。

如上对本发明的实施方式进行了说明，但是上述实施方式可以进行各种变形。此外，本发明的范围并不限定于上述实施方式。本发明的范围由权利要求书表示，意在包含与权利要求书等同的含义及范围内的所有变更。

符号说明

100滚动轴承、10内圈、10a第一端面、10b第二端面、10c内周面、10d外周面、10da滚道面、20外圈、20a第一端面、20b第二端面、20c内周面、20ca滚道面、20d外周面、30滚动体、30a表面、40保持器、50表层部、A,A1中心轴、S1预备工序、S2渗氮处理工序、S3第一淬火工序、S4第一回火工序、S5第二淬火工序、S6第二回火工序、S7后处理工序、S8组装工序、S9零下处理工序、100A滚动轴承、100B滚动轴承、60内圈、60a第一面、60aa滚道面、60b第二面、60c内周面、60d外周面、70外圈、70a第一面、70aa滚道面、70b第二面、70c内周面、70d外周面、80滚珠、90保持器、S10准备工序、S11热处理工序、S12精整工序、S13组装工序、S111加热工序、S112冷却工序、S113回火工序。