一种真空镀膜机的抽气机构

技术领域

本发明涉及真空镀膜机抽气机构领域，尤其涉及一种真空镀膜机的抽气机构。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种，其抽气机构用来抽出内侧空气，形成真空状态，但现有抽气机构对于不同大小的抽气区难以灵活适应，抽气管在伸入过后，与抽气区内壁存在间隙，后期易发生抽气管松动的现象，不利于稳固连接，或者通过螺栓、法兰、密封圈进行连接，颇为不便，严重影响抽气效率，抽气机构不能起到灵活适应使用的效果，不够全面。

发明内容

本发明的目的是为了解决背景技术中存在的缺点，而提出的一种真空镀膜机的抽气机构。

为达到以上目的，本发明采用的技术方案为：一种真空镀膜机的抽气机构，包括安装座，所述安装座的外表面安装有把手，所述安装座的内侧固定贯穿设置有沿竖直方向延伸的抽气管，所述安装座的内侧沿着抽气管的周围设置有若干个填充机构，所述填充机构包括下端沿竖直方向与抽气管滑动连接的活动骨架、从活动骨架外表面朝向两侧延伸出的若干根弧形杆、固定连接在活动骨架与弧形杆靠近抽气管一侧外表面的弹性囊，所述安装座的内侧开设有供弧形杆与弹性囊放入的藏入孔，所述抽气管的外表面对应活动骨架的下端位置开设有沿竖直方向延伸的滑槽，所述滑槽的两侧内壁上开设有沿竖直方向延伸的内槽，所述活动骨架的下端连接有水平延伸的活动杆，所述活动杆的两端分别滑动伸入内槽的内侧，所述藏入孔的上端敞开处填塞有封堵块，所述封堵块通过锁紧件安装在安装座的上端面，所述封堵块的下端面贯穿连接有与弹性囊上端面相接通的弹性管，所述安装座的下端面固定连接有环状吸盘，所述抽气管的上端通过密封接头连接连接软管，所述连接软管的一端连接泵气设备。

优选的，所述填充机构的数量设置为三组，所述填充机构于抽气管的周围呈环形阵列排布。

优选的，若干根所述弧形杆的远离活动骨架的一端共同连接有加固边杆，所述弧形杆与加固边杆于活动骨架的两侧呈对称排布，所述活动骨架、加固边杆、弧形杆一体成型。

优选的，所述弹性囊为顺丁橡胶材质，所述弹性囊的厚度在15-30mm之间，所述弹性囊的远离活动骨架的一侧外表面活动贴合抽气管的外表面，所述弹性囊的两侧外表面活动贴合藏入孔的内壁。

优选的，所述弹性管为聚氯乙烯材质，所述弹性管的外形呈螺旋状，所述弹性管收缩在藏入孔的内侧，所述藏入孔的下端端口远离抽气管的一侧边沿开设有倾斜切口。

优选的，所述封堵块的下端面设置有塌陷部，所述塌陷部活动塞入藏入孔的上端，所述锁紧件包括插入螺栓与固定连接在上端的旋头，所述插入螺栓活动贯穿封堵块的内侧且下端嵌入安装座的上端面，且所述插入螺栓与安装座螺纹配合，所述旋头压在封堵块的上端面，所述封堵块远离抽气管的一侧边沿朝向下方弯折出活动嵌入安装座上端面嵌入沿，所述嵌入沿下端固定粘接有密封垫。

优选的，所述安装座的外表面开设有L型的通气道，所述通气道的一端朝下下方弯折延伸并穿过环状吸盘的上端面，所述环状吸盘的外形呈凹型，所述环状吸盘为软质橡胶材质，所述通气道的另一端穿过安装座的外表面并塞入有密封塞，所述密封塞与通气道螺纹配合。

优选的，所述泵气设备包括真空泵、固定安装在真空泵下端的安装板，所述真空泵的抽起端与连接软管的一端相连通，所述安装板的上端面靠近两侧处贯穿开设有若干组安装孔。

优选的，所述抽气管穿过设备壳体的抽气区，所述环状吸盘被挤压在安装座与设备壳体之间，所述弹性囊膨胀并抵住抽气区的内壁。

与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：

1、本发明的主要的有益效果：抽气过程中只需将抽气管穿过抽气区，将安装座压在设备壳体的表面，使得环状吸盘进行吸附，在抽气的过程中，外界的气压使得气体由弹性管通入弹性囊的内侧，弹性囊撑起，进而抵住抽气区的内壁，进而防止在后续使用的过程中发生安装座不稳固的现象，利于抽气过程的进行。

2、在弹性囊吸气膨胀过程中，活动骨架端部沿着滑槽下移，之后再以活动杆为轴进行转动，在弹性囊膨胀的过程中活动骨架、弧形杆与加固边杆将会兜住弹性囊的下半部，以防止弹性囊膨胀过度而发生损坏的现象，有利于弹性囊来稳固抽气管的周围。

3、进一步的，可以将旋头旋动以取下插入螺栓，上提封堵块后即可将弹性管向上拉动，使得弹性囊再度收起，活动骨架转动后再上移复位，以便于下次使用，相比传统的抽气管连接时需要法兰盘、密封圈、螺栓等多种部件进行密封连接来说，整个使用过程方便，安装布设快捷，提高效率。

4、进一步的，在需要取下安装座时，通过旋开密封塞，使得空气通过通气道进入环状吸盘的内侧，进而使的环状吸盘的内侧可以被充入气体，上提安装座以拆卸的过程中，环状吸盘将放松对设备壳体的吸附作用，以便于快速拆下抽气机构，利于使用。

附图说明

图1为本发明一种真空镀膜机的抽气机构的结构示意图；

图2为本发明一种真空镀膜机的抽气机构的安装座处剖视图；

图3为本发明一种真空镀膜机的抽气机构的安装座处局部放大图；

图4为本发明一种真空镀膜机的抽气机构的图3中A处放大图；

图5为本发明一种真空镀膜机的抽气机构的图3中B处放大图；

图6为本发明一种真空镀膜机的弹性囊处局部结构示意图；

图7为本发明一种真空镀膜机的活动骨架结构示意图；

图8为本发明一种真空镀膜机的使用过程中的局部剖视图；

图中：1、安装座；2、抽气管；3、滑槽；4、内槽；5、活动骨架；6、活动杆；7、弧形杆；8、加固边杆；9、弹性囊；10、藏入孔；11、弹性管；12、封堵块；13、塌陷部；14、插入螺栓；15、旋头；16、嵌入沿；17、密封垫；18、环状吸盘；19、把手；20、通气道；21、密封塞；22、密封接头；23、连接软管；24、真空泵；25、安装板；26、安装孔；27、设备壳体；28、抽气区；29、倾斜切口。

具体实施方式

以下描述用于揭露本发明以使本领域技术人员能够实现本发明。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。

如图1-图8所示的一种真空镀膜机的抽气机构，包括安装座1，安装座1的外表面安装有把手19，安装座1的内侧固定贯穿设置有沿竖直方向延伸的抽气管2，安装座1的内侧沿着抽气管2的周围设置有若干个填充机构，填充机构包括下端沿竖直方向与抽气管2滑动连接的活动骨架5、从活动骨架5外表面朝向两侧延伸出的若干根弧形杆7、固定连接在活动骨架5与弧形杆7靠近抽气管2一侧外表面的弹性囊9，安装座1的内侧开设有供弧形杆7与弹性囊9放入的藏入孔10，抽气管2的外表面对应活动骨架5的下端位置开设有沿竖直方向延伸的滑槽3，滑槽3的两侧内壁上开设有沿竖直方向延伸的内槽4，活动骨架5的下端连接有水平延伸的活动杆6，活动杆6的两端分别滑动伸入内槽4的内侧，藏入孔10的上端敞开处填塞有封堵块12，封堵块12通过锁紧件安装在安装座1的上端面，封堵块12的下端面贯穿连接有与弹性囊9上端面相接通的弹性管11，安装座1的下端面固定连接有环状吸盘18，抽气管2的上端通过密封接头22连接连接软管23，连接软管23的一端连接泵气设备。

填充机构的数量设置为三组，填充机构于抽气管2的周围呈环形阵列排布，可以尽量减少成本但可以确保从三个方向进行稳固，起到较好的稳固效果。

若干根弧形杆7的远离活动骨架5的一端共同连接有加固边杆8，弧形杆7与加固边杆8于活动骨架5的两侧呈对称排布，活动骨架5、加固边杆8、弧形杆7一体成型，确保结构强度。

弹性囊9为顺丁橡胶材质，弹性囊9的厚度在15-30mm之间，确保具备较高强度，不会因气压作用而损坏，弹性囊9的远离活动骨架5的一侧外表面活动贴合抽气管2的外表面，弹性囊9的两侧外表面活动贴合藏入孔10的内壁，确保弹性囊9在不工作状态下可以收纳保护起来。

弹性管11为聚氯乙烯材质，弹性管11的外形呈螺旋状，弹性管11收缩在藏入孔10的内侧，藏入孔10的下端端口远离抽气管2的一侧边沿开设有倾斜切口29，可以协助活动骨架5上端的滑动与转动，也利于活动骨架5的上移收起。

封堵块12的下端面设置有塌陷部13，塌陷部13活动塞入藏入孔10的上端，锁紧件包括插入螺栓14与固定连接在上端的旋头15，插入螺栓14活动贯穿封堵块12的内侧且下端嵌入安装座1的上端面，且插入螺栓14与安装座1螺纹配合，旋头15压在封堵块12的上端面，封堵块12远离抽气管2的一侧边沿朝向下方弯折出活动嵌入安装座1上端面嵌入沿16，嵌入沿16下端固定粘接有密封垫17，起到进一步密封的效果，提升气密性。

安装座1的外表面开设有L型的通气道20，通气道20的一端朝下下方弯折延伸并穿过环状吸盘18的上端面，环状吸盘18的外形呈凹型，环状吸盘18为软质橡胶材质，通气道20的另一端穿过安装座1的外表面并塞入有密封塞21，密封塞21与通气道20螺纹配合，旋开后即可使得安装座1上提拆下。

泵气设备包括真空泵24、固定安装在真空泵24下端的安装板25，真空泵24的抽起端与连接软管23的一端相连通，安装板25的上端面靠近两侧处贯穿开设有若干组安装孔26，以便于稳固安装在安装面，提高使用时的稳固程度，由真空泵24进行抽吸。

使用过程中，抽气管2穿过设备壳体27的抽气区28，环状吸盘18被挤压在安装座1与设备壳体27之间，弹性囊9膨胀并抵住抽气区28的内壁。在该抽气过程中使用者只需将抽气管2穿过抽气区28，将安装座1压在设备壳体27的表面，使得环状吸盘18进行吸附，在抽气的过程中，外界的气压使得气体由弹性管11通入弹性囊9的内侧，弹性囊9撑起，进而抵住抽气区28的内壁，进而防止在后续使用的过程中发生安装座1不稳固的现象，利于抽气过程的进行。在弹性囊9吸气膨胀过程中，活动骨架5端部沿着滑槽3下移，之后再以活动杆6为轴进行转动，在弹性囊9膨胀的过程中活动骨架5、弧形杆7与加固边杆8将会兜住弹性囊9的下半部，以防止弹性囊9膨胀过度而发生损坏的现象，有利于弹性囊9来稳固抽气管2的周围。拆卸时，使用者旋开密封塞21，使得空气通过通气道20进入环状吸盘18的内侧，进而使的环状吸盘18的内侧可以被充入气体，上提安装座1以拆卸的过程中，环状吸盘18将放松对设备壳体27的吸附作用，以便于快速拆下抽气机构，之后使用者将旋头15旋动以取下插入螺栓14，上提封堵块12后即可将弹性管11向上拉动，使得弹性囊9再度收起，活动骨架5转动后再上移复位，以便于下次使用，相比传统的抽气管2连接时需要法兰盘、密封圈、螺栓等多种部件进行密封连接来说，整个使用过程方便，安装布设快捷，提高效率。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明的范围内。本发明要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。