一种引线框架镀层厚度自动监控系统

技术领域

本发明属于引线框架镀层厚度测试设备技术领域，具体涉及一种引线框架镀层厚度自动监控系统。

背景技术

半导体封装制造环节中电镀是一道很关键的工序,此工序要严格考虑镀层厚度,在此基础上换算电镀药水配比使用量,这样就要求每批次引线框架的电镀厚度要测量,在实施厚度测量时,又要根据基础镀件材料的不同和在其表面需要镀上的金属层材料的不同,采用电磁涡流原理施加和采样,因其不同的材料分为顺磁性材料或者抗磁性材料,因此其施加信号和采样方式也不同。

然而，现有技术对镀层厚度的测量需要人工辅助进行测试记录，不能自动测试并记录数据，导致生产成本和人工成本增加。

发明内容

针对现有技术中存在的上述不足之处，本发明提供了一种引线框架镀层厚度自动监控系统，用以解决上述现有的问题。

为了解决上述技术问题，本发明采用了如下技术方案：

一种引线框架镀层厚度自动监控系统，包括引线框架检测平台、安装设于引线框架检测平台首端的第一料盒、安装设于引线框架检测平台末端的第二料盒以及与引线框架检测平台配合连接的引线框架传送机构和引线框架镀层厚度测量机构，所述第一料盒配合连接设有第一六轴机械手臂，所述第二料盒配合连接设有第二六轴机械手臂，所述引线框架检测平台上开设有引线框架放置卡槽，所述引线框架检测平台上还固定设有固定架。

进一步，所述引线框架传送机构包括伺服电机、丝杆和引线框架移动推棍，所述伺服电机安装设于引线框架检测平台上，所述丝杆与伺服电机传动连接，所述引线框架移动推棍滑动连接于丝杆上。

进一步，所述引线框架镀层厚度测量机构包括两涡流检测感应头、信号采集显示盒、电机主机和液晶显示器，所述两涡流检测感应头与信号采集显示盒电性连接，所述两涡流检测感应头通过固定架对应悬空设于引线框架检测平台中部的上下两侧，所述电机主机和液晶显示器均与信号采集显示盒电性连接。

进一步，所述第一料盒和引线框架检测平台之间还设有称重装置，所述称重装置与信号采集显示盒电性连接。

本发明与现有技术相比，具有如下有益效果：

本发明称重计算后再次采用涡流效应进行相应的电信号转换的金属镀层厚度和镀层纯度测量，以及自动抓取已电镀好的引线框架和测量厚度完成的自动摆放和记录镀层厚度，且能根据量测的厚度和纯度值作动态更改电镀工艺槽的关键电镀工艺参数。

附图说明

图1为本发明一种引线框架镀层厚度自动监控系统实施例一的立体结构示意图；

图2为本发明一种引线框架镀层厚度自动监控系统实施例二的立体结构示意图；

说明书附图中的附图标记包括：

引线框架检测平台1、第一料盒2、第二料盒3、第一六轴机械手臂4、第二六轴机械手臂5、引线框架放置卡槽6、固定架7、伺服电机8、丝杆9、引线框架移动推棍10、涡流检测感应头11、信号采集显示盒12、电机主机13、液晶显示器14、称重装置15、电镀设备16、电镀工艺信号控制盒17、电镀液槽18。

具体实施方式

为了使本领域的技术人员可以更好地理解本发明，下面结合附图和实施例对本发明技术方案进一步说明。

其中，附图仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本专利的限制；为了更好地说明本发明的实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对本领域技术人员来说，附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。

实施例：

实施例一

如图1所示，本发明的一种引线框架镀层厚度自动监控系统，包括引线框架检测平台1、安装设于引线框架检测平台1首端的第一料盒2、安装设于引线框架检测平台1末端的第二料盒3以及与引线框架检测平台1配合连接的引线框架传送机构和引线框架镀层厚度测量机构，第一料盒2配合连接设有第一六轴机械手臂4，第二料盒3配合连接设有第二六轴机械手臂5，引线框架检测平台1上开设有引线框架放置卡槽6，引线框架检测平台1上还固定设有固定架7，引线框架传送机构包括伺服电机8、丝杆9和引线框架移动推棍10，伺服电机8安装设于引线框架检测平台1上，丝杆9与伺服电机8传动连接，引线框架移动推棍10滑动连接于丝杆9上，引线框架镀层厚度测量机构包括两涡流检测感应头11、信号采集显示盒12、电机主机13和液晶显示器14，两涡流检测感应头11与信号采集显示盒12电性连接，两涡流检测感应头11通过固定架7对应悬空设于引线框架检测平台1中部的上下两侧，电机主机13和液晶显示器14均与信号采集显示盒12电性连接，第一料盒2和引线框架检测平台1之间还设有称重装置15，称重装置15与信号采集显示盒12电性连接。具体在使用本系统时，第一六轴机械手臂4从第一料盒2中取出未测量的引线框架放入称重装置15内称重，称重装置15将数据传输给信号采集显示盒12，随后第一六轴机械手臂4将称重完毕的引线框架放入引线框架放置卡槽6，伺服电机8工作带动丝杆9转动，引线框架移动推棍10在丝杆9的作用下将引线框架传送至引线框架检测平台1中部，涡流检测感应头11对引线框架进行测量并将相应数据传输至信号采集显示盒12，测量完毕后，伺服电机8继续工作，引线框架移动推棍10将其测量后的引线框架传送至引线框架检测平台1末端，第二六轴机械手臂5拾取引线框架放入第二料盒3。

实施例二

在上述实施例一的基础上增设电镀设备16、电镀工艺信号控制盒17和电镀液槽18，信号采集显示盒12与电镀工艺信号控制盒17电性连接，信号采集显示盒12将采集的测试数据传输给电镀工艺信号控制盒17，电镀工艺信号控制盒17进行数据分析，并对连接控制的电镀设备16上电镀液槽18的关键电镀工艺参数进行动态调节，以实现对电镀设备的智能控制。

以上的仅是本发明的实施例，方案中公知的具体结构及特性等常识在此未作过多描述，所属领域普通技术人员知晓申请日或者优先权日之前发明所属技术领域所有的普通技术知识，能够获知该领域中所有的现有技术，并且具有应用该日期之前常规实验手段的能力，所属领域普通技术人员可以在本申请给出的启示下，结合自身能力完善并实施本方案，一些典型的公知结构或者公知方法不应当成为所属领域普通技术人员实施本申请的障碍。应当指出，对于本领域的技术人员来说，在不脱离本发明结构的前提下，还可以作出若干变形和改进，这些也应该视为本发明的保护范围，这些都不会影响本发明实施的效果和专利的实用性。

本发明实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本发明的描述中，需要理解的是，若出现术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。

在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，若出现术语“连接”等指示部件之间的连接关系，该术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个部件内部的连通或两个部件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。